JP6046919B2

JP6046919B2 - スライド装置

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Publication number: JP6046919B2
Application number: JP2012121128A
Authority: JP
Inventors: 井田　英二; 英二井田; 健野村; 和紀山岸
Original assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Current assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Priority date: 2012-05-28
Filing date: 2012-05-28
Publication date: 2016-12-21
Anticipated expiration: 2032-05-28
Also published as: JP2013247812A; US20130313920A1; US9502953B2

Description

この発明は，矩形板状のベッドと該ベッドに対して直動案内ユニットを介して往復移動自在な矩形板状のテーブルとの間にリニアモータを内蔵した全体的に平らな形状に構成され，極小形にしてカバーを取付け可能な又はカバーを装着したスライド装置に関する。

近年，半導体製造装置，精密機械，測定・検査装置，医療機器，ロボット，組立装置，マイクロマシーン等の各種装置において，省エネであり，装置そのものの構造を小形でコンパクトに構成して効率化が図られており，該各種装置に組み込まれる往復運動位置決め機構のスライド装置においても，極小形にして高精度な位置決め，高速性，高応答性を有すると共に，防塵・防護などの安全性，信頼性が要望されている。

従来から，本出願人は，可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置を開発しており，該スライド装置は，コンパクトでシンプルで，高精度・高推力・高速性・高応答性を有し，防塵性が有り，使い勝手がよく，安価に構成したものであった（例えば，特許文献１参照）。

特開２００７−３００７５９号公報

上記の可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置は，高性能を有し，使い勝手が良好なものに成っていた。しかしながら，近年，更に，スライド装置の断面高さ，即ち総高さが低く，スライド装置の大きさを極めて小さくした極小形になる可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置が求められている。また，スライド装置が極小形の構造に構成されれば，それに伴ってどうしても装置自体の推力が小さくなってしまい，外部環境の塵等による外力の悪影響を受け易くなってしまうので，外部環境の必要性により，装置自体の安全性の意味からも防塵で防護のためのカバーを装着可能にすることが求められている。

近年，半導体製造装置，各種組立装置，測定装置等の各種装置に使用されるスライド装置は，ますます小形化が要望され，更に，高精度な位置決め，高速性，高応答性を有すると共に，防塵・防護などの安全性が要望されている。そこで，本願発明のスライド装置は，その要望に応えるものとして如何に構成するかの課題があった。

この発明の目的は，上記課題を解決することであり，スライド装置に可動マグネット型リニアモータを内蔵すると共に，スライド装置そのものを極小形に構成すると共に，防塵で防護のためのカバーを簡単に装着可能にするスライド装置，又は該カバーを装着したスライド装置を提供することである。

この発明は，矩形板状のベッド，該ベッドに幅方向に隔置して取り付けた一対の直動案内ユニットを介して往復移動自在な矩形板状のテーブル，及び前記ベッドと前記テーブルとの間で且つ前記直動案内ユニットの間に界磁マグネットと該界磁マグネットに対向する電機子組立体とから成る可動マグネット型リニアモータを内蔵した上下面が実質的に平らな形状のスライド装置において，
前記ベッドには，前記テーブルの移動方向に沿って形成された溝状の凹部にコイル基板を下面にした前記電機子組立体が埋設され，前記電機子組立体の両端側になる前記凹部の両端部にエンドブロックがそれぞれ嵌入して対向して配設されており，前記エンドブロックは，ブロック体に構成されて両側部に形成された取付け用孔にねじを通して前記コイル基板と共に前記ベッドに固着されており，前記テーブルが前記ベッドから飛び出すのを防止するために前記ベッド上から突出して前記テーブルの上面よりも低く構成されて前記テーブルの端面が当接する当接面を有しており，
前記スライド装置の全体を上部から被せて覆う防塵で防護のためのカバーが前記エンドブロックの前記ブロック体に嵌入しており，前記ブロック体には，前記カバーを位置決め固着する上面，両側面，及び外端面になる背面に形成されていると共に，前記背面に係止凹部が設けられており，
前記カバーは，前記テーブルの上面に対向する部分が開口された窓部に形成されると共に前記窓部の周囲が前記スライド装置の上部を覆う天井部に形成され且つ前記天井部から垂下して前記スライド装置の両側部及び両端部の周辺を覆う周辺部に形成されており，前記カバーの両端部は，前記スライド装置をベース等の機台に取り付けるために前記ベッドの四隅に形成された取付け用孔を覆うこと無く，各々の前記取付け用孔を露出させた形状に前記端部の両側が段凹部に形成されており，前記段凹部間が突出して前記エンドブロックにそれぞれ嵌入する係着部に形成されており，
前記カバーの前記係着部の内面である裏面は，前記エンドブロックの前記上面に当接して前記カバーの上下の位置決めをする底面，前記エンドブロックの前記両側面にそれぞれ近接して前記カバーの側部方向の位置決めをする両側面，及びそれぞれの前記エンドブロックの前記外端面に近接して前記カバーの端部方向の位置決めをする両端面に形成されており，前記カバーの前記両端面には突出した一対の係止凸部がそれぞれ形成されており，前記カバーは，それぞれの前記係止凸部がそれぞれの前記エンドブロックの前記係止凹部に係着して前記スライド装置に装着されており，
前記テーブルには，前記カバーの前記窓部を通して位置決め駆動するワーク等の部材を取り付けるためにサブテーブルが固着されていることを特徴とするカバーを装着したスライド装置に関する。

