JP2004056892A - リニアモータ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】永久磁石4は、リニアモータの界磁と磁気式リニアエンコーダの被検出体 である磁気スケール部を兼用して構成すると共に、永久磁石4のピッチ間隔が当該磁気 スケール部のスケールピッチとなるように設けてある。磁気式リニアエンコーダのスケ ールヘッド6は、電機子5の長手方向に設けられ、電気角で位相が90°ずれるように した複数個のホール素子61を配置するようにした。さらに、磁気式リニアエンコーダ は、ホール素子61から出力される2相正弦波のアナログ信号をシリアルデータに変換 するシリアル変換器と、位置指令と該シリアル変換器で得られた現在位置の信号によっ
て電流指令を演算するサーボドライバとを接続してある。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、精度がある程度無視できる機械内搬送装置、部品搬送装置などの分野で、特に高速繰返し位置決めとして用いられる磁気式リニアエンコーダを備えたリニアモータ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、機械内搬送装置、部品搬送装置などの分野で、一定速送りあるいは高速位置決め送りの駆動源としてリニアモータが多く用いられている。このような用途に用いられるリニアモータにおいて、リニアモータをフィードバック制御すると、高い位置決め精度が得られる。フィードバック制御方式のリニアモータ位置決め装置にはリニアモータ可動子の移動を検出するためのリニアエンコーダが設けられている。このリニアエンコーダとしては、例えば高精度で高価格なリニア形の光学式リニアエンコーダが用いられており、それを用いた一例は図4のようになっている。
【0003】
図4は、従来の光学式リニアエンコーダを搭載したコアレス形リニアモータの正断面図である。
図4において、1はベース部、2はリニアガイドで、ガイドレール2Aとスライダ2Bで構成される。7はテーブル、10はリニアモータの固定子を構成する界磁ヨーク、11は界磁ヨーク10に固定された永久磁石、12はリニアモータの可動子を構成する電機子で、図示しない電機子コイルを装着している。13は光学式のリニアエンコーダのスケールヘッド部、14はリニアエンコーダのスケール部を示している。なお、リニアエンコーダのスケールヘッド部13は図示のようにテーブル7に取り付けられている。
【0004】
また、図5は従来のリニアモータのドライブシステムを示すブロック図である。
15はA/D変換器、9はサーボドライバである。
図5の構成において、リニアモータの可動子側に設けたリニアエンコーダのスケールヘッド部13は、リニアエンコーダのスケール部14に光を当て、その透過若しくは反射する光を検出することで、スケール部14から可動子である電機子1の現在位置を示すセンサー信号(アナログ信号)を読み取り、該アナログ信号をA/D変換器15によりパルス列の信号に変換し、位置指令と現在位置の信号によってサーボドライバ9で電流指令を演算し、サーボドライバ9から制御された電流を給電線を介して可動子に送り、可動子を動作させるようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来技術の光学式リニアエンコーダを用いたリニアモータは、塵芥が付着したり、汚れなどがあると検出感度が弱くなり、耐環境性が十分ではないこと、また、可動子がロングストロークになればなるほどリニアスケールの長さも長くなるためコストアップになること。さらにはリニアスケールの組立精度が厳しく要求されるため、セッティングが困難という問題があった。
【0006】
それから、光学式リニアエンコーダの他に、可動子の位置検出のための磁極パターンが形成された磁気スケール部と、磁気スケール部の磁極パターンを検出するスケールヘッドを有する磁気式リニアエンコーダーが従来から公知であるが、可動子がロングストロークになればなるほどそれに応じて固定側に取り付ける磁気スケール部の長さも長くなり、コストと組立作業性の問題は依然解消されない。
【0007】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、耐環境性に強く、且つ、ローコストで、磁気式リニアエンコーダとしてのセッティングが不要であるリニアモータ装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係るリニアモータ装置は、交互に極性が異なるように複数個の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向配置された電機子コイルを有する電機子と、位置検出用の磁気式リニアエンコーダを備え、前記界磁ヨークと前記電機子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたリニアモータ装置において、前記永久磁石が、リニアモータの界磁と前記磁気式リニアエンコーダの被検出体である磁気スケール部を兼用して構成すると共に、前記永久磁石のピッチ間隔が当該磁気スケール部のスケールピッチとなるように設けてあり、前記磁気式リニアエンコーダのスケールヘッドは、前記電機子の長手方向に設けられると共に、電気角で位相が90°ずれるようにした複数個のホール素子を配置したものであり、前記磁気式リニアエンコーダは、前記ホール素子から出力される2相正弦波のアナログ信号をシリアルデータに変換するシリアル変換器と、位置指令と前記シリアル変換器で得られた現在位置の信号によって電流指令を演算するサーボドライバとを接続してあることを特徴とするものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
