JP7346879B2 - 磁気式リニアセンサ - Google Patents
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- G01D5/2452—Incremental encoders incorporating two or more tracks having an (n, n+1, ...) relationship
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
C2=(n+1/4)×C1
ただし、nは整数である。本実施形態においては、n=0であるが、これに限定されない。
y1=acosθ・sinωt
y2=asinθ・sinωt
2 磁気検出ヘッド(センサヘッド)
3 第1導電パターン
4 第2導電パターン
5 スルーホール
6 信号出力部(検出部)
6a 第1信号出力部(第1検出部)
6b 第2信号出力部(第2検出部)
6c 第3信号出力部(第3検出部)
6d 第4信号出力部(第4検出部)
7 信号処理部
12 磁気応答部(第1磁気応答部)
14 第2磁気応答部
22 ベース基板部
22a 絶縁板
30 第1単位要素
31 第1要素列
40 第2単位要素
41 第2要素列
50 コイル要素
51 第1コイル要素列
52 第2コイル要素列
53 第3コイル要素列
54 第4コイル要素列
61 1次コイル
62 2次コイル
100 磁気式リニアセンサ
100x 磁気式リニアセンサ
C1 第1ピッチ
C2 第2ピッチ
S 単位検出セット(検出セット)
y1 第1交流信号
y2 第2交流信号
Claims (10)
- 変位検出方向における測定対象物の変位を検出する磁気式リニアセンサであって、
リニアスケールと、
前記リニアスケールに対して前記変位検出方向で相対変位可能に設けられたセンサヘッドと、
を備え、
前記センサヘッドは、前記変位検出方向と垂直な方向である第1方向において、前記リニアスケールの一方側に設けられ、
前記リニアスケールは、前記センサヘッドに対面する側に配置される第1磁気応答部を備え、
前記第1磁気応答部は、前記センサヘッドに対する磁気的な影響の変化が、前記変位検出方向で第1ピッチごとに交互に繰り返し現れるように構成され、
前記センサヘッドは、
少なくとも1つの絶縁板から構成されたベース基板部と、
前記絶縁板に配置され、前記第1ピッチに基づく第2ピッチで前記変位検出方向に並べられた複数の検出部と、
を備え、
それぞれの前記検出部は、
第1導電パターンと、
前記第1導電パターンと前記絶縁板の厚み方向で異なる位置に形成された第2導電パターンと、
前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとを電気的に導通するスルーホールと、
を備え、
前記第1導電パターン及び前記第2導電パターンは、前記変位検出方向及び前記第1方向の何れとも直交する第2方向に細長い領域にコイル要素を並べて配置するように形成され、
前記第1導電パターンは、前記コイル要素を構成する複数の第1単位要素を接続した一筆書き形状を有し、
前記第2導電パターンは、前記コイル要素を構成する複数の第2単位要素を接続した一筆書き形状を有し、
前記第1単位要素と前記第2単位要素は、前記ベース基板部の厚み方向で見たとき、閉じた形状の前記コイル要素を構成することを特徴とする磁気式リニアセンサ。 - 変位検出方向における測定対象物の変位を検出する磁気式リニアセンサであって、
リニアスケールと、
前記リニアスケールに対して前記変位検出方向で相対変位可能に設けられたセンサヘッドと、
を備え、
前記センサヘッドは、前記変位検出方向と垂直な方向である第1方向において、前記リニアスケールの一方側に設けられ、
前記リニアスケールは、前記センサヘッドに対面する側に配置される第1磁気応答部を備え、
前記第1磁気応答部は、前記センサヘッドに対する磁気的な影響の変化が、前記変位検出方向で第1ピッチごとに交互に繰り返し現れるように構成され、
前記センサヘッドは、
少なくとも1つの絶縁板から構成されたベース基板部と、
前記絶縁板に配置され、前記第1ピッチに基づく第2ピッチで前記変位検出方向に並べられた複数の検出部と、
を備え、
それぞれの前記検出部は、
第1導電パターンと、
前記第1導電パターンと前記絶縁板の厚み方向で異なる位置に形成された第2導電パターンと、
前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとを電気的に導通するスルーホールと、
を備え、
前記第1導電パターン及び前記第2導電パターンは、前記変位検出方向及び前記第1方向の何れとも直交する第2方向に細長い領域にコイル要素を並べて配置するように形成され、
前記第1導電パターンは、前記コイル要素を構成する複数の第1単位要素を接続した一筆書き形状を有し、
前記第2導電パターンは、前記コイル要素を構成する複数の第2単位要素を接続した一筆書き形状を有し、
前記第1単位要素と前記第2単位要素は、前記ベース基板部の厚み方向で見たとき、閉じた形状の前記コイル要素を構成し、
前記磁気式リニアセンサは、前記第1導電パターンと前記第2導電パターンと前記スルーホールとから構成された検出セットを複数備え、
複数の前記検出部のそれぞれは、前記ベース基板部の厚み方向に積層した複数の前記検出セットを備えることを特徴とする磁気式リニアセンサ。 - 変位検出方向における測定対象物の変位を検出する磁気式リニアセンサであって、
リニアスケールと、
前記リニアスケールに対して前記変位検出方向で相対変位可能に設けられたセンサヘッドと、
を備え、