また，前記エンドブロックは，合成樹脂製で形成され，前記当接面が断面山形で上下に延びる凸部で幅方向に多数並設した弾性変形可能な緩衝部に構成されている。

また，一方の前記エンドブロックは，前記電機子組立体に電源線が結線されモールドされたコネクター側に配設されて前記コネクターを嵌入する凹欠部が形成されると共に下面には前記コイル基板上に配置可能に平面に形成されており，他方の前記エンドブロックは，下面には前記コネクター側に対向する側の前記コイル基板の端部を嵌入できる段凹部が形成されているものである。

また，前記カバーの前記窓部は，矩形板状に形成された前記サブテーブルが前記テーブルの可動範囲に可動しても前記テーブルの端面が露出しない大きさに矩形形状に形成されており，前記サブテーブルは，前記テーブルの中央位置に固着され，且つ前記テーブルの移動方向に沿った長さが前記テーブルの長さから２倍の前記テーブルのストローク距離を引いた長さよりも小さく形成されているものである。

このスライド装置は，上記のように構成されており，可動マグネット型のリニアモータを内蔵した平らな形状のスライド装置であって，一対のエンドブロックにスライド装置の全体を上部から被せて覆う防塵で防護のためのカバーをワンタッチで取付け可能に係止部が形成され，しかもテーブルの上面にはサブテーブルを取り付けるための複数の取付け用ねじ孔が形成された構造に構成されているので，容易にカバーがスライド装置に装着可能に構成されている。また，エンドブロックは，テーブルの端面が当接する当接面が緩衝部に形成された単一のブロック体に構成されているので，ベッドの両端に容易に配置可能になっている。また，一対のエンドブロックは，電機子組立体のコネクター側のエンドブロックと対向側のエンドブロックとでそれぞれに機能性を有して形成されており，それによって，スライド装置自体がコンパクトに構成されている。また，スライド装置に装着されるカバーは，最小に開口した窓部を除きスライド装置全体を覆うように構成されており，可動ケーブルが無い可動マグネット型リニアモータであり，機械的接触部分が直動案内機器のみで構成されてカバーを設けたので，高いクリーン度を発揮でき，極小形のスライド装置であっても，安心で安全なものに構成されている。

