JPWO2007013289A1 - リニアモータ - Google Patents
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Abstract
リニアモータ本来の推力発生方向に対し、それに直交する非推力方向へリニアモータが変位しても、所望の推進力が維持されるリニアモータを提供する。界磁となる永久磁石(1)と永久磁石(1)に磁気的空隙をおいて対向配置されるコイル(2)とからなり、永久磁石(1)とコイル(2)のいずれか一方が可動子であり他方が固定子であるリニアモータにおいて、可動子に生じる推力発生方向と直交する方向の永久磁石1の長さが、可動子が前記直交方向に変位してもコイル(2)の直交方向の端部が永久磁石1の直交方向の端部からはみ出ない長さとした。
Description
本発明は、半導体関連製造装置、実装機械、加工機械などの産業用装置に実用されているリニアモータに関する。
本発明は、例えば、電気部品実装装置、半導体関連装置あるいは工作機械などの各種産業機械に使用されると共に、その直動機構の駆動用に好適なリニアモータに関し、永久磁石よりなる界磁を可動子とし、電機子コイルを有した電機子を固定子として構成するム−ビングマグネット形(Moving Magnet)形リニアモータや、または電機子コイルを可動子とし、永久磁石を固定子として構成するム−ビングコイル形(Moving Coil)形リニアモータに関する。
従来、電気部品実装装置、半導体関連装置あるいは工作機械などの各種産業機械に使用されると共に、その直動機構の駆動用に好適なリニアモータは、図5に示すようになっている。図5はム−ビングマグネット形リニアモータの従来技術を示すもので、(a)はその平面図、(b)は(a)のB―B線に沿う正断面図であり、(a)は(b)の矢視Aから透視した図に相当する。
図5において、21は固定ベース、22はマグネットトラック、23は界磁永久磁石、24は界磁ヨーク、25はガイドレール、26はガイドブロック、27はセンサヘッド、28はリニアスケール部、29はストッパ、30は電機子、31は電機子コイル、32は結線基板である。
リニアモータは、界磁永久磁石23の背面に界磁ヨーク24を設けて、界磁ヨーク24が可動子と磁気回路を兼用している。また、電機子30は、結線基板32上に固着されたスロットレスの電機子コイル31を複数備えた構造を有すると共に、ソリッドの磁性部材でできた固定ベース21上に可動子と磁気的空隙を介して配置されて、固定子を構成している。なお、結線基板32には界磁永久磁石23に対向するように磁極検出を行うための複数の図示しないホール素子を埋め込むようになっている。該ホール素子(不図示)は、電源をONさせた初期の時点で何れかの、ホール素子から対向する界磁磁石の位置を検出して、検出された界磁磁石23の位置に合わせて駆動電流を電機子コイル31に流すための検出信号を出力する(例えば、特許文献1参照)。
この電機子30の両側には、平行するガイドレール25が固定ベース21上に固定され、ガイドレール25上には、該レール上を摺動するガイドブロック26が界磁ヨーク24の両端の下部に固定されている。さらに、可動子の側面には、リニア形のエンコーダを構成する磁気式のリニアスケール28が配設され、このリニアスケール28に対向するように固定ベース21に該リニアスケール28を検出するセンサヘッド27が配設されている。それから、2本のガイドレール25の端部の間には可動子のオーバランを防止するためのストッパ29が設けられている。
このリニアモータは界磁永久磁石23の磁束が、固定ベース21に鎖交する磁気回路構造になっており、また、電機子コイル31を励磁すると、界磁と電機子とで作られる移動磁界により可動子を、電機子長と可動子長の差であるストローク内で直線移動するようになっている(例えば、特許文献1および2を参照)。
特開平9−266659号公報(明細書第5頁、図3)
特開2002−10617(明細書第7頁〜9頁、図1、図3)