前記センサヘッドは、前記変位検出方向と垂直な方向である第1方向において、前記リニアスケールの一方側に設けられ、
前記リニアスケールは、前記センサヘッドに対面する側に配置される第1磁気応答部を備え、
前記第1磁気応答部は、前記センサヘッドに対する磁気的な影響の変化が、前記変位検出方向で第1ピッチごとに交互に繰り返し現れるように構成され、
前記センサヘッドは、
少なくとも1つの絶縁板から構成されたベース基板部と、
前記絶縁板に配置され、前記第1ピッチに基づく第2ピッチで前記変位検出方向に並べられた複数の検出部と、
を備え、
それぞれの前記検出部は、
第1導電パターンと、
前記第1導電パターンと前記絶縁板の厚み方向で異なる位置に形成された第2導電パターンと、
前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとを電気的に導通するスルーホールと、
を備え、
前記第1導電パターン及び前記第2導電パターンは、前記変位検出方向及び前記第1方向の何れとも直交する第2方向に細長い領域にコイル要素を並べて配置するように形成され、
前記第1導電パターンは、前記コイル要素を構成する複数の第1単位要素を接続した一筆書き形状を有し、
前記第2導電パターンは、前記コイル要素を構成する複数の第2単位要素を接続した一筆書き形状を有し、
前記第1単位要素と前記第2単位要素は、前記ベース基板部の厚み方向で見たとき、閉じた形状の前記コイル要素を構成し、
前記磁気式リニアセンサは、前記第1導電パターンと前記第2導電パターンと前記スルーホールとから構成された検出セットを複数備え、
複数の前記検出部のそれぞれは、前記ベース基板部の厚み方向に積層した複数の前記検出セットを備え、
複数の前記検出セットは、
交流磁界を発生する1次コイルを構成する第1検出セットと、
交流磁界によって誘起される交流信号を出力する2次コイルを構成する第2検出セットと、
を含み、
前記1次コイルと前記2次コイルは、前記ベース基板部の厚み方向で対面することを特徴とする磁気式リニアセンサ。 - 変位検出方向における測定対象物の変位を検出する磁気式リニアセンサであって、
リニアスケールと、
前記リニアスケールに対して前記変位検出方向で相対変位可能に設けられたセンサヘッドと、
を備え、
前記センサヘッドは、前記変位検出方向と垂直な方向である第1方向において、前記リニアスケールの一方側に設けられ、
前記リニアスケールは、前記センサヘッドに対面する側に配置される第1磁気応答部を備え、
前記第1磁気応答部は、前記センサヘッドに対する磁気的な影響の変化が、前記変位検出方向で第1ピッチごとに交互に繰り返し現れるように構成され、
前記センサヘッドは、
少なくとも1つの絶縁板から構成されたベース基板部と、
前記絶縁板に配置され、前記第1ピッチに基づく第2ピッチで前記変位検出方向に並べられた複数の検出部と、
を備え、
それぞれの前記検出部は、
第1導電パターンと、
前記第1導電パターンと前記絶縁板の厚み方向で異なる位置に形成された第2導電パターンと、
前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとを電気的に導通するスルーホールと、
を備え、
前記第1導電パターン及び前記第2導電パターンは、前記変位検出方向及び前記第1方向の何れとも直交する第2方向に細長い領域にコイル要素を並べて配置するように形成され、
前記第1導電パターンは、前記コイル要素を構成する複数の第1単位要素を接続した一筆書き形状を有し、
前記第2導電パターンは、前記コイル要素を構成する複数の第2単位要素を接続した一筆書き形状を有し、
前記第1単位要素と前記第2単位要素は、前記ベース基板部の厚み方向で見たとき、閉じた形状の前記コイル要素を構成し、
前記磁気式リニアセンサは、
交流信号を出力する第1検出部と、
前記第1検出部と位相が90°異なる交流信号を出力する第2検出部と、
前記第1検出部と位相が180°異なる交流信号を出力する第3検出部と、
前記第1検出部と位相が270°異なる交流信号を出力する第4検出部と、
を含み、
前記第1検出部と前記第3検出部は、前記変位検出方向で互いに隣接して設けられ、
前記第2検出部と前記第4検出部は、前記変位検出方向で互いに隣接して設けられることを特徴とする磁気式リニアセンサ。 - 変位検出方向における測定対象物の変位を検出する磁気式リニアセンサであって、
リニアスケールと、
前記リニアスケールに対して前記変位検出方向で相対変位可能に設けられたセンサヘッドと、
を備え、
前記センサヘッドは、前記変位検出方向と垂直な方向である第1方向において、前記リニアスケールの一方側に設けられ、
前記リニアスケールは、前記センサヘッドに対面する側に配置される第1磁気応答部を備え、
前記第1磁気応答部は、前記センサヘッドに対する磁気的な影響の変化が、前記変位検出方向で第1ピッチごとに交互に繰り返し現れるように構成され、
前記センサヘッドは、
少なくとも1つの絶縁板から構成されたベース基板部と、
前記絶縁板に配置され、前記第1ピッチに基づく第2ピッチで前記変位検出方向に並べられた複数の検出部と、
を備え、
それぞれの前記検出部は、
第1導電パターンと、
前記第1導電パターンと前記絶縁板の厚み方向で異なる位置に形成された第2導電パターンと、
前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとを電気的に導通するスルーホールと、
を備え、
前記第1導電パターン及び前記第2導電パターンは、前記変位検出方向及び前記第1方向の何れとも直交する第2方向に細長い領域にコイル要素を並べて配置するように形成され、