この発明によるカバーを取り付けるスライド装置の一実施例を分解して示す分解斜視図である。図１のスライド装置にカバーを装着した状態を示す斜視図である。図２のカバーを装着したスライド装置のＡ−Ａ位置で断面してスライド装置を示す断面図である。図１のスライド装置をＥ矢視で見た状態を示す側面図である。図１のスライド装置に対して電源線及びセンサケーブルの引出し方向を反対側に変更した仕様に構成して，１８０°回転して図示したスライド装置を示しており，スライド装置におけるテーブルを部分断面して示す斜視図である。図１のコネクター側に配設されたエンドブロックを示す斜視図である。図６のコネクター側に配設されたエンドブロックを背面側から見た状態を示す斜視図である。図１の反コネクター側に配設されたエンドブロックを示す斜視図である。図８の反コネクター側に配設されたエンドブロックを背面側から見た状態を示す斜視図である。図１のカバーを示す正面図である。図１０のカバーを示す側面図である。図１０のカバーを示す平面図である。図１０のカバーを示す下面図である。図１３のカバーのＢ−Ｂ位置で断面して示す断面図である。図１４のカバーのＦ部分を拡大して示す拡大図である。

この発明によるスライド装置は，従来の可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置（例えば，特開２００７−３００７５９号公報）に比較して，全体の大きさ（総高さＨ，総幅Ｗ及び総長さＬ）を極めて小さく構成した極小形になる可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置（例えば，Ｈ＝１１ｍｍ，Ｗ＝３８ｍｍ，Ｌ＝６２ｍｍ）であり，且つ防塵・防護のためのカバーを取付け可能な構造に構成したことを特徴としている。

以下，図面を参照して，この発明によるスライド装置の実施例について説明する。この発明によるスライド装置１０は，矩形板状のベッド１，ベッド１に幅方向に隔置して取り付けた一対の直動案内ユニット９を介して往復移動自在な矩形板状のテーブル１，及びベッド２とテーブル１との間で且つ直動案内ユニット９の間に界磁マグネット７と該界磁マグネット７に対向する電機子組立体８とから成る可動マグネット型リニアモータ６を内蔵した上下面が実質的に平らな形状に構成されている。即ち，可動マグネット型リニアモータ６を内蔵したスライド装置１０は，図１〜図５に示すように，従来のスライド装置の形態を踏襲したものであり，矩形板状のベッド２，ベッド２に対して幅方向に隔置して配設された一対の直動案内ユニット９を介して往復移動自在な矩形板状のテーブル１，及びベッド２とテーブル１との間で且つ直動案内ユニット９の間に内蔵したリニアモータ６から構成されており，全体が断面四角形状の上下面が実質的にフラットな（平らな）形状を持つスライド装置１０に構成されている。スライド装置１０は，特に，ベッド２とテーブル１との間に配設された直動案内ユニット９を高さが極めて低く小形のタイプに構成したことによって，総高さを低断面の構造に構成されていることを特徴としている。

このスライド装置１０において，内蔵されたリニアモータ６の一方側の界磁マグネット７は，図３及び図５に示されるように，直動案内ユニット９の間であるテーブル１の下面にテーブル１の移動方向に沿って極性が交互に異にして並設された多数のマグネット７Ｍが固着して構成されている。マグネット７Ｍは，矩形平板状でなり，実施例では，６極になる６個のマグネット７Ｍで構成されている。また，界磁マグネット７に対向するリニアモータ６の他方側の電機子組立体８は，図３及び図５に示されるように，直動案内ユニット９の間であるベッド２の上面に固着されている。電機子組立体８は，ベッド２上に配設された長尺の平板状になるコイル基板２１，コイル基板２１上の長手方向即ちテーブル１の移動方向に沿って並設された矩形状のコアレスでなる扁平の多数（実施例では６個）の電機子コイル２０，多数の電機子コイル２０の上面である全面を覆う薄膜状の表面保護シート２５，及び多数の電機子コイル２０に電源を供給するためにコイル基板２１の上面の一方の端部に結線された電源線１７から構成されている。更に，電機子組立体８は，コイル基板２１，多数の電機子コイル２０，及び表面保護シート２５が接着剤で互いに固着されており，コイル基板２１と表面保護シート２５との間になる多数の電機子コイル２０の周囲が別の接着剤でモールドされたモールド部４７に形成され，及び電源線１７の結線部分も結線部分が露出しないように，同様にモールドされてコネクター１４に形成されて，全体が一体構造に構成されている。多数の電機子コイル２０は，三相通電方式で各相（Ｕ相，Ｖ相，及びＷ相）の電流が供給される３個の電機子コイル２０が一組として構成され，ここでは，二組に成る６個の電機子コイル２０で構成されている。