従来、電気部品実装装置、半導体関連装置あるいは工作機械などの各種産業機械に使用されると共に、その直動機構の駆動用に好適なリニアモータは、図5に示すようになっている。図5はム−ビングマグネット形リニアモータの従来技術を示すもので、(a)はその平面図、(b)は(a)のB―B線に沿う正断面図であり、(a)は(b)の矢視Aから透視した図に相当する。
図5において、21は固定ベース、22はマグネットトラック、23は界磁永久磁石、24は界磁ヨーク、25はガイドレール、26はガイドブロック、27はセンサヘッド、28はリニアスケール部、29はストッパ、30は電機子、31は電機子コイル、32は結線基板である。
リニアモータは、界磁永久磁石23の背面に界磁ヨーク24を設けて、界磁ヨーク24が可動子と磁気回路を兼用している。また、電機子30は、結線基板32上に固着されたスロットレスの電機子コイル31を複数備えた構造を有すると共に、ソリッドの磁性部材でできた固定ベース21上に可動子と磁気的空隙を介して配置されて、固定子を構成している。なお、結線基板32には界磁永久磁石23に対向するように磁極検出を行うための複数の図示しないホール素子を埋め込むようになっている。該ホール素子(不図示)は、電源をONさせた初期の時点で何れかの、ホール素子から対向する界磁磁石の位置を検出して、検出された界磁磁石23の位置に合わせて駆動電流を電機子コイル31に流すための検出信号を出力する(例えば、特許文献1参照)。
この電機子30の両側には、平行するガイドレール25が固定ベース21上に固定され、ガイドレール25上には、該レール上を摺動するガイドブロック26が界磁ヨーク24の両端の下部に固定されている。さらに、可動子の側面には、リニア形のエンコーダを構成する磁気式のリニアスケール28が配設され、このリニアスケール28に対向するように固定ベース21に該リニアスケール28を検出するセンサヘッド27が配設されている。それから、2本のガイドレール25の端部の間には可動子のオーバランを防止するためのストッパ29が設けられている。
このリニアモータは界磁永久磁石23の磁束が、固定ベース21に鎖交する磁気回路構造になっており、また、電機子コイル31を励磁すると、界磁と電機子とで作られる移動磁界により可動子を、電機子長と可動子長の差であるストローク内で直線移動するようになっている(例えば、特許文献1および2を参照)。
図6は従来の三相のACリニアモータの一例で、可動子と固定子のみを示している。(a)は平面図、(b)はリニアモータの進行方向に直角な方向(X方向)から見た正面図である。図において、このリニアモータは、複数(図で6個)の永久磁石1がX方向に平行にY方向に並設され、これらと磁気的空隙を介して複数(図で3個)のコイル2がX方向に平行にY方向に並設されている。
永久磁石1とコイル2は、ここではどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。可動子はY方向(図で上下方向)に距離Aを移動することができる。
X方向には推進力が働かないので、永久磁石1のX方向の長さはコイル2のX方向の長さとほぼ等しいか若干小さめとなっている。
永久磁石1とコイル2は、ここではどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。可動子はY方向(図で上下方向)に距離Aを移動することができる。
X方向には推進力が働かないので、永久磁石1のX方向の長さはコイル2のX方向の長さとほぼ等しいか若干小さめとなっている。
図7は従来のDCリニアモータの一例で、可動子と固定子のみを示している。(a)は平面図、(b)はリニアモータの進行方向に直角な方向(X方向)から見た正面図である。図において、このリニアモータは、2個の永久磁石1がX方向に平行にY方向に並設され、これらと磁気的空隙を介して1個のコイル2がX方向に平行に配置されている。永久磁石1とコイル2は、ここでもどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。可動子はY方向(図で上下方向)に距離Aを移動することができる。推力発生方向のストロークが短い場合などは、このような単純なDCリニアモータとするのが有利である。
