JP2001227507A - リニアアクチュエータ - Google Patents
リニアアクチュエータInfo
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- JP2001227507A JP2001227507A JP2000042054A JP2000042054A JP2001227507A JP 2001227507 A JP2001227507 A JP 2001227507A JP 2000042054 A JP2000042054 A JP 2000042054A JP 2000042054 A JP2000042054 A JP 2000042054A JP 2001227507 A JP2001227507 A JP 2001227507A
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- linear actuator
- slider
- pair
- actuator according
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
- F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
- F15B15/084—Characterised by the construction of the motor unit the motor being of the rodless piston type, e.g. with cable, belt or chain
- F15B15/086—Characterised by the construction of the motor unit the motor being of the rodless piston type, e.g. with cable, belt or chain with magnetic coupling
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Actuator (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガイドレールの幅方向の寸法を縮小して小型・
軽量化を図ることが可能なリニアアクチュエータを提供
することにある。 【解決手段】磁石式ロッドレスシリンダからなる駆動部
１２と、前記駆動部１２の駆動作用下に変位するスライ
ダ１４と、前記スライダ１４を直線状に案内するガイド
レール１６と、前記駆動部１２の一端部と他端部とにそ
れぞれ連結された一組のエンドブロックとを備え、前記
スライダ１４の凹部９４内に装着され該スライダ１４の
変位方向と略直交する前記ガイドレール１６の幅方向の
寸法をスライダ１４の幅よりも小さく設定した。
軽量化を図ることが可能なリニアアクチュエータを提供
することにある。 【解決手段】磁石式ロッドレスシリンダからなる駆動部
１２と、前記駆動部１２の駆動作用下に変位するスライ
ダ１４と、前記スライダ１４を直線状に案内するガイド
レール１６と、前記駆動部１２の一端部と他端部とにそ
れぞれ連結された一組のエンドブロックとを備え、前記
スライダ１４の凹部９４内に装着され該スライダ１４の
変位方向と略直交する前記ガイドレール１６の幅方向の
寸法をスライダ１４の幅よりも小さく設定した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動源の駆動作用
下に、ガイドレールに沿ってスライダを直線状に往復動
作させることが可能なリニアアクチュエータに関する。
下に、ガイドレールに沿ってスライダを直線状に往復動
作させることが可能なリニアアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば、ワークの搬送手段と
してリニアアクチュエータが用いられている。この種の
リニアアクチュエータは、図１４に示されるように、ピ
ストン１に装着された磁石２の吸引作用下に円筒体３に
沿ってスライダ４を変位させる磁石式ロッドレスシリン
ダ５と、前記スライダ４を案内するガイドレール６とを
有し、前記磁石式ロッドレスシリンダ５とガイドレール
６とがそれぞれ長手方向に沿って略平行に並設されてい
る（特開平７−２４８００６号公報参照）。
してリニアアクチュエータが用いられている。この種の
リニアアクチュエータは、図１４に示されるように、ピ
ストン１に装着された磁石２の吸引作用下に円筒体３に
沿ってスライダ４を変位させる磁石式ロッドレスシリン
ダ５と、前記スライダ４を案内するガイドレール６とを
有し、前記磁石式ロッドレスシリンダ５とガイドレール
６とがそれぞれ長手方向に沿って略平行に並設されてい
る（特開平７−２４８００６号公報参照）。
【０００３】また、従来技術に係る他のリニアアクチュ
エータは、図１５に示されるように、長手方向に沿って
延在する断面コ字状の凹部７が形成された長尺なガイド
レール８と、前記凹部７よりも幅狭に形成され該凹部７
に沿って変位自在に配設されたスライダ９とを有し、前
記ガイドレール８の内壁面には、該ガイドレール８とス
ライダ９との間に配設された複数のボール９ａを転動さ
せる転動溝が形成されている（特開平１０−３１８２０
９号公報参照）。
エータは、図１５に示されるように、長手方向に沿って
延在する断面コ字状の凹部７が形成された長尺なガイド
レール８と、前記凹部７よりも幅狭に形成され該凹部７
に沿って変位自在に配設されたスライダ９とを有し、前
記ガイドレール８の内壁面には、該ガイドレール８とス
ライダ９との間に配設された複数のボール９ａを転動さ
せる転動溝が形成されている（特開平１０−３１８２０
９号公報参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１４
に示される従来技術に係るリニアアクチュエータでは、
磁石式ロッドレスシリンダ５とガイドレール６とを略並
列に配置しているため、装置全体の幅方向（長手方向と
略直交する方向）の寸法が大きくなり、小型化すること
ができないという不具合がある。
に示される従来技術に係るリニアアクチュエータでは、
磁石式ロッドレスシリンダ５とガイドレール６とを略並
列に配置しているため、装置全体の幅方向（長手方向と
略直交する方向）の寸法が大きくなり、小型化すること
ができないという不具合がある。
【０００５】また、図１５に示されるリニアアクチュエ
ータでは、ガイドレール８の内側に形成された凹部７に
沿ってスライダ９が変位するように構成されているた
め、前記スライダ９の幅方向の寸法に対しガイドレール
８の幅方向の寸法が大きくなり、装置全体の重量が増大
するという不具合がある。
ータでは、ガイドレール８の内側に形成された凹部７に
沿ってスライダ９が変位するように構成されているた
め、前記スライダ９の幅方向の寸法に対しガイドレール
８の幅方向の寸法が大きくなり、装置全体の重量が増大
するという不具合がある。
【０００６】さらに、図１５に示されるリニアアクチュ
エータでは、一般的に、ボール９ａが循環する循環軌道
の直径Ａをボール９ａの直径の約２．５倍に設定する必
要がある。従って、従来技術に係るリニアアクチュエー
タでは、前記循環軌道の直径Ａの２倍の寸法とロッドレ
スシリンダの円筒体の外径Ｂとがガイドレール８の幅方
向の寸法として必須であるため、前記ガイドレール８の
幅方向の寸法を縮小することができないという不具合が
ある。
エータでは、一般的に、ボール９ａが循環する循環軌道
の直径Ａをボール９ａの直径の約２．５倍に設定する必
要がある。従って、従来技術に係るリニアアクチュエー
タでは、前記循環軌道の直径Ａの２倍の寸法とロッドレ