図1は本発明の実施例を示す磁気式リニアエンコーダを採用したリニアモータであって、(a)はその正断面図、(b)は(a)のリニアモータ固定子の斜視図である。図2は本発明の磁気式リニアエンコーダの原理を説明したもので、(a)は電機子コイルの誘起電圧とエンコーダのA相、B相信号の波形の時間変化を示した図、(b)はホール素子と電機子コイルの配置関係を示した平面図である。なお、本実施例によるコアレス形リニアモータは、永久磁石を備えた界磁ヨークが電機子の両側にある構成とする点は、従来技術と同じである。
【0010】
図1において、3はリニアモータの固定子を構成する界磁ヨーク、4は界磁ヨーク3に固定された永久磁石、5はリニアモータの可動子を構成する電機子で、図示しない電機子コイルを装着している。6は磁気式リニアエンコーダのスケールヘッドである。また、図において、61はホール素子、51は図1に示された電機子5の電気子コイルである。
【0011】
本発明が従来と異なる点を以下説明する。
リニアモータ装置は、従来公知である可動子の位置検出のための磁極パターンが形成された磁気スケール部と、磁気スケール部の磁極パターンを検出するスケールヘッドよりなる磁気式リニアエンコーダを備える構成に替えて、永久磁石4が図1(a)において、リニアモータの界磁と磁気式リニアエンコーダの被検出体である磁気スケール部を兼用して構成されると共に、また、図1(b)に示すように永久磁石4のピッチ間隔が当該磁気スケール部のスケールピッチとなるように設けた点である。
【0012】
また、磁気式リニアエンコーダのスケールヘッドは、図1(a)に示すように電機子5の内部の長手方向(紙面と垂直方向)に沿って設けられると共に、2個のホール素子61を配置した点である。
【0013】
ホール素子61を図2で具体的に説明すると、ホール素子61は、リニアモータ正方向進み時(U相→V相→W相の転流時)において、電機子コイル51のU相誘起電圧の立ち上がりゼロクロスでエンコーダのA相、B相信号がクロスするように電気角で90°位相がずれるように2個配置してある。こうすることで、モータの電気角とモータの進行方向を検出する事が可能となる。また、図2において、2個のホール素子を設けた例の他に4個のホール素子を設けた例を示したが、このように配置すると三次高調波成分を消すことができる。
【0014】
図3は本発明の実施例によるリニアモータのドライブシステムを示すブロック図である。
図において、6は磁気式リニアエンコーダのスケールヘッドで、図1のスケールヘッドの取付位置とは異なり、電機子5の端部に設けた例を示している。8はシリアル変換器、9はサーボドライバであり、リニアモータ装置はスケールヘッド6から読み取った可動子の現在位置を示すアナログ信号をシリアルデータに変換するシリアル変換器8と、位置指令と当該シリアル変換器8で得られた現在位置の信号によって電流指令を演算するサーボドライバ9とを備えている。
【0015】
次に動作についてする。
図3において、可動子側に設けたスケールヘッド6を構成するホール素子は、永久磁石4、4間の磁気回路内で生じる交番磁界の磁界強度を検出することで、永久磁石4から可動子1の現在位置を示すsin、cosの2相正弦波信号(アナログ信号)を読み取り、該アナログ信号をシリアル変換器8によりシリアルデータに変換し、位置指令と現在位置の信号によってサーボドライバ9で電流指令を演算し、サーボドライバ9から制御された電流を、給電線を介して可動子に送り、可動子を動作させる。
【0016】
したがって、本発明の実施例に係るリニアモータは、従来公知である可動子の位置検出のための磁極パターンが形成された磁気スケール部と、磁気スケール部の磁極パターンを検出するスケールヘッドを有する磁気式リニアエンコーダーに替えて、永久磁石4が、リニアモータの界磁と磁気式リニアエンコーダの被検出体である磁気スケール部を兼用して構成すると共に、永久磁石4のピッチ間隔が当該磁気スケール部のスケールピッチとなるように設け、また、磁気式リニアエンコーダのスケールヘッド6は、電機子5の長手方向に設けられると共に、電気角で位相が90°ずれるようにした複数個のホール素子61を配置するようにし、さらに、磁気式リニアエンコーダは、ホール素子61から出力される2相正弦波のアナログ信号をシリアルデータに変換するシリアル変換器8と、位置指令と前記シリアル変換器8で得られた現在位置の信号によって電流指令を演算するサーボドライバ9とを接続したので、リニアスケール部品としてモータの一部である永久磁石を利用することで塵芥等に強く、耐環境性に優れたリニアモータ装置を得ることができる。また、可動子がロングストロークになっても部品は磁気式リニアエンコーダのスケールヘッドのみであり、部品コストの削減に効果がある。さらにリニアエンコーダとしてのセッティングが不要であり、組立はモータを組むだけすむので、セッティングが容易であるリニアモータ装置を提供することができる。
【0017】
また、本実施例は、ホール素子61から出力される2相正弦波のアナログ信号をサーボドライバ9に出力する形態として、従来のA/D変換器に替えてシリアル変換器8を用いたので、該アナログ信号出力を高分解能化することができる。
【0018】
なお、本実施例によるリニアモータは、永久磁石を備えた界磁ヨークが電機子の両側に位置する構成を用いて説明したが、永久磁石を備えた界磁ヨークが電機子の片側のみに位置する構成にしても構わない。
【0019】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明に係るリニアモータ装置は、従来公知である可動子の位置検出のための磁極パターンが形成された磁気スケール部と、磁気スケール部の磁極パターンを検出するスケールヘッドを有する磁気式リニアエンコーダーに替えて、永久磁石が、リニアモータの界磁と磁気式リニアエンコーダの被検出体である磁気スケール部を兼用して構成すると共に、永久磁石のピッチ間隔が当該磁気スケール部のスケールピッチとなるように設け、また、磁気式リニアエンコーダのスケールヘッドは、電機子の長手方向に設けられると共に、電気角で位相が90°ずれるようにした複数個のホール素子を配置するようにし、さらに、磁気式リニアエンコーダは、ホール素子から出力される2相正弦波のアナログ信号をシリアルデータに変換するシリアル変換器と、位置指令とシリアル変換器で得られた現在位置の信号によって電流指令を演算するサーボドライバとを接続したため、リニアスケール部品としてモータの一部である永久磁石を利用するため塵芥等に強く、耐環境性に優れたリニアモータ装置を得ることができる。また、可動子がロングストロークになっても部品は磁気式エンコーダのスケールヘッドのみであり、部品コストの削減に効果がある。さらにリニアエンコーダとしてのセッティングが不要であり、組立はモータを組むだけすむので、セッティングが容易であるリニアモータを提供することができる。