この発明におよるスライド装置１０では，ベッド２はコイルヨークとして磁性材料から構成され，及びテーブル１はマグネットヨークとして磁性材料から構成されている。特に，スライド装置１０は，従来よりも大きさが極めて小さく極小形に構成されている。図３及び図４に示すように，スライド装置１０の大きさは，スライド装置１０の断面高さになる総高さＨ，スライド装置１０の総幅Ｗ，及びスライド装置１０の総長さＬで表わされ，スライド装置１０の断面高さになる総高さＨを低く形成すると共に，スライド装置１０の総幅Ｗ・総長さＬも小さく形成されている。実施例では，Ｈ＝１１ｍｍ，Ｗ＝３８ｍｍ，Ｌ＝６２ｍｍに形成されている。

また，スライド装置１０は，それ自体を極小形に構成するため，各構成部材もスケールダウンして形成されるが，図３及び図４に示されるように，ベッド２の上面は，テーブル１の移動方向即ちベッド２の長手方向に沿って中央部が凹溝に成る凹部３５に形成されて，凹部３５の両側の上面と凹部３５の底面になる上面とに形成されており，凹部３５の両側の各々の上面には，長手方向に沿って固着された長尺状の軌道レール１３及び軌道レール１３に転動体（図示せず）を介して摺動自在な２つのスライダ１２でなる極小形の直動案内ユニット９が配設され，両直動案内ユニット９の間に有る凹部３５の底面である上面には，コイル基板２１の下面が当接して凹部３５内に埋設される状態で電機子組立体８が配設され構成されている。また，スライド装置１０は，コイル基板２１の下面には，放熱を促進するために銅箔５９が接着されており，コイル基板２１が凹部３５内に配設されているが，リニアモータ６で発生する熱は篭もることなく，銅箔５９の伝導作用で適正な温度に放熱されている。

スライド装置１０では，高精度な位置決め行うための光学式リニアエンコーダ１９は，従来の実績及びコストから，従来と同一のサイズのもので使用されており，図４及び図５に示すように，ベッド２の側面に突出して固着されたセンサ取付板２４の上面に固着されたセンサ２３，及びセンサ２３に対向してテーブル１の一方側に延びた側部である庇部２６の下面にテーブル１の移動方向に沿って固着されたリニアスケール２２から構成されている。即ち，スライダ装置１０は，従来と同一の大きさのリニアエンコーダ１９を収容可能に構成されている。リニアスケール２２を固着した庇部２６の上面であるテーブル１の上面は，図１及び図４に示すように，ワーク等の部材（図示せず）を取り付けるための平面でなる取付け面に形成されている。しかしながら，テーブル１の上面である庇部２６の上面は，テーブル１の上面の取付け面２８と同様に部材の取付け面とすると，リニアスケール２２に悪影響を及ぼすので，取付け面２８とは区別され，区分する境界部分に凹溝になるマーク２７が形成されている。テーブル１の取付け面２８には，ワーク等の部材を取り付けるための複数の取付け用ねじ孔４１が形成されている。

図１〜図５示すように，極小形に構成されたスライド装置１０は，特に，マグネット７Ｍ及び電機子コイル２０も小さく形成されて推力も小さくなり，外部環境の影響を受け易くなるので，安全性からも外部環境の影響を小さくするために，防塵で防護のためのカバー３をスライド装置１０に設けたエンドブロック４，５に簡単に装着可能に構成されていることを特徴としている。また，スライド装置１０は，防塵及び防護のためのカバー３をエンドブロック４，５に係止して装着した構造に構成されている。スライド装置１０は，特に，ベッド２には，テーブル１の移動方向に沿って形成された溝状の凹部３５に電機子組立体８のコイル基板２１を下面にして埋設され，電機子組立体８の両端側になる凹部３５の両端部６３にエンドブロック４，５がそれぞれ嵌入して対向して配設され，エンドブロック４，５には，スライド装置１０の全体を上部から被せて覆う防塵で防護のためのカバー３が嵌入することを特徴としている。また，エンドブロック４，５は，ブロック体に構成されて両側部に形成された取付け用孔５１にねじを通してコイル基板２１と共にベッド２に固着され，テーブル１がベッド２から飛び出すのを防止するために，ベッド２上から突出してテーブル１の上面６４よりも低く構成されて，テーブル１の端面６５が当接する当接面１５を有して形成されている。更に，エンドブロック４，５のブロック体は，カバー３を位置決め固着する取付け可能にする上面５０，両側面４８，及び外端面になる背面４６に形成されると共に，背面４６に係止凹部３１を設けられている。また，テーブル１の上面６４には，カバー３が装着されるときにカバー３に開口して形成された窓部１８を通してカバー上面６４から僅かに突出した状態に固定されたサブテーブル１１を取付け可能にする複数の取付け用ねじ孔４２が形成されている。この実施例では，スライド装置１０は，最大推力が３．０Ｎ，定格推力が０．６Ｎに構成され，ストロークが，例えば，１０〜１８ｍｍに構成されている。

