JP6365824B2 - 磁気式変位センサ及び変位の検出方法 - Google Patents
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Description
支持体を収容するケーシングと、
磁気スケールの長手方向に沿って、支持体の中央部をケーシングに固定する固定部とを備え、
磁気スケールの長手方向に沿って、固定部の両側に、複数個のコイルが同数ずつ、支持体に支持されている。
磁気式変位センサは、
支持体を収容するケーシングと、
磁気スケールの長手方向に沿って、支持体の中央部をケーシングに固定する固定部とを備え、
磁気スケールの長手方向に沿って、固定部の両側に、複数個のコイルが同数ずつ、支持体に支持されており、
支持体の熱膨張の影響を、固定部の両側に同数ずつ支持されているコイル間で相殺する。
4 インバー合金
6 Cu薄膜(磁気マーク)
8 保護膜
10 磁気式変位センサ(センサ)
12 ケーシング
14 パイプ
15 エアベアリング
16 インナーケース
18 ボビン
20 ピン(固定部)
21 溝
22 コイル
C0〜C3’ コイル
R1〜R4 抵抗
A1,A2 差動増幅器
PS 交流電源
Claims (8)
- 支持体に支持された複数個のコイルと、長手方向に沿って定ピッチで周期的に変化する磁気マークが設けられている磁気スケールとの相互作用により、変位を検出する磁気式変位センサであって、
前記支持体を収容するケーシングと、
前記磁気スケールの長手方向に沿って、支持体の中央部を前記ケーシングに固定する固定部とを備えると共に、
sin相出力のコイルとcos相出力のコイルを、少なくとも各2個ずつ、前記複数個のコイルとして備え、
前記磁気スケールの長手方向に沿って、前記固定部の両側に、sin相出力のコイルが少なくとも各1個、cos相出力のコイルが少なくとも各1個支持されるように、前記複数個のコイルが同数ずつ、前記支持体に支持されていることを特徴とする、磁気式変位センサ。 - 支持体に支持された複数個のコイルと、長手方向に沿って定ピッチで周期的に変化する磁気マークが設けられている磁気スケールとの相互作用により、変位を検出する磁気式変位センサであって、
前記支持体を収容するケーシングと、
前記磁気スケールの長手方向に沿って、支持体の中央部を前記ケーシングに固定する固定部とを備え、
かつ前記磁気スケールの長手方向に沿って、前記固定部の両側に、前記複数個のコイルが同数ずつ、前記支持体に支持され、
前記複数個のコイルは6個または8個で、
前記磁気スケールの前記ピッチを2πとする電気位相角で、前記磁気スケールへの電気位相角が共にθの2個のコイルが、前記固定部の両側に1個ずつ対称に配置され、
かつ前記磁気スケールへの電気位相角が共にθ+πの2個のコイルが、前記固定部の両側に1個ずつ対称に配置されていることを特徴とする、磁気式変位センサ。 - 前記複数個のコイルは8個で、
前記磁気スケールへの電気位相角が共にθ+π/2の2個のコイルが、前記固定部の両側に1個ずつ対称に配置され、
かつ前記磁気スケールへの電気位相角が共にθ−π/2の2個のコイルが、前記固定部の両側に1個ずつ対称に配置されていることを特徴とする、請求項2の磁気式変位センサ。 - 前記ケーシングと前記支持体との熱膨張率が異なることを特徴とする、請求項1から3のいずれかの磁気式変位センサ。
- 支持体に支持された複数個のコイルと、長手方向に沿って定ピッチで周期的に変化する磁気マークが設けられている磁気スケールとの相互作用により、変位を検出する磁気式変位センサであって、
前記支持体を収容するケーシングと、
前記磁気スケールの長手方向に沿って、支持体の中央部を前記ケーシングに固定する固定部とを備え、
かつ前記磁気スケールの長手方向に沿って、前記固定部の両側に、前記複数個のコイルが同数ずつ、前記支持体に支持され、
前記ケーシングと前記支持体との熱膨張率が異なり、
前記ケーシングは低熱膨張率の金属であり、前記支持体は絶縁体から成りかつ前記複数個のコイルが巻かれているボビンであることを特徴とする、磁気式変位センサ。 - 支持体と、支持体に支持された複数個のコイルとを有する磁気式変位センサと、長手方向に沿って定ピッチで周期的に変化する磁気マークを有する磁気スケールとにより、変位を検出する方法であって、
前記磁気式変位センサは、
前記支持体を収容するケーシングと、
前記磁気スケールの長手方向に沿って、支持体の中央部を前記ケーシングに固定する固定部とを備え、
sin相出力のコイルとcos相出力のコイルを、少なくとも各2個ずつ、前記複数個のコイルとして備え、
前記磁気スケールの長手方向に沿って、前記固定部の両側に、sin相出力のコイルが少なくとも各1個、cos相出力のコイルが少なくとも各1個支持されるように、前記複数個のコイルが同数ずつ、前記支持体に支持されており、
