JP2001169529A

JP2001169529A - 移動体および移動体システム

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Publication number: JP2001169529A
Application number: JP34674099A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Nakagawa; 洋中川; Masaaki Naruhisa; 雅章成久; Yutaka Maeda; 豊前田; Katsuyoshi Nakano; 克好中野; Yosuke Muraguchi; 洋介村口
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1999-12-06
Filing date: 1999-12-06
Publication date: 2001-06-22

Abstract

(57)【要約】【課題】リニアモータで駆動されるコイルを備えた移
動体に搭載されるロボットなどにコイルの発生した熱が
伝達されることを低減する。【解決手段】レール２０上に沿って移動する移動体２
１は、磁界発生機構２４と作業用保持部材２５とを備え
ている。磁界発生機構２４は、レール２０に設けられた
二次側コア２２との間で磁界を発生する一次側コア２７
およびコイル２８を有しており、これらは支持部材２９
により支持されている。ここで、ロボットなどが搭載さ
れる作業用保持部材２５と支持部材２９との間には空間
Ｓが形成された状態で両者がボルト３０で結合されてい
る。これにより、コイル２８の発した熱が作業用保持部
材２５へ伝達されることを低減している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁界を発生により
推力を取得し、軌道に沿って移動可能な移動体、および
これを備える移動体システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体工場などにおいては、
半導体部品を搬送したり、作業ロボットを移動させる移
動体システムが用いられている。このような移動体シス
テムにおいては、リニアモータ方式やボールスクリュー
方式などがある。リニアモータを利用した方式は、ほこ
り等の発生が少なくクリーンであり、また静粛性にも優
れている。さらに、移動体の位置決め精度も高いといっ
た利点がある。この他にも、１つの軌道上に複数の移動
体を配置するが可能であるといった利点や、摩耗部分が
少なく耐久性に優れるといった利点など様々な利点があ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ここで、図１に従来の
リニアモータ方式を用いた移動体システムの構成を示
す。同図に示すように、このシステムでは、移動体３
は、図の紙面垂直方向に敷設された軌道１上をリニアガ
イド２により移動可能に案内支持されている。移動体３
は、コア４と、コア４に券回されるコイル５と、コア４
を支持する支持部材９とを備える磁界発生機構８を備え
ている。この磁界発生機構８では、コイル５に電流を供
給することにより、軌道１におけるコア４と対向する位
置に配置された二次側コア６との間に磁界を発生し、こ
れにより推力を発生して移動体３を移動させる。

【０００４】このような移動体３には、上述した推力を
発生する磁界発生機構８に加え、半導体部品を実装する
実装ヘッドなどが載置される載置部材７が設けられてい
る。ここで、載置部材７と上記磁界発生機構８の支持部
材９とがボルト１０により固定されている。従って、載
置部材７上に実装ヘッド等を搭載すれば、この実装ヘッ
ドを軌道１中の任意の位置に移動させることができるよ
うになっている。

【０００５】しかしながら、載置部材７に搭載される半
導体実装用ロボットなどは熱に弱い精密機械であるもの
も多く、この場合、磁界発生機構８のコイル５等が発生
した熱が支持部材９を介して大量に載置部材７に伝達し
てしまうと、誤動作や故障の原因となってしまうことが
ある。また、載置部材７が熱変形し、この変形により載
置されるロボット等の精度が低下してしまうと行った問
題もある。

【０００６】また、ロボットを搭載する以外にも、載置
部材７が部品搬送用に用いられた場合にも、熱に弱い部
品を搬送する場合には、磁界発生機構８の発生した熱が
大量に載置部材７に伝達することは部品故障等の原因と
なってしまう。

【０００７】さらに、上述したように伝達された熱が載
置部材７から軌道１に伝達されると、軌道１が熱変形し
て移動体３の進行方向に伸びてしまい（例えば、軌道１
が鉄の場合、長さ１ｍで温度が１℃上昇すると、１２μ
ｍ程度伸びる）、以下に説明するような問題が生じる。

