JP2008199876A - ステージ装置および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 磁石の反発力を利用してステージを加減速するステージ装置において、反発力を発生させる際に周囲に漏れる磁束による影響を抑制することを目的とする。
【解決手段】 ステージに設けられた第1磁石と、前記ステージの移動ストロークの端部に設けられ、前記端部において前記第1磁石と対向するように設けられる第2磁石とを有し、前記第1磁石と前記第2磁石との間に働く反発力を利用して前記ステージに力を付与する力付与手段と、
前記ステージを前記移動ストローク内で駆動する駆動手段とを備えたステージ装置において、
前記第2磁石の磁束を補強するための磁束補強手段と、
前記第2磁石からの磁束を遮蔽するための磁気シールドとを備える。
【選択図】 図2
【解決手段】 ステージに設けられた第1磁石と、前記ステージの移動ストロークの端部に設けられ、前記端部において前記第1磁石と対向するように設けられる第2磁石とを有し、前記第1磁石と前記第2磁石との間に働く反発力を利用して前記ステージに力を付与する力付与手段と、
前記ステージを前記移動ストローク内で駆動する駆動手段とを備えたステージ装置において、
前記第2磁石の磁束を補強するための磁束補強手段と、
前記第2磁石からの磁束を遮蔽するための磁気シールドとを備える。
【選択図】 図2
Description
本発明は、対象物を位置決めするためのステージ装置に関する。また、このようなステージ装置を搭載した露光装置に関する。
走査型露光装置は、レチクルを移動させるためのステージ装置を備える。近年、露光装置のスループットを向上すべく、このステージ装置の駆動機構についていくつかの提案がされている。
図13(a)は特許文献1において提案されるステージ装置を示す図である。レチクルステージ104はレチクル103を搭載して走査方向(Y方向)に移動する。レチクルステージ104の両側にはリニアモータが設けられ、リニアモータは、ステージの両側に固定された永久磁石を含む可動子105と、不図示のベースに固定された複数のコイルを含む固定子106とを有する。
また、レチクルステージ104の移動方向前後には反発可動子107が設けられ、レチクルステージ104の移動ストローク両端には反発固定子110が設けられる。この反発可動子107と反発固定子110はそれぞれ永久磁石を備え、両者の永久磁石間に発生する反発力を利用してレチクルステージ104を加減速することができる。
図13(b)は反発可動子107と反発固定子110を示す図である。反発固定子110は、N極とS極が対向するように配置された一対の永久磁石112と、一対の永久磁石112間の磁束を側方経由で循環させるためのヨーク111,113を備える。反発可動子107は永久磁石109を備え、反発可動子が点線の位置にあるときには永久磁石112と永久磁石109は同極が対向する。この永久磁石112と永久磁石109の反発力を利用してステージの移動ストローク両端でステージに力を付与することができる。このような構成により、リニアモータの駆動によるコイルの発熱を抑えてレチクルステージ104を駆動するようにしている。
特開2004−079639号公報
上述のように磁石の反発力を利用してステージに力を付与する構成において、反発力を発生させる際に大量の磁束が飛散して周囲に漏れてしまう。特に、高加速が必要なステージ装置においては、この漏れ磁束が大きいため、ステージの周囲に設けられた磁性体を引きつけてしまうことがある。
一般に、ステージ装置の周囲には計測センサや加工手段などが配置され、これらやこれらを支持する部材が引きつけられてしまうと、ステージの位置決め精度や、ステージに搭載した物体の加工精度を劣化させてしまう。特に露光装置においては、ステージ装置の周囲には照明光学系、投影光学系等が配置され、これらの支持部材が引きつけられてしまうと露光精度に影響を与えてしまう。
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであって、磁石の反発力を利用してステージを加減速するステージ装置において、反発力を発生させる際に周囲に漏れる磁束による影響を抑制することを目的とする。
本発明は、ステージに設けられた第1磁石と、前記ステージの移動ストロークの端部に設けられ、前記端部において前記第1磁石と対向するように設けられる第2磁石とを有し、前記第1磁石と前記第2磁石との間に働く反発力を利用して前記ステージに力を付与する力付与手段と、前記ステージを前記移動ストローク内で駆動する駆動手段とを備えたステージ装置において、前記第2磁石の磁束を補強するための磁束補強手段と、前記第2磁石からの磁束を遮蔽するための磁気シールドとを備えることを特徴としている。