支持体の熱膨張の影響を、固定部の両側に同数ずつ支持されているコイル間で相殺することを特徴とする、変位の検出方法。 - 支持体と、支持体に支持された複数個のコイルとを有する磁気式変位センサと、長手方向に沿って定ピッチで周期的に変化する磁気マークを有する磁気スケールとにより、変位を検出する方法であって、
前記磁気式変位センサは、
前記支持体を収容するケーシングと、
前記磁気スケールの長手方向に沿って、支持体の中央部を前記ケーシングに固定する固定部とを備え、
前記磁気スケールの長手方向に沿って、前記固定部の両側に、前記複数個のコイルが同数ずつ、前記支持体に支持されており、
前記複数個のコイルは6個または8個で、
前記磁気スケールの前記ピッチを2πとする電気位相角で、前記磁気スケールへの電気位相角が共にθの2個のコイルが、前記固定部の両側に1個ずつ対称に配置され、
かつ前記磁気スケールへの電気位相角が共にθ+πの2個のコイルが、前記固定部の両側に1個ずつ対称に配置されており、
支持体の熱膨張の影響を、固定部の両側に同数ずつ支持されているコイル間で相殺することを特徴とする、変位の検出方法。 - 支持体と、支持体に支持された複数個のコイルとを有する磁気式変位センサと、長手方向に沿って定ピッチで周期的に変化する磁気マークを有する磁気スケールとにより、変位を検出する方法であって、
前記磁気式変位センサは、
前記支持体を収容するケーシングと、
前記磁気スケールの長手方向に沿って、支持体の中央部を前記ケーシングに固定する固定部とを備え、
前記磁気スケールの長手方向に沿って、前記固定部の両側に、前記複数個のコイルが同数ずつ、前記支持体に支持されており、
前記ケーシングと前記支持体との熱膨張率が異なり、
前記ケーシングは低熱膨張率の金属であり、前記支持体は絶縁体から成りかつ前記複数個のコイルが巻かれているボビンであり、
支持体の熱膨張の影響を、固定部の両側に同数ずつ支持されているコイル間で相殺することを特徴とする、変位の検出方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014109159A JP6365824B2 (ja) | 2014-05-27 | 2014-05-27 | 磁気式変位センサ及び変位の検出方法 |
KR1020150053121A KR101949176B1 (ko) | 2014-05-27 | 2015-04-15 | 자기식 변위 센서 및 변위의 검출 방법 |
CN201510236034.5A CN105300261B (zh) | 2014-05-27 | 2015-05-11 | 磁性位移传感器以及位移的检测方法 |
TW104116797A TWI624645B (zh) | 2014-05-27 | 2015-05-26 | Magnetic displacement sensor and displacement detection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014109159A JP6365824B2 (ja) | 2014-05-27 | 2014-05-27 | 磁気式変位センサ及び変位の検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015224926A JP2015224926A (ja) | 2015-12-14 |
JP6365824B2 true JP6365824B2 (ja) | 2018-08-01 |
Family
ID=54841788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014109159A Active JP6365824B2 (ja) | 2014-05-27 | 2014-05-27 | 磁気式変位センサ及び変位の検出方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6365824B2 (ja) |
KR (1) | KR101949176B1 (ja) |
CN (1) | CN105300261B (ja) |
TW (1) | TWI624645B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105823452B (zh) * | 2016-04-29 | 2017-11-14 | 北京航空航天大学 | 一种磁轴承用位移传感器位移信号调理方法 |
CN107240407B (zh) * | 2017-04-27 | 2019-06-21 | 上海葆专自动化科技有限公司 | 电动丝杠入滑道的听音设备 |
CN111065881A (zh) * | 2017-09-06 | 2020-04-24 | 株式会社村田制作所 | 位移检测装置 |
JP7346879B2 (ja) * | 2019-04-02 | 2023-09-20 | 村田機械株式会社 | 磁気式リニアセンサ |
