CN1237286C

CN1237286C - 线性致动器

Info

Publication number: CN1237286C
Application number: CNB011046120A
Authority: CN
Inventors: 佐藤俊夫; 宫崎省吾; 上野成央
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2000-02-18
Filing date: 2001-02-16
Publication date: 2006-01-18
Anticipated expiration: 2021-02-16
Also published as: DE10107474B4; KR100416396B1; KR20010082750A; JP4273476B2; JP2001227507A; TW472117B; DE10107474A1; US20010015580A1; CN1309246A

Abstract

一种线性致动器，其包括：由磁铁无杆缸构成的驱动部件(12)、在驱动部件(12)的驱动下进行运动的滑台(14)、用于沿直线引导滑台(14)的导轨(16)以及分别连接到驱动部件(12)的第一端部和第二端部的一对端块(18a、18b)，其中：导轨(16)安装在滑台(14)的凹槽(94)中，导轨(16)沿大致垂直于滑台(14)运动方向的宽度方向上的尺寸小于滑台(14)的宽度。

Description

线性致动器

技术领域

本发明涉及一种线性致动器，其可在驱动源驱动下使滑台沿导轨进行直线往复运动。

背景技术

迄今为止，通常采用线性致动器来用作例如工件输送装置。如图14所示，这种线性致动器具有磁铁无杆缸5和用于引导滑台4的导轨6，无杆缸5用于在安装到活塞1上的磁铁2的吸力作用下使滑台4沿筒形件3运动。磁铁无杆缸5和导轨6分别沿纵向大致相平行地对齐(见日本特开专利公开No.7-248006)。

如图15所示，现有技术的另一种线性致动器具有长的导轨8和滑台9，导轨8形成有沿纵向延伸的大致为有角的U形横截面的凹槽7，滑台9的宽度比凹槽7的宽度要窄，并沿凹槽7可移动地进行安装。用来使设置在导轨8和滑台9之间的多个球9a滚动的滚动槽设置在导轨8的内壁面上(见日本特开专利公开No.10-318209)。

然而，在图14所示的现有技术线性致动器的情况下，磁铁无杆缸5和导轨6大致相互平行设置。因此，产生了下述的不便。即，整个装置沿宽度方向(大致垂直于纵向的方向)的尺寸增大，从而不能获得较小的尺寸。

在图15所示的线性致动器中，滑台9沿位于导轨8内侧的凹槽7运动。因此，产生了下列不便之处。即，与滑台9沿宽度方向的尺寸相比，导轨8沿宽度方向的尺寸较大。这样就增大了整个装置的重量。

另外，在图15所示的线性致动器的情况下，必须将球9a运行的运行轨道的直径A大约设定为球9a直径的2.5倍。因此，在现有技术的线性致动器的情况下，对于导轨8沿宽度方向的尺寸而言，两倍于运行轨道直径A的尺寸和无杆缸的筒形件的外径B是必需的。因此，产生了下列不便。即，不可能使导轨8宽度方向的尺寸减小。

发明内容

本发明的一个总的目的就是提供一种线性致动器，该线性致动器可减小导轨沿宽度方向的尺寸，并使其尺寸较小，重量较轻。

本发明的主要目的是提供一种线性致动器，其可通过沿凹槽内侧设置筒形件来减小高度方向的尺寸，所述凹槽沿导轨轴向延伸，并具有半圆形横截面。

本发明的另一个目的是提供一种线性致动器，其可通过设置浮动机构来分别吸收滑块在基本上水平的平面内沿大致垂直于运动方向的方向上的微小运动和滑块沿大致竖直向上和向下方向的微小运动。

本发明的又一个目的是提供一种线性致动器，其可通过为滑台额外设置润滑件来减小可沿导轨运动的滑台的滑动阻力。

为此，本发明提供了一种线性致动器，其包括：驱动部件；在所述驱动部件的驱动下进行运动的滑台；用于沿直线引导所述滑台的引导机构；以及分别连接到所述驱动部件的第一端部和第二端部的一对端块，其中：所述引导机构包括导轨，所述导轨安装在所述滑台的凹槽中，且其两个端部分别与所述的这对端块相连，其特征在于，所述导轨沿大致垂直于所述滑台运动方向的宽度方向上的尺寸小于所述滑台的宽度。