なお、ここでもX方向には推進力が働かないので、永久磁石1のX方向の長さはコイル2のX方向の長さとほぼ等しいか若干小さめとなっている。
なお、ここでもX方向には推進力が働かないので、永久磁石1のX方向の長さはコイル2のX方向の長さとほぼ等しいか若干小さめとなっている。
以上のように、従来のリニアモータは三相のACリニアモータにあってもDCリニアモータにあっても、推力発生方向(Y方向)のストロークに十分な永久磁石およびコイル長さしか有しておらず、推力方向に直交する非推力方向(X方向)に移動し、永久磁石1とコイル2の相対位置が変化した場合、推力に貢献しているその対向面積が減少し、推力低下を起こしていた。
従って、リニアモータを組み合わせて二方向以上の可動範囲を持つステージ構成とした場合、下位のリニアモータは上位のリニアモータ全体を抱えて可動する必要があり、リニアモータ全体を抱えて動く下位のリニアモータには高負荷となっていた。
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、リニアモータ本来の推力発生方向に対し、それに直交する非推力方向へリニアモータが変位しても、所望の推進力が維持されるリニアモータを提供することを目的としている。
従って、リニアモータを組み合わせて二方向以上の可動範囲を持つステージ構成とした場合、下位のリニアモータは上位のリニアモータ全体を抱えて可動する必要があり、リニアモータ全体を抱えて動く下位のリニアモータには高負荷となっていた。
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、リニアモータ本来の推力発生方向に対し、それに直交する非推力方向へリニアモータが変位しても、所望の推進力が維持されるリニアモータを提供することを目的としている。
上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したものである。
請求項1記載のリニアモータの発明は、界磁となる永久磁石と前記永久磁石に磁気的空隙をおいて対向配置されるコイルとからなり、前記永久磁石と前記コイルのいずれか一方が可動子であり他方が固定子であるリニアモータにおいて、前記可動子に生じる推力発生方向と直交する方向の前記永久磁石の長さが、前記可動子が前記直交方向に変位しても前記コイルの前記直交方向の端部が前記永久磁石の前記直交方向の端部からはみ出ない長さであることを特徴としている。
請求項2記載のリニアモータの発明は、界磁となる永久磁石と前記永久磁石に磁気的空隙をおいて対向配置されるコイルとからなり、前記永久磁石と前記コイルのいずれか一方が可動子であり他方が固定子であるリニアモータにおいて、前記可動子に生じる推力発生方向と直交する方向の前記コイルの長さが、前記可動子が前記直交方向に変位しても前記永久磁石の前記直交方向の端部が前記コイルの前記直交方向の端部からはみ出ない長さであることを特徴としている。
請求項3記載のDC単相リニアモータの発明は、請求項1又は2記載の前記永久磁石の複数個と前記コイルの1個とから成ることを特徴としている。
請求項4記載の交流3相リニアモータの発明は、請求項1又は2記載の前記永久磁石の複数個と前記コイルの複数個とから成ることを特徴としている。
請求項1記載のリニアモータの発明は、界磁となる永久磁石と前記永久磁石に磁気的空隙をおいて対向配置されるコイルとからなり、前記永久磁石と前記コイルのいずれか一方が可動子であり他方が固定子であるリニアモータにおいて、前記可動子に生じる推力発生方向と直交する方向の前記永久磁石の長さが、前記可動子が前記直交方向に変位しても前記コイルの前記直交方向の端部が前記永久磁石の前記直交方向の端部からはみ出ない長さであることを特徴としている。
請求項2記載のリニアモータの発明は、界磁となる永久磁石と前記永久磁石に磁気的空隙をおいて対向配置されるコイルとからなり、前記永久磁石と前記コイルのいずれか一方が可動子であり他方が固定子であるリニアモータにおいて、前記可動子に生じる推力発生方向と直交する方向の前記コイルの長さが、前記可動子が前記直交方向に変位しても前記永久磁石の前記直交方向の端部が前記コイルの前記直交方向の端部からはみ出ない長さであることを特徴としている。