磁石の反発力を利用してステージを加減速するステージ装置において、反発力を発生させる際に周囲に漏れる磁束による影響を抑制することができる。
(実施例1)
図1(a)は本発明の実施例1におけるステージ装置の平面図である。本実施例では露光装置において原版を搭載して移動するステージ装置の例を示すが、露光装置に限定されるものではなく、原版以外の位置決め対象物を搭載するようにしてもよい。
図1(a)は本発明の実施例1におけるステージ装置の平面図である。本実施例では露光装置において原版を搭載して移動するステージ装置の例を示すが、露光装置に限定されるものではなく、原版以外の位置決め対象物を搭載するようにしてもよい。
ステージ装置は、原版3を搭載して移動するステージ4と、気体軸受け14を介してステージ4を案内するガイド2と、ステージ4をY方向(以下の記載における「移動方向」はこの方向をいうものとする)に駆動するリニアモータ(駆動手段)23等を備える。ガイド2はベース1に固定され、案内面としてXY平面を有する。気体軸受け14は、ステージに要求される位置決め精度によってはその他の軸受けに置き換えてもよい。原版3はステージ4に固定された不図示のチャックによって保持される。チャックはたとえばメカニカルクランプ、真空吸着、静電吸着等のいずれかを利用して保持しうる。
またステージ4上に別途微動ステージを設けて、微動ステージ上に原版3を搭載してもよい。この場合、ステージ4に対して微動ステージを微小に駆動して原版3を高精度に位置決めできる。
リニアモータ23は、ステージの両側に固定された永久磁石を含む可動子5と、ベース1に固定された複数のコイルを含む固定子6とを有する。コイルは移動方向に沿って並べられており、これらのコイルは支持部を介してベース1に固定される。可動子5の永久磁石はコイルと非接触で対向するように配置されており、永久磁石の磁束が通過するコイルに電流を流すことによって、ステージ4はY方向に移動ストローク内で駆動される。このようなリニアモータの構成については特開2004−79639号公報により公知であるため、詳細な説明は省略する。ここで、リニアモータに限らず別の駆動手段を用いてもよいが、精度の面から非接触に駆動できる電磁アクチュエータが好ましい。
ステージ4の位置は干渉計によって計測される。ステージ4に設けた反射ミラー15に対して、ステージ外部に設けた光源から計測光が照射される。干渉計は、反射ミラー15からの反射光と参照光とを干渉させることで位置を計測する。
次に、永久磁石の反発力を利用してステージ4に力を付与する力付与手段について図1(b)を参照しつつ説明する。力付与手段は、反発可動子7と反発固定子10とを備える。反発可動子7は永久磁石9(第1磁石)と、永久磁石9をステージ4に支持する支持部8とを備える。反発固定子10は、一対の永久磁石12a,12b(第2磁石)と、これらの永久磁石からの磁束を側方経由で循環させるヨーク11,13等を備える。図3に示すように、ヨーク11,13(磁束補強手段)を設けることによって、磁気回路(矢印の向き)を形成し、永久磁石12a,12b間に流れる磁束を補強することができる。これにより力付与手段によって発生する反発力を増大することができる。
反発可動子10はステージ4の移動方向前後に設けられる。反発固定子15はステージ4から移動方向前後に離れた位置に配置され、さらにいうとステージのストローク両端に設けられる。ステージ4を移動方向に駆動すると、ステージのストローク両端の近傍で永久磁石9は一対の永久磁石12a,12bに非接触で挟まれた状態となる。
永久磁石9は板状であり、鉛直方向に着磁される。本実施例では、永久磁石9は上面がN極で下面がS極の単極永久磁石である。永久磁石12a,12bも板状であり、鉛直方向(Z方向)に着磁される。永久磁石12a,12bは、永久磁石9と同じ極が対向するように着磁される。つまり、上側の永久磁石12aは下面がN極で、下側の永久磁石12bは上面がS極の単極永久磁石である。
このような構成により、永久磁石9と永久磁石12A,12b間で磁気反発力が発生して、ステージにY方向の加減速力を与えることができる。ここで、加減速力を発生させる方向と永久磁石の着磁方向とが直交しているため、ステージが移動したとしても長い区間で反発力を発生させることができる。また、永久磁石12a,12bで挟み込む構成であるため、Z方向に発生する反発力を相殺することができる。