スシリンダの円筒体の外径Ｂとがガイドレール８の幅方
向の寸法として必須であるため、前記ガイドレール８の
幅方向の寸法を縮小することができないという不具合が
ある。
【０００７】本発明は、前記の不具合を考慮してなされ
たものであり、ガイドレールの幅方向の寸法を縮小して
小型・軽量化を図ることが可能なリニアアクチュエータ
を提供することを目的とする。
たものであり、ガイドレールの幅方向の寸法を縮小して
小型・軽量化を図ることが可能なリニアアクチュエータ
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、駆動部と、前記駆動部の駆動作用下に
変位するスライダと、前記スライダを直線状に案内する
ガイド手段と、前記駆動部の一端部と他端部とにそれぞ
れ連結された一組のエンドブロックと、を備え、前記ガ
イド手段は、前記スライダの凹部内に装着され且つ両端
部が前記一組のエンドブロックにそれぞれ連結されたガ
イドレールを有し、該スライダの変位方向と略直交する
前記ガイドレールの幅方向の寸法がスライダの幅よりも
小さく設定されることを特徴とする。
めに、本発明は、駆動部と、前記駆動部の駆動作用下に
変位するスライダと、前記スライダを直線状に案内する
ガイド手段と、前記駆動部の一端部と他端部とにそれぞ
れ連結された一組のエンドブロックと、を備え、前記ガ
イド手段は、前記スライダの凹部内に装着され且つ両端
部が前記一組のエンドブロックにそれぞれ連結されたガ
イドレールを有し、該スライダの変位方向と略直交する
前記ガイドレールの幅方向の寸法がスライダの幅よりも
小さく設定されることを特徴とする。
【０００９】この場合、前記駆動部は、一組のエンドブ
ロック間に連結される円筒体と、供給される圧力流体の
作用下に前記円筒体の貫通孔に沿って摺動変位するピス
トンと、前記ピストンに装着される内側磁石と、前記円
筒体に外嵌されるスライドブロックと、前記スライドブ
ロックに装着される外側磁石とを有する磁石式ロッドレ
スシリンダとによって構成されると好適である。
ロック間に連結される円筒体と、供給される圧力流体の
作用下に前記円筒体の貫通孔に沿って摺動変位するピス
トンと、前記ピストンに装着される内側磁石と、前記円
筒体に外嵌されるスライドブロックと、前記スライドブ
ロックに装着される外側磁石とを有する磁石式ロッドレ
スシリンダとによって構成されると好適である。
【００１０】なお、前記駆動部を、所定間隔離間して略
平行に配設された第１駆動部と第２駆動部とによって構
成してもよい。
平行に配設された第１駆動部と第２駆動部とによって構
成してもよい。
【００１１】前記円筒体を、ガイドレールの軸線方向に
沿って延在し断面半円状に形成された凹部内に沿って配
設することにより、高さ方向の寸法が抑制される。
沿って延在し断面半円状に形成された凹部内に沿って配
設することにより、高さ方向の寸法が抑制される。
【００１２】前記スライダには、ガイドブロックに形成
された長孔と、スライドブロックに連結されて前記長孔
に係合するスタッドとを有し、略水平面において変位方
向と略直交する方向に対するスライドブロックの微小変
位、および略鉛直上下方向に対するスライドブロックの
微小変位をそれぞれ吸収するフローティング機構を設け
るとよい。
された長孔と、スライドブロックに連結されて前記長孔
に係合するスタッドとを有し、略水平面において変位方
向と略直交する方向に対するスライドブロックの微小変
位、および略鉛直上下方向に対するスライドブロックの
微小変位をそれぞれ吸収するフローティング機構を設け
るとよい。
【００１３】前記一組のエンドブロックには、センサを
装着するための長孔が形成されたセンサ取付用レールを
連結し、前記センサ取付用レールには、一組のエンドブ
ロックに形成された圧力流体出入ポートに連通し、軸線
方向に沿って延在する流体通路を形成するとよい。
装着するための長孔が形成されたセンサ取付用レールを
連結し、前記センサ取付用レールには、一組のエンドブ
ロックに形成された圧力流体出入ポートに連通し、軸線
方向に沿って延在する流体通路を形成するとよい。
【００１４】また、前記一組のエンドブロックに、それ
ぞれ、スライダの変位終端位置における衝撃を吸収する
緩衝機構を設けるとよい。この緩衝機構は、ピストンが
変位する際、円筒体の外部に排気されるエアーの流量を
規制することにより緩衝機能を営むエアークッション機
構によって構成すると好適である。
ぞれ、スライダの変位終端位置における衝撃を吸収する
緩衝機構を設けるとよい。この緩衝機構は、ピストンが
変位する際、円筒体の外部に排気されるエアーの流量を
規制することにより緩衝機能を営むエアークッション機
構によって構成すると好適である。
【００１５】さらに、前記スライダには、円筒体の外周
面に摺接する孔部と、ガイドレールに形成された転動溝
に摺接する突起部とがそれぞれ形成された潤滑部材を設
け、前記潤滑部材を、潤滑油が含浸された多孔質の材料
によって形成することにより、ガイドレールに沿って変
位するスライダの摺動抵抗が低減される。
面に摺接する孔部と、ガイドレールに形成された転動溝
に摺接する突起部とがそれぞれ形成された潤滑部材を設
け、前記潤滑部材を、潤滑油が含浸された多孔質の材料
によって形成することにより、ガイドレールに沿って変
位するスライダの摺動抵抗が低減される。
【００１６】本発明によれば、スライダの凹部内に装着
され且つ両端部が前記一組のエンドブロックにそれぞれ
連結されたガイドレールを設けることにより、軸線と略
直交するガイドレールの幅方向の寸法が縮小され、装置
全体が小型・軽量化される。
され且つ両端部が前記一組のエンドブロックにそれぞれ
連結されたガイドレールを設けることにより、軸線と略
直交するガイドレールの幅方向の寸法が縮小され、装置
全体が小型・軽量化される。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明に係るリニアアクチュエー
タについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照
しながら以下詳細に説明する。
タについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照
しながら以下詳細に説明する。
【００１８】図１において、参照数字１０は、本発明の
実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。
実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。
【００１９】このリニアアクチュエータ１０は、実質的
に磁石式ロッドレスシリンダからなる駆動部１２と、前
記駆動部１２の駆動作用下に直線状に往復動作するスラ
イダ１４と、前記スライダ１４を直線状に案内するガイ
ドレール１６と、前記ガイドレール１６の両端部にそれ
ぞれ連結される一組のエンドブロック１８ａ、１８ｂ
と、前記一組のエンドブロック１８ａ、１８ｂにそれぞ
れ固定され、ガイドレール１６と略平行に配置されたセ
ンサ取付用レール２０とを含む。
に磁石式ロッドレスシリンダからなる駆動部１２と、前
記駆動部１２の駆動作用下に直線状に往復動作するスラ
イダ１４と、前記スライダ１４を直線状に案内するガイ
ドレール１６と、前記ガイドレール１６の両端部にそれ
ぞれ連結される一組のエンドブロック１８ａ、１８ｂ
と、前記一組のエンドブロック１８ａ、１８ｂにそれぞ
れ固定され、ガイドレール１６と略平行に配置されたセ
ンサ取付用レール２０とを含む。
【００２０】駆動部１２は、図６に示されるように、内
部にシリンダ室として機能する貫通孔２２が形成され、
その両端部にそれぞれ装着されるエンドキャップ２４を
