JP2019083597A - 搬送装置、加工システム、および物品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 筺体が熱膨張しても、リニアアクチュエータの停止位置の正確な検出が可能となる搬送装置を提供する。【解決手段】 第一の上部、第一の下部、および前記第一の上部と前記第一の下部とをつなぐ第一の側部を有する前記移動部と、第二の上部、第二の下部、および前記第二の上部と前記第二の下部とをつなぐ第二の側部を有する固定部と、を有し、前記第二の下部の下面は、ベースに接触し、前記第一の上部と前記第一の下部との間に前記第二の上部が挿入され、前記第二の上部の下面にコイルが取り付けられ、前記第一の下部の上面に磁石が取り付けられ、前記第一の上部にスケールが取り付けられ、前記第二の側部の外側の側面にセンサが取り付けられていることを特徴とする。【選択図】 図４

Description

本発明は、リニアアクチュエータを用いた搬送装置であって、生産装置の作業工程間におけるワークを搬送するワーク搬送装置及びそのワーク搬送装置を備えたワーク加工システムに関するものである。

ワークの搬送装置を有する加工システムにおいては、所定の作業工程を行う複数の作業装置が所定の間隔をおいて設置され、それらの作業装置間にはワーク搬送装置が配設されている。そして、各作業工程でワークに所定の加工が施された後、そのワークが搬送装置により、次の作業工程へ順に搬送されるようになっている。

加工システムにおいて、各作業工程にて部品の組み立て等の精密な加工を施すためには、加工装置とワークの精密な位置合わせが必要である。そのための方法として、ワークを搬送するための搬送台車上にワークの位置決めを行った後、各作業行程における搬送台車の教示位置に搬送台車が移動して加工を行うダイレクト組立方式が広く知られている。

ダイレクト組立方式によって精密な加工を施すためには、搬送台車の教示位置に対する位置停止精度が重要であり、位置停止精度が高いリニアアクチュエータをワーク搬送装置のアクチュエータとして用いることが多い。

リニアアクチュエータを用いた搬送装置の場合、搬送台車上に駆動のためのアクチュエータや位置検出機を設けると、動力や信号伝達のための配線が必要になり、その配線によって、搬送台車の動作領域が制限されてしまう。そのため、搬送台車への配線が不要なムービングマグネット型リニアアクチュエータが用いられる。

ムービングマグネット型リニアアクチュエータは筺体に設置された固定子である複数のコイルに所定の制御された駆動電流を通電することにより、搬送台車に設置された可動子である永久磁石との反発力、吸着力を利用して搬送台車を移動させる。

引用文献１には、電磁石毎に通電制御が可能なリニアモータ固定子と、永久磁石からなるリニアモータ可動子を備える複数のスライダと、各電磁石の通電制御を個別に行う複数のモータコントローラとを備えるリニアコンベアが開示されている。

特開２０１３−１０２５７０号公報

前記特許文献１では、スライダに固定される磁気スケールと筐体に取り付けられたセンサ基板とによりスライダを位置決めしている。しかし、リニアアクチュエータを用いた搬送装置の場合、駆動電流により、コイルはジュール熱が発生する。コイルの発熱が筐体に伝熱し、結果として、筐体が熱膨張を起こす。筐体に配置されている位置検出のためのエンコーダの位置が熱膨張によって変動すると、搬送台車上に位置決めされたワークとあらかじめ教示された作業工程との位置関係が崩れてしまい、ワークに精密な加工を施すことが困難になるという問題があった。

本発明の目的は、熱膨張によって筐体が変形しても正確な位置検出が可能な搬送装置を提供することである。

本発明の搬送装置は、スケール及びセンサによって移動部の位置を検出しながら、コイル及び磁石を用いて前記移動部を移動させる搬送装置において、第一の上部、第一の下部、および前記第一の上部と前記第一の下部とをつなぐ第一の側部を有する前記移動部と、第二の上部、第二の下部、および前記第二の上部と前記第二の下部とをつなぐ第二の側部を有する固定部と、を有し、前記第二の下部の下面は、ベースに接触し、前記第一の上部と前記第一の下部との間に前記第二の上部が挿入され、前記第二の上部の下面にコイルが取り付けられ、前記第一の下部の上面に磁石が取り付けられ、前記第一の上部にスケールが取り付けられ、前記第二の側部の外側の側面にセンサが取り付けられていることを特徴とする。

また、本発明の搬送装置は、スケール及びセンサによって移動部の位置を検出しながら、コイル及び磁石を用いて前記移動部を移動させる搬送装置において、前記コイルを有する固定部と、前記磁石を有する移動部と、前記移動部に取り付けられたスケールと、
前記固定部に取り付けられたセンサと、を有し、前記センサは、前記固定部の側面に熱変位緩和部を介して取り付けられていることを特徴とする。

本発明によれば、筺体が熱膨張しても、リニアアクチュエータの停止位置の正確な検出が可能となる。

本発明の第一の実施形態による加工システムの全体構成を示す概略図である。 本発明の第一の実施形態による搬送装置の構成を示す概略図である。 本発明の第一の実施形態による搬送装置の構成を示す正面図である。 本発明の第一の実施形態による搬送装置の構成を示す断面図である。 本発明の第一の実施形態、第二の実施形態による筺体の熱膨張を表した図である。 本発明の第一の実施形態による筺体温度と熱膨張の関係を表した図である。 本発明の第一の実施形態による記憶部の説明図である 本発明の第三の実施形態による搬送装置の構成を示す正面図である。 本発明の第三の実施形態による搬送装置の構成を示す断面図である。 本発明の第四の実施形態による搬送装置の構成を示す正面図である。 本発明の第四の実施形態による搬送装置の構成を示す断面図である。

本発明の実施形態に関して図面を参照して説明する。

まず、本実施形態による加工システムの全体構成について図１を用いて説明する。図１は、本実施形態による加工システムの全体構成を示す概略図であり、システム全体を上面から見た図を概略的に表したものである。

図１に示すように、本実施形態による加工システム００１は、搬送装置往路１と、搬送装置復路２と、台車移載装置３と、台車移載装置４と、ワーク投入装置５と、ワーク排出装置６と、加工装置７と、遮断装置８と、搬送台車１０とを有している。本実施形態による加工システム００１は、加工すべき加工対象であるワークＷを搬送するとともに、搬送台車１０上でワークＷを位置決めする搬送システム０１を含んでいる。搬送システム０１は、固定部である搬送装置往路１と、搬送装置復路２と、台車移載装置３と、台車移載装置４と、遮断装置８とを有している。搬送装置往路１、搬送装置復路２、台車移載装置３及び台車移載装置４は、移動部である搬送台車１０の搬送路を構成する。本実施形態において、搬送台車１０を移動部、搬送台車１０の搬送路を固定部と称する場合がある。