ステージ4がストローク端部に位置しているときに、永久磁石9は図1(b)の点線の位置まで永久磁石12a,12b間に挿入される。このとき、反発可動子7は矢印の方向に反発力を受ける。そして点線の位置から矢印の方向に移動するにしたがって反発力は減少し、反発可動子7が反発固定子10から十分離れると反発力はゼロになる。反発力がゼロになるまでの間に最大速度まで加速するように構成すれば、ステージ4はガイド2とは非接触であるので、そのままの速度で反対側のストローク端部まで移動する。ここで、反対側のストローク端部において反発可動子7と反発固定子10が力を発生するまでステージ4の運動エネルギーは保存されるため、反対側のストローク端部においても図1(b)と同じ量だけ永久磁石9は永久磁石12a,12b間に挿入されて停止する。実際にはステージ4には空気抵抗や軸受による減速作用が働くが、リニアモータ23によって速度を一定に維持するようにすればよい。そして、再び反発力によってステージ4を加速する。このようにしてステージ4を加減速して往復駆動させる。ここで、力付与手段によって大きな力を発生させることができるため、リニアモータ23の駆動による発熱を大きく低減することができる。
上述のように永久磁石の反発力を利用してステージを加減速する構成において、反発力を発生させる際に大量の磁束が周囲に漏れてしまう。特に、高加速が必要なステージ装置においては、この漏れ磁束が大きいため、ステージの周囲に設けられた磁性体を引きつけてしまうことがある。
露光装置においては、例えば投影光学系21としての複数のレンズを支持する鏡筒の一部に磁性体が用いられており、この磁性体が引きつけられることによって露光精度を劣化させてしまうことがある。また、鏡筒にかぎらず照明光学系や計測センサ等についても同様の問題が生じうる。
そこで、本実施例では磁石から周囲の空間に漏れた磁束を遮蔽する磁気シールド16が設けられる。以下、磁気シールドについて詳細に説明する。
磁気シールド16は反発固定子10を取り囲むように、ガイド2上に設けられる。磁気シールド16はステージ4の移動ストローク両端に1ユニットずつ配置される。磁気シールド16と反発固定子10との間には非磁性部材17が配置され、非磁性部材17によって反発固定子10は支持される。また、反発固定子10を磁気シールド16とは別支持にして、両者の間に空隙を設けるようにしてもよい。磁気シールドの材質は透磁率が高いものがよく、例えばフェライト等が上げられる。
なお、磁気シールド16は、力付与手段から漏れる磁束の影響を受けたくない部材との間に配置されることが好ましく、周囲を覆うように配置することがより好ましい。影響を受けたくない部材として、露光装置においては投影光学系21を支持する鏡筒などが挙げられる。
ここで、反発固定子10側に磁気シールド16を設けることによって、ステージ(可動部)4に大きな磁気シールドを設ける必要がなくなるため、ステージ重量が増大するのを防止することができる。
図4は磁気シールドの長さを詳細に説明するための図である。図4は図1のステージ装置をα方向から見た図である。
図4(a),(b)はともにステージ4が移動ストローク端部に位置している状態を表す。磁気シールド16はステージ4の移動ストロークよりも大きいことが好ましい。本実施例において、磁気シールド16のY方向長さをAとし、ステージ4のY方向における最大移動距離と磁石のY方向長さとの和をBとすると、
A≧B
となるように磁気シールド16の寸法は決定される。ここでステージ4のY方向における最大移動距離はステージが移動ストロークの一方の端部から他方の端部へ移動する際の移動距離である。このように磁気シールド16を配置することで、磁気シールド16によって反発可動子の磁石が単独で発生する磁束についても遮蔽することができる。
A≧B
となるように磁気シールド16の寸法は決定される。ここでステージ4のY方向における最大移動距離はステージが移動ストロークの一方の端部から他方の端部へ移動する際の移動距離である。このように磁気シールド16を配置することで、磁気シールド16によって反発可動子の磁石が単独で発生する磁束についても遮蔽することができる。
ここで、反発可動子7が反発固定子10に挿入または脱出する際に、反発可動子7と反発固定子10の距離が変化するに伴い磁束漏れ量が動的に変化する。また、ステージ4が移動することによって磁気シールド16に対して反発可動子7が相対的に移動し、磁気シールド16を通過する反発可動子7からの磁束が変化する。そのため、磁気シールド16に対して渦電流が発生し、発熱が生じてしまう。さらに、渦電流が発生する位置についてもステージ4の移動に伴い変化してしまう。
