JPH10205534A - 潤滑プレートを備えた直動案内ユニット - Google Patents
潤滑プレートを備えた直動案内ユニットInfo
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Abstract
可能で且つ容易に取付け・取外しができる潤滑プレート
を備えた直動案内ユニットを提供する。 【解決手段】 潤滑プレート15は、エンドキャップ6
の端面に配置された間座16とエンドシール17との間
に配置されてケーシング5に取り付けられ、少なくとも
軌道レール2の軌道溝4に摺接して軌道レール2に対し
て相対移動する。潤滑プレート15は、潤滑油が含浸さ
れた多孔質構造を有する焼結樹脂部材から構成されてい
る。焼結樹脂部材は、合成樹脂の微粒子を所定の金型に
充填して加熱成形して作製される。
Description
半導体製造装置、切削・研削機械等に適用される直動案
内ユニットに関し、特に、既存の直動案内ユニットに簡
単に取り付けられる潤滑プレートを備えた直動案内ユニ
ットに関する。
く、直動転がり案内ユニットに対しては高精度、高速
化、小型化等が要求され、しかも技術の発展と共にその
用途は拡大しているのが現状である。直動転がり案内ユ
ニットは、半導体製造装置、検査装置、産業用ロボット
等の技術分野に組み込まれて使用されている。例えば、
組立ロボットは、用途の拡大が求められ、大型のものか
ら小型のものまで作製されている。これらの組立ロボッ
トに組み込まれる直動案内ユニットとしては、特に、高
精度、高速化、小型化に対応できると共に、自己潤滑で
きることが要求されるようになった。
トが知られている。該直動転がり案内ユニットは、スラ
イダ1を軌道レール2に跨架した状態で載置し、軌道レ
ール2の軌道溝4に沿って循環する転動体7の介在で自
在に摺動する。軌道レール2の長手方向両側面3には軌
道溝4が形成されている。軌道レール2には、長手方向
上面14に隔置して複数個の取付孔13が形成されてい
る。軌道レール2は、ベッド、機台、加工台等の取付ベ
ース20に固定されている。軌道レール2に形成されて
いる取付孔13には、ボルトが挿通され、ボルトを取付
ベース20に形成されたねじ穴に螺入することによって
軌道レール2を取付ベース20に固定している。スライ
ダ1は、軌道レール2に対して相対移動可能なケーシン
グ5、及びケーシング5の両端にそれぞれ取り付けたエ
ンドキャップ6を有している。ケーシング5の上部に
は、他の機器、機械部品、チャック、把持装置等を取り
付けるための取付穴19が形成されている。ケーシング
5及びエンドキャップ6の各下面には、ケーシング5及
びエンドキャップ6とが軌道レール2に跨がって移動す
るように凹部10が各々形成され、軌道レール2の各軌
道溝4に対向する位置における凹部10の対向面にそれ
ぞれ軌道溝9が形成されている。対向する軌道溝4,9
で構成される軌道路にはボール等の転動体7が転走する
ように組み込まれている。また、ケーシング5から転動
体7が脱落するのを防止するために、保持バンド18が
多数の転動体7を囲むようにケーシング5に取り付けら
れている。軌道レール2とスライダ1との間のシールを
達成するために、下面シール8がスライダ1の下面に設
けられている。
負荷軌道である軌道溝4から転動体7がすくわれる爪、
及び転動体7の循環のために転動体7を方向転換させる
方向転換路が両側に形成されている。また、エンドキャ
ップ6には、軌道レール2とスライダ1の長手方向両端
部との間のシールを達成する側面シール17が取り付け
られている。エンドキャップ6は、複数の取付孔24に
貫通させたねじ25等によりケーシング5の両端面に取
り付けられる。軌道レール2の軌道溝4を転走する負荷
域の転動体7は、エンドキャップ6内に形成された方向
転換路に導かれ、次いで、ケーシング5の上部に軌道溝
9と平行して形成されたリターン通路孔12に移動し、
転動体7は無限循環路内を転走する。スライダ1に形成
した軌道溝9と軌道レール2に形成した軌道溝4との間
に形成される軌道路を転走する負荷された転動体7の転
動により、軌道レール2とスライダ1とがスムースに相
対移動することができる。