介して一組のエンドブロック１８ａ、１８ｂに支持され
る円筒体２６と、磁性材料によって形成され、前記円筒
体２６内の貫通孔２２に沿って摺動自在に設けられたピ
ストン２８と、前記円筒体２６の外周面を囲繞するとと
もに、前記ピストン２８と一体的に該円筒体２６の軸線
方向に沿って変位するスライドブロック３０とを有す
る。なお、前記エンドキャップ２４には、通路を流通す
る流体の流量を絞るオリフィス３２が形成されている。
部にシリンダ室として機能する貫通孔２２が形成され、
その両端部にそれぞれ装着されるエンドキャップ２４を
介して一組のエンドブロック１８ａ、１８ｂに支持され
る円筒体２６と、磁性材料によって形成され、前記円筒
体２６内の貫通孔２２に沿って摺動自在に設けられたピ
ストン２８と、前記円筒体２６の外周面を囲繞するとと
もに、前記ピストン２８と一体的に該円筒体２６の軸線
方向に沿って変位するスライドブロック３０とを有す
る。なお、前記エンドキャップ２４には、通路を流通す
る流体の流量を絞るオリフィス３２が形成されている。
【００２１】各エンドブロック１８ａ（１８ｂ）は、図
２に示されるように、円筒体２６の軸線と略平行に形成
された第１圧力流体出入ポート３４ａと、該円筒体２６
の軸線と略直交する方向に沿って形成された第２圧力流
体出入ポート３４ｂとを有する。
２に示されるように、円筒体２６の軸線と略平行に形成
された第１圧力流体出入ポート３４ａと、該円筒体２６
の軸線と略直交する方向に沿って形成された第２圧力流
体出入ポート３４ｂとを有する。
【００２２】図６に示されるように、前記ピストン２８
の軸線方向に沿った両端部側には、ウェアリング３６お
よびスクレーパ３８がそれぞれ装着されている。さら
に、ピストン２８の外周面には、鉄等の磁性体によって
形成された８枚の環状板４０ａ〜４０ｈからなる第１ヨ
ークが外嵌され、隣接する環状板４０ａ〜４０ｈの間に
は、リング状の内側磁石４２ａ〜４２ｇがそれぞれ介装
されている。
の軸線方向に沿った両端部側には、ウェアリング３６お
よびスクレーパ３８がそれぞれ装着されている。さら
に、ピストン２８の外周面には、鉄等の磁性体によって
形成された８枚の環状板４０ａ〜４０ｈからなる第１ヨ
ークが外嵌され、隣接する環状板４０ａ〜４０ｈの間に
は、リング状の内側磁石４２ａ〜４２ｇがそれぞれ介装
されている。
【００２３】また、スライドブロック３０の内周面に
は、鉄等の磁性体からなり複数枚に分割された環状板４
４ａ〜４４ｈによって構成される第２ヨークが内嵌さ
れ、隣接する前記環状板４４ａ〜４４ｈの間には、リン
グ状の外側磁石４６ａ〜４６ｇがそれぞれ介装されてい
る。この場合、前記ピストン２８に装着された内側磁石
４２ａ〜４２ｇとスライドブロック３０に装着された外
側磁石４６ａ〜４６ｇとは、それぞれ円筒体２６を間に
して相互に対峙するように配設され、しかも相互に吸引
し合うようにその磁極が設定されている。
は、鉄等の磁性体からなり複数枚に分割された環状板４
４ａ〜４４ｈによって構成される第２ヨークが内嵌さ
れ、隣接する前記環状板４４ａ〜４４ｈの間には、リン
グ状の外側磁石４６ａ〜４６ｇがそれぞれ介装されてい
る。この場合、前記ピストン２８に装着された内側磁石
４２ａ〜４２ｇとスライドブロック３０に装着された外
側磁石４６ａ〜４６ｇとは、それぞれ円筒体２６を間に
して相互に対峙するように配設され、しかも相互に吸引
し合うようにその磁極が設定されている。
【００２４】本実施の形態では、第１ヨークを介してピ
ストン２８に装着された内側磁石４２ａ〜４２ｇと、第
２ヨークを介してスライドブロック３０に装着された外
側磁石４６ａ〜４６ｇとによって構成しているが、これ
に限定されるものではなく、図８に示されるように、外
側磁石４６ａ〜４６ｇを設けることがなく磁性体によっ
て一体的に形成された第２ヨーク４８のみをスライドブ
ロック３０に連結するようにしてもよい。
ストン２８に装着された内側磁石４２ａ〜４２ｇと、第
２ヨークを介してスライドブロック３０に装着された外
側磁石４６ａ〜４６ｇとによって構成しているが、これ
に限定されるものではなく、図８に示されるように、外
側磁石４６ａ〜４６ｇを設けることがなく磁性体によっ
て一体的に形成された第２ヨーク４８のみをスライドブ
ロック３０に連結するようにしてもよい。
【００２５】この場合、部品点数を削減することにより
コストダウンを図ることができるとともに、第２ヨーク
４８とスライドブロック３０とを一体的に形成すること
により、スライドブロック３０の外形寸法を抑制するこ
とができる利点がある。なお、図８において、参照数字
５０は、第２ヨーク４８の軸線方向に沿って所定間隔離
間して形成された複数の環状凹部を示している。
コストダウンを図ることができるとともに、第２ヨーク
４８とスライドブロック３０とを一体的に形成すること
により、スライドブロック３０の外形寸法を抑制するこ
とができる利点がある。なお、図８において、参照数字
５０は、第２ヨーク４８の軸線方向に沿って所定間隔離
間して形成された複数の環状凹部を示している。
【００２６】また、図７に示されるように、内側磁石４
２ａ〜４２ｇを設けることがなく、磁性材料によってピ
ストン５２を第１ヨークと一体的に形成してもよい。こ
の場合、部品点数を削減してコストダウンを図ることが
できる。その際、ピストン５２には、軸線方向に沿って
所定間隔離間する複数の環状凹部５４を形成するとよ
い。
２ａ〜４２ｇを設けることがなく、磁性材料によってピ
ストン５２を第１ヨークと一体的に形成してもよい。こ
の場合、部品点数を削減してコストダウンを図ることが
できる。その際、ピストン５２には、軸線方向に沿って
所定間隔離間する複数の環状凹部５４を形成するとよ
い。
【００２７】スライダ１４は、図３に示されるように、
断面逆凹字状を呈し、所定間隔離間して相互に対向する
一組の側部５６が一体的に形成されたガイドブロック５
８と、前記ガイドブロック５８のストローク方向に沿っ
た両端部にそれぞれ連結されるリターン路形成部材６０
と、前記リターン路形成部材６０に連結されるカバー部
材６２と、前記カバー部材６２に連結される板状のスク
レーパ６４とを有する。
断面逆凹字状を呈し、所定間隔離間して相互に対向する
一組の側部５６が一体的に形成されたガイドブロック５
８と、前記ガイドブロック５８のストローク方向に沿っ
た両端部にそれぞれ連結されるリターン路形成部材６０
と、前記リターン路形成部材６０に連結されるカバー部
材６２と、前記カバー部材６２に連結される板状のスク
レーパ６４とを有する。
【００２８】前記カバー部材６２の凹部には、多孔質の
材料からなり潤滑油が含浸された潤滑部材６６が装着さ
れ、前記潤滑部材６６には、円筒体２６の外周面に摺接
する略円形状の孔部６８と、ガイドレール１６の転動溝
７０（後述する）に摺接する突起部７２とがそれぞれ形
成されている。前記スクレーパ６４、カバー部材６２お
よびリターン路形成部材６０にはそれぞれ孔部７４が貫
通して形成され、前記孔部７４には後述するねじ部材７
６が当接する弾性部材７８が装着される。
材料からなり潤滑油が含浸された潤滑部材６６が装着さ
れ、前記潤滑部材６６には、円筒体２６の外周面に摺接
する略円形状の孔部６８と、ガイドレール１６の転動溝
７０（後述する）に摺接する突起部７２とがそれぞれ形
成されている。前記スクレーパ６４、カバー部材６２お
よびリターン路形成部材６０にはそれぞれ孔部７４が貫
通して形成され、前記孔部７４には後述するねじ部材７
６が当接する弾性部材７８が装着される。
【００２９】前記潤滑部材６６を設けることにより、円
筒体２６の外周面およびガイドレール１６の転動溝７０
に対して潤滑油が塗布され、スライダ１４が変位する際
の摺動抵抗を低減して円滑な変位動作を確保することが
できる。