このような渦電流による発熱は、ステージ4の位置を計測するための干渉計の計測光路の空気ゆらぎを起こして計測誤差を招くことや、ステージの熱変形を招くことがあり、ステージの位置決め精度を劣化させうる。
上述の渦電流に対する対策の一つとして、本実施例では磁気シールド16を冷却する冷却手段を設けている。図5(a)は冷却手段を示す図である。冷却手段は、磁気シールド16に設けられ、冷媒を循環させるための流路18と、流路18に冷媒を供給するための供給口19aと、冷媒を流路から回収するための回収口19b等を備える。流路18は、磁気シールド内に溝を形成したものでもよく、磁気シールド内または表面に配管を設けてもよい。供給口19a、回収口19bはそれぞれ複数ずつ設ける構成であってもよい。この場合、供給から回収までの管路抵抗が、各経路で等しくなるようにすることが好ましい。
ここで、流路18、供給口19a、回収口19bの形状は図5のものに限られるものではなく、磁気シールドの熱を効率よく回収するために適宜形状を工夫しうる。
このように磁気シールドに冷却手段を設けることによって、磁気シールドに発生する渦電流に起因する発熱を低減することができる。特に、反発固定子側に磁気シールドを設けた構成において効果を奏する。なぜなら、反発可動子と反発固定子間で力を発生する際の磁束変化による渦電流に加えて、反発可動子が磁気シールドに対して移動することによって発生する磁束変化による渦電流も発生するためである。
また、渦電流に対する対策の一つとして、本実施例では磁気シールド16を積層構造にしている。図6は磁気シールドの積層構造を示す図である。具体的には、磁気シールド16は複数の部材を有し、これらの部材は、反発可動子の磁石と反発固定子の磁石が対向する面と平行な方向(XY平面と平行な方向)であって、かつ、ステージの移動方向(図中の矢印方向、Y方向)と垂直な方向(X方向)に積層されている。
このように磁気シールド16を積層構造とすることで、渦電流の発生量を低減することができる。
このように磁気シールド16を積層構造とすることで、渦電流の発生量を低減することができる。
さらに、渦電流に対する対策の一つとして、本実施例では磁気シールドの材質を抵抗値が高いものにしている。また、上述のようにシールドとして透磁率が高いことも要求されるため、フェライトやMIM(Metal Injection Molding)材などが好適に利用される。上述の対策のうち1つを施してもよく、複数の対策を併用してもよい。
なお、本実施例において力付与手段は、一対の永久磁石12a,12b間に永久磁石9を挿入する構成を一例として挙げたが、この構成にかぎるものではない。また、力付与手段はステージの両端に設けられることが好ましいが、ステージの一端のみに設ける構成であってもよい。すなわち力付与手段は、ステージに設けられた第1磁石と、ステージの移動ストロークの端部に設けられ、この端部において第1磁石と対向するように設けられる第2磁石とを有し、第1磁石と第2磁石との間に働く反発力を利用して前記ステージに力を付与するものであればよい。
(実施例2)
図7(c)は実施例2のステージ装置を示す図である。実施例1では反発固定子側にのみ磁気シールドを設けていたが、実施例2では反発固定子側と反発可動子側の両方に磁気シールドを設けている。実施例2において特に言及しない箇所については実施例1と同様であるものとする。
図7(c)は実施例2のステージ装置を示す図である。実施例1では反発固定子側にのみ磁気シールドを設けていたが、実施例2では反発固定子側と反発可動子側の両方に磁気シールドを設けている。実施例2において特に言及しない箇所については実施例1と同様であるものとする。
実施例2においても反発固定子側には磁気シールド16が設けられているため、反発可動子7と反発固定子10との間で力を発生する際の磁束の多くはこの磁気シールド16で遮蔽され、反発可動子側の磁気シールド20を極端に大きくしなくてもよい。
実施例1の構成において反発可動子側の磁気シールドを付加してもよいが、特に移動ストロークが大きな図7(c)のような構成に好適に用いられる。以下、移動ストロークについて説明する。
図7(a)では、ステージ4のY方向における最大移動距離Bが、ステージの移動ストロークにおけるストローク端とストローク中心間の距離C/2よりも長くなっている。
