JP2022098128A - リニアガイド機構およびリニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】ボールの転走面が形成される案内部材に熱処理を行うことで低下した真直度を、切削加工によらないで改善することができ、移動ブロックがスライドするときのガタが無く、しかも、スライド抵抗が可及的に抑制されるリニアガイド機構およびこれを搭載したリニアアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータ側案内部材３０と、アクチュエータ側案内部材の両側に配置される移動ブロック側案内部材２４と、アクチュエータ側案内部材と各移動ブロック側案内部材との間にそれぞれ二列設けられる複数のボール３６とを含み、移動ブロックにはボールの予圧を調整可能であるとともに移動ブロック側案内部材の真直度を改善可能な止めねじ２６が設けられる。【選択図】図３

Description

本発明は、ワークの載置面を有するスライドテーブル等の移動ブロックをアクチュエータにスライド自在に支持するリニアガイド機構およびこれを搭載したリニアアクチュエータに関する。

従来から、アクチュエータにより駆動するスライドテーブルをアクチュエータにスライド自在に支持するリニアガイド機構が知られている。このようなリニアガイド機構においては、スライドテーブルのガタを無くしさらにスライド抵抗を小さくすることが重要なテーマとなっており、複数のボール等の転動体を用いてスライドテーブルをアクチュエータに支持することも知られている。

例えば、特許文献１には、多数の転動体を介して移動ブロックを軌道レールに組み付けるリニアガイド装置が記載されている。この軌道レールは、転動体の転走面が形成された一対のレール部材と、該レール部材が嵌合する一対のレール取り付け溝が設けられたレールハウジングとから構成され、一方のレール取り付け溝にはレール部材に接する基準突起が形成されている。そして、他方のレール取り付け溝に嵌合するレール部材をこの基準突起を基準として固定することによって、一対のレール部材の平行度を確保しようとしている。

特許第４５３１０５３号公報

ところで、転動体の転走面が形成される案内部材（レール部材）については、特にその転走面において高い硬度が要求されることが多く、成形品に対して熱処理（焼入れ／焼戻し）を行う場合がある。この場合、熱処理によって歪みが生じ、真直度が低下するため、これを改善すべく熱処理後に研削加工を行うことが必要になる。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ボールの転走面が形成される案内部材に熱処理を行うことで低下した真直度を、研削加工によらないで改善することができ、移動ブロックがスライドするときのガタが無く、しかも、スライド抵抗が可及的に抑制されるリニアガイド機構およびこれを搭載したリニアアクチュエータを提供することを目的とする。

本発明に係るリニアガイド機構は、移動ブロックをアクチュエータにスライド自在に支持するためのものであって、アクチュエータに取り付けられるアクチュエータ側案内部材と、移動ブロックに取り付けられアクチュエータ側案内部材の両側に配置される一対の移動ブロック側案内部材と、アクチュエータ側案内部材と各移動ブロック側案内部材との間にそれぞれ二列設けられる複数のボールとを含み、アクチュエータ側案内部材にはボールが循環する循環溝が設けられる。そして、移動ブロック側案内部材は熱処理を施した鋼からなり、移動ブロックにはボールの予圧を調整可能であるとともに移動ブロック側案内部材の真直度を改善可能な押圧機構が設けられる。押圧機構には、止めねじを使用する。

上記リニアガイド機構によれば、熱処理を施した鋼からなる移動ブロック側案内部材の真直度を止めねじにより改善することができるので、移動ブロック側案内部材に切削加工を施す必要がない。また、アクチュエータ側案内部材と各移動ブロック側案内部材との間に二列に並ぶ複数のボールが設けられる構造、すなわち、サーキュラーアークと呼ばれる支持構造によって移動ブロックがアクチュエータに支持されるので、真直度を改善する際にボールの予圧が増大しても、移動ブロックのスライド抵抗の増加を可及的に抑制することができる。

本発明に係るリニアガイド機構は、アクチュエータ側案内部材とその両側に配置される移動ブロック側案内部材との間にそれぞれ二列に並ぶ複数のボールが設けられ、移動ブロックにはボールの予圧を調整可能であるとともに移動ブロック側案内部材の真直度を改善可能な止めねじが設けられるものであるから、熱処理が行われることで低下した移動ブロック側案内部材の真直度を止めねじにより改善することができ、しかも、真直度を改善する際にボールの予圧が増大しても、移動ブロックのスライド抵抗の増加を可及的に抑制することができる。