附图说明

本发明上述的和其它的目的、特征以及优点可从下面结合附图所进行的描述中更清楚地看到，在附图中，通过示例性的实例示出了本发明的优选实施例。

图1是本发明一个实施例的线性致动器的透视图；

图2是图1所示的线性致动器拆除传感器安装导轨时的状态的分解透视图；

图3是用于构成图1所示线性致动器的滑台的分解透视图；

图4是图1所示线性致动器的局部剖视平面图；

图5是沿图4中V-V线的垂直剖视图；

图6是沿图4中VI-VI线的纵向剖视图；

图7是驱动部件的改进实施例的局部省略的纵向剖视图，其中，仅有外部磁铁设置在筒形件外侧；

图8是驱动部件的改进实施例的局部省略的纵向剖视图，其中，仅有内部磁铁设置在筒形件内侧；

图9是图1所示线性致动器的局部剖开的侧视图；

图10是支承件处于连接状态的垂直剖视图；

图11是本发明另一个实施例的线性致动器的平面图；

图12是沿图11中XII-XII线的垂直剖视图；

图13是本发明又一个实施例的线性致动器的局部省略的横向剖视图；

图14是现有技术的线性致动器的局部剖视平面图；

图15是另一种现有技术的线性致动器的垂直剖视图。

具体实施方式

在图1中，标号10表示本发明一个实施例的线性致动器。

线性致动器10包括驱动部件12、滑台14、导轨16、一对端块18a、18b和传感器安装导轨20，所述驱动部件12基本上包括一个磁铁无杆缸，所述滑台14可在驱动部件12的驱动下沿直线进行往复运动，所述导轨16引导滑台14沿直线运动，所述端块分别与导轨16的两端相联，所述传感器安装导轨20分别固定到这对端块18a、18b上，并大致平行于导轨16而设置。

如图6所示，驱动部件12包括筒形件26、活塞28和滑块30，筒形件26具有位于其内部并用作缸室的通孔22，筒形件26借助于分别安装在其两端的端盖24而由这对端块18a、18b进行支承，活塞28由磁性材料制成，并可沿着筒形件26的通孔22滑动，滑块30环绕着筒形件26的外周面，并可与活塞28一起沿筒形件26的轴向运动。端盖24上设有用于调节流经通道的流体流速的孔32。

如图2所示，每个端块18a(18b)具有大致平行于筒形件26轴线的第一压力流体入口/出口34a和大致垂直于筒形件26轴线的第二压力流体入口/出口34b。

如图6所示，耐磨环36和刮除器38分别沿轴向安装在活塞28两端的侧部。第一磁轭包括8个由像铁这样的能吸引的元件制成的环形板40a-40h，并且外安装在活塞28的外周面上。环形内部磁铁42a-42g分别介于相邻的环形板40a-40h之间。

第二磁轭由像铁这样的能吸引的元件制成，其包括被分成多个单独件的环形板44a-44h，并且内安装在滑块30的内周面上。环形外部磁铁46a-46g分别介于相邻的环形板44a-44h之间。在该结构中，安装在活塞28上的内部磁铁42a-42g和安装在滑块30上的外部磁铁46a-46g相互面对，且筒形件26介于两者之间。另外，内部磁铁42a-42g和外部磁铁46a-46g的极性设置为相互吸引。

通过采用借助于第一磁轭而安装在活塞28上的内部磁铁42a-42g和借助于第二磁轭而安装在滑块30上的外部磁铁46a-46g来构成本发明的实施例。但是，并不局限于此。如图8所示，也可以仅有一个第二48，其由磁性元件整体形成，并连接到滑块30上，而不设置外部磁铁46a-46g。

这种结构具有下述的优点。也就是，通过减少部件的数目就可降低成本。另外，由于第二磁轭48和滑块30形成一个整体，从而可减小滑块30的外形尺寸。在图8中，标号50表示多个环形凹槽，这些环形凹槽沿第二磁轭48的轴向相互间隔预定的距离。