ここで、以下の説明において用いる直交座標系であるＸＹＺ座標系のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各座標軸及び方向を定義する。まず、水平に搬送される搬送台車１０の搬送方向に沿ってＸ軸をとる。また、水平に置かれた後述の架台０２に対して垂直な軸、すなわち鉛直方向に沿った軸をＺ軸とし、Ｘ軸及びＺ軸と直交する軸をＹ軸とする。このように座標軸が定義されるＸＹＺ座標系において、Ｘ軸に沿った方向をＸ方向とし、Ｘ方向のうち、搬送台車１０の搬送方向と同方向を＋Ｘ方向、＋Ｘ方向とは逆方向を−Ｘ方向とする。また、Ｙ軸に沿った方向をＹ方向とし、Ｙ方向のうち、＋Ｘ方向に対して右側から左側に向かう方向を＋Ｙ方向とし、＋Ｙ方向とは逆方向を−Ｙ方向とする。また、Ｚ軸に沿った方向をＺ方向とし、Ｚ方向のうち、搬送路側から搬送台車１０側に向かう方向、すなわち鉛直上向き方向を＋Ｚ方向とし、搬送台車１０側から搬送路側に向かう方向、すなわち鉛直下向き方向を−Ｚ方向とする。

加工システム００１においては、それぞれ搬送台車１０を搬送する直線状の搬送路を構成する搬送装置往路１及び搬送装置復路２が互いに平行に設置されている。台車である搬送台車１０は、搬送装置往路１及び搬送装置復路２に沿って搬送される。搬送装置往路１の最上流には、台車移載装置３が設置されている。また、搬送装置往路１の最下流には、台車移載装置４が設置されている。搬送装置往路１に沿って搬送された搬送台車１０は、台車移載装置４により搬送装置復路２に移載される。また、搬送装置復路２に沿って搬送された搬送台車１０は、台車移載装置３により搬送装置往路１に移載される。すなわち、搬送台車１０は、搬送装置往路１及び搬送装置復路２に沿って循環搬送される。なお、搬送台車１０は、１台だけ設置されていてもよいし、複数台設置されていてもよい。

搬送装置往路１の上流には、搬送台車１０にワークＷを供給して搭載するためのワーク供給装置であるワーク投入装置５が設置されている。搬送装置往路１の下流には、搬送台車１０よりワークＷを取り出して排出するためのワーク排出装置６が設置されている。

ワーク投入装置５とワーク排出装置６との間には、１台又は複数台の加工装置７が設置されている。複数台の加工装置７は、所定の間隔で設置されている。加工装置７は、搬送台車１０上に固定されたワークＷに対して、部品の組み立てや塗布等の所定の加工作業を施す。なお、加工装置７としては、特に限定されるものではなく、ワークＷに対して種々の加工作業を施す加工装置を用いることができる。

搬送台車１０は、搬送装置往路１に対して所定の間隔で設置されたワーク投入装置５、加工装置７及びワーク排出装置６の間を順次搬送される台車である。搬送台車１０には、ワーク投入装置５にてワークＷが供給されて投入される。次いで、搬送台車１０上でのワークＷの位置決め及び固定を経た後、搬送台車１０上のワークＷに対して、加工装置７により所定の加工作業が施される。加工装置７によるすべての加工作業が完了した後、ワーク排出装置６により、搬送台車１０上からワークＷが取り出され、物品が製造される。

遮断装置８は搬送装置往路１及び搬送装置復路２の両端部に設けられており、台車移載装置３及び台車移載装置４との連結部に設けられている。台車移載装置３及び台車移載装置４の非連結時に搬送台車１０が飛び出すのを防止する。

（第一の実施形態）
次に、搬送システム０１における搬送装置往路１、搬送装置復路２、台車移載装置３、４及び搬送台車１０の構成の第一の実施形態の概略について、図２〜図４を用いて説明する。

図２は、搬送装置往路１をＹ方向から見た図である。図３は、搬送台車１０及び搬送路の一部である搬送モジュール１１をＹ方向から見た図である。図４は、搬送台車１０及び搬送モジュール１１の構成を示す断面図である。

搬送装置往路１は、モジュール化されて構成されており、複数の搬送モジュール１１を有している。加工システム００１は、複数の搬送モジュール１１、台車移載装置３及び台車移載装置４にそれぞれ通信可能に接続された複数の下位コントローラ４３を有している。下位コントローラ４３は、接続先の搬送モジュール１１又は台車移載装置３、４を制御する。

なお、図２では、説明を簡単にするため、２つの搬送モジュール１１を示し、それぞれに接続された下位コントローラ４３として、２つの下位コントローラ４３ａ、４３ｂを示している。また、台車移載装置３に接続された下位コントローラ４３として、下位コントローラ４３ｃ、４３ｄを示している。また、台車移載装置４に接続された下位コントローラ４３として、下位コントローラ４３ｅ、４３ｆを示している。説明では、特に区別する必要がないかぎり、下位コントローラを単に「下位コントローラ４３」と表記する。複数の下位コントローラ４３は、下位コントローラネットワーク４２に接続されている。

加工システム００１は、さらに、中位コントローラ４１と、上位コントローラ４０とを有している。複数の下位コントローラ４３には、下位コントローラネットワーク４２を介して、中位コントローラ４１が通信可能に接続されている。中位コントローラ４１は、複数の下位コントローラ４３を制御する。さらに、中位コントローラ４１には、中位コントローラ４１に動作指令を送る上位コントローラ４０が接続されている。

図２に示すように、搬送モジュール１１は、架台０２の水平な設置面上に設置されている。搬送モジュール１１は、搬送モジュール筺体１５と、エンコーダ１２ａ、１２ｂ、１２ｃと、台車駆動コイル１３と、ガイドレール１４とを有している。また、下位コントローラ４３には、図示しない電源が接続されている。

台車駆動コイル１３は、Ｘ方向に沿って搬送モジュール筺体１５に取り付けられている。ガイドレール１４は、Ｘ方向に沿って搬送モジュール筺体１５の上に取り付けられている。

