JP2011101552A - リニアスケール、リニアモータ、及びリニアモータの制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スケールの磁性体26、27が生成する磁束密度に応じた波形信号を出力するスケール検出手段を設ける。このスケール検出手段は、当該スケールの移動方向Xにおいて、同一位相の正弦波信号A(B)を出力して当該スケールを連続的に検出するように前記スケール長に対応する一定の間隔を隔てて配置された複数のセンサ17a、17b(18a、18b)であり、前記スケールの両端部は、同一極性に設定されているとともに、単独のセンサ17a、17b(18a、18b)で検出された際の出力電圧が、残余の部位が単独のセンサ17a、17b(18a、18b)で検出された際の出力電圧の1/2となるような仕様に決定されている。
【選択図】図6
Description
11 ベースフレーム
14 レール
15 固定子
16 センサヘッド
17a、18a 第1のセンサ
17b、18b 第2のセンサ
17c、18c 第3のセンサ
20 可動部
24 永久磁石
25 センサ用プレート
26〜28 永久磁石
29 凹部
30 斜面
40 モータ制御装置
41 位置/速度判定部(位置判定部の一例)
A 正弦波信号(波形信号の一例)
B 正弦波信号(波形信号の一例)
L スケール長
M 間隔
S リニアスケール
W1 幅
W2 幅
θ 角度
Claims (6)
- 基準点からの距離を求めるリニアスケールにおいて、
複数の磁性体を含むスケールと、
このスケールのスケール長よりも長いストローク範囲に配設され、スケールの磁性体が生成する磁束密度に応じた波形信号を出力するスケール検出手段と
を備え、
前記スケール検出手段は、当該スケールの移動で、同一位相の波形信号を出力して当該スケールを連続的に検出するように前記スケール長に対応する一定の間隔を隔てて前記スケールの移動方向に配置された複数のセンサであり、
前記スケールの両端部は、同一極性に設定されているとともに、単独のセンサで検出された際の出力電圧が、残余の部位が単独のセンサで検出された際の出力電圧の1/2となるような仕様に決定されている
ことを特徴とするリニアスケール。 - 請求項1記載のリニアスケールにおいて、
前記スケールは、極性を交互に違えて配置された一群の永久磁石であり、両端部に配置された永久磁石の前記移動方向に沿う幅は、残余の永久磁石の前記移動方向に沿う幅に対して1/2に設定されている
ことを特徴とするリニアスケール。 - 請求項1記載のリニアスケールにおいて、
前記スケールは、極性を交互に違えて配置された一群の永久磁石であり、両端部に配置された永久磁石が前記センサに対向する対向面は、残余の永久磁石が前記センサに対向する対向面よりも前記センサから遠ざかっている
ことを特徴とするリニアスケール。 - 請求項1記載のリニアスケールにおいて、
前記スケールは、極性を交互に違えて配置された一群の永久磁石であり、両端部に配置された永久磁石が前記センサに対向する対向面は、当該永久磁石の並ぶ方向において外側が前記センサから遠ざかるように傾斜している
ことを特徴とするリニアスケール。 - 請求項1から4の何れか1項に記載のリニアスケールが装備されたリニアモータであって、
前記スケールを担持する可動部と、前記可動部を往復移動可能に担持するベースフレームとを備え、
前記センサは、所定の波形信号を出力する第1のセンサと、前記波形信号と位相のみが相対的にπ/2ずれた波形信号を出力する第2のセンサとがそれぞれ複数個設けられたものである
ことを特徴とするリニアモータ。 - 請求項5記載のリニアモータを制御するリニアモータの制御装置であって、
前記第1のセンサが出力した波形信号の出力と前記第2のセンサが出力した波形信号の出力とに基づいて前記可動部の位置角度を算出することにより、前記スケールの基準点からの位置を特定する位置判定部を備えている
ことを特徴とするリニアモータの制御装置。
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