【0020】
また、本実施例は、ホール素子から出力される2相正弦波のアナログ信号をサーボドライバに出力する形態として、従来のA/D変換器に替えてシリアル変換器を用いたので、該アナログ信号出力を高分解能化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す磁気式リニアエンコーダを採用したリニアモータであって、(a)はその正断面図、(b)は(a)のリニアモータ固定子の斜視図である。
【図2】本発明の磁気式リニアエンコーダの原理を説明したもので、(a)は電機子コイルの誘起電圧とエンコーダのA相、B相信号の波形の時間変化を示した図、(b)はホール素子と電機子コイルの配置関係を示した平面図である。
【図3】本発明の実施例によるリニアモータのドライブシステムを示すブロック図である。
【図4】、従来の光学式エンコーダを搭載したコアレスリニアモータの正断面図である。
【図5】従来のリニアモータのドライブシステムを示すブロック図である。
【符号の説明】
1 ベース部
2 リニアガイド、
2A ガイドレール、
2B スライダ、
3 界磁ヨーク、
4 永久磁石、
5 電機子、
51 電機子コイル、
6 スケールヘッド(磁気式リニアエンコーダ)
61 ホール素子、
7 テーブル
8 シリアル変換器、
9 サーボドライバ
Claims (1)
- 交互に極性が異なるように複数個の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向配置された電機子コイルを有する電機子と、位置検出用の磁気式リニアエンコーダを備え、前記界磁ヨークと前記電機子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたリニアモータ装置において、
前記永久磁石が、リニアモータの界磁と前記磁気式リニアエンコーダの被検出体である磁気スケール部を兼用して構成すると共に、前記永久磁石のピッチ間隔が当該磁気スケール部のスケールピッチとなるように設けてあり、
前記磁気式リニアエンコーダのスケールヘッドは、前記電機子の長手方向に設けられると共に、電気角で位相が90°ずれるようにした複数個のホール素子を配置したものであり、
前記磁気式リニアエンコーダは、前記ホール素子から出力される2相正弦波のアナログ信号をシリアルデータに変換するシリアル変換器と、位置指令と前記シリアル変換器で得られた現在位置の信号によって電流指令を演算するサーボドライバとを接続してあることを特徴とするリニアモータ装置。
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---|---|
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Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005278280A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Yaskawa Electric Corp | ムービングコイル形リニアスライダ |
JP2006333612A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Tietech Co Ltd | リニアモータ |
JP2007143226A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Nippon Pulse Motor Co Ltd | シャフト型リニアモータの位置検出装置 |
WO2008072525A1 (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-19 | Nippon Pulse Motor Co., Ltd. | シャフト型リニアモータの位置決め装置 |
EP1978633A2 (en) | 2007-04-05 | 2008-10-08 | Wako Giken Co.,Ltd. | Method of setting the origin of a linear motor |
US7453172B2 (en) * | 2003-12-02 | 2008-11-18 | Smc Corporation | Linear slide apparatus |
JP2008289344A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-11-27 | Wako Giken:Kk | リニアモータ |
WO2008149805A1 (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Thk Co., Ltd. | リニアモータの位置検出システム |
WO2009057442A1 (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-07 | Thk Co., Ltd. | リニアモータ及びリニアモータシステム |
JP2010037091A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sinfonia Technology Co Ltd | 搬送装置 |
JP2010057280A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Thk Co Ltd | リニアモータシステム、リニアモータアクチュエータ及び制御装置 |