カバー３が装着されたスライド装置１０については，図１〜図３に示すように，カバー３は，スライド装置１０の全体を上部から被せて覆う態様に形成されると共に，スライド装置１０のテーブル１の上面に対向する部分は開口した窓部１８に形成されており，窓部１８を通して位置決め駆動するテーブル１にワーク等の部材（図示せず）を取り付けるためにテーブル１よりも小さなサブテーブル１１が装着されている。サブテーブル１１は，テーブル１の取付け面１８に設けたねじ孔４２に複数のねじ３６で固着されて構成される。また，カバー３は，図２に示すように，スライド装置１０をベース等の機台（図示せず）に取り付けるためベッド２に形成した取付け用孔３４を覆うこと無く露出する形状に，端部が段凹部６０に形成されている。実施例では，スライド装置１０の取付け用孔３４は，ベッド２の端部の四隅にベース等の機台（図示せず）に取り付けるために形成している。

サブテーブル１１は，スライド装置１０にカバー３が装着されるときに，テーブル１の取付け面２８の長手方向の中央位置にねじ３６で固着されている。サブテーブル１１は，幅Ｗs ，長さＬｓ，及び板厚t で成る矩形板状に形成されており，上面がワーク等の部材を取り付けるための取付け面２９に形成され，取付け面２９がカバー３の上面４３から僅かに突出した状態に構成される。また，サブテーブル１１は，少なくともスライド装置１０の負荷能力が発揮可能な剛性を有する大きさ（幅Ｗs ，及び長さＬｓ）に形成されている。カバー３の窓部１８は，テーブル１の可動範囲に矩形板状のサブテーブル１１が可動可能な矩形状の大きさに形成されると共に，テーブル１の端面が露出しない大きさに形成されており，特に，窓部１８の幅方向長さはテーブル１の幅方向長さの範囲内であることがカバー３としての機能を適正に発揮できて好ましい。また，サブテーブル１１は，テーブル１の移動方向の中央位置に固着され，テーブル１の移動方向の長さは，テーブル１の長さから２倍のテーブル１のストローク距離Ｓを引いた長さよりも小さく形成されているものである。

実施例では，スライド装置１０は，カバー３の窓部１８からテーブル１の端面が露出しないためには，図３に示すように，テーブル１の中央位置にサブテーブル１１が固着された状態であり，テーブル１の長さをＬｔ，テーブル１のストロークをＳ（＝２×Ｓ１），カバー３の窓１８の長さをＬｍ，サブテーブル１１の長さをＬｓとして，テーブル１に固着されたサブテーブル１１が一方側にストロークＳ１したときに，サブテーブル１１の端面が窓１８の窓枠６１に衝突しないためには，サブテーブル１１の端面６２と窓１８の窓枠６１との間の距離Ｓ２は，Ｓ２＞Ｓ１に形成されている。また，サブテーブル１１が上記一方側にストロークＳ１したストロークエンドのときに，反対側の窓枠６１からテーブル１の端面６５が露出しないためには，サブテーブル１１が初期の中央位置に位置するときの窓枠６１とテーブル１の端面６５との距離をＬ３として，Ｌ３≧Ｓ１の関係にある。これらの関係から，サブテーブル１１の長さＬｓは，Ｌｓ＝Ｌｔ−２×（Ｓ２＋Ｌ３）
から，Ｌｓ＜Ｌｔ−２Ｓに成る。また，カバー３の窓部１８の長さＬｍは，
Ｌｍ＝Ｌｓ＋２×Ｓ２からＬｍ＞Ｌｓ＋Ｓに成る。実施例では，Ｌｔ＝３８ｍｍ，
Ｓ＝１３ｍｍ，Ｌｓ＝１０ｍｍ，Ｌｍ＝２４ｍｍに形成されている。