このような場合に、実施例1のようにストローク両端に設けた磁気シールド16の長さAを最大移動距離Bよりも長くすると(図7(b)は一方の磁気シールドの長さを長くした図)、2つの磁気シールドが互いに干渉してしまう。また、露光装置に用いられるレチクルステージでは、ステージの移動ストローク中心付近においてステージに搭載されたレチクルに露光光が照射されるため、磁気シールド16の長さを移動ストロークの端部と中心との間の距離C/2よりも長くしてしまうと、露光光を遮ってしまう。
そこで図7のように、磁気シールド16の長さAは、移動ストロークの端部と中心との間の距離C/2よりも短くしている。
本実施例では反発可動子側に磁気シールド20を設けることによって、ステージ3が移動したときに反発可動子の永久磁石9が磁気シールド16から外れてしまっても、永久磁石9からの磁束が周囲に与える影響を低減することができる。
具体的には、ステージ4に設けられた永久磁石9を取り囲むように磁気シールド20が設けられる。磁気シールド20は、永久磁石9と、永久磁石9の磁力によって引きつけられたくない部材(例えば鏡筒)との間に配置されることが好ましく、さらに永久磁石9の周囲を覆うように配置することがより好ましい。
また、磁気シールド20には渦電流が発生するが実施例1と同様の方法によって発熱の影響を低減することができる。
(実施例3)
図8は実施例3のステージ装置を示す上面図、図9は図8のα方向から見た正面図である。実施例1および2では反発固定子10及び磁気シールド16をガイド2の両端に設けていたが、実施例3では反発固定子10および磁気シールド16を一軸方向に移動可能なカウンタマス22上の両端に配置した。実施例3において特に言及しない箇所については実施例1および2と同様であるものとする。
図8は実施例3のステージ装置を示す上面図、図9は図8のα方向から見た正面図である。実施例1および2では反発固定子10及び磁気シールド16をガイド2の両端に設けていたが、実施例3では反発固定子10および磁気シールド16を一軸方向に移動可能なカウンタマス22上の両端に配置した。実施例3において特に言及しない箇所については実施例1および2と同様であるものとする。
ステージ装置は、原版3を搭載するステージ4がベース上で移動可能に支持されている。ステージ4の姿勢は、ベース1の上面とステージ4の下面との間に配置される軸受け14で規制される。反発可動子7に対応して、ステージ4に加減速力を与える反発固定子10がカウンタマス22上に固定されている。反発固定子10はカウンタマス22のストロークの両端に1ユニットずつ設けられる。カウンタマス22は一軸方向に移動可能であり、カウンタマス22の姿勢は、本体ベース1の上面とカウンタマス22の下面との間に配置される軸受け14で規制される。反発固定子10は、一軸方向に移動可能なカウンタマ19上に固定されているので、ステージ駆動の反力で反発可動子とは反対方向に移動する。このように、磁石反発加速により大加速でステージ4を駆動した際の反力を、反発固定子10を固定したカウンタマス22を駆動することでキャンセルできる。磁気シールド16は反発固定子10を取り囲むようにカウンタマス22上に設けられる。磁気シールド16はカウンタマス22の両端に1ユニットずつ配置される。
このように、磁石反発加速手段によりステージを大加速で駆動しても本体ベース1に伝わる反力をキャンセルして装置全体を振動させない為にカウンタマス構成した場合にも、磁気シールド16を適用することができる。
本発明によれば、カウンタマス上の両端に反発固定子および磁気シールド16を配置することで、反発力を発生させる際に周囲に漏れる磁束を遮蔽することができる。
(ステージ装置を適用した露光装置の例)
以下、本発明のステージ装置が適用される例示的な露光装置を説明する。露光装置は図10に示すように、照明装置201、レチクルを搭載したレチクルステージ202、投影光学系203、ウエハを搭載したウエハステージ204とを有する。露光装置は、レチクルに形成された回路パターンをウエハに投影露光するものであり、ステップアンドリピート投影露光方式またはステップアンドスキャン投影露光方式であってもよい。
以下、本発明のステージ装置が適用される例示的な露光装置を説明する。露光装置は図10に示すように、照明装置201、レチクルを搭載したレチクルステージ202、投影光学系203、ウエハを搭載したウエハステージ204とを有する。露光装置は、レチクルに形成された回路パターンをウエハに投影露光するものであり、ステップアンドリピート投影露光方式またはステップアンドスキャン投影露光方式であってもよい。