は、例えば、特開平6−346919号公報、特開平7
−35146号公報、特開平8−200362号公報、
特開平8−247144号公報、特開平8−24714
5号公報等に開示されたものがある。
開示されたリニアガイドのシール装置は、リニアガイド
のスライダに装着するサイドシールやアンダシール等の
シール装置を、潤滑剤含有のゴム又は合成樹脂により形
成したシールリップ部を有し、シールリップ部が案内レ
ールの外面と接触してスライダと案内レールとの間の隙
間の開口をシールするものであり、潤滑油含有のシール
本体から常時連続的に潤滑油が滲み出してシール部位に
供給されるものである。
283634号に開示された連通多孔焼結体の製造方法
が知られている。該連通多孔焼結体の製造方法は、超高
分子量ポリエチレン粉末とポリオレフィン樹脂成形材粉
末とを所定の割合で混合し、これを焼結して平均気孔径
10〜150μm、平均気孔率25〜45容量%の連通
気孔を有する多孔焼結体を得るものである。
動転がり案内ユニットでは、潤滑剤としてグリース又は
潤滑油が一般的に広く使用され、該潤滑剤がグリースの
場合にはグリースニップル11から転動体の転走路に供
給されて潤滑が行われ、また、潤滑油の場合にはグリー
スニップルの代わりに配管継ぎ手を取り付け、配管継ぎ
手を通じて潤滑が行われている。また、直動案内ユニッ
トの端面には、通常、エンドシールが配設され、ごみや
埃がスライダ内に入らないように防塵されている。エン
ドシールは、ニトリルブタジエンラバー(NBR)等か
ら成るゴム部材と芯金とから構成されている。
トの使用範囲も広がり、給油できない状況、或いは過酷
な使用条件、例えば、多量のごみや埃、切り屑等が発生
して付着するような環境、温度条件に厳しい領域等でも
潤滑不良が発生しないことが求められるようになった。
例えば、前掲特開平6−346919号公報に開示され
たリニアガイドのシール装置は、エンドシールを潤滑剤
含有のゴム又は合成樹脂で形成したものであり、また、
前掲特開平8−200362号公報に開示された潤滑剤
含有ポリマ潤滑リニアガイド装置は、エンドシールが潤
滑剤含有ポリマ部材から構成されたものである。
や前掲特開平8−200362号公報に開示されたシー
ル装置では、潤滑剤含有ポリマ部材がポリオレフィン系
ポリマとポリαオレフィン油等とを混合して加熱溶融し
た後、所定の型に注入して加圧しながら冷却固化させて
成形したものであり、製作するに当たって、複雑で且つ
技術的に高度の技術を要求されるものであった。
課題を解決することであり、潤滑プレートを装着するこ
とによって、過酷な使用条件でも自己潤滑を可能にして
良好な潤滑状態を維持し、現状の直動案内ユニットに若
干の設計変更によって簡単に装着でき、自己潤滑によっ
て長寿命化を達成し、潤滑に対する防塵性の向上、クリ
ーンな環境を維持でき、給油のメンテナンスフリー等が
得られ、簡単に作製できる潤滑プレートを備えた直動案
内ユニットを提供することである。
成された軌道レール及び前記軌道レール上を相対摺動す
るスライダから成る直動案内ユニットにおいて、前記ス
ライダは、前記軌道レールの前記軌道溝に対向して形成
された軌道溝を備えたケーシング、前記軌道溝間を転走
する転動体、前記ケーシングの両端面にそれぞれ固定さ
れたエンドキャップ、前記エンドキャップの端面に取り
付けられた潤滑プレート及び前記潤滑プレートの端面に
取り付けられたエンドシールを具備し、前記潤滑プレー
トは潤滑油が含浸された多孔質構造を有する焼結樹脂部
材から構成されていることを特徴とする直動案内ユニッ
トに関する。
材は、合成樹脂の微粒子を所定の金型に充填して加熱成
形して作製されている。
記軌道レールの前記軌道溝に摺接して前記軌道レールに
対して相対移動するものである。
記軌道レールの前記軌道溝に対向する部分が多孔質の密
部分に形成され、他の部分が多孔質の粗部分に形成され
ているものである。
記軌道レールの前記軌道溝に対向する内周面が多孔質表
面に開放状態に形成され、他の部分の表面が無孔質表面
に形成されている。
道レールの前記軌道溝に対向する内周面が開放状態の多
孔質表面に形成され、他の部分の表面が無孔質表面に形
成されている。