另外，如图7所示，还可使活塞52通过磁性材料与第一磁轭形成一体，而不设置内部磁铁42a-42g。在这种结构中，可通过减少部件的数目而降低成本。最好使活塞52形成多个环形凹槽54，这些环形凹槽沿轴向相互间隔预定的距离。

如图3和5所示，滑台14包括导块58、返回通道形成件60、盖件62和板形刮除器64，所述导块58具有大致为U形的横截面，并与一对侧部部件56形成一个整体，该侧部部件相互间隔预定的距离并相互面对，返回通道形成件60在行程方向上连接在导块58的两端，盖件62与返回通道形成件60相连，板形刮除器64与盖件62相连。

润滑件66包括多孔材料并浸渍有润滑油，其安装在盖件62的凹槽内。润滑件66上设有大致为圆形的孔68和凸起72，孔68与筒形件26的外圆周面进行滑动接触，凸起72与导轨16的滚动槽70滑动接触(后面将进行描述)。孔74分别贯穿刮除器64、盖件62和返回通道形成件60。弹性件78安装在孔74中(见图4)，螺纹件76贴靠在弹性件78上，后面将进行描述。

由于设置了润滑件66，润滑油就可施加在筒形件26的外圆周面和导轨16的滚动槽70上。因此，就可降低滑台14运动时的滑动阻力，并使其确保平稳地运动。

在导块58的平表面部分上设有4个工件安装孔80。浮动机构82设置在工件安装孔80之间，其吸收滑块30沿筒形件26运动时所产生的任何偏移。

如图4所示，浮动机构82包括一对长孔84a、84b和一对柱状螺栓86a、86b，该长孔位于导块58的平表面部分上，且每一个长孔都在大致垂直于导块58行程方向的方向上具有一个较大直径，该螺栓的第一端部螺纹紧固在滑块30上，其第二端部与长孔84a、84b松配合。

借助于螺纹紧固在滑块30上的螺栓86a、86b，将沿筒形件26运动的滑块30的直线运动传递给导块58，从而使活塞28、滑块30和导块58一起运动。换句话说，根据螺栓86a、86b相对于长孔84a、84b的啮合作用，滑块30的直线运动就传递给导块58，其中，滑块30和导块58没有相互连接。

因此，如果不能相对于用作循环运动轨道的滚动槽70、96(后面将进行描述)而完全保持平行精度时，长孔84a、84b和连接到滑块30上的螺栓86a、86b之间的啮合作用就可吸收掉当滑块30沿筒形件26运动时所产生的任何偏移。因此，就可平稳地输送未示出的工件。

调节滑台14行程量的螺纹件76拧在各端块18a、18b的角部。通过增大或减小螺纹件76的旋入量就可调节滑台14的行程量。

导轨16包括长的柱状件。如图5所示，导轨16包括凹槽88、一对滚动槽70和凸缘92，凹槽88具有半圆形的横截面，且在其上表面部分沿纵向延伸，每个滚动槽具有圆弧形的横截面，且相对于彼此相对的侧部56而沿纵向延伸，凸缘92沿纵向延伸，且支承件90与其相配合，这将在后面描述。设置在下侧的筒形件26的近似一半的部分安装成面向具有半圆形横截面的凹槽88的内部。凹槽88和筒形件26之间形成预定的间隙。

当为导轨16提供凹槽88且筒形件26安装成面向凹槽88时，就可获得如下的优点：可在高度方向上减小整个装置的尺寸。

导轨16面向凹槽94的内部，凹槽94由导块58的这对相互面对的侧部56构成。因此，就可在宽度方向上将导轨16的尺寸(大致垂直于轴线的方向上的尺寸)相对于导块58的这对侧部56之间的尺寸而设置得较小。

在此结构中，在滚动槽96与滚动槽70之间可转动地安装有多个球98，滚动槽96位于导块58的侧部56上，而滚动槽70位于导轨16上。滚动槽70、96和通孔100形成循环运行轨道，通孔100贯穿导块58的侧部56。