請求項3記載のDC単相リニアモータの発明は、請求項1又は2記載の前記永久磁石の複数個と前記コイルの1個とから成ることを特徴としている。
請求項4記載の交流3相リニアモータの発明は、請求項1又は2記載の前記永久磁石の複数個と前記コイルの複数個とから成ることを特徴としている。
請求項1および請求項2の発明によれば、下位のリニアモータは上位のリニアモータの全体を動かす必要はなく、上位リニアモータの可動子のみを動かしても推力発生に貢献している永久磁石とコイルの相対面積が変化することはなく、推力低下を招くことはない。
従って、下位リニアモータの負荷質量を大幅に軽減することが可能であり、装置小型化または装置高性能化などに大きく貢献することができる。
請求項3および請求項4の発明によれば、推力発生に貢献している永久磁石とコイルの相対面積が変化することのない、したがってまた、推力低下を招くことのないDC単相リニアモータや交流3相リニアモータが得られる。
従って、下位リニアモータの負荷質量を大幅に軽減することが可能であり、装置小型化または装置高性能化などに大きく貢献することができる。
請求項3および請求項4の発明によれば、推力発生に貢献している永久磁石とコイルの相対面積が変化することのない、したがってまた、推力低下を招くことのないDC単相リニアモータや交流3相リニアモータが得られる。
1 永久磁石
2 コイル
21 固定ベース
22 マグネットトラック
23 界磁永久磁石
24 界磁ヨーク
25 ガイドレール
26 ガイドブロック
27 センサヘッド
28 リニアスケール部
29 ストッパ
30 電機子
31 電機子コイル
32 結線基板
2 コイル
21 固定ベース
22 マグネットトラック
23 界磁永久磁石
24 界磁ヨーク
25 ガイドレール
26 ガイドブロック
27 センサヘッド
28 リニアスケール部
29 ストッパ
30 電機子
31 電機子コイル
32 結線基板
以下、本発明の実施形態について図を参照して説明する。
〈実施例1〉
図1は、本発明の実施例1に係る三相ACリニアモータの一例で、可動子と固定子のみを示している。(a)は平面図、(b)はリニアモータの進行方向に直角な方向(X方向)から見た正面図である。図において、このリニアモータは、複数(図で6個)の永久磁石1がX方向に平行にY方向に並設され、これらと磁気的空隙を介して複数(図で3個)のコイル2がX方向に平行にY方向に並設されている。
永久磁石1とコイル2は、ここではどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。コイルに通電することにより、本リニアモータは図のY方向へ推力を発生する。また、本リニアモータ自身の推力方向ストロークは±Aである。
本発明の実施例1によれば、永久磁石1のX方向の長さは、可動子がX方向に変位してもコイル2のX方向の端部が永久磁石1のX方向の端部からはみ出ない長さ(X方向永久磁石長≫X方向コイル長)としている。
このように構成することにより、例えば図のX方向へコイル2が±B移動してもその対抗する面積は変化しないので、推力発生に貢献している永久磁石1とコイル2の相対面積が変化しないため、推力低下を招くことがない。したがって、永久磁石1を固定子に、コイル2を可動子とした場合、図示しない下位のリニアモータはコイル2のみを可動すれば良く、永久磁石1の分の負荷質量を軽減することができる。通常、永久磁石1はコイル2に鎖交する磁束密度を上げるため鉄部材に接合されており、それを含めると大幅な負荷低減となる。この場合、コイル2を可動子にすることが有利である。
〈実施例1〉
図1は、本発明の実施例1に係る三相ACリニアモータの一例で、可動子と固定子のみを示している。(a)は平面図、(b)はリニアモータの進行方向に直角な方向(X方向)から見た正面図である。図において、このリニアモータは、複数(図で6個)の永久磁石1がX方向に平行にY方向に並設され、これらと磁気的空隙を介して複数(図で3個)のコイル2がX方向に平行にY方向に並設されている。
