JP4249529B2 - 電磁誘導型トランスジューサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、コイルとして作用する配線パターンのループ部が、測定軸方向に多数、同一平面上に並設されたスケールを有する電磁誘導型トランスジューサに係り、特に、信号強度を向上可能とし、もって、スケールの小型化を図ったり、測長精度向上や、スケール及び読取りヘッド間のギャップ許容度向上を図ったり、又これらによってコストダウンや製作設備の合理化を図ったりすることができる電磁誘導型トランスジューサに関する。本発明は、電子ノギス、電子マイクロメータ、インジケータ、リニアスケール、リニアゲージなどに用いるのに好適である。
【0002】
【従来の技術】
図4は、従来の電磁誘導型トランスジューサに用いられるスケール例を示す一部平面図である。又、図5は、該スケール例のスケールループを示す平面図である。
【0003】
図4に示すように、スケール10上には、多数のスケールループ11が配置されている。又、図5に示すように、スケールループ11は、第1ループ部12と、第2ループ部14と、これら第1ループ部12及び第2ループ部14を接続する接続ループ16とを含む。そして、このようなスケールループ11は、図4に示すように、互いに異なる波長で測定軸方向に多数並設され、測定軸方向に複数のトラックになっている。
【0004】
又、場合によっては、同じスケールループ11でも、第1ループ部12や第2ループ部14が、互いに異なる波長で測定軸方向に多数並設される。この場合、同じスケールループ11の第1ループ部12及び第2ループ部14は隣接並設するので、接続ループ16の長さは測定軸方向で変化する。
【0005】
特許文献1においては、接続ループ16の接続パターン長に応じて、スケールループ11を構成するパターン幅の少なくとも一部を変えるようにしている。これによって、測定軸方向で接続パターン長が変化することによる、スケール位置による出力信号の変動を低減させるようにしている。
【0006】
【特許文献1】
特開2002−213906号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、電磁誘導型トランスジューサにおいて、ループ部は、測定軸方向に多数、2つ以上のトラックで並設する必要があり、測定軸方向に直交方向で、即ちスケール10の幅方向に複数トラックとなって、図4において符号Wで示すスケール幅も、それ相応に要するものとなる。該スケール幅Wは、電磁誘導型トランスジューサの製作面でも、利用時の取り付け面でも、小型化が望まれる場合がある。
【0008】
しかしながら、小型化するため、図5において符号Aで示す、スケールループのコイル幅を小さくすると、測長に際して、読取りヘッドにおいて検出する信号強度が低下してしまい、よって測長精度が低下してしまうという問題がある。又信号強度が低下すると、スケール及び読取りヘッド間のギャップ許容度が低下して、これによって電磁誘導型トランスジューサの製作の手間やコストが上昇してしまうなどの問題が生じる。
【0009】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、信号強度を向上可能とし、もって、スケールの小型化を図ったり、測長精度向上や、スケール及び読取りヘッド間のギャップ許容度向上を図ったり、又これらによってコストダウンや製作設備の合理化を図ったりすることができる電磁誘導型トランスジューサを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、コイルとして作用する複数のループと、これを接続する接続ループでなる配線パターンが、測定軸方向に多数、同一平面上に並設されたスケールを有する電磁誘導型トランスジューサにおいて、全ての前記複数のループ部の、前記測定軸方向に直交方向の配線のパターン幅Yと、前記測定軸方向の配線のパターン幅Xが、次式
X<Y<(1/2)×(Px−S)
(ここで、Pxはループの並設間隔、Sはスペース)
の関係を満足するようにして、前記課題を解決したものである。
【0011】
又、前記電磁誘導型トランスジューサにおいて、全ての前記複数のループ部の、前記測定軸方向に直交方向のコイル幅を、前記測定軸方向のコイル幅より、小として、スケール幅を小型化することができる。
【0012】
以下、本発明の作用について、簡単に説明する。
【0013】
本発明は、ループ部において、測定軸方向に直交方向、即ちスケール幅方向の配線の、少なくとも一部のパターン幅を拡張する。そうして、このように拡張されたパターン幅を、測定軸方向の配線のパターン幅より広くする。
【0014】
本発明は、このようにパターン幅を拡張することで、測長に際して、スケール上を測定軸方向に移動する読取りヘッドにおいて検出される信号の、信号強度を向上可能とすることができる。又、このように信号強度を向上可能とすることで、スケールの小型化を図ったり、測長精度向上や、スケール及び読取りヘッド間のギャップ許容度向上を図ったり、又これらによってコストダウンや製作設備の合理化を図ったりすることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0016】
図1は、本発明が適用された実施形態の電磁誘導型トランスジューサに用いられる、スケールを示すその一部平面図である。
【0017】
この図1では、図中において左右方向が、測定軸方向になっている。本実施形態のスケール10上には、本発明が適用された、後述する第1例や第2例のスケールループ11が多数配置されている。
【0018】
図2は、本実施形態に用いられる、スケールループ11の第1例を示す平面図である。又、図3は、本実施形態に用いられる、スケールループ11の第2例を示す平面図である。
【0019】
これら図2及び図3では、図中において左右方向が、測定軸方向になっている。又、図示されるように、第1例のものも第2例のものも、スケールループ11は、第1ループ部12と、第2ループ部14と、これら第1ループ部12及び第2ループ部14を接続する接続ループ16とを含む。
【0020】
ここで、図1において、図中、上列で、左右方向に配列されたスケールループ11は、第1ループ部12も、第2ループ部14も、並設間隔Pxはλ1になっている。又、下列で、左右方向に配列されたスケールループ11は、第1ループ部12の並設間隔Pxはλ2、第2ループ部14の並設間隔Pxはλ3になっている。なお、前述の従来例の図4についても、本実施形態との寸法比較上、同様の並設間隔になっている。