【０００８】まず、リニアモータシステムでは、移動体
３の位置制御のために、軌道１に位置センサを設け、こ
の位置センサの検出結果に基づいて移動体３の停止位置
などを制御している。しかし、上述したように軌道１が
変形してしまうと、位置センサの取り付け位置が変化し
たり、熱によるセンサが誤動作したりするなどに起因し
て移動体３の位置制御に支障を来すことがあり得る。ま
た、軌道１が変形すると、このリニアモータシステムの
各部の位置が変動してしまい、原点などの絶対位置も変
動してしまう。また、Ｘ軸方向に沿った直線軌道を有す
るリニアモータシステム自体をＹ軸方向に駆動すること
により、ＸＹ平面における任意の位置に移動体３に搭載
されたロボット等を移動可能に設けるシステムにおい
て、軌道１が熱変形すると、以下に示すような問題が生
じる。上記のようなシステムでは、Ｘ軸方向に沿って設
けられた直線軌道の両端をＹ軸方向方向に移動可能な可
動部材に固定している。したがって、軌道が熱変形する
と、この軌道の両端を固定する可動部材に過大な応力が
かかり、Ｙ軸方向の駆動システムの寿命などに影響を及
ぼすこともあり得る。一方、Ｙ軸方向の駆動システムが
強固な構造である場合には、Ｘ軸方向の設けられた軌道
自体が変形してしまうこともあり得る。また、リニアパ
ルスモータのようにオープンループ制御を行うシステム
では、軌道１の変形が移動体３の位置決め精度に大きな
影響を及ぼすことになる。

【０００９】このような磁界発生機構８の発生した熱に
よる問題を解決するために、送風機等の冷却機能を移動
体３に搭載することも考えられるが、構成が複雑となっ
てしまう。

【００１０】本発明は、上記の事情を考慮してなされた
ものであり、簡易な構成でありながら、リニアモータを
利用した移動体システムにおいて、磁界発生機構の発生
した熱が搬送や実装などの作業を行う部位に伝達される
ことを低減するとともに、熱に起因する位置決め精度の
低下などの問題を抑制することが可能な移動体およびこ
れを備える移動体システムを提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１に記載の移動体は、軌道に沿って
移動可能に設けられ、リニアモータにより駆動される移
動体であって、前記軌道との間に磁界を発生させて該移
動体に推力を付与するコイルと、前記コイルを支持する
支持部材と、所定の作業を行う作業実行手段を保持する
作業用保持部材と、前記作業用保持部材と前記支持部材
とを結合する結合機構とを具備し、前記結合機構は、前
記作業用保持部材と前記支持部材との間に空間を形成し
た状態で両者を結合することを特徴としている。

【００１２】また、請求項２に記載の移動体は、請求項
１に記載の移動体において、前記結合手段は、前記作業
用保持部材と前記支持部材との間に部分的に配置される
スペーサを有しており、これにより前記作業用保持部材
と前記支持部材との間に空間を形成するようにしたこと
を特徴としている。

【００１３】また、請求項３に記載の移動体は、請求項
２に記載の移動体において、前記スペーサは、前記作業
用保持部材および前記支持部材よりも熱伝導率の低いも
のであることを特徴としている。

【００１４】また、請求項４に記載の移動体は、請求項
１に記載の移動体において、前記作業用保持部材および
前記支持部材のいずれか一方の部材には、他方の部材と
対向する位置に他方の部材側に突出する突起が形成され
ており、この突起を他方の部材に接触させることによ
り、前記作業用保持部材と前記支持部材との間に空間を
形成するようにしたことを特徴としている。

【００１５】また、請求項５に記載の移動体は、請求項
１に記載の移動体において、前記作業用保持部材および
前記支持部材のいずれか一方の部材には、他方の部材と
対向する位置に他方の部材側に突出する突起が形成され
ており、前記突起と前記他方の部材との間に配置され、
前記支持部材および前記作業用保持部材よりも熱伝導率
の小さい平板状の断熱部材をさらに具備し、前記断熱部
材と前記一方の部材との間に空間を形成するようにした
ことを特徴としている。

【００１６】また、請求項６に記載の移動体システム
は、請求項１ないし５のいずれかに記載の移動体と、前
記移動体を案内支持する軌道とを具備することを特徴と
している。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。まず、図２および図３は本発
明の一実施形態に係る移動体を備えた移動体システムの
構成を示す。図２に示すように、この移動体システム
は、所定の軌道に沿って敷設されたレール２０に沿って
移動体２１が移動可能になされており、その駆動方式は
リニアモータ方式である。図３に示すように、レール２
０は、上方が開放した断面コ字状の部材であり、その左
右の内周面に沿って二次側コア２２が設けられている。
また、レール２０の左右両端部２０ａには、それぞれリ
ニアガイド２３が設けられており、このリニアガイド２
３に移動体２１が支持されている。これにより、移動体
２１はレール２０に沿って移動することができるように
なっている。