照明装置201は回路パターンが形成されたレチクルを照明し、光源部と照明光学系とを有する。光源部は、例えば、光源としてレーザを使用する。レーザは、波長約193nmのArFエキシマレーザ、波長約248nmのKrFエキシマレーザ、波長約153nmのF2エキシマレーザなどを使用することができるが、レーザの種類はエキシマレーザに限定されず、例えば、YAGレーザを使用してもよいし、そのレーザの個数も限定されない。光源にレーザが使用される場合、レーザ光源からの平行光束を所望のビーム形状に整形する光束整形光学系、コヒーレントなレーザ光束をインコヒーレント化するインコヒーレント化光学系を使用することが好ましい。また、光源部に使用可能な光源はレーザに限定されるものではなく、一又は複数の水銀ランプやキセノンランプなどのランプも使用可能である。
照明光学系はマスクを照明する光学系であり、レンズ、ミラー、ライトインテグレーター、絞り等を含む。
投影光学系203は、複数のレンズ素子のみからなる光学系、複数のレンズ素子を少なくとも一枚の凹面鏡とを有する光学系(カタディオプトリック光学系)、複数のレンズ素子と少なくとも一枚のキノフォームなどの回折光学素子とを有する光学系、全ミラー型の光学系等を使用することができる。
レチクルステージ202およびウエハステージ204は、たとえばリニアモータによって移動可能である。ステップアンドスキャン投影露光方式の場合には、それぞれのステージは同期して移動する。また、レチクルのパターンをウエハ上に位置合わせするためにウエハステージおよびレチクルステージの少なくともいずれかに別途アクチュエータを備える。
このような露光装置は、半導体集積回路等の半導体デバイスや、マイクロマシン、薄膜磁気ヘッド等の微細なパターンが形成されたデバイスの製造に利用されうる。
(露光装置を適用したデバイス製造方法の例)
次に、図11及び図12を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。図11は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
次に、図11及び図12を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。図11は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
ステップS1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップS2(マスク製作)では設計した回路パターンに基づいてマスクを製作する。ステップS3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップS4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、マスクとウエハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。ステップS5(組み立て)は、後工程と呼ばれ、ステップS4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。ステップS6(検査)では、ステップS5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷(ステップS7)される。
図12は、ステップ4のウエハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップS11(酸化)では、ウエハの表面を酸化させる。ステップS12(CVD)では、ウエハの表面に絶縁膜を形成する。ステップS13(電極形成)では、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップS14(イオン打ち込み)では、ウエハにイオンを打ち込む。ステップS15(レジスト処理)では、ウエハに感光剤を塗布する。ステップS16(露光)では、露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに露光する。ステップS17(現像)では、露光したウエハを現像する。ステップS18(エッチング)では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップS19(レジスト剥離)では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによってウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