筒体２６の外周面およびガイドレール１６の転動溝７０
に対して潤滑油が塗布され、スライダ１４が変位する際
の摺動抵抗を低減して円滑な変位動作を確保することが
できる。
【００３０】前記ガイドブロック５８の平面部には４つ
のワーク取付用孔部８０が形成され、前記ワーク取付用
孔部８０の間には、円筒体２６に沿って変位するスライ
ドブロック３０のずれを吸収するフローティング機構８
２が設けられる。
のワーク取付用孔部８０が形成され、前記ワーク取付用
孔部８０の間には、円筒体２６に沿って変位するスライ
ドブロック３０のずれを吸収するフローティング機構８
２が設けられる。
【００３１】このフローティング機構８２は、ガイドブ
ロック５８の平面部に形成され該ガイドブロック５８の
ストローク方向に対して略直交する方向の直径が大きく
形成された一組の長孔８４ａ、８４ｂと、一端部がスラ
イドブロック３０にねじ締結され他端部が前記長孔８４
ａ、８４ｂにそれぞれ遊嵌された一組のスタッド８６
ａ、８６ｂとを有する。
ロック５８の平面部に形成され該ガイドブロック５８の
ストローク方向に対して略直交する方向の直径が大きく
形成された一組の長孔８４ａ、８４ｂと、一端部がスラ
イドブロック３０にねじ締結され他端部が前記長孔８４
ａ、８４ｂにそれぞれ遊嵌された一組のスタッド８６
ａ、８６ｂとを有する。
【００３２】円筒体２６に沿って変位するスライドブロ
ック３０の直線運動は、該スライドブロック３０にねじ
締結されたスタッド８６ａ、８６ｂを介してガイドブロ
ック５８に伝達され、ピストン２８、スライドブロック
３０およびガイドブロック５８が一体的に変位する。換
言すると、スライドブロック３０の直線運動は長孔８４
ａ、８４ｂに対するスタッド８６ａ、８６ｂの係合作用
下にガイドブロック５８に伝達され、スライドブロック
３０とガイドブロック５８とはそれぞれ連結されていな
い。
ック３０の直線運動は、該スライドブロック３０にねじ
締結されたスタッド８６ａ、８６ｂを介してガイドブロ
ック５８に伝達され、ピストン２８、スライドブロック
３０およびガイドブロック５８が一体的に変位する。換
言すると、スライドブロック３０の直線運動は長孔８４
ａ、８４ｂに対するスタッド８６ａ、８６ｂの係合作用
下にガイドブロック５８に伝達され、スライドブロック
３０とガイドブロック５８とはそれぞれ連結されていな
い。
【００３３】従って、無限循環軌道として機能する転動
溝７０、９６（後述する）との完全な平行精度が保持さ
れていない場合にスライドブロック３０が円筒体２６に
沿って変位する際に発生するずれは、前記スライドブロ
ック３０に連結されたスタッド８６ａ、８６ｂと長孔８
４ａ、８４ｂとの係合作用下に吸収されるため、図示し
ないワークを円滑に搬送することができる。
溝７０、９６（後述する）との完全な平行精度が保持さ
れていない場合にスライドブロック３０が円筒体２６に
沿って変位する際に発生するずれは、前記スライドブロ
ック３０に連結されたスタッド８６ａ、８６ｂと長孔８
４ａ、８４ｂとの係合作用下に吸収されるため、図示し
ないワークを円滑に搬送することができる。
【００３４】各エンドブロック１８ａ、１８ｂの角部に
は、スライダ１４のストローク量を調整するねじ部材７
６が螺入され、前記ねじ部材７６のねじ込み量を増減さ
せることによりスライダ１４のストローク量が調整され
る。
は、スライダ１４のストローク量を調整するねじ部材７
６が螺入され、前記ねじ部材７６のねじ込み量を増減さ
せることによりスライダ１４のストローク量が調整され
る。
【００３５】ガイドレール１６は、長尺な柱状体からな
り、図５に示されるように、その上面部に長手方向に沿
って延在するように形成された断面半円状の凹部８８
と、相互に対向する側部５６に長手方向に沿って延在す
るように形成された断面円弧状の一組の転動溝７０と、
長手方向に沿って延在し、後述するサポート部材９０が
係合するフランジ部９２とを有する。前記断面半円状の
凹部８８内には円筒体２６の下部側の約半分が臨むよう
に装着され、前記凹部８８と円筒体２６との間には所定
のクリアランスが形成されている。
り、図５に示されるように、その上面部に長手方向に沿
って延在するように形成された断面半円状の凹部８８
と、相互に対向する側部５６に長手方向に沿って延在す
るように形成された断面円弧状の一組の転動溝７０と、
長手方向に沿って延在し、後述するサポート部材９０が
係合するフランジ部９２とを有する。前記断面半円状の
凹部８８内には円筒体２６の下部側の約半分が臨むよう
に装着され、前記凹部８８と円筒体２６との間には所定
のクリアランスが形成されている。
【００３６】このように、ガイドレール１６に凹部８８
を設け、前記凹部８８に円筒体２６が臨むように装着す
ることにより、装置全体の高さ方向の寸法を抑制するこ
とができるという利点がある。
を設け、前記凹部８８に円筒体２６が臨むように装着す
ることにより、装置全体の高さ方向の寸法を抑制するこ
とができるという利点がある。
【００３７】また、前記ガイドレール１６は、ガイドブ
ロック５８の相互に対向する一組の側部５６によって形
成された凹部９４内に臨むように設けられているため、
ガイドブロック５８の一組の側部５６間の寸法に対して
ガイドレール１６の幅方向の寸法（軸線と略直交する方
向の寸法）を小さく設定することができる。
ロック５８の相互に対向する一組の側部５６によって形
成された凹部９４内に臨むように設けられているため、
ガイドブロック５８の一組の側部５６間の寸法に対して
ガイドレール１６の幅方向の寸法（軸線と略直交する方
向の寸法）を小さく設定することができる。
【００３８】この場合、ガイドブロック５８の側部５６
に形成された転動溝９６とガイドレール１６に形成され
た転動溝７０との間に複数のボール９８が転動自在に形
成され、前記転動溝７０、９６とガイドブロック５８の
側部５６に形成された貫通孔１００によって無限循環軌
道が構成される。
に形成された転動溝９６とガイドレール１６に形成され
た転動溝７０との間に複数のボール９８が転動自在に形
成され、前記転動溝７０、９６とガイドブロック５８の
側部５６に形成された貫通孔１００によって無限循環軌
道が構成される。
【００３９】なお、貫通する一組の取付用孔部１０２
（図４参照）に挿入されるボルト１０４によってガイド
レール１６を他の部材１０６に固定してもよいし、ある
いは、図５に示されるように、フランジ部９２に係合す
る一組のサポート部材９０を介してガイドレール１６を
他の部材１０６に固定してもよい。
（図４参照）に挿入されるボルト１０４によってガイド
レール１６を他の部材１０６に固定してもよいし、ある
いは、図５に示されるように、フランジ部９２に係合す
る一組のサポート部材９０を介してガイドレール１６を
他の部材１０６に固定してもよい。
【００４０】センサ取付用レール２０の一側面には、軸
線方向に沿って略平行な断面円弧状の２条のセンサ取付
用長溝１０８が形成され、その反対側の一側面には断面
三角形状の凹部１１０が軸線方向に沿って形成されてい
る。前記凹部１１０には取付用金具１１２を介してガイ
ドブロック５８に保持された磁石１１４が臨み、前記ガ
イドブロック５８と一体的に変位する磁石１１４の磁界
をセンサ取付用長溝１０８に装着された図示しないセン
サによって検知することにより、スライダ１４の位置を
検出することができる。
線方向に沿って略平行な断面円弧状の２条のセンサ取付
用長溝１０８が形成され、その反対側の一側面には断面
三角形状の凹部１１０が軸線方向に沿って形成されてい
る。前記凹部１１０には取付用金具１１２を介してガイ
ドブロック５８に保持された磁石１１４が臨み、前記ガ
イドブロック５８と一体的に変位する磁石１１４の磁界
をセンサ取付用長溝１０８に装着された図示しないセン