永久磁石1とコイル2は、ここではどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。コイルに通電することにより、本リニアモータは図のY方向へ推力を発生する。また、本リニアモータ自身の推力方向ストロークは±Aである。
本発明の実施例1によれば、永久磁石1のX方向の長さは、可動子がX方向に変位してもコイル2のX方向の端部が永久磁石1のX方向の端部からはみ出ない長さ(X方向永久磁石長≫X方向コイル長)としている。
このように構成することにより、例えば図のX方向へコイル2が±B移動してもその対抗する面積は変化しないので、推力発生に貢献している永久磁石1とコイル2の相対面積が変化しないため、推力低下を招くことがない。したがって、永久磁石1を固定子に、コイル2を可動子とした場合、図示しない下位のリニアモータはコイル2のみを可動すれば良く、永久磁石1の分の負荷質量を軽減することができる。通常、永久磁石1はコイル2に鎖交する磁束密度を上げるため鉄部材に接合されており、それを含めると大幅な負荷低減となる。この場合、コイル2を可動子にすることが有利である。
〈実施例2〉
図2は、本発明の実施例2に係る三相ACリニアモータの一例で、可動子と固定子のみを示している。(a)は平面図、(b)はリニアモータの進行方向に直角な方向(X方向)から見た正面図である。図において、このリニアモータは、複数(図で6個)の永久磁石1がX方向に平行にY方向に並設され、これらと磁気的空隙を介して複数(図で3個)のコイル2がX方向に平行にY方向に並設されている。
永久磁石1とコイル2は、ここではどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。コイルに通電することにより、本リニアモータは図のY方向へ推力を発生する。また、本リニアモータ自身の推力方向ストロークは±Aである。
本発明の実施例2によれば、コイル2のX方向の長さは、可動子がX方向に変位しても永久磁石1のX方向の端部がコイル2のX方向の端部からはみ出ない長さ(X方向コイル長≫X方向永久磁石長)としている。
このように構成することにより、例えば図のX方向へ永久磁石1が±B移動してもその対抗する面積は変化しないので、推力発生に貢献している永久磁石1とコイル2の相対面積が変化しないため、推力低下を招くことがない。したがって、コイル2を固定子に、永久磁石1を可動子とした場合、図示しない下位のリニアモータは永久磁石1のみを可動すれば良く、コイル2の分の負荷質量を軽減することができる。この場合、永久磁石1を可動子にすることが有利である。
図2は、本発明の実施例2に係る三相ACリニアモータの一例で、可動子と固定子のみを示している。(a)は平面図、(b)はリニアモータの進行方向に直角な方向(X方向)から見た正面図である。図において、このリニアモータは、複数(図で6個)の永久磁石1がX方向に平行にY方向に並設され、これらと磁気的空隙を介して複数(図で3個)のコイル2がX方向に平行にY方向に並設されている。
永久磁石1とコイル2は、ここではどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。コイルに通電することにより、本リニアモータは図のY方向へ推力を発生する。また、本リニアモータ自身の推力方向ストロークは±Aである。
本発明の実施例2によれば、コイル2のX方向の長さは、可動子がX方向に変位しても永久磁石1のX方向の端部がコイル2のX方向の端部からはみ出ない長さ(X方向コイル長≫X方向永久磁石長)としている。
このように構成することにより、例えば図のX方向へ永久磁石1が±B移動してもその対抗する面積は変化しないので、推力発生に貢献している永久磁石1とコイル2の相対面積が変化しないため、推力低下を招くことがない。したがって、コイル2を固定子に、永久磁石1を可動子とした場合、図示しない下位のリニアモータは永久磁石1のみを可動すれば良く、コイル2の分の負荷質量を軽減することができる。この場合、永久磁石1を可動子にすることが有利である。
〈実施例3〉