1 ベース
2 ガイド
3 原版
4 ステージ
5 リニアモータ可動子
6 リニアモータ固定子
7 反発可動子
8 支持部
9 永久磁石
10 反発固定子
11,13 ヨーク
12a,12b 永久磁石
14 軸受
15 反射ミラー
16,20 磁気シールド
18 流路
19a 供給口
19b 回収口
21 投影光学系
22 カウンタマス
2 ガイド
3 原版
4 ステージ
5 リニアモータ可動子
6 リニアモータ固定子
7 反発可動子
8 支持部
9 永久磁石
10 反発固定子
11,13 ヨーク
12a,12b 永久磁石
14 軸受
15 反射ミラー
16,20 磁気シールド
18 流路
19a 供給口
19b 回収口
21 投影光学系
22 カウンタマス
Claims (10)
- ステージに設けられた第1磁石と、前記ステージの移動ストロークの端部に設けられ、前記端部において前記第1磁石と対向するように設けられる第2磁石とを有し、前記第1磁石と前記第2磁石との間に働く反発力を利用して前記ステージに力を付与する力付与手段と、
前記ステージを前記移動ストローク内で駆動する駆動手段とを備えたステージ装置において、
前記第2磁石の磁束を補強するための磁束補強手段と、
前記第2磁石からの磁束を遮蔽するための磁気シールドとを備えることを特徴とするステージ装置。 - 前記磁気シールドは、前記第2磁石に対して間隙または非磁性の支持部材を介して配置されることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記磁気シールドの前記ステージ移動方向の寸法が前記第1磁石の最大移動距離より長いことを特徴とする請求項1または2に記載に記載のステージ装置。
- 前記磁気シールドを冷却するための冷却手段を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のステージ装置。
- 前記第1磁石と前記第2磁石は、前記ステージに力を付与するときに、互いの面が対向するように配置され、
前記磁気シールドは、前記対向する面と平行な方向であって、かつ、前記ステージの移動方向と垂直な方向に積層された複数の部材からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のステージ装置。 - 前記ステージに設けられ、前記第1磁石からの磁束を遮蔽するための第2の磁気シールドをさらに備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のステージ装置。
- ステージの移動方向前後に設けられた第1磁石と、前記ステージの移動ストローク両端に設けられ、各々が対向する一対の磁石を含む第2磁石とを備え、前記第1磁石と前記第2磁石との間に働く反発力を利用して前記ステージに力を付与する力付与手段と、
前記ステージを前記移動ストローク内で駆動する駆動手段とを備えたステージ装置において、
前記一対の磁石間に流れる磁束を補強するための磁束補強手段と、
前記第2磁石からの磁束を遮蔽するための磁気シールドとを備えることを特徴とするステージ装置。 - 原版のパターンを基板に投影する投影光学系を備え、
請求項1乃至7のいずれかに記載のステージ装置を用いて原版を移動させることを特徴とする露光装置。 - 前記磁気シールドの少なくとも一部が、投影光学系を支持する鏡筒と前記第2磁石との間に配置されることを特徴とする請求項8に記載の露光装置。
- 請求項8または9に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光された基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013247812A (ja) * | 2012-05-28 | 2013-12-09 | Nippon Thompson Co Ltd | スライド装置 |
JP2016065791A (ja) * | 2014-09-25 | 2016-04-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 電流検出装置 |
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