JP2012108074A - 電磁誘導式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定方向に沿ってスケール10上に多数配設された複数列のスケールコイル14−1、14−2と、前記スケールに対して測定方向に相対移動自在なグリッド12上にパターン形成された、複数列の送信コイル24−1、24−2及び複数層にわたって形成された受信コイル20−1、20−2とを備え、前記送信コイルを励磁した時に、前記スケールコイルを経由して前記受信コイルで検出される磁束の変化から、前記スケールと前記グリッドの相対移動量を検出する電磁誘導式エンコーダにおいて、前記複数の送信コイルの互いに近接するパターンを、前記グリッド上の異なる層に形成する。
【選択図】図8
Description
12…グリッド
14−1、14−2…スケールコイル
20−1、20−1A、20−1B、20−2、20−2A、20−2B…受信コイル
24−1、24−2…送信コイル
28…送信制御部
Claims (4)
- 測定方向に沿ってスケール上に多数配設された複数列のスケールコイルと、
前記スケールに対して測定方向に相対移動自在なグリッド上にパターン形成された、複数列の送信コイル及び複数層にわたって形成された受信コイルとを備え、
前記送信コイルを励磁した時に、前記スケールコイルを経由して前記受信コイルで検出される磁束の変化から、前記スケールと前記グリッドの相対移動量を検出する電磁誘導式エンコーダにおいて、
前記複数の送信コイルの互いに近接するパターンを、前記グリッド上の異なる層に形成したことを特徴とする電磁誘導式エンコーダ。 - 前記複数の送信コイルの互いに近接するパターンが、前記グリッド上の異なる層の同じ平面位置に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電磁誘導式エンコーダ。
- 前記複数の送信コイルのグリッド上の配置幅が従来より縮小されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電磁誘導式エンコーダ。
- 各送信コイルの幅が従来より拡大されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電磁誘導式エンコーダ。
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- 2010-11-19 JP JP2010258845A patent/JP5676223B2/ja active Active
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