【００１８】移動体２１は、大別すると、箱状のレール
２０の内部に配置され、上記二次側コア２２とともに磁
界を発生してこの移動体２１に推力を付与する磁界発生
機構２４と、磁界発生機構２４の上方に配置され、半導
体部品実装ヘッドなど所定の作業を実行する機器などを
搭載する作業用保持部材２５と、磁界発生機構２４と作
業用保持部材２５とを連結する結合機構２６とを備えて
いる。

【００１９】磁界発生機構２４は、上述したレール２０
に沿って設けられる各二次側コア２２に対向する位置に
設けられる一次側コア２７と、各一次側コア２７に券回
されるコイル２８と、一次側コア２７およびこれに券回
されるコイル２８を支持する支持部材２９とを備えてい
る。ここで、図４を参照しながら、磁界発生機構２４と
レール２０に設けられた二次側コア２２とによる移動体
２１の具体的な駆動構成例について説明する。本実施形
態では、二次側コア２２と、一次側コア２７およびコイ
ル２８とは、支持部材２９を挟んで２組設けられている
が、両者は同一の原理で動作するため、一方のみを図示
してその動作原理について説明する。

【００２０】図４に示すように、レール２０に設けられ
た二次側コア２２の一次側コア２７と対向する面には、
歯部２２ａが長手方向に沿って等間隔に形成されてい
る。移動体２１の一次側コア５７は、コ字状のＡ相鉄心
７０およびＢ相鉄心７１と、Ａ相鉄心７０のＡ相磁極７
０ａおよび相磁極７０ｂに券回されるコイル２８ａ，２
８ｂと、Ｂ相鉄心７１のＢ相磁極７１ａおよび相磁極７
１ｂに券回されるコイル２８ｃ，２８ｄと、Ａ相鉄心７
０およびＢ相鉄心７１の二次側コア５２と反対側の面に
設けられた永久磁石７２，７３と、永久磁石７２，７３
に取り付けられた板状の磁性体によって構成されるバッ
クプレート７４とから構成されている。Ａ相磁極７０ａ
の二次側コア２２と対向する面には、歯部２２ａのピッ
チＰと同一ピッチで３個の極歯７５ａが形成されてお
り、その他の磁極７０ｂ，７１ａ，７１ｂにも同様に３
個の極歯７６ｂ，７７ａ，７７ｂが形成されている。ま
た、各磁極７０ｂ，７１ａ，７１ｂはＡ相磁極７０ａに
対して順次Ｐ／４ずつずらして配置され、これにより各
磁極７０ｂ，７１ａ，７１ｂは互いに位相が９０°ずつ
異なった位置関係となっている。このような構成の下、
コイル２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄに一相励磁方式
等によりパルス信号を供給することにより、コイル２８
ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄに順次発生する磁束と、永
久磁石７２，７３が発生する磁束とが各磁極７０ａ，７
０ｂ，７１ａ，７１ｂにおいて順次加減され、二次側コ
ア２２に対する移動体２１の磁気的安定位置が順次移動
し、これにより移動体２１が二次側コア２２に沿った方
向、つまりレール２０に沿って移動させられる。これ
は、一般的なリニアパルスモータの構成であるが、この
他にも、例えば特開平３−１２４２５９号公報に記載さ
れたリニアパルスモータ方式などを用いるようにしても
よい。

【００２１】図３に戻り、作業用保持部材２５は、略板
状の部材であり、その図の左右両端側において上述した
リニアガイド２３に支持されている。また、作業用保持
部材２５の上面には、所定の作業を実行するための装置
等が搭載されている。例えば、半導体部品実装作業を実
行する場合には、半導体部品実装ヘッドや半導体部品搬
送用ロボットなどが搭載され、単に半導体部品を搬送す
る作業を実行する場合には、半導体部品等を収容するラ
ックなどが搭載されることになる。なお、作業用保持部
材２５が搭載する作業用機器としては、上述した半導体
製造に関わるものに限定されるものではなく、他の用途
に用いられるロボット等であってもよい。