搬送台車１０は、台車ベース３０と、スケール３２と、ガイドブロック３５を有している。

次に、搬送台車１０及び搬送モジュール１１の構成について図３及び図４を用いて説明する。固定部である搬送路の一部である搬送モジュール１１は、搬送モジュール筺体１５を含む。移動部である搬送台車１０は、台車ベース３０を含む。台車ベース３０、搬送モジュール筐体１５、いずれも側面開放の凹形状を有している。つまり、台車ベース３０は上部３０ａ（第一の上部と称する場合がある）、下部３０ｂ（第一の下部と称する場合がある）、および第一の上部３０ａと第一の下部３０ｂをつなぐ第一の側部３０ｃを有している。そして、第一の上部３０ａと第一の下部３０ｂとの間の、第一の側部３０ｃと反対側が開口する、側面開放の凹形状となっている。また、搬送モジュール筐体１５も、上部１５ａ（第二の上部と称する場合がある）、下部１５ｂ（第二の下部と称する場合がある）、および第二の上部１５ａと第二の下部１５ｂをつなぐ第二の側部１５ｃを有している。そして、第二の上部１５ａと第二の下部１５ｂとの間の、第二の側部１５ｃと反対側が開口する、側面開放の凹形状となっている。そして、第一の上部３０ａと第一の下部３０ｂとの間に、第二の上部１５ａが台車ベース３０の開口部から挿入されている。これにより、第一の上部３０ａの下面３０ａｂと第二の上部１５ａの上面１５ａａが対向して配置される。また、第二の上部１５ａの下面１５ａｂと第一の下部３０ｂの上面３０ｂａが対向して配置される。そして、第一の上部３０ａの下面３０ａｂには、ガイドブロック３５が取り付けられ、第二の上部１５ａの上面１５ａａにガイドレール１４が取り付けられている。第一の上部３０ａの下面３０ａｂと第二の上部１５ａの上面１５ａａが対向して配置されているので、ガイドブロック３５をガイドレール１４上に配置することができる。そして、台車をガイドレール１４に沿って移動させることが可能となる。ガイドブロック３５は、台車ベース３０の搬送方向に直列に２個設置されている。２個に限るものではないが、１個であると台車の揺れが大きくなるため、２個以上あることが好ましい。本実施形態においては、第一の上部３０ａの下面３０ａｂに、ガイドブロック３５が取り付けられ、第二の上部１５ａの上面１５ａａにガイドレール１４が取り付けられている例を示した。しかし、これに限らず、第一の上部３０ａの下面３０ａｂに、ガイドレールが取り付けられ、第二の上部１５ａの上面１５ａａにガイドブロックが取り付けられていてもよい。

第二の下部１５ｂの下面１５ｂｂは架台０２（図２参照）の上面と接するように固定されている。架台０２に限るものではなく、たとえば建物の床面に第二の下部１５ｂの下面１５ｂｂが直接接するように設置されていてもよい。本明細書において第二の下部１５ｂの下面１５ｂｂが直接接するように設置されている構造体をベースと称する。

永久磁石ブラケット３４は、第一の下部３０ｂの上面３０ｂａに取り付けられている。そして、複数の永久磁石３３が、Ｘ方向に並ぶように永久磁石ブラケット３４に取り付けられている。本明細書において、永久磁石ブラケット３４と永久磁石３３とをあわせて永久磁石と称する。また、台車駆動コイル１３は、第二の上部１５ａの下面１５ａｂに取り付けられている。つまり、ガイドレール１４と台車駆動コイル１３は搬送モジュール筺体１５の上部（第二の上部）を介して背中合わせに配置されている。台車ベース３０に取り付けられた複数の永久磁石３３と、搬送モジュール筺体１５に取り付けられた台車駆動コイル１３との間には、台車駆動コイル１３に電流が印加されることにより、搬送台車１０を駆動する電磁力が発生する。搬送台車１０は、複数の永久磁石３３と台車駆動コイル１３との間に発生する電磁力により駆動され、搬送装置往路１上を＋Ｘ方向に沿って搬送される。このように、本実施形態では、台車駆動コイル１３は動かず、永久磁石３３が移動する、ムービングマグネット（ＭＭ）型リニアモータによる搬送システム０１が構成されている。

スケールブラケット３１を介してスケール３２が、台車ベース３０の上部３０ａであって、エンコーダ１２が位置検出可能な位置に取り付けられている。つまり、スケールとエンコーダ１２が対向して取り付けられている。そしてスケール３２は、搬送台車１０の位置検出に用いられるパターンを有している。スケールブラケット３１を介さず直接スケール３２が台車ベース３０の上部（第一の上部）に取り付けられてもよく、本明細書においては、スケールブラケット３１とスケール３２とをあわせてスケールと称する場合がある。

そして、搬送モジュール筺体１５の側部１５ｃの外側の側面をエンコーダ取付面１８とする。エンコーダ取付面１８には、エンコーダブラケット（センサ取り付け部材）１７を介してエンコーダ１２が設置される。エンコーダ１２はエンコーダブラケット（センサ取り付け部材）によってエンコーダのスケール読み取り部であるエンコーダ検出部１０２をスケールと対向して配置されるように調整されている。エンコーダ取付面１８には、エンコーダブラケット１７を介してエンコーダ１２が設置される。本実施形態ではエンコーダを３個設置する例を示したが、これに限るものではない。エンコーダブラケット１７を介さず直接エンコーダを取り付けてもよく、本明細書においては、エンコーダブラケット１７とエンコーダ１２とをあわせてエンコーダと称する場合がある。また、本実施形態においてはエンコーダとスケールを用いて移動部の位置を検出する形態について述べるがこれに限ることなく、固定部と移動部の位置を検出できる公知のセンサを用いることができる。本明細書においては、移動部に取り付けられる部材をスケール、固定部に取り付けられる部材をエンコーダまたはセンサと称する。

１本のガイドレール１４によって、搬送台車１０の動作案内を行う従来の搬送装置の場合、台車駆動コイル１３と永久磁石３３の吸引力の影響や、搬送台車１０の慣性力の影響によりガイドブロック３５に回転力が発生する場合がある。この回転力の影響でガイドブロック３５及び台車ベース３０が変形してしまい、スケール３２とエンコーダ１２の位置関係が崩れてしまい、正確な位置検出ができなくなってしまう懸念があった。しかし、本実施形態の構成では、ガイドブロック３５と永久磁石３３を近接して配置できるため、ガイドブロック３５にあまり負荷をかけない構成にできる。また、ガイドブロック３５が変形したとしても、スケール３２とガイドブロック３５の位置を近づけることができるため変形による影響を最小限にできる。