导轨16可通过螺栓104固定在另一个部件106上，所述螺栓104插入到一对连接通孔102中(见图4)。另外，如图10所示，导轨16可通过一对支承件90固定在另一部件106上，所述支承件90与凸缘92相配合。

两条传感器安装长孔108设置在传感器安装导轨20的一侧表面上，它们大致沿轴向相互平行，且每条孔都具有圆弧形的横截面。在位于相对侧的另一侧表面上沿轴向设有三角形横截面的凹槽110。磁铁114通过安装件112由导块58支承着并面向凹槽110。通过未示出的安装在传感器安装长孔108上的传感器，通过检测与导块58一起运动的磁铁114的磁场，就可检测出滑台14的位置。

如图4所示，沿轴向延伸的通道116设置在传感器安装导轨20的内侧。通道116可借助于管螺栓120而与分别设置在端块18a、18b上的压力流体入口/出口34b联通，管螺栓120安装在一对分别设置在传感器安装长孔108下侧的孔中。在图2和4中，标号122表示密封环。

在此结构中，管螺栓120具有两种作用，即，使传感器安装导轨20连接到端块18a、18b上，以及通过位于管螺栓120上的联通通道124而使端块18a、18b的第二压力流体入口/出口34b与传感器安装导轨20的通道116相联通。因此，通过在传感器安装导轨20上形成通道116来使压力流体流过，就可提高引导管流的方向的自由度。另外，不必将管子分别连接到这对端块18a、18b上，而将管子连接到任何一个端块18a(18b)上就足够了。因此，简化了管路结构。

设置在传感器安装导轨20上的通道116的两端分别通过钢球126以气密的方式进行封闭。

上面所描述的是本发明实施例的线性致动器10的基本结构。下面将对其工作过程、作用和效果进行描述。

由未示出的压力流体源提供的压力流体(例如，压缩空气)流过第一压力流体入口/出口34a，并流入用作缸室的筒形件26的通孔22中。在流入筒形件26的通孔22中的压力流体作用下，活塞28受压。多个内部磁铁42a-42g和活塞28借助于由环形板40a-40h组成的第一磁轭而沿筒形件26的通孔22一起运动。在此过程中，在通过第一磁轭而安装到活塞28上的内部磁铁42a-42g的磁场作用下，外部磁铁46a-46g被吸引。支承外部磁铁46a-46g的滑块30与活塞28一起运动。

当滑块30沿筒形件26运动时，安装在导轨16与导块58的侧部56之间的多个球98沿用作循环运行轨道的滚动槽70、96滚动。因此，对导块58进行了导向作用。滑块30的直线运动通过螺栓86a、86b传递给导块58。因此，活塞28、滑块30和导块58一起沿直线运动。从而使滑台14保持往复直线运动。

在本发明的实施例中，导轨16面向由导块58的这对相互面对的侧部56所构成的凹槽94的内部。因此，与图14和15所示的现有技术相比，导轨16宽度方向的尺寸(大致垂直于轴线方向的尺寸)可设定得较小。因此，在本发明的实施例中，可减小整个装置的重量，并可获得较轻的重量。

在本发明的实施例中，可设定导轨16宽度方向的尺寸而不受球98滚动的运行轨道直径A尺寸的影响。因此，进一步减小了导轨16宽度方向的尺寸。在本发明的实施例中，导轨16宽度方向的尺寸可根据筒形件26的外径和两倍于导轨16连接孔102直径的尺寸来进行设定。

在本发明的实施例中，当滑台14沿筒形件26运动时，筒形件26与滚动槽70、96之间平行度的任何偏差都可通过与滑块30相连的螺栓86a、86b与位于导块58上的长孔84a、84b之间的啮合作用来吸收。因此，可使工件平稳地运动。

也就是，当筒形件26的轴线与滚动槽70、96的轴线之间不能达到平行度要求时，在滚动槽70、96的导向作用下，在沿筒形件26运动的滑块30中就产生偏差。在此情况下，根据螺栓86a、86b相对于长孔84a、84b的啮合作用，使滑块30和螺栓86a、86b一起沿宽度方向产生微小距离的运动，从而使在基本上为水平的平面内沿大致垂直于滑台14运动方向的宽度方向上所产生的偏差得以消除。