スライド装置１０では，カバー３の窓部１８の幅Ｗｍは，サブテーブル１１の幅Ｗｓよりも若干大きく形成されている。カバー３は，開口した窓部１８を含め窓部１８の周囲のスライド装置１０の上部を覆う天井部３７と，天井部３７から垂下してスライド装置１０の両側部３９及び両端部３８の周辺を覆う周辺部４５とで構成されている。カバー３は，スライド装置１０の両端部にそれぞれ備えた一対のエンドブロック４，５に位置決め固着される構造に構成されている。一対のエンドブロック４，５は，スライド装置１０のベッド２の両端部６３にそれぞれ固着され，テーブル１の飛び出しを防止するため，ベッド２の上面から突出してテーブル１の端面が当接する当接面１５を有し，且つテーブル１の上面６４よりも低い高さの上面５０に形成されている。エンドブロック４，５の当接面１５は，テーブル１の端面６５が衝突しても弾性変形し易いように，断面山形で上下に延びる凸部が幅方向に多数並設してギザギザに形成された弾性変形可能に構成された緩衝部３０に形成されている。また，エンドブロック４，５は，図６〜図９にも示すように，カバー３を位置決め固着可能に６面体でなるブロック体に形成されると共に，弾性変形し易く，製作し易い合成樹脂製で形成されている。更に，一対のエンドブロック４，５は，電機子組立体８が配設されるベッド２の凹部３５に嵌入して電機子組立体８の両端部にそれぞれ配設され，電機子組立体８のコイル基板２１と共にねじによりベッド２に固着される。エンドブロック４，５の両側部には，段凹部６６が形成され，その段部に上記ねじを挿入する取付け用孔５１が形成されている。また，一対のエンドブロック４，５の一方は，電機子組立体８に電源線１７が結線されたコネクター１４側に配設されたエンドブロック４に構成されている。コネクター１４側のエンドブロック４は，図６及び図７にも示すように，電機子組立体８のコネクター１４を嵌入する凹欠部５２が形成され，下面４９はコイル基板１１上に配置可能に平面に形成されている。

コネクター１４側のエンドブロック４に対向する他方のエンドブロック５は，図８及び図９にも示すように，上記凹欠部も無く閉塞態様に形成され，下面にはコイル基板２１を途中まで嵌入可能に段凹部５３が形成され，コイル基板２０の端面及びベッド３の凹部３５の端部を覆うものに形成されている。コネクター１４側のエンドブロック４及び他方のエンドブロック５は，各々の側面間の長さである幅寸法は同一幅に形成されており，各々の背面４６には，図３に示されるように，カバー３の係止部である係止凸部（爪部）３３が嵌入して係着可能な係止部である係止凹部３１が形成されている。また，コネクター１４側のエンドブロック４及び他方のエンドブロック５がベッド２に固着された状態での各々の上面５０は，図３に示すように，テーブル１の取付け面２８の高さより若干低く，同一高さに構成されており，カバー３の下面である底面が当接してカバー３の上下方向の位置決めに構成されている。ここで，図１に示すスライド装置１０と，図５に示すスライド装置１０とが電源線１７及びセンサーケーブル１６の引出し方向が左右反対の態様に成っていることに関して，エンドブロック４，５及センサ２３のねじを脱着して反対側に組付けるだけで簡単に左右反対の態様変更が可能なものに成っており，ベッド２及びテーブル１は，長手方向を左右に見て，左右対称に構成されている。