サによって検知することにより、スライダ１４の位置を
検出することができる。
【００４１】また、前記センサ取付用レール２０の内部
には、図４に示されるように、軸線方向に沿って延在す
る通路１１６が形成され、前記通路１１６は、センサ取
付用長溝１０８の下部側に形成された一組の孔部にそれ
ぞれ嵌着される配管用スタッド１２０を介して、エンド
ブロック１８ａ、１８ｂに形成された圧力流体出入ポー
ト３４ｂにそれぞれ連通するように設けられている。な
お、図２および図４において、参照数字１２２はシール
リングを示している。
には、図４に示されるように、軸線方向に沿って延在す
る通路１１６が形成され、前記通路１１６は、センサ取
付用長溝１０８の下部側に形成された一組の孔部にそれ
ぞれ嵌着される配管用スタッド１２０を介して、エンド
ブロック１８ａ、１８ｂに形成された圧力流体出入ポー
ト３４ｂにそれぞれ連通するように設けられている。な
お、図２および図４において、参照数字１２２はシール
リングを示している。
【００４２】この場合、前記配管用スタッド１２０は、
センサ取付用レール２０をエンドブロック１８ａ、１８
ｂに対して取着する機能と、該配管用スタッド１２０に
形成された連通路１２４を介してエンドブロック１８
ａ、１８ｂの第２圧力流体出入ポート３４ｂとセンサ取
付用レール２０の通路１１６とを連通させる機能とを併
有する。従って、センサ取付用レール２０に圧力流体が
流通する通路１１６を形成することにより、配管の取り
出し方向の自由度を向上させ、しかも一組のエンドブロ
ック１８ａ、１８ｂに対してそれぞれチューブを接続す
る必要がなく、いずれか一方のエンドブロック１８ａ
（１８ｂ）に対してチューブを接続するだけでよいこと
から、配管の簡素化を図ることができる。
センサ取付用レール２０をエンドブロック１８ａ、１８
ｂに対して取着する機能と、該配管用スタッド１２０に
形成された連通路１２４を介してエンドブロック１８
ａ、１８ｂの第２圧力流体出入ポート３４ｂとセンサ取
付用レール２０の通路１１６とを連通させる機能とを併
有する。従って、センサ取付用レール２０に圧力流体が
流通する通路１１６を形成することにより、配管の取り
出し方向の自由度を向上させ、しかも一組のエンドブロ
ック１８ａ、１８ｂに対してそれぞれチューブを接続す
る必要がなく、いずれか一方のエンドブロック１８ａ
（１８ｂ）に対してチューブを接続するだけでよいこと
から、配管の簡素化を図ることができる。
【００４３】なお、センサ取付用レール２０に形成され
た通路１１６の両端部は、それぞれ鋼球１２６によって
気密に閉塞されている。
た通路１１６の両端部は、それぞれ鋼球１２６によって
気密に閉塞されている。
【００４４】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュ
エータ１０は基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
エータ１０は基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００４５】図示しない圧力流体供給源から供給された
圧力流体（例えば、圧縮空気）は、第１圧力流体出入ポ
ート３４ａを経由してシリンダ室として機能する円筒体
２６の貫通孔２２内に導入される。円筒体２６の貫通孔
２２内に導入された圧力流体の作用下にピストン２８が
押圧され、環状板４０ａ〜４０ｈからなる第１ヨークを
介して複数の内側磁石４２ａ〜４２ｇとピストン２８と
が円筒体２６の貫通孔２２に沿って一体的に変位する。
その際、第１ヨークを介してピストン２８に装着された
内側磁石４２ａ〜４２ｇの磁界作用下に外側磁石４６ａ
〜４６ｇが吸引され、前記外側磁石４６ａ〜４６ｇを保
持するスライドブロック３０がピストン２８と一体的に
変位する。
圧力流体（例えば、圧縮空気）は、第１圧力流体出入ポ
ート３４ａを経由してシリンダ室として機能する円筒体
２６の貫通孔２２内に導入される。円筒体２６の貫通孔
２２内に導入された圧力流体の作用下にピストン２８が
押圧され、環状板４０ａ〜４０ｈからなる第１ヨークを
介して複数の内側磁石４２ａ〜４２ｇとピストン２８と
が円筒体２６の貫通孔２２に沿って一体的に変位する。
その際、第１ヨークを介してピストン２８に装着された
内側磁石４２ａ〜４２ｇの磁界作用下に外側磁石４６ａ
〜４６ｇが吸引され、前記外側磁石４６ａ〜４６ｇを保
持するスライドブロック３０がピストン２８と一体的に
変位する。
【００４６】前記スライドブロック３０が円筒体２６に
沿って変位する際、ガイドブロック５８の側部５６とガ
イドレール１６との間に介装された複数のボール９８が
無限循環軌道として機能する転動溝７０、９６に沿って
転動することによりガイドブロック５８の案内作用が営
まれ、該スライドブロック３０の直線運動がスタッド８
６ａ、８６ｂを介してガイドブロック５８に伝達され
る。この結果、ピストン２８、スライドブロック３０お
よびガイドブロック５８が一体的に直線状に変位するこ
とにより、スライダ１４の直線往復運動が保持される。
沿って変位する際、ガイドブロック５８の側部５６とガ
イドレール１６との間に介装された複数のボール９８が
無限循環軌道として機能する転動溝７０、９６に沿って
転動することによりガイドブロック５８の案内作用が営
まれ、該スライドブロック３０の直線運動がスタッド８
６ａ、８６ｂを介してガイドブロック５８に伝達され
る。この結果、ピストン２８、スライドブロック３０お
よびガイドブロック５８が一体的に直線状に変位するこ
とにより、スライダ１４の直線往復運動が保持される。
【００４７】本実施の形態では、ガイドブロック５８の
相互に対向する一組の側部５６によって形成された凹部
９４内にガイドレール１６を臨むように設けているた
め、図１４および図１５に示す従来技術と比較してガイ
ドレール１６の幅方向の寸法（軸線と略直交する方向の
寸法）を小さく設定することができる。従って、本実施
の形態では、装置全体の重量を減少させ、軽量化を図る
ことができる。
相互に対向する一組の側部５６によって形成された凹部
９４内にガイドレール１６を臨むように設けているた
め、図１４および図１５に示す従来技術と比較してガイ
ドレール１６の幅方向の寸法（軸線と略直交する方向の
寸法）を小さく設定することができる。従って、本実施
の形態では、装置全体の重量を減少させ、軽量化を図る
ことができる。
【００４８】また、本実施の形態では、ボール９８が転
動する循環軌道の直径Ａの寸法に影響されることがなく
ガイドレール１６の幅方向の寸法を設定することができ
るため、ガイドレール１６の幅方向の寸法をより一層、
縮小することができる。なお、本実施の形態では、ガイ
ドレール１６の幅方向の寸法は、円筒体２６の外径と、
ガイドレール１６に形成された取付用孔部１０２の直径
の２倍の寸法とによって設定される。
動する循環軌道の直径Ａの寸法に影響されることがなく
ガイドレール１６の幅方向の寸法を設定することができ
るため、ガイドレール１６の幅方向の寸法をより一層、
縮小することができる。なお、本実施の形態では、ガイ
ドレール１６の幅方向の寸法は、円筒体２６の外径と、
ガイドレール１６に形成された取付用孔部１０２の直径
の２倍の寸法とによって設定される。
【００４９】さらに、本実施の形態では、前記スライダ
１４が円筒体２６に沿って変位する際、前記円筒体２６
と転動溝７０、９６との平行精度のずれがスライドブロ
ック３０に連結されたスタッド８６ａ、８６ｂとガイド
ブロック５８に形成された長孔８４ａ、８４ｂとの係合
作用下に吸収されるため、ワークを円滑に変位させるこ
とができる。
１４が円筒体２６に沿って変位する際、前記円筒体２６
と転動溝７０、９６との平行精度のずれがスライドブロ