【００２２】作業用保持部材２５の下面には、結合機構
２６により磁界発生機構２４の支持部材２９が結合され
ている。これにより、作業用保持部材２５およびこれに
搭載されるロボットなどは、レール２０上の任意の位置
に移動することができるようになっている。

【００２３】ここで、図５は結合機構２６による磁界発
生機構２４と作業用保持部材２５の結合構造を示す分解
斜視図である。同図に示すように、この結合機構２６
は、複数のボルト３０を有しており、このボルト３０に
より作業用保持部材２５と支持部材２９とを結合してい
る。また、これらのボルト３０は、作業用保持部材２５
と支持部材２９の間に配置される円筒状のスペーサ３１
に挿通させられている。これにより、スペーサ３１が支
持部材２９の上面と作業用保持部材２５の下面との間に
介在した状態で作業用保持部材２５と支持部材２９が結
合され、作業用保持部材２５の下面と支持部材２９の上
面の間に空間Ｓが形成されるようになっている。

【００２４】この構成の下、この移動体システムでは、
上述したように移動体２１のコイル２８に順次電流を供
給することにより、一次側コア２７およびコイル２８と
二次側コア２２との間に磁界が発生し、これにより移動
体２１に推力が付与され、移動体２１が移動する。この
とき、電流が供給されたコイル２８は発熱することにな
る。コイル２８の発した熱は、コイル２８が券回される
一次側コア２７を介して支持部材２９に伝達される。そ
して、支持部材２９に伝達された熱はその上面側にも伝
達されるが、本実施形態では、上記のように支持部材２
９の上面と作業用保持部材２５の下面との間にスペーサ
３１が介在させられ、両者の間に空間Ｓが形成されてい
る、つまり熱伝導率の小さい空気が両者の面間に介在さ
せられている。このため、図１に示した従来の構造のも
の比較して、支持部材２９から作業用保持部材２５への
熱の伝達を大幅に低減することができ、作業用保持部材
２５の温度上昇を抑制することができる。この際、上記
スペーサ３１として、一般的に鉄が用いられる支持部材
２９や作業用保持部材２５よりも熱伝導率の小さい断熱
材を用いるようにすれば、その効果がより顕著になる。
また、移動体２１が移動した場合、この空間Ｓ内の空気
が移動体２１に対して相対的に流れることになり、空冷
効果が得られ、磁界発生機構２４や作業等保持部材２５
の両者を同時に冷却することができる。従って、作業用
保持部材２５上に熱に弱いロボットや部品などを搭載し
た場合にも、ロボットや部品などがコイル２８の発した
熱に起因して損傷したりすることを低減できる。また、
作業用保持部材２５に伝達される熱が少なく、また上述
したような冷却効果も得られるため、作業用保持部材２
５の熱変形を低減できる。従って、作業用保持部材２５
の変形に起因する実装ヘッド等の装置の精度の低下を低
減することができる。

【００２５】また、上記のように作業用保持部材２５へ
の熱伝達の抑制等により、作業用保持部材２５からリニ
アガイド２３を介してレール２０に伝達される熱量も低
減され、レール２０の温度上昇を抑制できる。これによ
り、レール２０の熱変形を低減することができ、レール
２０の熱変形に起因する移動体２１の位置決め精度の低
下を抑制することができる。

【００２６】また、このように作業用保持部材２５の温
度上昇を抑制するために、送風装置などの冷却用機器を
設けるわけではなく、作業用保持部材２５と支持部材２
９との間にスペーサ３１を配置しているだけであるた
め、構成も簡易である。

【００２７】なお、本発明は、上述した実施形態に限定
されるものではなく、例えば上述した実施形態のレール
２０に設けられる二次側コア２２の代わりにマグネット
を配置した構成のリニアモータであってもよい。要する
に、移動体２１がレール２０側との間で磁界を発生させ
るためのコイルを有するリニアモータの構成であれば、
本発明を適用することが可能である。