を収容できる潤滑油収容室が形成されている。
キャップに設けられたグリースニップル又は潤滑油供給
管継ぎ手に対応する部分が切りかかれている。
を被覆できる弾性薄板から成るカバーが設けられてい
る。
ルの両側面に対応する部分に二分割された潤滑プレート
部分から成り、前記潤滑プレート部分は前記軌道レール
の上方に位置する支持プレートで互いに連結されてい
る。
ト、及び前記エンドキャップを前記ケーシングに固定す
るためのボルトは、前記エンドシール及び前記エンドキ
ャップを挿通すると共に前記潤滑プレートに形成された
切欠き部に配置されたカラーを挿通して前記ケーシング
のボルト穴に螺入されている。
レートの変形を防止するため、前記潤滑プレートと前記
エンドキャップとの間には、間座が配置されている。
による直動転がり案内ユニットの実施例を説明する。以
下の図面において、図20に示した従来の直動転がり案
内ユニットと同一の構造及び機能を有する部品には同一
の符号を付している。図1はこの発明による直動案内ユ
ニットの一実施例を示す側面図、図2は図1の直動案内
ユニットの正面図、図3は図1の直動案内ユニットに組
み込まれた潤滑プレートの第1実施例を示す正面図、図
4は図3の潤滑プレートの側面図、図5は潤滑プレート
のボルト部分に装着されるカラーの正面図、及び図6は
図5のカラーの側面図である。
として、長手方向両側面3に軌道溝4を形成した軌道レ
ール2と、軌道レール2上を跨架して摺動可能に装着さ
れたスライダ1とから構成されている。軌道レール2
は、両側面3が軌道溝4の領域で凹んだI型断面形状で
ある。スライダ1は、軌道レール2に対して相対摺動可
能であり且つ各軌道溝4に対向する位置に軌道溝(図2
0の符号9参照)を形成したケーシング5、対向する軌
道溝4間で相対移動可能に転走する多数の転動体(図2
0の符号7参照)、及びケーシング5の摺動方向即ち長
手方向両端にそれぞれ取り付けられたエンドキャップ6
を有している。エンドキャップ6には、軌道レール2と
スライダ1との間の長手方向のシールを達成するエンド
シール17が取り付けられている。更に、ケーシング5
から転動体4が脱落するのを防止するため、保持バンド
が多数の転動体を囲むようにケーシング5に取り付けら
れている。また、ケーシング5及びエンドキャップ6と
軌道レール2の長手方向両側面3との間の隙間をシール
するため、エンドキャップ6及びケーシング5の下面に
下面シールが取り付けられている。
態に載置され、軌道レール2の軌道溝4に沿って循環す
る複数の転動体の介在で自在に摺動するものである。軌
道レール2の軌道溝4を走行する負荷域の転動体は、エ
ンドキャップ6内に形成された方向転換路に導かれ、更
にケーシング5の軌道溝と平行に形成されたリターン通
路孔(図20の符号12参照)に移動し、多数の転動体
は無限循環路内を無限循環するものである。スライダ1
は、スライダ1に形成された軌道溝と軌道レール2の軌
道面4との間に位置する負荷された転動体の転走によ
り、軌道レール2上を摺動自在に相対運動ができる。
に、エンドキャップ6の端面に配置され且つ軌道レール
2上を相対摺動する潤滑プレート15を設けたことに特
徴を有している。エンドシール17は、潤滑プレート1
5の端面に配置され且つ軌道レール2上を相対摺動する
ように設けられている。潤滑プレート15は、多孔質構
造を有する焼結樹脂部材と前記焼結樹脂部材の前記多孔
質構造の多孔部に含浸された潤滑油から構成されてい
る。また、潤滑プレート15を構成する焼結樹脂部材
は、合成樹脂の微粒子を加圧加熱成形して作製されてい
る。
ール17、潤滑プレート15及びエンドキャップ6をケ
ーシング5に固定するためのボルト23は、エンドシー
ル17及びエンドキャップ6を挿通すると共に潤滑プレ
ート15に形成された切欠き部22に配置されたカラー
21を挿通してケーシング5のボルト穴に螺入されてい
る。また、潤滑プレート15とエンドキャップ6との間
には、間座16が配置されている。即ち、潤滑プレート
15は、エンドキャップ6に間座16を介して配設さ
れ、その外側にエンドシール17が配設されている。間
座16は、鋼板の薄板から成り、ボルト23で締め付け
た時に、エンドキャップ6及び潤滑プレート15に変形