本発明の実施形態に係るリニアアクチュエータの外観図である。 図１のリニアアクチュエータに搭載されたリニアガイド機構の外観図である。 図１のリニアアクチュエータをＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿って切断したときの断面図である。 図１のリニアアクチュエータを部品ないし部品群に展開して所定方向から見た図である。 図１のリニアアクチュエータを部品ないし部品群に展開して図４とは異なる方向から見た図である。 図１のリニアアクチュエータのテーブル側案内部材が左右方向に湾曲している様子を示す図である。 図１のリニアアクチュエータのテーブル側案内部材が上下方向に湾曲している様子を示す図である。

本発明に係るリニアガイド機構およびこれを搭載したリニアアクチュエータについて、好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。以下の説明において、上下左右の方向に関する言葉を用いたときは、図３における方向をいう。

図１および図２に示されるように、本実施形態のリニアアクチュエータ１０は、アクチュエータとしてのエアシリンダ３８を含み、移動ブロックとしてのスライドテーブル１２をエアシリンダ３８にスライド自在に支持するリニアガイド機構を搭載している。リニアガイド機構は、スライドテーブル１２と、テーブル側案内部材２４（移動ブロック側案内部材）と、エアシリンダ側案内部材３０（アクチュエータ側案内部材）と、テーブル側案内部材２４とエアシリンダ側案内部材３０との間に設けられる複数のボール３６とからなる。

スライドテーブル１２は、アルミニウム合金からなる断面コ字状の部材であり、平面視矩形状の平板部１４と、平板部１４の対向する一対の側辺から下方に突出する一対の側壁部（第１側壁部１６および第２側壁部１８）とを有する。後述するように、これらの側壁部１６、１８の内側面１６ａ、１８ａは、テーブル側案内部材２４の真直度を改善する基準となる面であり、精度の高い平面に仕上げられている（図５参照）。スライドテーブル１２の上面は、ワークを搭載することができる平坦面となっている。

図５に示されるように、平板部１４の下面は、各側壁部１６、１８に近接する一対の第１底面１４ａと、第１底面１４ａから段差面１４ｂを経て連なる第２底面１４ｃとを有する。平板部１４の上面から第１底面１４ａまでの距離は、平板部１４の上面から第２底面１４ｃまでの距離よりも大きく、第２底面１４ｃは、エアシリンダ側案内部材３０の上部が入り込む隙間を形成している。後述するように、第１底面１４ａは、テーブル側案内部材２４の真直度を改善する基準となる面であり、精度の高い平面に仕上げられている。

第１側壁部１６および第２側壁部１８の内側には、それぞれテーブル側案内部材２４が装着される第１取付溝２０および第２取付溝２２が設けられている。これらの取付溝２０、２２は、平板部１４の第１底面１４ａおよび第１底面１４ａに垂直な各側壁部１６、１８の内側面１６ａ、１８ａによって構成される。

第１側壁部１６には、左右方向に貫通する複数のねじ孔１６ｃが第１側壁部１６の長手方向に並んで設けられている。止めねじ２６が第１側壁部１６の外側面１６ｂからねじ孔１６ｃに挿入・螺合され、その先端がテーブル側案内部材２４の外側面２４ａに当接する。本実施形態では、合計６本の止めねじ２６が使われている。第２側壁部１８には、ねじ孔は設けられていない。

スライドテーブル１２には、平板部１４を上下方向に貫通してその下端が第１底面１４ａに開口する複数の締結ボルト挿通孔１４ｄが設けられている（図４参照）。複数の締結ボルト挿通孔１４ｄは、第１底面１４ａの長手方向に並んで設けられている。各締結ボルト挿通孔１４ｄの途中には、締結ボルト２８の頭部が当接する段部が形成されている（図３参照）。

図４および図５に示されるように、テーブル側案内部材２４は、断面矩形状の長尺な部材であり、その外側面２４ａがスライドテーブル１２の各側壁部１６、１８の内側面１６ａ、１８ａに整合し、かつ、その上面２４ｂがスライドテーブル１２の第１底面１４ａと整合するようにして、第１取付溝２０および第２取付溝２２に取り付けられる。