根据螺栓86a、86b相对于长孔84a、84b的啮合动作，使滑块30和螺栓86a、86b一起产生竖直方向的微小运动，从而使大致沿滑块30的竖直方向(竖直向上和向下的方向)上所产生的偏差得以消除。

因此，即使当滑块30沿筒形件26作直线往复运动而产生偏差时，也可平稳地输送工件。因此，当安装线性致动器10时，不必使筒形件26的轴线和滚动槽70、96的轴线达到完全平行。从而简化了安装步骤，降低了生产成本。

另外，在本发明的实施例中，管流通道116设置在传感器安装导轨20上。因此，可方便地进行管道操作，并可有效地获得装管空间。

图11和12显示了本发明另一实施例的线性致动器。在下面所描述的实施例中，与上述实施例中相同的部件用相同的标号表示，并不再详细描述。

另一个实施例的线性致动器200的特征在于：第一驱动部件204和第二驱动部件206基本上包括磁铁无杆缸，两者大致相互平行，并在一对端块202a、202b之间相互间隔预定的距离。第一驱动部件204和第二驱动部件206中的每一个都以与上述实施例中驱动部件12相同的方式构成，这里将不再详细描述。

在另一个实施例的线性致动器200中，第一驱动部件204和第二驱动部件206大致相互平行。因此，就可得到下述优点：使滑台208运动的驱动力大约可增加到两倍。另外，可增大沿滚动方向的力矩。

图13显示了本发明又一个实施例的线性致动器300。

又一实施例的线性致动器300的特征在于：分别为一对端块302a、302b提供了气垫机构304。分别为这对端块302a、302b设置的气垫机构304以相同的方式构成。因此，下面仅对其中一个进行详细描述，另一个就不再进行描述了。

每个气垫机构304包括一对杆件308中的一个、密封件314、排出口316和调节装置318，这对杆件308基本上同轴地连接到活塞306的两端，并与活塞306一起运动，密封件314安装在杆件308外圆周面上所形成的环形槽中，并通过与筒形件310通孔312的内圆周面滑动接触来实现其密封作用，排出口316设置在端块302a上，并可将通孔312内的空气排到外部，调节装置318设置在靠近排出口316的部分上，当筒形件310中的空气排到外部时，其可减小移动量。

调节装置318具有用于调节排量的调节口322、单向阀324、调节件326和阀件328，单向阀324用于阻挡没有通过调节口322的空气流，调节件326用于调节调节口322的开口面积，调节件326安装在阀件328内。调节口322通过联通通道330而与排出口316联通。在此结构中，还可采用未示出的固定调节式机构来代替可变调节式机构，在可变调节式机构中，调节口322的开口面积通过使用调节件326的第一端部来进行调节。

在端块302a的孔中安装有一对密封环320a、320b，排出口316介于两者之间。

下面将对气垫机构304的工作过程进行描述。当杆件308沿筒形件310的通孔312与活塞306一起向第一位移终端位置运动时，在安装到杆件308外圆周面上的密封件314通过排出口316位置之前，也就是通过图13所示的双点划线C所表示的位置之前，留在筒形件310通孔312内的空气就基本上从排出口316排到外部。

在活塞306进一步运动而使杆件308的密封件314通过排出口316之后，密封件314与筒形件310的通孔312的内圆周面滑动接触从而就实现了密封。因此，就避免了留在通孔312中的空气由排出口316直接排出。

也就是，在杆件308的密封件314通过排出口316之后，根据相对于调节件326第一端部的间距，就可通过调节口322来调节留在通孔312中的空气压力。空气通过联通通道330从排出口316排到外部。

因此，在密封件314通过排出口316之后，也就是，直到密封件314通过双点划线C的位置而到达位移终点位置时，空气才经调节装置318排到外部，且流经调节装置318的空气流速是可调节的。因此，就实现了缓冲作用。

当如上所述设置气垫机构304时，就可减轻在滑台14位移终点位置所产生的冲击，降低冲击噪音，并可使滑台14平稳地作往复直线运动。在气垫机构304中，在位移终点位置处，吸收滑台14动能的能力增大。因此，可以高速地输送重载工件。而且，也抑制了缓冲时产生的粉尘。因此，这种线性致动器可用于要求干净的环境中。