そして、搬送モジュール１１のＸ方向（搬送モジュール筺体１５の側部１５ｃの長手方向）の中心部にエンコーダ１２ｂを設置することが好ましい。詳しくは後述するが、上記構成の搬送モジュール筐体１５であると、その側部１５ｃの熱による変形を扇形にすることができる。変形した扇形の側部１５ｃの中心部にエンコーダを配置することで、筐体の熱変形の影響を極力抑えることが可能となる。本明細書における中心部とは、搬送モジュール筐体１５の側部１５ｃのＸ方向（側部１５ｃの長手方向）の長さを１とした時、側部１５ｃの長手方向の一方の端部から他方の端部に向かって、側部１５ｃの長さの１／３の部分から、２／３の部分までの範囲とする。つまり中心部とは、後述する図３におけるＴの範囲とする。この範囲にあると、筐体の熱変形の影響を極力抑えることが可能となる。また、中心部以外の部分（端部）に、エンコーダ１２ａ、１２ｃが設置されていてもよい。エンコーダ１２ａとエンコーダ１２ｂの間隔及びエンコーダ１２ｂとエンコーダ１２ｃの間隔は搬送台車１０に取り付けたスケール３２の長さよりも短いことが好ましい。そうすることによって搬送モジュール１１上のどの位置においても搬送台車１０の位置をいずれかのエンコーダ１２によって検出することができる。

また、カバー１６はガイドレール１４、台車駆動コイル１３、エンコーダ１２、下位コントローラ４３を保護するために設置されている。

下位コントローラ４３は搬送モジュール筺体１５に下位コントローラブラケット４４を介して設置されており、図示しない配線によって、同一搬送モジュール１１内に設置されたエンコーダ１２及び台車駆動コイル１３が接続されている。

搬送モジュール１１のエンコーダ１２は、搬送台車１０に取り付けられたスケール３２とのギャップが一定となるように搬送モジュール筺体１５に取り付けられている。エンコーダ１２は、スケール３２のパターンを読み取ることにより、搬送台車１０のＸ方向における位置を、エンコーダ１２からの相対位置として検出することができる。

下位コントローラ４３は、接続されたエンコーダ１２の出力及びそのエンコーダ１２が設置された位置に基づき、搬送モジュール１１上における搬送台車１０の位置を算出することができる。下位コントローラ４３は、算出した搬送台車１０の位置等に応じて、台車駆動コイル１３に印加される電流量を制御することができる。これにより、下位コントローラ４３は、搬送台車１０を所定の位置まで所定の速度で搬送して停止させることができる。

また、下位コントローラ４３は、隣接する搬送モジュール１１から接続先の搬送モジュール１１に搬送台車１０が進入することをエンコーダ１２により検知することができる。下位コントローラ４３は、接続先の搬送モジュール１１に進入した搬送台車１０を所定の位置まで所定の速度で搬送し、停止させるため、接続先の搬送モジュール１１内における搬送台車１０の制御を行う。

下位コントローラ４３は、中位コントローラ４１と情報をやり取りするための通信機能を有している。下位コントローラ４３は、その下位コントローラ４３が保有するエンコーダ１２により検出される搬送台車１０の位置情報等に関する通信を中位コントローラ４１と行う。

中位コントローラ４１は、搬送台車１０を動作させるための指令を下位コントローラ４３のそれぞれに送信することができる。これにより、中位コントローラ４１は、複数台の搬送台車１０の制御を行うことができる。

なお、搬送装置復路２も、搬送台車１０の搬送方向が、搬送装置往路１における搬送方向とは逆方向となるように構成されている点を除き、上述した搬送装置往路１と同様の構成を有している。

続いて、台車移載装置３及び台車移載装置４の構成について説明する。台車移載装置３及び台車移載装置４は、図２に示すように、それぞれ、Ｙ方向に動作可能な台車移載アクチュエータ５０と、台車移載アクチュエータ５０上に搭載され、搬送モジュール１１と同様の構成のモジュールとを有している。

台車移載装置３に接続された下位コントローラ４３ｃは、台車移載装置３の台車移載アクチュエータ５０を制御する。台車移載装置３に接続された下位コントローラ４３ｄは、下位コントローラ４３ａ、４３ｂと同様に、台車移載装置３の搬送モジュール１１と同様の構成のモジュールを制御する。また、台車移載装置４に接続された下位コントローラ４３ｅは、台車移載装置４の台車移載アクチュエータ５０を制御する。台車移載装置４に接続された下位コントローラ４３ｆは、下位コントローラ４３ａ、４３ｂと同様に、台車移載装置４の搬送モジュール１１と同様の構成のモジュールを制御する。

台車移載装置３及び台車移載装置４は、それぞれ、搬送装置往路１と搬送装置復路２との間を動作することにより、搬送台車１０の移載を行う。台車移載装置４は、搬送装置往路１に沿って搬送された搬送台車１０を、搬送装置往路１から搬送装置復路２に移載する。台車移載装置３は、搬送装置復路２に沿って搬送された搬送台車１０を、搬送装置復路２から搬送装置往路１に移載する。

上位コントローラ４０は、加工システム００１全体を制御し、中位コントローラ４１の他に、加工装置７を制御する図示しない加工装置７用のコントローラ等が通信可能に接続されている。上位コントローラ４０は、加工システム００１における各装置の動作及び動作順を制御する。

次に図５を用いて、図２〜図４で説明した搬送モジュール１１の熱膨張に関して詳しく説明する。

図５（ａ）は第一の実施形態における搬送モジュール１１の搬送モジュール筺体１５の熱膨張を表した図である。

図示しない台車駆動コイル１３は搬送台車１０を動作させるために、通電することで発熱する。搬送台車１０を連続動作させていくと、台車駆動コイル１３の熱は、筺体１５を介して架台０２に伝わることや、台車駆動コイル１３、搬送モジュール筺体１５、カバー１６等と接する周辺空気へ放熱によって、ある所定の温度で装置稼働時定常状態となる。

搬送モジュール筺体１５は台車駆動コイル１３の発熱の影響で温度上昇することによって、熱膨張する。搬送モジュール筺体１５の端部に設置されたエンコーダ１２ａ、１２ｃは搬送モジュール筺体１５の熱膨張の影響により、熱膨張前と比べて位置変化する。エンコーダ１２ａ、１２ｃが位置変化したことによって、エンコーダ１２ａ、１２ｃで検出した搬送台車１０の検出位置も変化する。