ック３０に連結されたスタッド８６ａ、８６ｂとガイド
ブロック５８に形成された長孔８４ａ、８４ｂとの係合
作用下に吸収されるため、ワークを円滑に変位させるこ
とができる。
【００５０】すなわち、円筒体２６の軸線と転動溝７
０、９６の軸線との平行精度が完全でない場合、前記転
動溝７０、９６の案内作用下に前記円筒体２６に沿って
変位するスライドブロック３０にずれが発生する。この
場合、略水平面上におけるスライダ１４の変位方向と略
直交する幅方向に沿って発生するずれは、長孔８４ａ、
８４ｂに対するスタッド８６ａ、８６ｂの係合作用下に
スライドブロック３０およびスタッド８６ａ、８６ｂが
一体的に幅方向に沿って微小距離だけ変位することによ
り吸収される。
０、９６の軸線との平行精度が完全でない場合、前記転
動溝７０、９６の案内作用下に前記円筒体２６に沿って
変位するスライドブロック３０にずれが発生する。この
場合、略水平面上におけるスライダ１４の変位方向と略
直交する幅方向に沿って発生するずれは、長孔８４ａ、
８４ｂに対するスタッド８６ａ、８６ｂの係合作用下に
スライドブロック３０およびスタッド８６ａ、８６ｂが
一体的に幅方向に沿って微小距離だけ変位することによ
り吸収される。
【００５１】また、スライドブロック３０の略鉛直方向
（上下方向）に沿って発生するずれは、長孔８４ａ、８
４ｂに対するスタッド８６ａ、８６ｂの係合作用下にス
ライドブロック３０およびスタッド８６ａ、８６ｂが一
体的に微小距離だけ上下動することにより好適に吸収さ
れる。
（上下方向）に沿って発生するずれは、長孔８４ａ、８
４ｂに対するスタッド８６ａ、８６ｂの係合作用下にス
ライドブロック３０およびスタッド８６ａ、８６ｂが一
体的に微小距離だけ上下動することにより好適に吸収さ
れる。
【００５２】従って、円筒体２６に沿ってスライドブロ
ック３０が直線往復運動する際にずれが生じた場合であ
っても、ワークを円滑に搬送することができる。この結
果、リニアアクチュエータ１０を組み付ける際、円筒体
２６の軸線と転動溝７０、９６の軸線との完全な平行精
度をだす必要がないため、組み付け工程を簡略化して製
造コストを低減することができる。
ック３０が直線往復運動する際にずれが生じた場合であ
っても、ワークを円滑に搬送することができる。この結
果、リニアアクチュエータ１０を組み付ける際、円筒体
２６の軸線と転動溝７０、９６の軸線との完全な平行精
度をだす必要がないため、組み付け工程を簡略化して製
造コストを低減することができる。
【００５３】さらにまた、本実施の形態では、センサ取
付用レール２０に配管用の通路１１６を形成することに
より、配管作業の簡便化を図るとともに、配管スペース
を有効利用することができる。
付用レール２０に配管用の通路１１６を形成することに
より、配管作業の簡便化を図るとともに、配管スペース
を有効利用することができる。
【００５４】次に、本発明の他の実施の形態に係るリニ
アアクチュエータを図１１および図１２に示す。なお、
以下の実施の形態において、上述した本実施の形態と同
一の構成要素には同一の参照符号を付してその詳細な説
明を省略する。
アアクチュエータを図１１および図１２に示す。なお、
以下の実施の形態において、上述した本実施の形態と同
一の構成要素には同一の参照符号を付してその詳細な説
明を省略する。
【００５５】他の実施の形態に係るリニアアクチュエー
タ２００では、一組のエンドブロック２０２ａ、２０２
ｂの間に実質的に磁石式ロッドレスシリンダからなる第
１駆動部２０４と第２駆動部２０６とを所定間隔離間し
て略平行に並設している点に特徴がある。なお、前記第
１駆動部２０４および第２駆動部２０６は、前記実施の
形態の駆動部１２と同一に構成されるため、その詳細な
説明を省略する。
タ２００では、一組のエンドブロック２０２ａ、２０２
ｂの間に実質的に磁石式ロッドレスシリンダからなる第
１駆動部２０４と第２駆動部２０６とを所定間隔離間し
て略平行に並設している点に特徴がある。なお、前記第
１駆動部２０４および第２駆動部２０６は、前記実施の
形態の駆動部１２と同一に構成されるため、その詳細な
説明を省略する。
【００５６】他の実施の形態に係るリニアアクチュエー
タ２００では、第１駆動部２０４と第２駆動部２０６と
をそれぞれ略平行に並設することにより、スライダ２０
８を変位させる駆動力を約２倍に強化することができる
とともに、ローリング方向のモーメントを強化すること
ができるという利点がある。
タ２００では、第１駆動部２０４と第２駆動部２０６と
をそれぞれ略平行に並設することにより、スライダ２０
８を変位させる駆動力を約２倍に強化することができる
とともに、ローリング方向のモーメントを強化すること
ができるという利点がある。
【００５７】次に、本発明のさらに他の実施の形態に係
るリニアアクチュエータ３００を図１３に示す。
るリニアアクチュエータ３００を図１３に示す。
【００５８】さらに他の実施の形態に係るリニアアクチ
ュエータ３００では、一組のエンドブロック３０２ａ、
３０２ｂにエアークッション機構３０４がそれぞれ設け
られている点に特徴がある。なお、一組のエンドブロッ
ク３０２ａ、３０２ｂにそれぞれ設けられたエアークッ
ション機構３０４は、同一構成からなるため、一方のみ
を詳細に説明にして他方の説明を省略する。
ュエータ３００では、一組のエンドブロック３０２ａ、
３０２ｂにエアークッション機構３０４がそれぞれ設け
られている点に特徴がある。なお、一組のエンドブロッ
ク３０２ａ、３０２ｂにそれぞれ設けられたエアークッ
ション機構３０４は、同一構成からなるため、一方のみ
を詳細に説明にして他方の説明を省略する。
【００５９】このエアークッション機構３０４は、ピス
トン３０６の両端部にそれぞれ略同軸状に連結され該ピ
ストン３０６と一体的に変位する一組のロッド部材３０
８と、前記ロッド部材３０８の外周面に形成された環状
溝に装着され、円筒体３１０の貫通孔３１２の内周面に
摺接することによりシール機能を営むシール部材３１４
と、前記エンドブロック３０２ａに形成され、前記貫通
孔３１２内のエアーを外部に排気する排気ポート３１６
と、前記排気ポート３１６と近接する部位に設けられ、
円筒体３１０内のエアーが外部に排気される際にその排
気量を抑制する絞り手段３１８とを有する。
トン３０６の両端部にそれぞれ略同軸状に連結され該ピ
ストン３０６と一体的に変位する一組のロッド部材３０
８と、前記ロッド部材３０８の外周面に形成された環状
溝に装着され、円筒体３１０の貫通孔３１２の内周面に
摺接することによりシール機能を営むシール部材３１４
と、前記エンドブロック３０２ａに形成され、前記貫通
孔３１２内のエアーを外部に排気する排気ポート３１６
と、前記排気ポート３１６と近接する部位に設けられ、
円筒体３１０内のエアーが外部に排気される際にその排
気量を抑制する絞り手段３１８とを有する。
【００６０】前記絞り手段３１８は、排気量を規制する
絞り孔３２２と、前記絞り孔３２２を経由しないエアー
の流れを阻止するチェック弁３２４と、前記絞り孔３２
２の開口面積を調整する調整部材３２６と、前記調整部
材３２６が内嵌された弁部材３２８とを有する。前記絞
り孔３２２は連通路３３０を介して排気ポート３１６に
連通するように設けられている。この場合、調整部材３
２６の一端部によって絞り孔３２２の開口面積を調整す
る可変絞りタイプに代替して、図示しない固定絞りタイ
プのものを用いてもよい。
絞り孔３２２と、前記絞り孔３２２を経由しないエアー
の流れを阻止するチェック弁３２４と、前記絞り孔３２
２の開口面積を調整する調整部材３２６と、前記調整部
材３２６が内嵌された弁部材３２８とを有する。前記絞
り孔３２２は連通路３３０を介して排気ポート３１６に