図3は、本発明の実施例3に係る単相DCリニアモータの一例で、可動子と固定子のみを示している。(a)は平面図、(b)はリニアモータの進行方向に直角な方向(X方向)から見た正面図である。図において、このリニアモータは、2個の永久磁石1がX方向に平行にY方向に並設され、これらと磁気的空隙を介して1個のコイル2がX方向に平行に配置されている。
永久磁石1とコイル2は、ここではどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。コイルに通電することにより、本リニアモータは図のY方向へ推力を発生する。また、本リニアモータ自身の推力方向ストロークは±Aである。
本発明の実施例3によれば、永久磁石1のX方向の長さは、可動子がX方向に変位してもコイル2のX方向の端部が永久磁石1のX方向の端部からはみ出ない長さ(X方向永久磁石長≫X方向コイル長)としている。
このように構成することにより、例えば図のX方向へコイル2が±B移動してもその対抗する面積は変化しないので、推力発生に貢献している永久磁石1とコイル2の相対面積が変化しないため、推力低下を招くことがない。したがって、永久磁石1を固定子に、コイル2を可動子とした場合、図示しない下位のリニアモータはコイル2のみを可動すれば良く、永久磁石1の分の負荷質量を軽減することができる。通常、永久磁石1はコイル2に鎖交する磁束密度を上げるため鉄部材に接合されており、それを含めると大幅な負荷低減となる。この場合、コイル2を可動子にすることが有利である。
推力発生方向のストロークが短い場合などは、このような単純な単相DCリニアモータとするのが有利である。
図3は、本発明の実施例3に係る単相DCリニアモータの一例で、可動子と固定子のみを示している。(a)は平面図、(b)はリニアモータの進行方向に直角な方向(X方向)から見た正面図である。図において、このリニアモータは、2個の永久磁石1がX方向に平行にY方向に並設され、これらと磁気的空隙を介して1個のコイル2がX方向に平行に配置されている。
永久磁石1とコイル2は、ここではどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。コイルに通電することにより、本リニアモータは図のY方向へ推力を発生する。また、本リニアモータ自身の推力方向ストロークは±Aである。
本発明の実施例3によれば、永久磁石1のX方向の長さは、可動子がX方向に変位してもコイル2のX方向の端部が永久磁石1のX方向の端部からはみ出ない長さ(X方向永久磁石長≫X方向コイル長)としている。
このように構成することにより、例えば図のX方向へコイル2が±B移動してもその対抗する面積は変化しないので、推力発生に貢献している永久磁石1とコイル2の相対面積が変化しないため、推力低下を招くことがない。したがって、永久磁石1を固定子に、コイル2を可動子とした場合、図示しない下位のリニアモータはコイル2のみを可動すれば良く、永久磁石1の分の負荷質量を軽減することができる。通常、永久磁石1はコイル2に鎖交する磁束密度を上げるため鉄部材に接合されており、それを含めると大幅な負荷低減となる。この場合、コイル2を可動子にすることが有利である。
推力発生方向のストロークが短い場合などは、このような単純な単相DCリニアモータとするのが有利である。
〈実施例4〉
図4は、本発明の実施例4に係る単相DCリニアモータの一例で、可動子と固定子のみを示している。(a)は平面図、(b)はリニアモータの進行方向に直角な方向(X方向)から見た正面図である。図において、このリニアモータは、2個の永久磁石1がX方向に平行にY方向に並設され、これらと磁気的空隙を介して1個のコイル2がX方向に平行に配置されている。
永久磁石1とコイル2は、ここではどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。コイルに通電することにより、本リニアモータは図のY方向へ推力を発生する。また、本リニアモータ自身の推力方向ストロークは±Aである。
本発明の実施例4によれば、コイル2のX方向の長さは、可動子がX方向に変位しても永久磁石1のX方向の端部がコイル2のX方向の端部からはみ出ない長さ(X方向コイル長)X方向永久磁石長)としている。