架台０２は、台車駆動コイル１３の発熱量の総量に対して、十分に大きい体積と熱容量を持つとともに、十分に大きい放熱面積を持つ。すなわち、架台０２は停止時と連続動作時との温度上昇量を極わずかに抑えることができる。つまり、架台０２の温度上昇量が極わずかであるため、架台０２の熱膨張についても極わずかである。

搬送モジュール筺体１５は架台０２にねじ等によって複数個所固定されている。搬送モジュール筐体１５の形状は、前述したように側面開放の凹形状を有している。そして、台車駆動コイル１３が搬送モジュール筺体１５の上部に設置され、搬送モジュール筺体１５の下部の下面が架台０２と接触する。つまり搬送モジュール筺体１５の下部から架台に放熱されることから、搬送モジュール筺体１５は図７で模式的に表したように、扇型（文脈からわかりますが、符号をつけて扇型を図示した方がよい）に熱膨張する。

図５において、１０６は筺体熱膨張基点とする。筺体熱膨張基点１０６とエンコーダ１２ａのＸ方向の距離において、装置停止時の距離をエンコーダａ停止時距離Ｌａ１、装置稼働時定常状態の距離をエンコーダａ稼働時距離Ｌａ２とする。筺体熱膨張基点１０６とエンコーダ１２ｂのＸ方向の距離において、装置停止時の距離をエンコーダｂ停止時距離Ｌｂ１、装置稼働時定常状態の距離をエンコーダｂ稼働時距離Ｌｂ２とする。筺体熱膨張基点１０６とエンコーダ１２ｃのＸ方向の距離において、装置停止時の距離をエンコーダｃ停止時距離Ｌｃ１、装置稼働時定常状態の距離をエンコーダｃ稼働時距離Ｌｃ２とする。また、筺体熱膨張基点１０６と加工装置７のＸ方向の距離において、装置停止時の距離を加工装置停止時距離Ｌ１、装置稼働時定常状態の距離を加工装置稼働時距離Ｌ２とする。

次に図６を用いて、本発明の第一の実施形態の搬送モジュール１１の熱膨張と装置稼働状態の関係を説明する。

図６は本発明の第一の実施形態における筺体温度と熱膨張の関係を表した図である。

装置の稼働状態を表しているのが、装置稼働状態タイミングチャート２００である。図５に記載の、コイル温度測定点Ｐ１の温度をコイル温度２０１、筺体上部温度測定点Ｐ２の温度を２０２、筺体下部温度測定点Ｐ３の温度を２０３、架台温度測定点Ｐ４の温度を２０４とする。また、エンコーダ１２ａのＸ方向の位置を２０５、エンコーダ１２ｂのＸ方向の位置を２０６、エンコーダ１２ｃのＸ方向の位置を２０７とし、加工装置７のＸ方向の位置を２０８とする。

ｔ０は初期時刻、ｔ１は装置稼働開始時刻、ｔ２は装置稼働時定常状態到達時刻、ｔ３は装置停止時刻、ｔ４は装置停止時定常状態到達時刻である。

Ｔ０を環境温度とし、装置稼働時定常状態のコイル温度測定点Ｐ１の温度をコイル稼働時定常温度Ｔ１、筺体上部温度測定点Ｐ２の温度を筺体上部稼働時定常温度Ｔ２、筺体下部温度測定点Ｐ３の温度を筺体下部稼働時定常温度Ｔ３とする。

初期時刻ｔ０におけるコイル温度測定点Ｐ１、筺体上部温度測定点Ｐ２、筺体下部温度測定点Ｐ３、ベース温度測定点Ｐ４の温度は、各測定点の温度は全て環境温度Ｔ０と等しくなる。これは、台車駆動コイル１３に電流印加前のため、台車駆動コイル１３の発熱影響がないためである。

装置稼働開始時刻ｔ１で装置が稼働中状態になると、台車駆動コイル１３が発熱し、各温度測定点の温度は序々に上昇し始める。その後、一定時間を経過して装置稼働時定常状態到達時刻ｔ２になると、コイル稼働時定常温度Ｔ１、筺体上部稼働時定常温度Ｔ２、筺体下部稼働時定常温度Ｔ３に到達する。この時の架台温度測定点Ｐ４の温度はＴ０である。

さらに、装置停止時刻ｔ３になり、装置が停止すると、各温度測定点の温度は序々に下降し始める。その後、一定時間を経過して装置停止時定常状態到達時刻ｔ４になると、何れの温度も環境温度Ｔ０と等しくなる。

各時刻におけるコイル温度２０１、筺体上部温度２０２、筺体下部温度２０３、架台温度２０４の関係を表すと以下の式のようになる。
２０１≧２０２≧２０３≧２０４・・・（１）

これは、台車駆動コイル１３の発熱によって各測定点の温度が上昇するため、台車駆動コイル１３に近い箇所の温度がより高温になり、遠ざかるにつれて搬送モジュール筺体１５の熱抵抗によって、序々に温度が低下する。

次に各時刻における、エンコーダ１２ａ、１２ｂ、１２ｃの位置の関係を説明する。

エンコーダ１２ａおよび１２ｃは装置稼働開始時刻ｔ１経過後、各部の温度上昇に合わせて、搬送モジュール筺体１５が熱膨張し、位置変化する。装置稼働時定常状態到達時刻ｔ２のなると、各部の温度上昇が収まり、一定温度になることで位置変化も収まる。搬送モジュール筺体１５の線膨張係数をαとすると、次式が成り立つ。
Ｌａ２−Ｌａ１＝α（Ｔ２−Ｔ０）Ｌａ１・・・（２）
Ｌｃ２−Ｌｃ１＝α（Ｔ２−Ｔ０）Ｌｃ１・・・（３）

（２）式はエンコーダ１２ａの位置を示した式であり、（３）式はエンコーダ１２ｃの位置を示した式である。ここで、（２）式および（３）式中の筺体上部稼働時定常温度Ｔ２に関しては、エンコーダ１２ａ、１２ｃ取付用のエンコーダブラケット１７用のエンコーダ取付面１８が搬送モジュール筺体１５の筺体上部温度測定点Ｐ２付近に設けられているためである。

一方、エンコーダ１２ｂおよび加工装置７は装置稼働開始時刻ｔ１経過後、各部の温度上昇に合わせて、搬送モジュール筺体１５が熱膨張し、位置変化するが、エンコーダ１２ｂは扇形の変形の中心部にあるため位置が変化しないか極わずかである。また、加工装置７は架台０２に設置されているため、架台の熱膨張は極わずかであるので位置が変化しないか極わずかである。従って、次式が成り立つ。
Ｌｂ２−Ｌｂ１＝０・・・（４）
Ｌ２−Ｌ１＝０・・・（５）