テーブル側案内部材２４の内側面には、テーブル側案内部材２４の長手方向全長に亘って延びる凸部２４ｃが設けられており、凸部２４ｃの上側および下側にそれぞれボール３６が転動することができる第１転走面２４ｄおよび第２転走面２４ｅが形成されている。

テーブル側案内部材２４には、スライドテーブル１２の締結ボルト挿通孔１４ｄと整合する位置において、上下方向に貫通する複数の締結ボルト取付孔２４ｆが設けられている。締結ボルト２８は、スライドテーブル１２の上面から締結ボルト挿通孔１４ｄに挿入され、テーブル側案内部材２４の締結ボルト取付孔２４ｆに螺合される。締結ボルト２８は、テーブル側案内部材２４をスライドテーブル１２に固定する役割を担う。本実施形態では、テーブル側案内部材２４の長手方向に並ぶ３本の締結ボルト２８によって各テーブル側案内部材２４をスライドテーブル１２に固定している。

締結ボルト取付孔２４ｆに螺合された締結ボルト２８の軸線とねじ孔１６ｃに螺合された止めねじ２６の軸線は、スライドテーブル１２のスライド方向に沿う方向から見て、互いに垂直な位置関係にある（図３参照）。

テーブル側案内部材２４は、熱処理を施した鋼からなる。テーブル側案内部材２４の製造には、棒状または板状の素材を圧延によって所定の断面形状に成形する工程と、成形品に対して焼入れ／焼戻しによる熱処理を行う工程とが含まれる。なお、テーブル側案内部材２４の製造には、圧延の中でも、クロス圧延が適している。

クロス圧延は、二組のワークロールによって互いに垂直な二方向に圧縮力を加えながら行う圧延加工であり、滑らかな表面を有する成形品を得るのに有用である。一方、クロス圧延は、断面積が大きい成形品を得るのには不向きであるが、テーブル側案内部材２４は、断面積が小さい部材であることから、クロス圧延によって容易に成形することができる。

テーブル側案内部材２４の成形品に対する焼入れ／焼戻しによる熱処理は、テーブル側案内部材２４の第１転走面２４ｄおよび第２転走面２４ｅに必要な硬度を付与するために行われる。この熱処理によって、テーブル側案内部材２４はマルテンサイト系の組織となる。長尺で断面積が小さいテーブル側案内部材２４には、この熱処理によって反りが発生し、真直度が低下するが、その改善方法については後述する。なお、焼入れ後の焼戻しは必ずしも行わなくてもよいが、靭性を回復させるために焼戻しを行うのが好ましい。

エアシリンダ側案内部材３０は、断面矩形状の部材であり、スライドテーブル１２のスライド方向に沿った長さがテーブル側案内部材２４よりも短い。エアシリンダ側案内部材３０の一方の側面３０ａには、ボール３６が転動することができる第１転走面３２ａおよび第２転走面３２ｂが上下に並んで形成されている。エアシリンダ側案内部材３０の他方の側面３０ｂには、ボール３６が転動することができる第３転走面３２ｃおよび第４転走面３２ｄが上下に並んで形成されている（図３参照）。エアシリンダ側案内部材３０には、上下方向に貫通する一対の固定ボルト取付孔３０ｃが設けられている。

図３に示されるように、エアシリンダ側案内部材３０の内部には、ボール３６が循環することができる第１循環溝３４ａないし第４循環溝３４ｄが設けられている。エアシリンダ側案内部材３０の第１転走面３２ａないし第４転走面３２ｄの両端は、それぞれ第１循環溝３４ａないし第４循環溝３４ｄと繋がっている。

一方のテーブル側案内部材２４の第１転走面２４ｄとこれに対向するエアシリンダ側案内部材３０の第１転走面３２ａとの間に設けられた複数のボール３６は、スライドテーブル１２のスライドに伴い、これらの転走面を転動するとともに第１循環溝３４ａを循環する。一方のテーブル側案内部材２４の第２転走面２４ｅとこれに対向するエアシリンダ側案内部材３０の第２転走面３２ｂとの間に設けられた複数のボール３６は、スライドテーブル１２のスライドに伴い、これらの転走面を転動するとともに第２循環溝３４ｂを循環する。