【００２８】また、上述した実施形態においては、作業
用保持部材２５の下面と支持部材２９の上面との間にス
ペーサ３１を配置することにより、作業用保持部材２５
の下面と支持部材２９の上面との間に空間Ｓを形成する
ようにしていたが、図６に示すように、支持部材２９の
上面の複数箇所に上方に突出する突起４１を一体形成し
ておき、これにより上記実施形態と同様に作業用保持部
材２５の下面と支持部材２９の上面との間に空間Ｓを形
成するようにしてもよい。また、作業用保持部材２５の
下面の複数箇所に下方に突出する突起を設けて空間Ｓを
形成するようにしてもよい。

【００２９】さらに、本発明を図７に示すようなＸＹ平
面における任意の位置に移動体２１を移動させるシステ
ムに適用するようにしてもよい。同図に示すように、こ
の移動体システムは、Ｘ軸方向に上記実施形態における
レール２０が敷設されており、このレール２０に沿って
移動可能に設けられる移動体２１とを有する第１移動体
機構１３２を、Ｘ軸と直交するＹ軸方向に移動させる第
２移動体機構１３３を備えている。

【００３０】第２移動体機構１３３は、レール２０の両
端側にそれぞれ設けられるボールスクリュー１４０と、
ボールスクリュー１４０を駆動するモータ１４１とを備
えている。各ボールスクリュー１４０には、ボールスク
リュー１４０の回転によりＹ軸方向に移動させられる移
動架台１４２が設けられており、各移動架台４２にレー
ル２０の両端部がそれぞれ固定されている。これによ
り、レール２０は移動架台１４２の移動に伴ってＹ軸方
向に移動させられるようになっている。

【００３１】この構成の下、モータ１４１は、図示せぬ
制御回路等から入力されるＹ座標を示す位置情報に基づ
いて、ボールスクリュー１４０を回転駆動し、位置情報
に示される位置（Ｙ座標）に移動架台４２に固定された
レール２０を移動させる。このとき、図示せぬ制御回路
からは第１移動体機構１３２にＸ座標を示す位置情報が
入力される。この情報を取得した第１移動体機構１３２
では、位置情報に示される位置（Ｘ座標）に位置するよ
うに移動体２１を移動させる。この移動体システムで
は、このようにして移動体２１をＸＹ平面内の任意の位
置に移動させることができるようになっている。

【００３２】このようなＸＹ平面において任意に移動体
２１を移動させるシステムでは、上記のようにレール２
０の両端を移動架台１４２に固定している。ここで、レ
ール２０は、上述した実施形態で説明したようにその温
度上昇が抑制されており、熱変形がほとんど生じない。
従って、移動架台１４２は、レール２０の変形に起因す
る過大な応力を受けることがなく、移動架台１４２およ
びこれをＹ軸方向に駆動する第２移動体機構１３３に損
傷等、例えば移動架台１４２のＸ軸方向への変位による
ボールスクリュー１４０の損傷等を低減し、システムに
悪影響を及ぼすことを低減できる。なお、この移動体シ
ステムにおいては、Ｙ軸方向の駆動システムとしてボー
ルスクリュー方式を用いているが、Ｙ軸方向の駆動方式
としてリニアモータを採用してもよい。

【００３３】また、図８に示すように、支持部材２９の
上面に凹凸形状とし、支持部材２９の上面と作業用保持
部材２５の下面との間に複数の空間Ｓを設けた状態で両
者を結合するようにしてもよい。この場合、支持部材２
９の上面に設ける凹凸は移動体２１の進行方向に沿って
延在するものであってもよいし、部分的に設けるもので
あってもよい。また、支持部材２９の上面ではなく、作
業用保持部材２５の下面を凹凸形状とするようにしても
よい。

【００３４】また、上記のように支持部材２９の上面に
凹凸形状を設けた場合、図９に示すように、その凸部と
作業用保持部材２５の間に、支持部材２９や作業用保持
部材２５よりも熱伝導率の小さい断熱シート２００を介
在させるようにしてもよい。このようにした場合、上記
実施形態と同様に複数の空間Ｓが形成されるとともに、
作業用保持部材２５と支持部材２９との間に熱伝導率の
小さい断熱シート２００が介在させられることになる。
従って、作業用保持部材２５の温度上昇をさらに低減す
ることができる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
簡易な構成でありながら、リニアモータを利用した移動
体システムにおいて、搬送や実装などの作業を行う部位
に駆動により発生した熱が伝達することを低減すること
ができる。また、磁界発生機構の発生した熱のレール軌
道への伝達を抑制し、レール軌道の熱変形に起因する移
動体システムの精度低下などの問題を低減することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のリニアモータの構成を示す断面図であ
る。

