JP5343001B2 - リニアモータの位置検出システム - Google Patents
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Description
2…コイル収容ケース
3…マグネット
4…コイル
8…ブッシュ(軸受)
9…エンドケース(磁気センサ収容ケース)
11…リニアモータ
12…磁気センサ
13…位置検出回路
14…ドライバ
21…ガラス基板
22…磁気抵抗素子
26…磁気センサ収容部
27…充填材
30…A/D変換器
32…信号処理部(位相角データ算出手段,パルス信号出力手段)
(数1)
R=R0−△Rsin2θ…(1)
R0:無磁界中の強磁性薄膜金属の抵抗値
△R:抵抗変化量
θ:磁界方向を示す角度
エレメント(R1)に対して最も大きな抵抗変化を促す垂直方向の磁界は、エレメント(R2)に対し最小の抵抗変化となる。抵抗値R1とR2は次式で与えられる。
(数2)
R1=R0−△Rsin2θ…(2)
(数3)
R2=R0−△Rcos2θ…(3)
この磁気センサ12の等価回路(ハーフブリッジ)を図8に示す。出力Voutは次式で与えられる。
(数4)
Vout=R1・Vcc/(R1+R2)…(4)
(4)式に(2),(3)式を代入し、整理すると、
(数5)
Vout=Vcc/2+αcos2θ…(5)
α=△R・Vcc/2(2R0−△R)
が成立する。
u=ATAN-1(DB/DA)
Claims (6)
- N極及びS極の磁極が軸線方向に交互に並べられる可動子又は固定子の一方と、複数のコイルを含む可動子又は固定子の他方と、を有し、前記一方が発生する磁界と前記他方の前記コイルに流れる電流によって直線運動するための推力を得るリニアモータと、
磁界の方向によって抵抗値が変化する磁気抵抗素子を有し、前記固定子に対する前記可動子の相対的な直線運動によって生ずる前記磁界の方向の変化に伴って、90°の位相差を持つ正弦波状信号及び余弦波状信号を出力する磁気センサと、
前記正弦波状信号及び前記余弦波状信号に基づいて、前記固定子に対する前記可動子の相対的な位置を検出する位置検出回路と、
を備え、
前記磁気センサを、前記磁気抵抗素子の抵抗変化量が飽和する飽和感度領域以上の磁界強度が印加される位置に配置するリニアモータの位置検出システム。 - 前記位置検出回路は、
前記正弦波状信号及び前記余弦波状信号を所定の周期でサンプリングしてディジタルデータに変換するA/D変換器と、
前記ディジタルデータに変換された正弦成分と余弦成分から、位相角データを求める位相角データ算出手段と、
位相角データに応じたパルス信号を生成するパルス信号出力手段と、を有することを特徴とする請求項1に記載のリニアモータの位置検出システム。 - 前記リニアモータは、
前記可動子又は前記固定子の一方として、軸線方向の両端部にN極及びS極の磁極が着磁される複数のマグネットが、隣り合うマグネットのN極同士及びS極同士が向かい合うように軸線方向に並べられると共に、隣り合うマグネット間に軟質磁性材料が介在されるロッドを有し、
前記可動子又は前記固定子の他方として、前記ロッドを囲む複数のコイルを有するロッドタイプリニアモータであることを特徴とする請求項1又は2に記載のリニアモータの位置検出システム。 - 前記リニアモータは、さらに、
前記複数のコイルが収容されるコイル収容ケースと、
前記コイル収容ケースの前記軸線方向の端に設けられ、前記磁気センサが収容される磁気センサ収容部を有する磁気センサ収容ケースと、
前記磁気センサ収容部に充填され、前記磁気センサを前記磁気センサ収容部に固定する充填材と、を有し、
前記磁気センサ収容ケース及び前記充填材の少なくとも一方は、前記コイル収容ケースよりも熱伝導率が低いことを特徴とする請求項3に記載のリニアモータの位置検出システム。 - 前記リニアモータは、さらに、前記磁気センサ収容ケースの前記軸線方向の端に取り付けられ、前記ロッドが直線運動するのを案内する軸受を有することを特徴とする請求項4に記載のリニアモータの位置検出システム。
- 前記リニアモータは、
前記可動子又は前記固定子の一方として、前記軸線方向と直交する方向の両端面にN極及びS極の磁極が着磁される複数枚のマグネットが、前記軸線方向に並べられる界磁マグネットを有し、
前記可動子又は前記固定子の他方として、前記界磁マグネットにすきまを介して対向する複数のコイルを有するフラットタイプリニアモータであることを特徴とする請求項1又は2に記載のリニアモータの位置検出システム。
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