前記第1導電パターンは、前記コイル要素を構成する複数の第1単位要素を接続した一筆書き形状を有し、
前記第2導電パターンは、前記コイル要素を構成する複数の第2単位要素を接続した一筆書き形状を有し、
前記第1単位要素と前記第2単位要素は、前記ベース基板部の厚み方向で見たとき、閉じた形状の前記コイル要素を構成し、
前記第1導電パターンは、複数の前記第1単位要素が前記第2方向に並べられた第1要素列を、前記変位検出方向に複数並べて構成され、
前記第2導電パターンは、複数の前記第2単位要素が前記第2方向に並べられた第2要素列を、前記変位検出方向に複数並べて構成され、
前記磁気式リニアセンサは、
交流信号を出力する第1検出部と、
前記第1検出部と位相が90°異なる交流信号を出力する第2検出部と、
前記第1検出部と位相が180°異なる交流信号を出力する第3検出部と、
前記第1検出部と位相が270°異なる交流信号を出力する第4検出部と、
を含み、
前記第1検出部が備える前記第1導電パターン及び前記第2導電パターンを構成する前記第1要素列及び前記第2要素列から構成された第1コイル要素列と、
前記第3検出部が備える前記第1導電パターン及び前記第2導電パターンを構成する前記第1要素列及び前記第2要素列から構成された第3コイル要素列と、
が前記変位検出方向に交互に並べられており、
前記第2検出部が備える前記第1導電パターン及び前記第2導電パターンを構成する前記第1要素列及び前記第2要素列から構成された第2コイル要素列と、
前記第4検出部が備える前記第1導電パターン及び前記第2導電パターンを構成する前記第1要素列及び前記第2要素列から構成された第4コイル要素列と、
が前記変位検出方向に交互に並べられていることを特徴とする磁気式リニアセンサ。 - 請求項1又は2に記載の磁気式リニアセンサであって、
前記第1導電パターンと前記第2導電パターンと前記スルーホールとから構成された検出セットを複数備え、
複数の前記検出セットは、
交流磁界を発生する1次コイルを構成する第1検出セットと、
交流磁界によって誘起される交流信号を出力する2次コイルを構成する第2検出セットと、
を含み、
前記ベース基板部の厚み方向において、前記1次コイルを構成する前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとの間に、前記2次コイルを構成する前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとが配置されていることを特徴とする磁気式リニアセンサ。 - 請求項1から3までの何れか一項に記載の磁気式リニアセンサであって、
前記複数の検出部は、
交流信号を出力する第1検出部と、
前記第1検出部と位相が90°異なる交流信号を出力する第2検出部と、
前記第1検出部と位相が180°異なる交流信号を出力する第3検出部と、
前記第1検出部と位相が270°異なる交流信号を出力する第4検出部と、
を含み、
前記第1検出部、前記第2検出部、前記第3検出部、及び前記第4検出部は、前記変位検出方向に順に並べられて設けられていることを特徴とする磁気式リニアセンサ。 - 請求項4又は5に記載の磁気式リニアセンサであって、
前記第1検出部、前記第2検出部、前記第3検出部、及び前記第4検出部から出力された信号を処理する信号処理部を備え、
前記信号処理部は、
前記第1検出部と前記第3検出部の出力の差分に相当する第1交流信号と、
前記第2検出部と前記第4検出部の出力の差分に相当する第2交流信号と、
に基づいて、前記測定対象物の変位を取得することを特徴とする磁気式リニアセンサ。 - 請求項1から5までの何れか一項に記載の磁気式リニアセンサであって、
前記リニアスケールは、第2磁気応答部を備え、
前記第2磁気応答部は、前記センサヘッドに対する磁気的な影響の変化が、前記変位検出方向で前記第1ピッチとは異なる磁気変化ピッチごとに交互に繰り返し現れるように構成され、
前記センサヘッドは、複数の磁気検出部を備え、
複数の前記磁気検出部は、前記磁気変化ピッチに基づくピッチで前記変位検出方向に並べられていることを特徴とする磁気式リニアセンサ。 - 請求項1から5までの何れか一項に記載の磁気式リニアセンサであって、
前記リニアスケールは、前記第1方向において、前記センサヘッドを挟むように、当該センサヘッドの両側のそれぞれに設けられていることを特徴とする磁気式リニアセンサ。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002148002A (ja) | 2000-11-07 | 2002-05-22 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置及びその表面処理方法 |
JP2005156348A (ja) | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Okuma Corp | 位置検出装置 |
JP2008286667A (ja) | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Okuma Corp | 電磁誘導型位置センサ |
US20090174396A1 (en) | 2005-01-28 | 2009-07-09 | Mark Anthony Howard | Inductive displacement detector |