このように構成することにより、例えば図のX方向へ永久磁石1が±B移動してもその対抗する面積は変化しないので、推力発生に貢献している永久磁石1とコイル2の相対面積が変化しないため、推力低下を招くことがない。したがって、コイル2を固定子に、永久磁石1を可動子とした場合、図示しない下位のリニアモータは永久磁石1のみを可動すれば良く、コイル2の分の負荷質量を軽減することができる。この場合、永久磁石1を可動子にすることが有利である。
また、推力発生方向のストロークが短い場合などは、このような単純な単相DCリニアモータとするのが有利である。
図4は、本発明の実施例4に係る単相DCリニアモータの一例で、可動子と固定子のみを示している。(a)は平面図、(b)はリニアモータの進行方向に直角な方向(X方向)から見た正面図である。図において、このリニアモータは、2個の永久磁石1がX方向に平行にY方向に並設され、これらと磁気的空隙を介して1個のコイル2がX方向に平行に配置されている。
永久磁石1とコイル2は、ここではどちらかが可動子で他方が固定子であってよい。コイルに通電することにより、本リニアモータは図のY方向へ推力を発生する。また、本リニアモータ自身の推力方向ストロークは±Aである。
本発明の実施例4によれば、コイル2のX方向の長さは、可動子がX方向に変位しても永久磁石1のX方向の端部がコイル2のX方向の端部からはみ出ない長さ(X方向コイル長)X方向永久磁石長)としている。
このように構成することにより、例えば図のX方向へ永久磁石1が±B移動してもその対抗する面積は変化しないので、推力発生に貢献している永久磁石1とコイル2の相対面積が変化しないため、推力低下を招くことがない。したがって、コイル2を固定子に、永久磁石1を可動子とした場合、図示しない下位のリニアモータは永久磁石1のみを可動すれば良く、コイル2の分の負荷質量を軽減することができる。この場合、永久磁石1を可動子にすることが有利である。
また、推力発生方向のストロークが短い場合などは、このような単純な単相DCリニアモータとするのが有利である。
本発明によれば以下のような効果がある。
リニアモータの可動子または固定子を単独で、別の下位リニアモータが可動させることが可能であり、下位リニアモータの負荷質量を大幅に軽減することができ、その結果、下位リニアモータは高性能化・小型化を図ることができる。
したがってまた、装置の高性能化、小型化を有利にすることができる。
リニアモータの可動子または固定子を単独で、別の下位リニアモータが可動させることが可能であり、下位リニアモータの負荷質量を大幅に軽減することができ、その結果、下位リニアモータは高性能化・小型化を図ることができる。
したがってまた、装置の高性能化、小型化を有利にすることができる。
Claims (4)
- 界磁となる永久磁石と前記永久磁石に磁気的空隙をおいて対向配置されるコイルとからなり、前記永久磁石と前記コイルのいずれか一方が可動子であり他方が固定子であるリニアモータにおいて、
前記可動子に生じる推力発生方向と直交する方向の前記永久磁石の長さが、前記可動子が前記直交方向に変位しても前記コイルの前記直交方向の端部が前記永久磁石の前記直交方向の端部からはみ出ない長さであることを特徴とするリニアモータ。 - 界磁となる永久磁石と前記永久磁石に磁気的空隙をおいて対向配置されるコイルとからなり、前記永久磁石と前記コイルのいずれか一方が可動子であり他方が固定子であるリニアモータにおいて、
前記可動子に生じる推力発生方向と直交する方向の前記コイルの長さが、前記可動子が前記直交方向に変位しても前記永久磁石の前記直交方向の端部が前記コイルの前記直交方向の端部からはみ出ない長さであることを特徴とするリニアモータ。 - 請求項1又は2記載の前記永久磁石の複数個と前記コイルの1個とから成ることを特徴とするDC単相リニアモータ。
- 請求項1又は2記載の前記永久磁石の複数個と前記コイルの複数個とから成ることを特徴とする交流3相リニアモータ。
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