【0021】
そして、これら第1例及び第2例のスケールループ11では、第1ループ部12においても、第2ループ部14においても本発明が適用され、測定軸方向に直交方向の配線のパターン幅Yが、測定軸方向の配線のパターン幅Xより広くされている。これによって、読取りヘッドにおいて検出する信号強度を大きくすることができる。
【0022】
なお、第2例のスケールループ11は、パターン幅Yが、測定軸方向の配線のパターン幅Xより広くされる度合いは、第1例のものに比較して、大になっている。その分、読取りヘッドにおいて検出する信号強度も更に大になっている。
【0023】
本実施形態においては、信号強度を大きくすることができる分、第1ループ部12や第2ループ部14における、測定軸方向に直交方向のコイル幅Aを縮小し、これによって図1に示すスケール10の幅Wを小さくし、もってスケール10の小型化を図るようにしている。コイル幅Aは、第1ループ部12や第2ループ部14それぞれにおける、測定軸方向のコイル幅Bより小とされている。又、例えば、本実施形態のAやWは、前述した図4や図5に示した従来例のAやWに比較して、小さくされている。そして、このような小型化によって、コストダウンや製作設備の合理化を図ることができる。
【0024】
ここで、本実施形態においては、次式が成立している。なお、この式においてSは、スペース幅であり、図2や図3におけるスペース幅S1やS2の合計である。
【0025】
X<Y<(1/2)×(Px−S)
【0026】
なお、本実施形態において、AやWを従来と同じ寸法にしてもよい。この場合は、読取りヘッドにおいて検出する信号強度が大きくなるので、スケール10及び読取りヘッド間のギャップ許容度向上を図ることが可能である。ギャップ許容度が向上すると、電磁誘導型トランスジューサの製作が容易になり、コストダウンや製作設備の合理化を図ることができる。
【0027】
以上のように本実施形態では、本発明を効果的に適用することができる。
【0028】
【発明の効果】
本発明によれば、信号強度を向上可能とし、もって、スケールの小型化を図ったり、測長精度向上や、スケール及び読取りヘッド間のギャップ許容度向上を図ったり、又これらによってコストダウンや製作設備の合理化を図ったりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用された実施形態の電磁誘導型トランスジューサに用いられる、スケールを示すその一部平面図
【図2】上記実施形態に用いられるスケールループの第1例を示す平面図
【図3】前記実施形態に用いられるスケールループの第2例を示す平面図
【図4】従来例の電磁誘導型トランスジューサに用いられるスケール例を示すその一部平面図
【図5】上記従来例に用いるスケール例のスケールループを示す平面図
【符号の説明】
10…スケール
11…スケールループ
12…第1ループ部
14…第2ループ部
16…接続ループ
X…測定軸方向の配線のパターン幅
Y…測定軸方向に直交方向の配線のパターン幅
A…測定軸方向に直交方向のコイル幅
B…測定軸方向のコイル幅
Px…並設間隔
Claims (2)
- コイルとして作用する複数のループと、これを接続する接続ループでなる配線パターンが、測定軸方向に多数、同一平面上に並設されたスケールを有する電磁誘導型トランスジューサにおいて、
全ての前記複数のループ部の、前記測定軸方向に直交方向の配線のパターン幅Yと、前記測定軸方向の配線のパターン幅Xが、次式
X<Y<(1/2)×(Px−S)
(ここで、Pxはループの並設間隔、Sはスペース)
の関係を満足するようにされていることを特徴とする電磁誘導型トランスジューサ。 - 請求項1に記載の電磁誘導型トランスジューサにおいて、
全ての前記複数のループ部の、前記測定軸方向に直交方向のコイル幅が、前記測定軸方向のコイル幅より、小とされたことを特徴とする電磁誘導型トランスジューサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003106785A JP4249529B2 (ja) | 2003-04-10 | 2003-04-10 | 電磁誘導型トランスジューサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003106785A JP4249529B2 (ja) | 2003-04-10 | 2003-04-10 | 電磁誘導型トランスジューサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004309435A JP2004309435A (ja) | 2004-11-04 |
JP4249529B2 true JP4249529B2 (ja) | 2009-04-02 |
Family
ID=33468866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003106785A Expired - Fee Related JP4249529B2 (ja) | 2003-04-10 | 2003-04-10 | 電磁誘導型トランスジューサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4249529B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6970640B2 (ja) | 2018-04-13 | 2021-11-24 | 株式会社ミツトヨ | 電磁誘導式エンコーダ |
JP7086469B2 (ja) | 2018-05-09 | 2022-06-20 | 株式会社ミツトヨ | 電磁誘導式エンコーダ |
-
2003
- 2003-04-10 JP JP2003106785A patent/JP4249529B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004309435A (ja) | 2004-11-04 |
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A621 | Written request for application examination |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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