連通するように設けられている。この場合、調整部材３
２６の一端部によって絞り孔３２２の開口面積を調整す
る可変絞りタイプに代替して、図示しない固定絞りタイ
プのものを用いてもよい。
【００６１】なお、前記エンドブロック３０２ａの孔部
内には、排気ポート３１６を間にして一組のシールリン
グ３２０ａ、３２０ｂが装着されている。
内には、排気ポート３１６を間にして一組のシールリン
グ３２０ａ、３２０ｂが装着されている。
【００６２】前記エアークッション機構３０４の動作に
ついて説明すると、ピストン３０６と一体的にロッド部
材３０８が円筒体３１０の貫通孔３１２に沿って一方の
変位終端位置に向かって移動する際、ロッド部材３０８
の外周面に装着されたシール部材３１４が排気ポート３
１６の位置、すなわち、図１３中の二点鎖線Ｃの位置を
通過する前は、円筒体３１０の貫通孔３１２内に残存す
るエアーが主として前記排気ポート３１６から外部に排
気される。
ついて説明すると、ピストン３０６と一体的にロッド部
材３０８が円筒体３１０の貫通孔３１２に沿って一方の
変位終端位置に向かって移動する際、ロッド部材３０８
の外周面に装着されたシール部材３１４が排気ポート３
１６の位置、すなわち、図１３中の二点鎖線Ｃの位置を
通過する前は、円筒体３１０の貫通孔３１２内に残存す
るエアーが主として前記排気ポート３１６から外部に排
気される。
【００６３】ピストン３０６がさらに変位してロッド部
材３０８のシール部材３１４が排気ポート３１６を通過
した以後は、円筒体３１０の貫通孔３１２の内周面に摺
接するシール部材３１４によってシールされるため、貫
通孔３１２内に残存するエアーが排気ポート３１６から
直接的に排気されることが阻止される。
材３０８のシール部材３１４が排気ポート３１６を通過
した以後は、円筒体３１０の貫通孔３１２の内周面に摺
接するシール部材３１４によってシールされるため、貫
通孔３１２内に残存するエアーが排気ポート３１６から
直接的に排気されることが阻止される。
【００６４】すなわち、ロッド部材３０８のシール部材
３１４が排気ポート３１６を通過した以後、貫通孔３１
２内に残存するエアーは、調整部材３２６の一端部との
離間間隔によって調圧された絞り孔３２２によって絞ら
れ、連通路３３０を介して排気ポート３１６から外部に
排気される。
３１４が排気ポート３１６を通過した以後、貫通孔３１
２内に残存するエアーは、調整部材３２６の一端部との
離間間隔によって調圧された絞り孔３２２によって絞ら
れ、連通路３３０を介して排気ポート３１６から外部に
排気される。
【００６５】従って、シール部材３１４が排気ポート３
１６を通過した以降、すなわち、シール部材３１４が二
点鎖線Ｃの位置を通過して変位終端位置に到達するまで
は、絞り手段３１８を経由して外部に排気され、前記絞
り手段３１８を流通するエアーの流量が絞られるため、
緩衝作用が営まれる。
１６を通過した以降、すなわち、シール部材３１４が二
点鎖線Ｃの位置を通過して変位終端位置に到達するまで
は、絞り手段３１８を経由して外部に排気され、前記絞
り手段３１８を流通するエアーの流量が絞られるため、
緩衝作用が営まれる。
【００６６】このように、エアークッション機構３０４
を設けることにより、スライダ１４の変位終端位置にお
ける衝撃を緩和してその衝撃音を抑制するとともに、ス
ライダ１４の往復直線運動を円滑に遂行することができ
る。また、前記エアークッション機構３０４では、スラ
イダ１４の変位終端位置における運動エネルギの吸収力
を増大させることにより、重量物からなるワークを高速
で移動させることができる。さらに、緩衝作用を営む際
の発塵を抑制することにより、清浄性が要求される使用
環境において好適に使用することができるという利点が
ある。
を設けることにより、スライダ１４の変位終端位置にお
ける衝撃を緩和してその衝撃音を抑制するとともに、ス
ライダ１４の往復直線運動を円滑に遂行することができ
る。また、前記エアークッション機構３０４では、スラ
イダ１４の変位終端位置における運動エネルギの吸収力
を増大させることにより、重量物からなるワークを高速
で移動させることができる。さらに、緩衝作用を営む際
の発塵を抑制することにより、清浄性が要求される使用
環境において好適に使用することができるという利点が
ある。
【００６７】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
る。
【００６８】すなわち、スライダの凹部内に装着され且
つ両端部が一組のエンドブロックにそれぞれ連結された
ガイドレールを設けることにより、軸線と略直交するガ
イドレールの幅方向の寸法が縮小され、装置全体を小型
化して軽量化を図ることができる。
つ両端部が一組のエンドブロックにそれぞれ連結された
ガイドレールを設けることにより、軸線と略直交するガ
イドレールの幅方向の寸法が縮小され、装置全体を小型
化して軽量化を図ることができる。
【図１】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエー
タの斜視図である。
タの斜視図である。
【図２】図１のリニアアクチュエータからセンサ取付用
レールを外した状態を示す分解斜視図である。
レールを外した状態を示す分解斜視図である。
【図３】図１のリニアアクチュエータを構成するスライ
ダの分解斜視図である。
ダの分解斜視図である。
【図４】図１のリニアアクチュエータの一部切欠平面図
である。
である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線に沿った縦断面図である。
【図７】円筒体の外部に外側磁石のみを設けた駆動部の
変形例を示す一部省略縦断面図である。
変形例を示す一部省略縦断面図である。
【図８】円筒体の内部に内側磁石のみを設けた駆動部の
変形例を示す一部省略縦断面図である。
変形例を示す一部省略縦断面図である。
【図９】図１のリニアアクチュエータの一部切欠側面図
である。
である。
【図１０】サポート部材の取付状態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１１】本発明の他の実施の形態に係るリニアアクチ
ュエータの平面図である。
ュエータの平面図である。
【図１２】図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った縦断面図
である。
である。
【図１３】本発明のさらに他の実施の形態に係るリニア
アクチュエータの一部省略横断面図である。
アクチュエータの一部省略横断面図である。
【図１４】従来技術に係るリニアアクチュエータの一部
切欠平面図である。
切欠平面図である。
【図１５】他の従来技術に係るリニアアクチュエータの
縦断面図である。
縦断面図である。
１０、２００、３００…リニアアクチュエータ １２、２０４、２０６…駆動部 １４、２０８…スラ
イダ １６…ガイドレール １８ａ、１８ｂ、２０２ａ、２０２ｂ、３０２ａ、３０
２ｂ…エンドブロック ２０…センサ取付用レール ２２、３１２…貫通
孔 ２４…エンドキャップ ２６、３１０…円筒
体 ２８、５２、３０６…ピストン ３０…スライドブロ
ック ３４ａ、３４ｂ…圧力流体出入ポート ４０ａ〜４０ｈ、４４ａ〜４４ｈ…環状板 ４２ａ〜４２ｇ…内側磁石 ４６ａ〜４６ｇ…外
側磁石 ５８…ガイドブロック ６６…潤滑部材 ７０、９６…転動溝 ８２…フローティン
グ機構 ８４ａ、８４ｂ…長孔 ８６ａ、８６ｂ…ス
タッド ８８、９４…凹部 ９８…ボール １００…貫通孔 １０２…取付用孔部 １１６…通路 １２０…配管用スタ
ッド ３０４…エアークッション機構
イダ １６…ガイドレール １８ａ、１８ｂ、２０２ａ、２０２ｂ、３０２ａ、３０
２ｂ…エンドブロック ２０…センサ取付用レール ２２、３１２…貫通