カバー３は，図１０〜図１５にも示されるように，スライド装置１０の全体をスライド装置１０の上部から被せて覆う態様に形成され，スライド装置１０のテーブル１の上面６４に対向する部分が開口された窓部１８に形成されると共に，窓部１８の周囲がスライド装置１０の上部を覆う天井部３７に形成され，及び天井部３７から垂下してスライド装置１０の両側部３９及び両端部３８の周辺を覆う周辺部４５に形成されている。カバー３の両端部３８には，スライド装置１０の両端部６３に固着されたそれぞれのエンドブロック４，５に嵌入する係着部３２が形成され，カバー３はエンドブロック４，５に位置決め固着される構造に構成されている。カバー３の係着部３２は，図１３に示すように，内面である裏面５４がエンドブロック４，５の上面５０，両側面４８，及び外端面（背面）４６のそれぞれに対向した位置決め可能な面（当接面及び近接面）に形成され，カバー３の内面即ち裏面５４は，底面５５，係着部３２の一対の側面５７，及び端面５６にそれぞれ形成されている。カバー３の底面５５は，エンドブロック４，５の上面５０に当接してカバー３の上下の位置決めをし，両側面５７はエンドブロック４，５のそれぞれの側面４８に近接してカバー３の側部方向の位置決めをし，カバー３の端面５６は，エンドブロック４，５の背面（外端面）４６に近接してカバー３の端部３８方向の位置決めをしている。また，カバー３の係着部３２の内面である端面には，図１３〜図１５に示されるように，端面から突出した一対の凸部に成る係止凸部３３が形成され，一対の係止凸部３３がエンドブロック４，５の背面４６に形成された係止部である係止凹部３１に係着して，図３に示されるように，カバー３はエンドブロック４，５に固着される。

カバー３は，合成樹脂製で形成され，カバー３の係止凸部３３が形成された係着部３２の端部は容易に弾性可能でなり，カバー３とエンドブロック４，５との係止部の凹凸嵌着は容易に行え，エンドブロック４，５即ちスライド装置１０にワンタッチで装着可能に成っている。実施例では，カバー３を安定して装着可能にカバー３の係止凸部３３が一対の係止凸部３３に形成されているが，カバー３の係止部及びエンドブロック４，５の係止部の凹凸関係及び数量は，適宜に決められる。また，カバー３の端部３８は，スライド装置１０をベース等の機台（図示せず）に取り付けるために，ベッド２の四隅の端部６３に形成された取付け用孔３４を覆うこと無く，各々の取付け用孔３４を露出させた形状に，端部３８の両側が段凹部６０に形成されており，所謂，端部３８にあって両側の段凹部６０の端面から段凹部６０間になる係着部３２が突出した態様に形成されている。また，カバー３の両側の段凹部６０の一方側は，テーブル１の庇部２６側に配設されたリニアエンコーダ１９を覆うために，他方側よりも幅方向に延びて長く形成されており，その一方側の両端部には，リニアエンコーダ１９のセンサ２３に結線するセンサケーブル１６が通るケーブル用凹部４０が形成されている。また，カバー３の両端部３８にはベッド２が嵌合するベッド用凹部５８が形成されている。また，テーブル１の庇部２６に対向するカバー３の天井部３７の上面４４は，エンドブロック４，５間の天井部３７の上面４３より僅かに低くなる上面４４に形成され，サブテーブル１１に取り付けられるワーク等の部材が接触し難く成っている。

この発明によるスライド装置は，半導体製造装置，精密機械，測定・検査装置，医療機器，各種ロボット，各種組立装置，マイクロマシーン等の各種装置における往復運動位置決め機構に組み込んで利用して好ましいものである。

１テーブル
２ベッド
３カバー
４，５エンドブロック
６リニアモータ
７界磁マグネット
８電機子組立体
９直動案内ユニット
１０スライド装置
１１サブテーブル
１４コネクター
１５当接面
１７電源線
１８窓部
２１コイル基板
３０緩衝部
３１係止凹部
３２係着部
３３係止凸部
３４，５１取付け用孔
３５凹部
３７天井部
３８端部
３９側部
４１，４２取付け用ねじ孔
４２テーブルの取付け用ねじ孔
４５周辺部
４６背面
４７モールド部
４８側面
４９下面
５０上面
５１取付け用孔
５２凹欠部
５３エンドブロックの段凹部
６０カバーの段凹部
６４テーブル上面
６５テーブル端面