ここで、Ｌａ２−Ｌａ１をΔＬａ、Ｌｂ２−Ｌｂ１をΔＬｂ、Ｌｃ２−Ｌｃ１をΔＬｃ、
Ｌ２−Ｌ１をΔＬとして、装置稼働時定常状態到達時刻ｔ２の初期時刻ｔ０からのエンコーダ１２ａ、１２ｂ、１２ｃと加工装置７のそれぞれの相対位置関係の変化を表すと次式のようになる。
ΔＬａ−ΔＬ＝ΔＬａ―０＝ΔＬａ・・・（６）
ΔＬｂ−ΔＬ＝０−０＝０・・・（７）
ΔＬｃ−ΔＬ＝ΔＬｃ―０＝ΔＬｃ・・・（８）

（６）式はエンコーダ１２ａと加工装置７の位置関係、（７）式はエンコーダ１２ｂと加工装置７の位置関係、（８）式はエンコーダ１２ｃと加工装置７の位置関係を表している。（６）式および（８）式のように、初期時刻ｔ０に教示等の組立調整作業を行った後、装置稼働時定常状態到達時刻ｔ２になると、加工装置７との相対位置関係が崩れてしまい、精密な加工作業等を搬送台車１０上のワークに施すことが困難になる。

通常の場合、教示等の組立調整作業は搬送台車１０を連続動作中には行わない。すなわち、台車駆動コイル１３が発熱しておらず、搬送モジュール筺体１５が熱膨張する前の状態であり、初期時刻ｔ０の状態で行うということである。そのような調整を行った場合で、エンコーダ１２ａ、１２ｃにより搬送台車１０の加工装置７の停止位置における位置検出を行う。すると、組立調整作業時に教示した位置と、実際に加工装置７がワークの加工、生産を行う時、すなわち装置稼働時定常状態到達時刻ｔ２では台車が停止する位置が異なってしまう。

その他の場合として、教示等の組立調整の前にあらかじめ搬送台車１０の連続動作を行い、台車駆動コイル１３を発熱させて、定常状態になってから教示作業を行う方法も考えられる。しかしながら搬送台車１０を停止後に教示作業を開始し、台車駆動コイル１３が自然冷却される前に教示作業を完了しなくてはならない。そのため、教示作業と合わせて、加工装置７の精密な組立調整作業が必要な場合には、自然冷却される前に全ての組立調整作業を完了させるのは困難である。

一方、エンコーダ１２ｂにより搬送台車１０の加工装置７の停止位置における位置検出を行うと、初期時刻ｔ０と装置稼働時定常状態到達時刻ｔ２での相対位置変化がない。よって、台車駆動コイル１３の温度によらず、加工装置７による精密な加工作業等を搬送台車１０上のワークに施すことができる。

実際の装置稼働状態における架台０２の温度上昇は厳密に０ではなく、極わずかであるが、温度上昇する。従って、エンコーダブラケット１７ｂと加工装置７の取付部をできるかぎり近づけた方がより効果的である。

（第二の実施形態）
次に図５（ｂ）を用いて、本発明の第二実施形態の搬送台車１０および搬送モジュール１１の構成を説明する。

ここでは、第一の実施形態との違いについて説明し、第一の実施形態と同じ構成については同じ符号を付し、説明を省略する。まず、搬送台車１０の構成に関しては第一の実施形態と同じである。

次に、搬送モジュール１１について、第一の実施形態との違いを説明する。

搬送モジュール１１は３個のエンコーダ１２ａ、１２ｂ、１２ｃを備え、エンコーダ１２ａ、１２ｃは搬送モジュール筺体１５の側部の外側の側面であるエンコーダ取付面１８（図４中に図示）に設置されている。エンコーダ１２ｂは架台０２に設けられたエンコーダ外部取付部１０１に設置されているため、搬送モジュール筺体１５が熱膨張による影響を受けない構成になっている。

エンコーダ外部取付部１０１はベース（架台０２）上に設けられており、架台０２上には搬送モジュール筺体１５、エンコーダブラケット１７ｂ、加工装置７を含む加工システム００１を構成する全ての構成部品が設置されている。第二の実施形態では架台０２上にエンコーダ外部取付部１０１を設けたがこれに限らず、たとえば床面に直接設けてもよい。

搬送モジュール１１上の搬送台車１０を連続で動作させると台車駆動コイル１３が発熱し、搬送モジュール筺体１５が熱膨張することで、エンコーダ１２ａ，１２ｃの位置は変化していく。一方、エンコーダ外部取付部１０１を介してベース上に設けられたエンコーダ１２ｂの位置は変化せずに連続で動作させる前の位置を保っている。

図７において、１２１はセンサインターフェース、１２２はエンコーダ入力切替手段、１２３はサーボコントローラ、１２４はエンコーダ取付ピッチ記憶手段、１２５は演算制御部であり、下位コントローラ４３の機能部分である。

エンコーダ入力切替手段１２２にて、搬送台車の現在位置によって適切なエンコーダ１２を選択し、位置情報を入力する。その位置情報に基づきサーボコントローラ１２３より台車駆動コイル１３に駆動電流を出力する。

搬送台車１０が図示しない−Ｘ方向（紙面左方向）に隣り合う別の搬送モジュールから搬送モジュール１１に侵入すると、エンコーダ１２ａにより、搬送台車１０上のスケール３２の位置情報を読み取ることで搬送台車１０の動作を制御する。

搬送台車１０がさらに＋Ｘ方向（紙面右方向）に動作し、所定の位置を通過すると、エンコーダ入力切替手段１２２により、エンコーダ１２ｂによる位置検出に切り替える。さらにＸ方向に動作し、所定の位置を通過すると、エンコーダ１２ｃによる位置検出に切り替える。

エンコーダ１２ａとエンコーダ１２ｂの取付間隔をエンコーダ取付ピッチＬｅ１、エンコーダ１２ｂとエンコーダ１２ｃの取付間隔をエンコーダ取付ピッチＬｅ２とする。エンコーダ取付ピッチＬｅ１およびエンコーダ取付ピッチＬｅ２は搬送モジュール筺体１５の熱膨張するにつれて、序々に変化していく。