Claims

1.一种线性致动器，其包括：

驱动部件(12、204、206)；

在所述驱动部件(12、204、206)的驱动下进行运动的滑台(14、208)；

用于沿直线引导所述滑台(14、208)的引导机构；

以及分别连接到所述驱动部件(12、204、206)的第一端部和第二端部的一对端块(18a、18b、202a、202b、302a、302b)，其中：

所述引导机构包括导轨(16)，所述导轨安装在所述滑台(14、208)的凹槽(94)中，且其两个端部分别与所述的这对端块(18a、18b、202a、202b、302a、302b)相连，其特征在于，所述导轨(16)沿大致垂直于所述滑台(14、208)运动方向的宽度方向上的尺寸小于所述滑台(14、208)的宽度。

2.根据权利要求1所述的线性致动器，其中，所述驱动部件(12、204、206)包括磁铁无杆缸，所述无杆缸包括筒形件(26、310)、活塞(28、306)、内部磁铁(42a-42g)、滑块(30)和外部磁铁(46a-46g)，所述筒形件连接在所述的这对端块(18a、18b、202a、202b、302a、302b)之间，所述活塞用于在所供给的压力流体作用下沿所述筒形件(26、310)的通孔(22、312)滑动，所述内部磁铁安装在所述活塞(28、306)上，所述滑块安装在所述筒形件(26、310)的外部，所述外部磁铁安装在所述滑块(30)上。

3.根据权利要求2所述的线性致动器，其中，所述筒形件(26、310)设置在凹槽(88)中，并沿所述凹槽(88)设置，所述凹槽沿所述导轨(16)的轴向延伸，并具有半圆形横截面。

4.根据权利要求2所述的线性致动器，其中，所述滑台(14、208)设有浮动机构(82)，所述浮动机构用于分别吸收所述滑块(30)在基本上为水平的平面内沿基本垂直于所述运动方向的方向上的微小运动以及所述滑块(30)沿基本竖直向上和向下的方向上的微小运动。

5.根据权利要求4所述的线性致动器，其中，所述滑台(14、208)包括导块(58)，所述导块设有一对相互面对的侧部(56)，所述浮动机构(82)具有长孔(84a、84b)和螺栓(86a、86b)，所述长孔贯穿所述导块(58)，所述螺栓与所述滑块(30)相连，并与所述长孔(84a、84b)相配合。

6.根据权利要求1所述的线性致动器，其中，所述驱动部件包括第一驱动部件(204)和第二驱动部件(206)，上述两者相互间隔预定的距离，并基本上相互平行，上述第一驱动部件(204)和第二驱动部件(206)中的每一个都包括磁铁无杆缸。

7.根据权利要求1所述的线性致动器，其中，传感器安装导轨(20)与所述这对端块(18a、18b、202a、202b、302a、302b)相连，所述传感器安装导轨设有用于安装传感器的长孔(108)。

8.根据权利要求7所述的线性致动器，其中，所述传感器安装导轨(20)设有流体通道(116)，所述流体通道与所述这对端块(18a、18b、202a、202b、302a、302b)所形成的压力流体入口/出口(34a、34b)联通，并沿轴向延伸。

9.根据权利要求1所述的线性致动器，其中，为所述的这对端块(302a、302b)中的每一个设置有用于在所述滑台(14、208)的位移终点位置处吸收任何冲击的缓冲机构(304)。

10.根据权利要求9所述的线性致动器，其中，所述缓冲机构包括气垫机构(304)，活塞(306)运动时，通过调节要排到筒形件(310)外部的空气的流速来实现缓冲。

11.根据权利要求2所述的线性致动器，其中，所述滑台(14、208)设有润滑件(66)和凸起(72)，所述润滑件设有用于与所述筒形件(26、310)外圆周面滑动接触的孔(68)，所述凸起与所述导轨(16)的滚动槽(70)滑动接触，所述润滑件(66)包括浸渍润滑油的多孔材料。