JP5676223B2 - 電磁誘導式エンコーダ - Google Patents
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Description
12…グリッド
14−1、14−2…スケールコイル
20−1、20−1A、20−1B、20−2、20−2A、20−2B…受信コイル
24−1、24−2…送信コイル
28…送信制御部
Claims (2)
- 測定方向に沿ってスケール上に多数配設された複数列のスケールコイルと、
前記スケールに対して測定方向に相対移動自在なグリッド上にパターン形成された、複数列の送信コイル及び複数層にわたって形成された受信コイルとを備え、
前記送信コイルを励磁した時に、前記スケールコイルを経由して前記受信コイルで検出される磁束の変化から、前記スケールと前記グリッドの相対移動量を検出する電磁誘導式エンコーダにおいて、
前記複数列の送信コイルを、それぞれ前記グリッド上の異なる層に形成すると共に、
前記複数列の送信コイルの互いに近接するパターンを、前記グリッド上の異なる層の同じ平面位置に形成したことを特徴とする電磁誘導式エンコーダ。 - 測定方向に沿ってスケール上に多数配設された複数列のスケールコイルと、
前記スケールに対して測定方向に相対移動自在なグリッド上にパターン形成された、複数列の送信コイル及び複数層にわたって形成された受信コイルとを備え、
前記送信コイルを励磁した時に、前記スケールコイルを経由して前記受信コイルで検出される磁束の変化から、前記スケールと前記グリッドの相対移動量を検出する電磁誘導式エンコーダにおいて、
前記複数列の送信コイルの互いに近接するパターンを、前記グリッド上の異なる層の同じ平面位置に形成したことを特徴とする電磁誘導式エンコーダ。
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