等が発生しないように配置されている。
エンドキャップ6に固定するためのボルト23を挿通す
ることができるカラー21を配置するため、この実施例
では、潤滑プレート15の四隅に切欠き部22が切り欠
かれ状態で形成されている。カラー21を潤滑プレート
15の四隅に配置することによって、潤滑プレート15
は、ボルト23で直接締め付けられることがなく、エン
ドシール17と間座16とで挟持した状態で保持される
ので、潤滑プレート15のボルト締め付けによる押圧力
によって変形することが防止される。
とも軌道レール2の軌道溝4に摺接するように内方に突
出した凸部32を備えており、焼結樹脂部材に含浸され
た潤滑剤(又は潤滑油)を軌道溝4に常に供給するよう
に構成されている。潤滑プレート15の軌道レール2へ
の摺接は、潤滑プレート15の内周面全域でもよいが、
潤滑油の消費量を低減させるため、使用条件に応じて少
なくとも軌道溝4に摺接するように構成することが好ま
しい。
例えば、高密度ポリエチレン樹脂の微粒子、例えば、細
粒径が30μmで、粗粒径が250〜300μmの粉末
を、所定の成形型に充填し、加圧加熱成形して作製した
オープンポアから成る多孔質の焼結樹脂部材で作製され
ている。潤滑プレート15の多孔質の焼結樹脂部材の空
間率は、例えば、40〜50%のものを使用できる。
の焼結樹脂部材を、潤滑油であるタービン油に浸漬し、
潤滑油を多孔部に含浸させたものである。例えば、潤滑
プレート15を30分間浸漬することによって、潤滑油
の含有率を41wt%、潤滑油の含有量を2cc程度に
調整することができる。潤滑油の含有率は、スライダ1
の使用条件等に対応して調整することができる。
案内ユニットの第2実施例を説明する。第2実施例で
は、潤滑プレート15は、多孔質の目を密部分15Aと
粗部分15Bとから成る複合焼結樹脂部材で構成したも
のである。この実施例の潤滑プレート15は、軌道レー
ル2の軌道溝4に摺接する部分を多孔質の目を密部分1
5Aに構成し、その他の部分を粗部分15Bに構成した
ものである。即ち、潤滑プレート15を多孔質の目を密
部分15Aに構成することは潤滑油を吸引する状態にあ
り、上記のように構成することによって、密部分15A
への潤滑油の流れを促進することができる。例えば、密
部分15Aの凸部32が軌道溝4へ密接に摺接すること
により、軌道レール2への潤滑油の供給が促進され、潤
滑油が軌道溝4へ供給されると、粗部分15Bから密部
分15Aへ潤滑油が移行して密部分15Aへ潤滑油が補
給され、スムースな潤滑状態を達成できることになる。
複合焼結樹脂部材の作製は、例えば、樹脂粉末の粒度の
異なるものを用いるか、又は、焼結温度を調整すること
によって作製できる。或いは、密部分15Aと粗部分1
5Bとを別体として作製し、密部分15Aと粗部分15
Bとを後述のカバー30等で緊締して構成することもで
きる。
動案内ユニットの第3実施例を説明する。第3実施例
は、軌道レール2の軌道溝4と摺接する部分と潤滑プレ
ート15への潤滑油を含浸する上部の表面部24を除い
た他の部分の表面部を無孔質表層部26に形成したもの
である。潤滑プレート15の無孔質表層部26は、表層
部の温度を高めて多孔質部分の表面を目潰しするか、又
は表面が無孔質になるように樹脂コーティングすること
によって作製できる。第3実施例は、無孔質表層部26
を設けたので、無孔質表層部26から潤滑油が外部に漏
れることがなく、所定の軌道溝4に対向する部分の多孔
質表層部27から潤滑油が軌道溝4へ供給されることに
なる。
直動案内ユニットの第4実施例を説明する。第4実施例
は、図9に示す第3実施例と比較して、潤滑油を含浸す
る潤滑プレート15の上部の表面部24側に開口する潤
滑油収容室28を設けている以外は、同一の構成を有す
るものである。潤滑プレート15が潤滑油収容室28を
設けることによって、潤滑油の補給期間を延長できるも
のである。第4実施例では、潤滑プレート15の上部表
面部24側が開放されているが、上部表面部24を閉鎖
するカバーを設けることもでき、場合によっては、コー
ティングによって閉鎖してもよいものである。
直動案内ユニットの第5実施例を説明する。第5実施例