JP2010263681A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Toshiba Mach Co Ltd | リニアモータおよびリニアモータ装置 |
WO2011024624A1 (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Thk株式会社 | 分散配置リニアモータおよび分散配置リニアモータの制御方法 |
WO2011040216A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | Thk株式会社 | リニアモータの駆動システム及び制御方法 |
JP2011517766A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-06-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 多次元位置センサ |
JP2012100496A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-24 | Toshiba Mach Co Ltd | リニアモータの制御判断方法および制御装置 |
CN102577091A (zh) * | 2009-10-06 | 2012-07-11 | 本田技研工业株式会社 | 电动机系统 |
KR20200056809A (ko) * | 2018-11-15 | 2020-05-25 | 한국기계연구원 | 리니어 모터 및 그 제어 시스템 |
US11340515B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-05-24 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Linear motor, and lens barrel and imaging device equipped with same |
WO2022137894A1 (ja) * | 2020-12-22 | 2022-06-30 | 日本電気硝子株式会社 | 板ガラス加工装置及び板ガラスの製造方法 |
KR20220100509A (ko) | 2021-01-08 | 2022-07-15 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 반송 장치 및 캐리어 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4318038A (en) * | 1978-11-15 | 1982-03-02 | Nippon Electric Co., Ltd. | Moving-coil linear motor |
JP2596793Y2 (ja) * | 1993-07-16 | 1999-06-21 | 日本トムソン株式会社 | リニア直流モータ |
JP2002159166A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ用ポールセンサ |
-
2002
- 2002-07-18 JP JP2002209480A patent/JP2004056892A/ja active Pending
-
2003
- 2003-07-07 WO PCT/JP2003/008623 patent/WO2004010566A1/ja active Search and Examination
Cited By (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7453172B2 (en) * | 2003-12-02 | 2008-11-18 | Smc Corporation | Linear slide apparatus |
JP2005278280A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Yaskawa Electric Corp | ムービングコイル形リニアスライダ |
JP2006333612A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Tietech Co Ltd | リニアモータ |
JP4647395B2 (ja) * | 2005-05-25 | 2011-03-09 | 株式会社タイテック | リニアモータ |
JP2007143226A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Nippon Pulse Motor Co Ltd | シャフト型リニアモータの位置検出装置 |
WO2008072525A1 (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-19 | Nippon Pulse Motor Co., Ltd. | シャフト型リニアモータの位置決め装置 |
JP2008148484A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Nippon Pulse Motor Co Ltd | シャフト型リニアモータの位置決め装置 |
EP1978633A2 (en) | 2007-04-05 | 2008-10-08 | Wako Giken Co.,Ltd. | Method of setting the origin of a linear motor |
JP2008289344A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-11-27 | Wako Giken:Kk | リニアモータ |