【図２】本発明の一実施形態に係る移動体を備えた移
動体システムの外観を示す斜視図である。

【図３】実施形態に係る前記移動体を備えた前記移動
体システムの構成を示す断面図である。

【図４】実施形態に係る前記移動体を備えた前記移動
体システムの動作原理を説明するための図である。

【図５】実施形態に係る前記移動体の磁界発生機構と
作業用保持部材との結合構造を説明するための分解斜視
図である。

【図６】実施形態に係る前記移動体の変形例における
磁界発生機構と作業用保持部材との結合構造を説明する
ための分解斜視図である。

【図７】実施形態に係る前記移動体を備えた移動体シ
ステムの変形例を示す斜視図である。

【図８】実施形態に係る前記移動体のその他の変形例
における磁界発生機構と作業用保持部材との結合構造を
説明するための断面図である。

【図９】実施形態に係る前記移動体のさらにその他の
変形例における磁界発生機構と作業用保持部材との結合
構造を説明するための分解斜視図である。

【符号の説明】

２０……レール、２１……移動体、２２……二次側コ
ア、２３……リニアガイド、２４……磁界発生機構、２
５……作業用保持部材、２６……結合機構、２７……一
次側コア、２８……コイル、２９……支持部材、３０…
…ボルト、３１……スペーサ、４１……突起、２００…
…断熱シート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０２Ｋ 41/02 Ｈ０２Ｋ 41/02 Ｃ (72)発明者前田豊三重県伊勢市竹ケ鼻町100 神鋼電機株式会社伊勢事業所内 (72)発明者中野克好三重県伊勢市竹ケ鼻町100 神鋼電機株式会社伊勢事業所内 (72)発明者村口洋介三重県伊勢市竹ケ鼻町100 神鋼電機株式会社伊勢事業所内Ｆターム(参考） 3F021 AA01 BA02 CA01 DA04 3F060 AA01 CA01 GA01 GA13 HA00 HA17 HA28 5F031 GA57 HA53 HA57 KA06 LA08 LA12 PA11 5H641 BB10 BB18 GG03 GG04 GG12 HH03 HH05 HH07 HH10 HH11 HH13 HH14 JA09 JB01 JB02 JB03 JB10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】軌道に沿って移動可能に設けられ、リニ
アモータにより駆動される移動体であって、前記軌道との間に磁界を発生させて該移動体に推力を付
与するコイルと、前記コイルを支持する支持部材と、所定の作業を行う作業実行手段を保持する作業用保持部
材と、前記作業用保持部材と前記支持部材とを結合する結合機
構とを具備し、前記結合機構は、前記作業用保持部材と前記支持部材と
の間に空間を形成した状態で両者を結合することを特徴
とする移動体。
【請求項２】前記結合手段は、前記作業用保持部材と
前記支持部材との間に部分的に配置されるスペーサを有
しており、これにより前記作業用保持部材と前記支持部
材との間に空間を形成するようにしたことを特徴とする
請求項１に記載の移動体。
【請求項３】前記スペーサは、前記作業用保持部材お
よび前記支持部材よりも熱伝導率の低いものであること
を特徴とする請求項２に記載の移動体。
【請求項４】前記作業用保持部材および前記支持部材
のいずれか一方の部材には、他方の部材と対向する位置
に他方の部材側に突出する突起が形成されており、この
突起を他方の部材に接触させることにより、前記作業用
保持部材と前記支持部材との間に空間を形成するように
したことを特徴とする請求項１に記載の移動体。
【請求項５】前記作業用保持部材および前記支持部材
のいずれか一方の部材には、他方の部材と対向する位置
に他方の部材側に突出する突起が形成されており、前記突起と前記他方の部材との間に配置され、前記支持
部材および前記作業用保持部材よりも熱伝導率の小さい
平板状の断熱部材をさらに具備し、前記断熱部材と前記一方の部材との間に空間を形成する
ようにしたことを特徴とする請求項１に記載の移動体。
【請求項６】請求項１ないし５のいずれかに記載の移
動体と、前記移動体を案内支持する軌道とを具備することを特徴
とする移動体システム。