JP2017219547A (ja) | 2016-06-07 | 2017-12-14 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | スケール本体及びエンコーダ |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH690933A5 (fr) * | 1996-01-24 | 2001-02-28 | Hans Ulrich Meyer | Capteur inductif de déplacement. |
US5841274A (en) * | 1997-01-29 | 1998-11-24 | Mitutoyo Corporation | Induced current absolute position transducer using a code-track-type scale and read head |
US5894678A (en) * | 1997-01-29 | 1999-04-20 | Mitutoyo Corporation | Electronic linear tape measure using a low power induced current position transducer |
JPH11223505A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-08-17 | Mitsutoyo Corp | 誘導型位置測定装置 |
JP2002090176A (ja) | 2000-09-19 | 2002-03-27 | Chuo Spring Co Ltd | 積層コイル及びそれを用いた電磁誘導型変位センサ |
JP4392228B2 (ja) | 2003-11-28 | 2009-12-24 | オークマ株式会社 | 位置検出装置 |
JP4465513B2 (ja) * | 2003-12-09 | 2010-05-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 位置検出装置 |
JP4476717B2 (ja) * | 2004-06-30 | 2010-06-09 | オークマ株式会社 | 電磁誘導型位置センサ |
JP2006194786A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Oht Inc | センサ、検査装置および検査方法 |
JP2006343180A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Hioki Ee Corp | 磁気検出コイル素子および多軸磁気検出コイル |
JP5167305B2 (ja) * | 2010-04-23 | 2013-03-21 | 株式会社タムラ製作所 | 電流検出器 |
WO2011154786A1 (ja) * | 2010-06-10 | 2011-12-15 | パナソニック電工株式会社 | ポジションセンサ |
JP5809479B2 (ja) * | 2011-08-03 | 2015-11-11 | 株式会社ミツトヨ | 電磁誘導式絶対位置測定用エンコーダ |
TW201321780A (zh) * | 2011-11-16 | 2013-06-01 | Isentek Inc | 磁感測器 |
TWI559186B (zh) * | 2013-12-13 | 2016-11-21 | Lg化學股份有限公司 | 觸控感測器及顯示裝置 |
JP6365824B2 (ja) * | 2014-05-27 | 2018-08-01 | 村田機械株式会社 | 磁気式変位センサ及び変位の検出方法 |
US9739642B2 (en) * | 2015-04-24 | 2017-08-22 | Mitutoyo Corporation | Encoder scale and manufacturing and attaching method thereof |
US10775199B2 (en) * | 2016-08-24 | 2020-09-15 | Mitutoyo Corporation | Winding and scale configuration for inductive position encoder |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002148002A (ja) | 2000-11-07 | 2002-05-22 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置及びその表面処理方法 |
JP2005156348A (ja) | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Okuma Corp | 位置検出装置 |
US20090174396A1 (en) | 2005-01-28 | 2009-07-09 | Mark Anthony Howard | Inductive displacement detector |
JP2008286667A (ja) | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Okuma Corp | 電磁誘導型位置センサ |
JP2017219547A (ja) | 2016-06-07 | 2017-12-14 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | スケール本体及びエンコーダ |
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