の直動案内ユニットは、グリースニップル(図20の符
号11参照)又は潤滑油供給管継ぎ手(図示せず)に対
応する部分を切り欠いた切欠き部29を備えた形状に形
成されているものである。第5実施例は、グリースニッ
プル又は潤滑油を供給するための潤滑油供給管継ぎ手を
設けた直動案内ユニットに適用でき、グリースニップル
又は潤滑油供給管継ぎ手からの潤滑油剤又は潤滑油を軌
道溝4へ給油できるものであり、潤滑プレート15から
の潤滑油と二本立てで潤滑できる構造を提供できる。第
5実施例では、ボルト、ねじ等による取付け部分の切欠
き部31が二箇所設けられたものである。
内ユニットの第6実施例を説明する。第6実施例は、潤
滑プレート15の外周面を被覆して多孔質構造の多孔を
閉鎖できることができるカバー30を示すものである。
カバー30は、弾性を有する弾性金属板等の弾性薄板か
ら作製され、上部33、側部34及び下部35から構成
されている。カバー30は、潤滑プレート15の潤滑プ
レート15に対する防塵、破損の防止、潤滑油の漏れを
防止することができ、弾性薄板のばね力によって潤滑プ
レート15の凸部32は、軌道レール2の軌道溝4へ押
し付けられ、軌道溝4への潤滑プレート15の密着を確
実にし、摺接状態を良好にする。
内ユニットの第7実施例を説明する。第7実施例は、潤
滑プレート15の外周面を被覆して多孔質構造の多孔を
閉鎖できることができる図15に示すカバー30を図1
3に示す潤滑プレート15に装着した状態を示すもので
ある。図示していないが、カバー30は、上記各実施例
の潤滑プレート15にも適用できるものである。
の第8実施例を説明する。第8実施例では、潤滑プレー
ト15は、軌道レール2の左右両側に二分割された潤滑
プレート部分15Cから構成され、潤滑プレート部分1
5Cは軌道レール2の上方に位置する支持プレート15
Dによって位置設定されて固定され、それらの外側を弾
性薄板から成るカバー30によって組み立て状態を保持
しているものである。第8実施例における潤滑プレート
15は、軌道レール2に対して潤滑プレート部分15C
及び支持プレート15Dを個々に組み立て、これらをカ
バー30で覆うことによって軌道レール2に対してケー
シング5に固定して組み付けることができる。潤滑プレ
ート部分15Cと支持プレート15Dをカバー30によ
って覆うことによって、潤滑プレート部分15Cと支持
プレート15Dの固定状態を安定したものに構成できる
と共に、上記のようなカバー30の機能を果たすことが
できる。
上のように構成されているので、次のような効果を有す
る。即ち、この直動案内ユニットは、上記の構成によっ
て、潤滑プレートから潤滑油が軌道溝間に常にスムース
に供給され、潤滑不良状態が発生することがなく、良好
な潤滑状態を確保することができ、軌道レールに対する
スライダの摺動抵抗を低減でき、摩耗等の発生を防止で
きる。また、潤滑プレートは、多孔質構造を持つ焼結樹
脂部材の成形品に使用条件が適合する潤滑油を選定し、
その潤滑油を焼結樹脂部材の多孔部へ含浸させればよ
い。また、潤滑プレートは、逆に、使用する潤滑油に適
合するように焼結樹脂部材の材質を選定すればよく、そ
の取り扱い、仕様変更も簡単にできる。更に、潤滑プレ
ートを構成する焼結樹脂部材は、高精度に簡単に成形す
ることができ、例えば、±0.025程度の加工精度を
確保でき、精密機械に組み込まれる直動案内ユニットと
しては極めて最適な部品として提供できる。
を全く変更することなく、従来の種々の既存の直動案内
ユニットに組み込んで使用することができる。即ち、潤
滑プレートは、同じ規格の軌道レールを使用する直動案
内ユニットであれば、たとえスライダの形や大きさが違
っていても、同一の潤滑プレートが適用できるので、適
用範囲の広い潤滑プレートを提供することができる。ま
た、潤滑プレートは、既に切削機械等に組み込まれてい
る従来の直動案内ユニットに対しても、スライダの端面
に簡単に取り付けることができるので、既存の機械にお
ける直動案内ユニットの自己潤滑性能を向上させること
ができる。
示す側面図である。
レートの第1実施例を示す正面図である。
の正面図である。
る。
る。
る。
る。
の断面図である。
ートに装着できるカバーを示す正面図である。