同様に、他方のテーブル側案内部材２４の第１転走面２４ｄとこれに対向するエアシリンダ側案内部材３０の第３転走面３２ｃとの間に設けられた複数のボール３６は、これらの転走面を転動するとともに第３循環溝３４ｃを循環し、他方のテーブル側案内部材２４の第２転走面２４ｅとこれに対向するエアシリンダ側案内部材３０の第４転走面３２ｄとの間に設けられた複数のボール３６は、これらの転走面を転動するとともに第４循環溝３４ｄを循環する。

上記のとおり、エアシリンダ側案内部材３０と各テーブル側案内部材２４との間に二列に並ぶ複数のボール３６が設けられる構造、すなわち、サーキュラーアークと呼ばれる支持構造によって、スライドテーブル１２がエアシリンダ３８に支持される。

エアシリンダ側案内部材３０は、テーブル側案内部材２４と同様に、熱処理を施した鋼からなる。第１循環溝３４ａないし第４循環溝３４ｄが設けられるエアシリンダ側案内部材３０は、断面積が大きいので、成形品に対して熱処理を行っても、反りは少ない。

エアシリンダ３８は、並列に配置された一対のシリンダ室とピストン（いずれも図示せず）を内部に有するシリンダチューブ４０を備える。各ピストンに連結されたピストンロッド４２の端部は、シリンダチューブ４０から外部に延び、エンドプレート４４に連結されている。また、スライドテーブル１２は、エンドプレート４４に連結されている（図４参照）。

図４に示されるように、シリンダチューブ４０の上面には、エアシリンダ側案内部材３０の下部が嵌合する凹部４０ａが設けられている。また、シリンダチューブ４０には、上下方向に貫通し凹部４０ａに開口する一対の固定ボルト挿通孔４０ｂが設けられている。固定ボルト４６がシリンダチューブ４０の下方から固定ボルト挿通孔４０ｂに挿通され、その先端がシリンダチューブ４０の凹部４０ａに嵌合したエアシリンダ側案内部材３０の固定ボルト取付孔３０ｃに螺合する。これにより、エアシリンダ側案内部材３０がシリンダチューブ４０に位置決めされ固定される。

シリンダ室にエアが給排されてピストンが駆動されると、スライドテーブル１２がピストンと同方向にスライドする。本実施形態では、スライドテーブル１２を駆動するためのアクチュエータとしてエアシリンダ３８を用いたが、電動モータを用いてもよい。

次に、テーブル側案内部材２４の真直度の改善方法について説明する。前述のとおり、長尺で断面積が小さいテーブル側案内部材２４は、熱処理を行ったときに反りが発生し、真直度が低下している。この反りは、テーブル側案内部材２４をスライドテーブル１２に取り付ける際の左右方向に湾曲する反りと上下方向に湾曲する反りとに分けることができる。以下、左右方向の反りを矯正する場合と上下方向の反りを矯正する場合のそれぞれについて説明する。

（左右方向の反りを矯正する場合）
図６には、スライドテーブル１２の第１取付溝２０内でテーブル側案内部材２４が内側に凸となるように湾曲している様子、すなわち、長手方向中央部が長手方向両端部よりも第１側壁部１６の内側面１６ａから離れるようにテーブル側案内部材２４が湾曲している様子が示されている。なお、図６では、便宜上、テーブル側案内部材２４の反りが誇張して描かれている。この反りを矯正するには、スライドテーブル１２の第１側壁部１６のねじ孔１６ｃに装着された各止めねじ２６の先端がテーブル側案内部材２４に向けて突出する量を調整すればよい。

具体的には、エアシリンダ３８のシリンダチューブ４０を床面等に固定した状態で、スライドテーブル１２の第１側壁部１６の外側から第１側壁部１６のねじ孔１６ｃに工具の先端を挿入して各止めねじ２６を回転せしめ、テーブル側案内部材２４の長手方向両端部に近い位置にある止めねじ２６の突出量を大きくする。このとき、併せて、テーブル側案内部材２４の長手方向中央部に近い位置にある止めねじ２６の突出量を上記突出量に合わせるようにしてもよい。