また、搬送台車１０上のスケール３２の長さをスケール長さＬｓとすると、以下の式の関係で構成される。
Ｌｅ１＜Ｌｓ・・・（９）
Ｌｅ２＜Ｌｓ・・・（１０）

（９）式、（１０）式が成り立つ関係であると、１本のスケール３２によってエンコーダ１２ａと１２ｂおよび、エンコーダ１２ｂと１２ｃを同時に位置検出することが可能である。同時に位置検出することにより、エンコーダ取付ピッチＬｅ１、エンコーダ取付ピッチＬｅ２を測定できる。

エンコーダ１２ａ、１２ｃは搬送モジュール筺体１５の熱膨張によって位置変化するが、エンコーダ１２ｂは搬送モジュール筺体１５の熱膨張による影響を受けない。従って、エンコーダ取付ピッチＬｅ１およびエンコーダ取付ピッチＬｅ２の変化を監視することによって、エンコーダ１２ｂに対するエンコーダ１２ａ、１２ｃの位置変化を監視することが可能である。

搬送モジュール１１の組立調整および教示の際に、搬送台車１０のスケール３２にて、エンコーダ取付ピッチＬｅ１、Ｌｅ２を測定する。その時の測定値をエンコーダ取付ピッチ記憶手段１２４に記憶させる。エンコーダ取付ピッチ記憶手段１２４に記憶したエンコーダ取付ピッチＬｅ１、Ｌｅ２の値と搬送台車１０動作中に測定したエンコーダ取付ピッチＬｅ１、Ｌｅ２の差分を考慮して、演算制御部１２５が搬送台車１０の動作指令を生成する。

エンコーダ１２によってスケール３２の位置情報を正確に検出するためには、エンコーダ１２とスケール３２のスキマ管理や高さ合わせ等の精密な位置調整が必要である。そのため、搬送モジュール筺体１５にエンコーダ１２が直接設置されていることが本来では理想的である。特に複数の搬送モジュール１１を連結し、長尺の搬送路を形成する場合や、複数の搬送台車１０を備える場合においては、エンコーダ１２の位置調整に膨大な組立調整工数を要する。しかし、エンコーダ取付ピッチ記憶手段１２４により、エンコーダ外部取付部１０１に設置されたエンコーダ１２ｂ基準で搬送モジュール筺体１５に設置されたエンコーダ１２ａ、１２ｃを監視する。これにより組立調整工数の削減と、搬送モジュール１１の全域に渡って熱膨張の影響を受けない構成との両立ができる。

（第三の実施形態）
次に図８、図９を用いて、本発明の第三の実施形態の搬送台車１０および搬送モジュール１１の構成を説明する。

図８は本発明の第三実施形態による搬送装置の構成を示す正面図であり、図９は本発明の第三実施形態による搬送装置の構成を示す断面図である。

ここでは、第一の実施形態との違いについて説明し、第一の実施形態と同じ構成については同じ符号を付し、説明を省略する。まず、搬送台車１０の構成に関しては第一の実施形態と同じである。

搬送モジュール１１に関する第一の実施形態との大きな差は３個のエンコーダ１２の何れもベースに設けられたエンコーダ外部取付部１０１に設置されていることである。すなわち、搬送モジュール１１の全域において、台車駆動コイル１３の発熱による搬送モジュール筺体１５の熱膨張の影響を受けない構成となっている。そして、エンコーダは、搬送モジュール筺体１５に滑りスペーサ等の熱変位緩和部を介して取り付けられている。

図９において、１０３は滑りスペーサであり、搬送モジュール筺体１５の側部の外側の側面１８とエンコーダブラケット１７の間に挟み込む形で設置されている。１０２は仮固定部材であり、エンコーダブラケット１７と滑りスペーサ１０３を搬送モジュール筺体１５の側部の外側の側面１８に仮固定するための部材である。１０４は固定部材であり、エンコーダブラケット１７をエンコーダ外部取付部１０１に固定するための部材である。

搬送モジュール１１を組立調整する際、まずエンコーダブラケット１７を、滑りスペーサ１０３を介して搬送モジュール筺体１５の側部の外側の側面１８に突き当てることで、スケール３２とエンコーダ１２を所定のスキマに組立調整することができる。次にエンコーダ１２のエンコーダブラケット１７に対するＺ方向の取付位置をスケール３２に合わせて組立調整する。組立調整が完了したら、仮固定部材１０２によって、エンコーダブラケット１７を搬送モジュール筺体１５の側部の外側の側面１８に仮固定する。

エンコーダブラケット１７が搬送モジュール筺体１５の側部の外側の側面１８に仮固定された状態で、搬送モジュール筐体１５を架台０２などのベース上の所定の取付位置に載置する。そして、隣接する搬送モジュール１１や加工装置７等の周辺装置との相対位置調整等を行ったのち、搬送モジュール筺体１５を架台に固定する。次に仮固定部材１０２を取り外し、最後に固定部材１０４によって、エンコーダブラケット１７をエンコーダ外部取付部１０１に固定する。

多くの場合、加工システム００１の組立調整の際には、搬送モジュール１１や加工装置７は組立調整作業のしやすい作業台等の上で、あらかじめある単位毎にユニット組立調整作業を行う。その後、架台０２にユニット組立調整された搬送モジュール１１や加工装置７を搭載し、それぞれの相対位置調整等の作業を行う。

搬送モジュール１１のユニット組立調整作業時に、搬送モジュール１１における搬送モジュール筺体１５に対してのエンコーダ１２の位置調整を実施しておくことにより、トータルの組立調整工数は削減できる。また、ユニット組立調整作業が完了し、架台０２に搭載するまでの間、保管、搬送等の管理を行うが、搬送モジュール１１とエンコーダ１２およびエンコーダブラケット１７を別々に管理するのは煩雑である。従って、仮固定部材１０２で連結することにより管理も容易になる。

さらに搬送モジュール筺体１５とエンコーダブラケット１７は滑りスペーサ１０３を介して接触しているが、固定されていない。搬送モジュール筺体１５が台車駆動コイル１３の発熱によって熱膨張すると、滑りスペーサ１０３と搬送モジュール筺体１０３およびエンコーダブラケット１７が滑りが発生する。エンコーダブラケット１７はエンコーダ外部取付部１０１に固定されているので、搬送モジュール筺体１５の熱膨張の影響を受けない。

滑りスペーサの材質は特に問わないが、摺動性が良好であり、断熱性の高い樹脂材やセラミック材を用いることが望ましい。

（第四の実施形態）
次に図１０、図１１を用いて、本発明の第四の実施形態の搬送台車１０および搬送モジュール１１の構成を説明する。

図１０は本発明の第四の実施形態の搬送装置の構成を示す正面図である。図１１は本発明の第四の実施形態の搬送装置の構成を示す断面図である。

搬送モジュール１１は上部解放の凹型構造をした搬送モジュール筺体１５の内壁に対向して設置された対の台車駆動コイル１３が設置されている。対の台車駆動コイルの間を搬送台車１０に設置された永久磁石３３および永久磁石ブラケット３４が通過するように構成されている。