KR102243757B1 (ko) * | 2019-09-06 | 2021-04-23 | 클린큐트 주식회사 | 보관용기 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2554465B2 (ja) * | 1985-08-09 | 1996-11-13 | 株式会社 エスジー | アブソリユ−ト位置検出装置 |
JPH07936Y2 (ja) * | 1988-04-04 | 1995-01-11 | 富士電気化学株式会社 | 加速度センサ |
JPH0774741B2 (ja) * | 1988-12-01 | 1995-08-09 | エスエムシー株式会社 | 移動量検出装置 |
JPH058407U (ja) * | 1991-02-21 | 1993-02-05 | 株式会社三協精機製作所 | 位置センサ装置 |
JPH04270901A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-28 | Nippondenso Co Ltd | ストロークセンサ |
US5172485A (en) * | 1991-10-17 | 1992-12-22 | Mitutoyo Corporation | Precision linear measuring suspension system having sliding contact between the scale and the pick-off |
JPH0536313U (ja) * | 1991-10-23 | 1993-05-18 | 株式会社トーキン | エンコーダ |
JP3592835B2 (ja) * | 1996-03-27 | 2004-11-24 | 株式会社エスジー | 直線位置検出装置 |
US6291776B1 (en) * | 1998-11-03 | 2001-09-18 | International Business Machines Corporation | Thermal deformation management for chip carriers |
JP2000186903A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 無接触式ポジションセンサ |
CN2530242Y (zh) * | 2002-03-22 | 2003-01-08 | 韩炜 | 铁芯涡流大位移传感器 |
CN101395450B (zh) * | 2006-03-06 | 2012-06-13 | 日本电产三协株式会社 | 磁编码器装置 |
KR101479364B1 (ko) * | 2007-05-31 | 2015-01-05 | 티에치케이 가부시끼가이샤 | 리니어 모터의 위치 검출 시스템 |
JP5634138B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2014-12-03 | Dmg森精機株式会社 | 変位検出装置 |
WO2013128643A1 (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-06 | 株式会社日立製作所 | 力学量測定装置 |
CN202903124U (zh) * | 2012-11-06 | 2013-04-24 | 上海球栅测量系统有限公司 | 一种位移测量装置 |
JP7074741B2 (ja) * | 2019-11-05 | 2022-05-24 | 矢崎総業株式会社 | 回路体と導電体との接続構造 |
-
2014
- 2014-05-27 JP JP2014109159A patent/JP6365824B2/ja active Active
-
2015
- 2015-04-15 KR KR1020150053121A patent/KR101949176B1/ko active IP Right Grant
- 2015-05-11 CN CN201510236034.5A patent/CN105300261B/zh active Active
- 2015-05-26 TW TW104116797A patent/TWI624645B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150136570A (ko) | 2015-12-07 |
CN105300261B (zh) | 2019-04-12 |
KR101949176B1 (ko) | 2019-02-18 |
TWI624645B (zh) | 2018-05-21 |
JP2015224926A (ja) | 2015-12-14 |
CN105300261A (zh) | 2016-02-03 |
TW201602523A (zh) | 2016-01-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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