US7830109B2 (en) | 2007-04-05 | 2010-11-09 | Wako Giken Co., Ltd | Method of setting the origin of a linear motor |
WO2008149805A1 (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Thk Co., Ltd. | リニアモータの位置検出システム |
JP5343001B2 (ja) * | 2007-05-31 | 2013-11-13 | Thk株式会社 | リニアモータの位置検出システム |
US8362720B2 (en) | 2007-05-31 | 2013-01-29 | Thk Co., Ltd. | Linear motor position detection system |
JP2011517766A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-06-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 多次元位置センサ |
JPWO2009057442A1 (ja) * | 2007-10-31 | 2011-03-10 | Thk株式会社 | リニアモータ及びリニアモータシステム |
WO2009057442A1 (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-07 | Thk Co., Ltd. | リニアモータ及びリニアモータシステム |
JP2010037091A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sinfonia Technology Co Ltd | 搬送装置 |
JP2010057280A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Thk Co Ltd | リニアモータシステム、リニアモータアクチュエータ及び制御装置 |
JP2010263681A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Toshiba Mach Co Ltd | リニアモータおよびリニアモータ装置 |
US8872449B2 (en) | 2009-08-28 | 2014-10-28 | Thk Co., Ltd. | Distributed-arrangement linear motor and control method of distributed-arrangement linear motor |
WO2011024624A1 (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Thk株式会社 | 分散配置リニアモータおよび分散配置リニアモータの制御方法 |
CN102474217A (zh) * | 2009-08-28 | 2012-05-23 | Thk株式会社 | 分布式布置的直线电机及分布式布置的直线电机的控制方法 |
JP2011050220A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Thk Co Ltd | 分散配置リニアモータおよび分散配置リニアモータの制御方法 |
JP2011078196A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Thk Co Ltd | リニアモータの駆動システム及び制御方法 |
WO2011040216A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | Thk株式会社 | リニアモータの駆動システム及び制御方法 |
CN102549912A (zh) * | 2009-09-30 | 2012-07-04 | Thk株式会社 | 线性电动机的驱动系统及控制方法 |
US8653766B2 (en) | 2009-09-30 | 2014-02-18 | Thk Co., Ltd. | Linear motor driving system and linear motor control method |
CN102577091A (zh) * | 2009-10-06 | 2012-07-11 | 本田技研工业株式会社 | 电动机系统 |
JP2012100496A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-24 | Toshiba Mach Co Ltd | リニアモータの制御判断方法および制御装置 |
US11340515B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-05-24 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Linear motor, and lens barrel and imaging device equipped with same |
KR20200056809A (ko) * | 2018-11-15 | 2020-05-25 | 한국기계연구원 | 리니어 모터 및 그 제어 시스템 |
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US11290040B2 (en) | 2018-11-15 | 2022-03-29 | Korea Institute Of Machinery & Materials | Linear motor and linear motor control system |
WO2022137894A1 (ja) * | 2020-12-22 | 2022-06-30 | 日本電気硝子株式会社 | 板ガラス加工装置及び板ガラスの製造方法 |
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