る。
る。
視図である。
Claims (12)
- 【請求項1】 長手方向両側面に軌道溝が形成された軌
道レール及び前記軌道レール上を相対摺動するスライダ
から成る直動案内ユニットにおいて、前記スライダは、
前記軌道レールの前記軌道溝に対向して形成された軌道
溝を備えたケーシング、前記軌道溝間を転走する転動
体、前記ケーシングの両端面にそれぞれ固定されたエン
ドキャップ、前記エンドキャップの端面に取り付けられ
た潤滑プレート及び前記潤滑プレートの端面に取り付け
られたエンドシールを具備し、前記潤滑プレートは潤滑
油が含浸された多孔質構造を有する焼結樹脂部材から構
成されていることを特徴とする直動案内ユニット。 - 【請求項2】 前記潤滑プレートの前記焼結樹脂部材
は、合成樹脂の微粒子を所定の金型に充填して加熱成形
して作製されていることを特徴とする請求項1に記載の
直動案内ユニット。 - 【請求項3】 前記潤滑プレートは、少なくとも前記軌
道レールの前記軌道溝に摺接して前記軌道レールに対し
て相対移動することを特徴とする請求項1又は2に記載
の直動案内ユニット。 - 【請求項4】 前記潤滑プレートは、少なくとも前記軌
道レールの前記軌道溝に対向する部分が多孔質の密部分
に形成され、他の部分が多孔質の粗部分に形成されてい
ることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載
の直動案内ユニット。 - 【請求項5】 前記潤滑プレートは、少なくとも前記軌
道レールの前記軌道溝に対向する内周面が多孔質表面に
開放状態に形成され、他の部分の表面が無孔質表面に形
成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか
1項に記載の直動案内ユニット。 - 【請求項6】 前記潤滑プレートは、上面と前記軌道レ
ールの前記軌道溝に対向する内周面が開放状態の多孔質
表面に形成され、他の部分の表面が無孔質表面に形成さ
れていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項
に記載の直動案内ユニット。 - 【請求項7】 前記潤滑プレートは、上部に潤滑油を収
容できる潤滑油収容室が形成されていることを特徴とす
る請求項1〜6のいずれか1項に記載の直動案内ユニッ
ト。 - 【請求項8】 前記潤滑プレートには、前記エンドキャ
ップに設けられたグリースニップル又は潤滑油供給管継
ぎ手に対応する部分が切りかかれていることを特徴とす
る請求項1〜7のいずれか1項に記載の直動案内ユニッ
ト。 - 【請求項9】 前記潤滑プレートには、側面と上面を被
覆できる弾性薄板から成るカバーが設けられていること
を特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の直動
案内ユニット。 - 【請求項10】 前記潤滑プレートは、前記軌道レール
の両側面に対応する部分に二分割された潤滑プレート部
分から成り、前記潤滑プレート部分は前記軌道レールの
上方に位置する支持プレートで互いに連結されているこ
とを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の直
動案内ユニット。 - 【請求項11】 前記エンドシール、前記潤滑プレー
ト、及び前記エンドキャップを前記ケーシングに固定す
るためのボルトは、前記エンドシール及び前記エンドキ
ャップを挿通すると共に前記潤滑プレートに形成された
切欠き部に配置されたカラーを挿通して前記ケーシング
のボルト穴に螺入されていることを特徴とする請求項1
〜10のいずれか1項に記載の直動案内ユニット。 - 【請求項12】 前記エンドキャップ及び前記潤滑プレ
ートの変形を防止するため、前記潤滑プレートと前記エ
ンドキャップとの間には、間座が配置されていることを
特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の直動
案内ユニット。
Priority Applications (3)
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