テーブル側案内部材２４は、外側面２４ａが複数の止めねじ２６によって押圧されると、内側面が複数のボール３６との接触点においてボール３６から反力を受ける。したがって、上記のように止めねじ２６の突出量を調整すれば、テーブル側案内部材２４の真直度を改善することができる。すなわち、スライドテーブル１２の第１側壁部１６の内側面１６ａを基準として、第１取付溝２０内のテーブル側案内部材２４の真直度を改善することができる。

スライドテーブル１２の第１取付溝２０内でテーブル側案内部材２４が外側に凸となるように湾曲している場合、すなわち、長手方向両端部が長手方向中央部よりも第１側壁部１６の内側面１６ａから離れるようにテーブル側案内部材２４が湾曲している場合は、テーブル側案内部材２４の長手方向中央部に近い位置にある止めねじ２６の突出量を大きくする。このとき、併せて、テーブル側案内部材２４の長手方向両端部に近い位置にある止めねじ２６の突出量を上記突出量に合わせるようにしてもよい。

また、スライドテーブル１２の第２取付溝２２内でテーブル側案内部材２４が内側または外側に凸となるように湾曲している場合は、各止めねじ２６の突出量を大きくすればよい。止めねじ２６の突出量を全体的に大きくすれば、スライドテーブル１２の剛性により第１側壁部１６との間隔を維持しようとする第２側壁部１８が第２取付溝２２内でテーブル側案内部材２４を押し付ける力が大きくなる。したがって、第２取付溝２２内のテーブル側案内部材２４は、第２側壁部１８の内側面１８ａを基準として、その真直度が改善される。

（上下方向の反りを矯正する場合）
図７には、スライドテーブル１２の第１取付溝２０内または第２取付溝２２内でテーブル側案内部材２４が下側に凸となるように湾曲している様子、すなわち、長手方向中央部が長手方向両端部よりもスライドテーブル１２の第１底面１４ａから離れるようにテーブル側案内部材２４が湾曲している様子が示されている。なお、図７では、便宜上、テーブル側案内部材２４の反りが誇張して描かれている。この反りを矯正するには、テーブル側案内部材２４をスライドテーブル１２に固定する締結ボルト２８における締め付け量を大きくすればよい。

具体的には、スライドテーブル１２の上面に臨む各締結ボルト２８の頭部に工具を係合して締結ボルト２８を所定方向に回転せしめると、平板部１４の締結ボルト挿通孔１４ｄの段部に当接する締結ボルト２８の頭部背面と、テーブル側案内部材２４の上面２４ｂとの距離が狭まる。これにより、テーブル側案内部材２４の上面２４ｂがスライドテーブル１２の第１底面１４ａに圧接し、テーブル側案内部材２４の真直度が改善される。すなわち、スライドテーブル１２の第１底面１４ａを基準として、テーブル側案内部材２４の真直度が改善される。

スライドテーブル１２の第１取付溝２０内または第２取付溝２２内でテーブル側案内部材２４が上側に凸となるように湾曲している場合、すなわち、長手方向両端部が長手方向中央部よりもスライドテーブル１２の第１底面１４ａから離れるようにテーブル側案内部材２４が湾曲している場合も、同様に、各締結ボルト２８による締め付け量を大きくすればよい。

テーブル側案内部材２４の左右方向の反りおよび上下方向の反りを矯正する方法は、以上のとおりである。左右方向と上下方向の両成分をもつ反りの場合は、止めねじ２６による調整と締結ボルト２８による締め付けの両者を組み合わせて矯正すればよい。テーブル側案内部材２４が長尺で断面積が小さいことは、反りの矯正を容易にしている。テーブル側案内部材２４をスライドテーブル１２の第１取付溝２０または第２取付溝２２に組み込むときに反りを矯正する場合、熱処理後のテーブル側案内部材２４の反りの状態（反りの向き等）を予め測定しておくとよい。

ところで、止めねじ２６は、ボール３６の予圧を調整する役割も担っている。各止めねじ２６の突出量を大きくすれば、ボール３６の予圧を大きくすることができ、各止めねじ２６の突出量を小さくすれば、ボール３６の予圧を小さくすることができるからである。ボール３６の予圧の大きさには適正な範囲があり、予圧が適正範囲を下回るとガタが発生し、予圧が適正範囲を上回ると、スライドテーブル１２のスライド抵抗が過大となる。