Claims

矩形板状のベッド，該ベッドに幅方向に隔置して取り付けた一対の直動案内ユニットを介して往復移動自在な矩形板状のテーブル，及び前記ベッドと前記テーブルとの間で且つ前記直動案内ユニットの間に界磁マグネットと該界磁マグネットに対向する電機子組立体とから成る可動マグネット型リニアモータを内蔵した上下面が実質的に平らな形状のスライド装置において，
前記ベッドには，前記テーブルの移動方向に沿って形成された溝状の凹部にコイル基板を下面にした前記電機子組立体が埋設され，前記電機子組立体の両端側になる前記凹部の両端部にエンドブロックがそれぞれ嵌入して対向して配設されており，前記エンドブロックは，ブロック体に構成されて両側部に形成された取付け用孔にねじを通して前記コイル基板と共に前記ベッドに固着されており，前記テーブルが前記ベッドから飛び出すのを防止するために前記ベッド上から突出して前記テーブルの上面よりも低く構成されて前記テーブルの端面が当接する当接面を有しており，
前記スライド装置の全体を上部から被せて覆う防塵で防護のためのカバーが前記エンドブロックの前記ブロック体に嵌入しており，前記ブロック体には，前記カバーを位置決め固着する上面，両側面，及び外端面になる背面に形成されていると共に，前記背面に係止凹部が設けられており，
前記カバーは，前記テーブルの上面に対向する部分が開口された窓部に形成されると共に前記窓部の周囲が前記スライド装置の上部を覆う天井部に形成され且つ前記天井部から垂下して前記スライド装置の両側部及び両端部の周辺を覆う周辺部に形成されており，前記カバーの両端部は，前記スライド装置をベース等の機台に取り付けるために前記ベッドの四隅に形成された取付け用孔を覆うこと無く，各々の前記取付け用孔を露出させた形状に前記端部の両側が段凹部に形成されており，前記段凹部間が突出して前記エンドブロックにそれぞれ嵌入する係着部に形成されており，
前記カバーの前記係着部の内面である裏面は，前記エンドブロックの前記上面に当接して前記カバーの上下の位置決めをする底面，前記エンドブロックの前記両側面にそれぞれ近接して前記カバーの側部方向の位置決めをする両側面，及びそれぞれの前記エンドブロックの前記外端面に近接して前記カバーの端部方向の位置決めをする両端面に形成されており，前記カバーの前記両端面には突出した一対の係止凸部がそれぞれ形成されており，前記カバーは，それぞれの前記係止凸部がそれぞれの前記エンドブロックの前記係止凹部に係着して前記スライド装置に装着されており，
前記テーブルには，前記カバーの前記窓部を通して位置決め駆動するワーク等の部材を取り付けるためにサブテーブルが固着されていることを特徴とするカバーを装着したスライド装置。
前記エンドブロックは，合成樹脂製で形成され，前記当接面が断面山形で上下に延びる凸部で幅方向に多数並設した弾性変形可能な緩衝部に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のカバーを装着したスライド装置。
一方の前記エンドブロックは，前記電機子組立体に電源線が結線されモールドされたコネクター側に配設されて前記コネクターを嵌入する凹欠部が形成されると共に下面には前記コイル基板上に配置可能に平面に形成されており，他方の前記エンドブロックは，下面には前記コネクター側に対向する側の前記コイル基板の端部を嵌入できる段凹部が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のカバーを装着したスライド装置。
前記カバーの前記窓部は，矩形板状に形成された前記サブテーブルが前記テーブルの可動範囲に可動しても前記テーブルの端面が露出しない大きさに矩形形状に形成されており，前記サブテーブルは，前記テーブルの中央位置に固着され，且つ前記テーブルの移動方向に沿った長さが前記テーブルの長さから２倍の前記テーブルのストローク距離を引いた長さよりも小さく形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のカバーを装着したスライド装置。