台車駆動コイル１３は搬送モジュール筺体１５との間に断熱スペーサ２０を介して設置されている。台車駆動コイル１３にカバー用支柱２１が設置されており、カバー用支柱２１にはカバー１６が設置されている。搬送モジュール筺体１５には通し穴２２が設けられており、通し穴２２を通してカバー支柱２１が設置されている。

エンコーダ１２はエンコーダブラケット１７を介して搬送モジュール筺体１５のエンコーダ取付面１０５に設置されている。図１０において、エンコーダは一つの搬送モジュール１１に対して３つ設けられている例を示したがこれに限らず、少なくとも１つ以上のエンコーダを有していればよい。

台車ベース３０の下面にガイドブロック３５、永久磁石ブラケット３４が設置されており、Ｔ型構造となっている。スケール３２はスケールブラケット３１を介して、台車ベース３０の側面に設置されている。

エンコーダ取付面１０５に設置された直動ガイド１０７上にエンコーダブラケット１７、嵌合部材１１０が設置されており、直動ガイド１０７によりＸ方向に沿った方向に動作可能である。

嵌合部材１１０に嵌合し、Ｘ方向の位置を規制するためのカムフォロア１０８が連結材１０９に設置されており、連結材１０９は搬送モジュール筺体１５とは別の、架台０２等のベースに設けられたエンコーダ外部取付部１０１に設置されている。

ここで、嵌合部材１１０とカムフォロア１０８の嵌合部に関しては、スキマなく嵌合していることが望ましいため、偏心カムフォロアや、スキマ調整機構等を有し、スキマ調整が可能な構成であるほうが望ましい。

上記構成にて、搬送台車１０の動作が開始し、台車駆動コイル１３が発熱すると、搬送モジュール筺体１５は熱膨張する。搬送モジュール筺体１５が熱膨張すると、直動ガイド１０７が動作する。エンコーダ１２のＸ方向の位置はエンコーダ外部取付部１０１によって固定されているため、搬送モジュール筺体１５の熱膨張の影響を受けない。つまり、直動ガイド１０７が熱変位緩和部として機能する。

エンコーダ１２のＸ方向を除くその他の方向に関しては、エンコーダ取付面１０５に設置されているため、部品公差等の積み上げによってもエンコーダ１２とスケール３２の位置合わせが可能となり、組立調整作業工数が削減できる。

さらに、第二の実施形態に記載した方法により、エンコーダ１２のエンコーダ取付ピッチＬｅ１、Ｌｅ２を測定し、記憶させることで、Ｘ方向の取付位置調整も不要となる。

また、エンコーダ外部取付部１０１を架台０２でなく、加工装置７に設ける方法も考えられる。その場合、架台０２の微小な温度上昇による熱膨張の影響も取り除くことが可能となり、より効果が期待できる。

００１ 加工システム
０１ 搬送システム
０２ ベース
１ 搬送装置往路
２ 搬送装置復路
３ 台車移載装置
４ 台車移載装置
５ ワーク投入装置
６ ワーク排出装置
７ 加工装置
８ 遮断装置
１０ 搬送台車
１１ 搬送モジュール
１２ エンコーダ
１３ 台車駆動コイル
１４ ガイドレール
１５ 搬送モジュール筺体
１６ カバー
１７ エンコーダブラケット
１８ エンコーダ取付面
３０ 台車ベース
３１ スケールブラケット
３２ スケール
３３ 永久磁石
３４ 永久磁石ブラケット
３５ ガイドブロック

Claims (13)

1. スケールおよびセンサによって移動部の位置を検出しながら、コイルおよび磁石を用いて前記移動部を移動させる搬送装置において、
   第一の上部、第一の下部、および前記第一の上部と前記第一の下部とをつなぐ第一の側部を有する前記移動部と、
   第二の上部、第二の下部、および前記第二の上部と前記第二の下部とをつなぐ第二の側部を有する固定部と、を有し、
   前記第二の下部の下面は、ベースに接触し、
   前記第一の上部と前記第一の下部との間に前記第二の上部が挿入され、
   前記第二の上部の下面にコイルが取り付けられ、
   前記第一の下部の上面に磁石が取り付けられ、
   前記第一の上部にスケールが取り付けられ、
   前記スケールに対向する位置に検出部を有するセンサが前記第二の側部の外側の側面に取り付けられていることを特徴とする搬送装置。
2. 前記第一の上部の下面にガイドブロックが取り付けられ、
   前記第二の上部の上面にガイドレールが取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記センサは、前記第二の側部の外側の側面の中心部に取り付けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
4. 前記センサは、前記第二の側部の外側の側面に熱変位緩和部を介して取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至３いずれか一項に記載の搬送装置。
5. 前記熱変位緩和部は、滑りスペーサであることを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
6. 前記滑りスペーサは、樹脂あるいはセラミックであることを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
7. スケールおよびセンサによって移動部の位置を検出しながら、コイルおよび磁石を用いて前記移動部を移動させる搬送装置において、
   前記コイルを有する固定部と、
   前記磁石を有する移動部と、
   前記移動部に取り付けられたスケールと、
   前記スケールと対向する位置に検出部を有するセンサと、を有し、
   前記固定部はベースに取り付けられ、
   前記センサは、前記ベースに取り付けられていることを特徴とする搬送装置。
8. 前記センサは、前記固定部の側面に熱変位緩和部を介して取り付けられていることを特徴とする請求項７に記載の搬送装置。
9. 前記熱変位緩和部は、直動ガイドであることを特徴とする請求項７に記載の搬送装置。
10. 前記熱変位緩和部は、滑りスペーサであることを特徴とする請求項７に記載の搬送装置。
11. 前記滑りスペーサは、樹脂あるいはセラミックであることを特徴とする請求項１０に記載の搬送装置。
12. 請求項１乃至請求項１１のいずれか一項に記載された搬送装置と、前記移動部に固定されたワークに対して加工作業を施す加工装置と、を有することを特徴とする加工システム。
13. 請求項１２に記載の加工システムを用いて物品を製造する物品の製造方法であって、
    前記台車により前記ワークを搬送する工程と、前記ワークに対して、前記加工装置により前記加工作業を施す工程と、を有することを特徴とする物品の製造方法。

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