ここで、左右各二列のボールを用いたサーキュラーアークと呼ばれる支持構造は、左右各一列のボールを用いたゴシックアーチと呼ばれる支持構造と比べて、ボールの予圧に対するボールの転がり抵抗の特性が格段に良好なものとなっている。すなわち、サーキュラーアークでは、ボールの予圧が増大しても、転がり抵抗はそれほど増加しない。

止めねじ２６によってテーブル側案内部材２４の左右方向の反りを矯正するのに伴って、ボール３６の予圧が増大するが、スライドテーブル１２がサーキュラーアークによってエアシリンダ３８に支持されているので、ボール３６の予圧が増大しても、スライドテーブル１２のスライド抵抗の増加を可及的に抑制することができる。

本実施形態に係るリニアガイド機構によれば、テーブル側案内部材２４の真直度を止めねじ２６および締結ボルト２８により改善することができるので、熱処理後のテーブル側案内部材２４に研削加工を行う必要がなく、スライドテーブル１２がスライドするときのガタを無くすことができる。

また、テーブル側案内部材２４は、ボール３６の循環溝を備えておらず、長尺で断面積が小さい部材であるから、止めねじ２６および締結ボルト２８によるテーブル側案内部材２４の真直度を容易に改善することができる。

本発明に係るリニアガイド機構およびリニアアクチュエータは、上述の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することのない範囲で、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

１０…リニアアクチュエータ １２…スライドテーブル（移動ブロック）
１６…第１側壁部（側壁部） １６ｃ…ねじ孔
２４…テーブル側案内部材（移動ブロック側案内部材）
２４ａ…外側面 ２６…止めねじ
２８…締結ボルト
３０…エアシリンダ側案内部材（アクチュエータ側案内部材）
３４ａ～３４ｄ…第１～第４循環溝（循環溝）
３６…ボール ３８…エアシリンダ（アクチュエータ）

Claims (9)

1. 移動ブロックをアクチュエータにスライド自在に支持するためのリニアガイド機構であって、前記アクチュエータに取り付けられるアクチュエータ側案内部材と、前記移動ブロックに取り付けられ前記アクチュエータ側案内部材の両側に配置される一対の移動ブロック側案内部材と、前記アクチュエータ側案内部材と前記各移動ブロック側案内部材との間にそれぞれ二列設けられる複数のボールとを含み、前記アクチュエータ側案内部材には前記ボールが循環する循環溝が設けられ、前記移動ブロック側案内部材は熱処理を施した鋼からなり、前記移動ブロックには前記ボールの予圧を調整可能であるとともに前記移動ブロック側案内部材の真直度を改善可能な押圧機構が設けられるリニアガイド機構。
2. 請求項１記載のリニアガイド機構において、
   前記押圧機構は止めねじとし、前記止めねじは、前記移動ブロックの側壁部を貫通するねじ孔に螺合され、先端が前記移動ブロック側案内部材の外側面に当接するリニアガイド機構。
3. 請求項２記載のリニアガイド機構において、
   前記止めねじは、前記移動ブロックの前記側壁部の長手方向に並んで複数配置されるリニアガイド機構。
4. 請求項２記載のリニアガイド機構において、
   前記移動ブロック側案内部材を前記移動ブロックに固定するとともに前記移動ブロック側案内部材の真直度を改善可能な締結ボルトが設けられ、前記締結ボルトの軸線と前記止めねじの軸線は、前記移動ブロックのスライド方向に沿う方向から見て、互いに垂直な位置関係にあるリニアガイド機構。
5. 請求項４記載のリニアガイド機構において、
   前記締結ボルトは、前記移動ブロック側案内部材の長手方向に並んで複数配置されるリニアガイド機構。
6. 請求項１記載のリニアガイド機構において、
   前記移動ブロック側案内部材は、圧延による鍛造品であるリニアガイド機構。
7. 請求項１記載のリニアガイド機構において、
   前記移動ブロック側案内部材は、前記アクチュエータ側案内部材よりも前記移動ブロックのスライド方向に長いリニアガイド機構。
8. 請求項１記載のリニアガイド機構を搭載したリニアアクチュエータであって、アクチュエータとしてエアシリンダを用いたリニアアクチュエータ。
9. 請求項１記載のリニアガイド機構を搭載したリニアアクチュエータであって、アクチュエータとして電動モータを用いたリニアアクチュエータ。

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