孔 ２４…エンドキャップ ２６、３１０…円筒
体 ２８、５２、３０６…ピストン ３０…スライドブロ
ック ３４ａ、３４ｂ…圧力流体出入ポート ４０ａ〜４０ｈ、４４ａ〜４４ｈ…環状板 ４２ａ〜４２ｇ…内側磁石 ４６ａ〜４６ｇ…外
側磁石 ５８…ガイドブロック ６６…潤滑部材 ７０、９６…転動溝 ８２…フローティン
グ機構 ８４ａ、８４ｂ…長孔 ８６ａ、８６ｂ…ス
タッド ８８、９４…凹部 ９８…ボール １００…貫通孔 １０２…取付用孔部 １１６…通路 １２０…配管用スタ
ッド ３０４…エアークッション機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上野 成央 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H081 AA03 AA34 BB01 CC23 DD12 EE23 GG15 GG23
Claims (11)
- 【請求項１】駆動部と、 前記駆動部の駆動作用下に変位するスライダと、 前記スライダを直線状に案内するガイド手段と、 前記駆動部の一端部と他端部とにそれぞれ連結された一
組のエンドブロックと、 を備え、前記ガイド手段は、前記スライダの凹部内に装
着され且つ両端部が前記一組のエンドブロックにそれぞ
れ連結されたガイドレールを有し、該スライダの変位方
向と略直交する前記ガイドレールの幅方向の寸法がスラ
イダの幅よりも小さく設定されることを特徴とするリニ
アアクチュエータ。 - 【請求項２】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記駆動部は、一組のエンドブロック間に連結される円
筒体と、供給される圧力流体の作用下に前記円筒体の貫
通孔に沿って摺動変位するピストンと、前記ピストンに
装着される内側磁石と、前記円筒体に外嵌されるスライ
ドブロックと、前記スライドブロックに装着される外側
磁石とを有する磁石式ロッドレスシリンダとからなるこ
とを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項３】請求項２記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記円筒体は、ガイドレールの軸線方向に沿って延在し
断面半円状に形成された凹部内に沿って配設されること
を特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項４】請求項２記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記スライダには、略水平面において変位方向と略直交
する方向に対するスライドブロックの微小変位、および
略鉛直上下方向に対するスライドブロックの微小変位を
それぞれ吸収するフローティング機構が設けられること
を特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項５】請求項４記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記スライダは相互に対向する一組の側部が形成された
ガイドブロックを含み、前記フローティング機構は、前
記ガイドブロックに形成された長孔と、スライドブロッ
クに連結されて前記長孔に係合するスタッドとを有する
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項６】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記駆動部は、所定間隔離間して略平行に配設された第
１駆動部と第２駆動部とを有し、前記第１駆動部および
第２駆動部はそれぞれ磁石式ロッドレスシリンダからな
ることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項７】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記一組のエンドブロックには、センサを装着するため
の長孔が形成されたセンサ取付用レールが連結されるこ
とを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項８】請求項７記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記センサ取付用レールには、一組のエンドブロックに
形成された圧力流体出入ポートに連通し、軸線方向に沿
って延在する流体通路が形成されることを特徴とするリ
ニアアクチュエータ。 - 【請求項９】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記一組のエンドブロックには、それぞれ、スライダの
変位終端位置における衝撃を吸収する緩衝機構が設けら
れることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項１０】請求項９記載のリニアアクチュエータに
おいて、 前記緩衝機構は、ピストンが変位する際、円筒体の外部
に排気されるエアーの流量を規制することにより緩衝機
能を営むエアークッション機構からなることを特徴とす
るリニアアクチュエータ。 - 【請求項１１】請求項２記載のリニアアクチュエータに
おいて、 前記スライダには、円筒体の外周面に摺接する孔部と、
ガイドレールに形成された転動溝に摺接する突起部とが
それぞれ形成された潤滑部材が設けられ、前記潤滑部材
は、潤滑油が含浸された多孔質の材料からなることを特
徴とするリニアアクチュエータ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000042054A JP4273476B2 (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | リニアアクチュエータ |
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|---|---|---|---|
| JP2000042054A JP4273476B2 (ja) | 2000-02-18 | 2000-02-18 | リニアアクチュエータ |
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ID=18565177
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| KR (1) | KR100416396B1 (ja) |
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| TW (1) | TW472117B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258218A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Koganei Corp | マグネット式ロッドレスシリンダ |
| JP2009150455A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Howa Mach Ltd | マグネット式ロッドレスシリンダ |
| CN102678658A (zh) * | 2012-03-22 | 2012-09-19 | 宁波亚德客自动化工业有限公司 | 线性执行器 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10143808A1 (de) * | 2001-09-06 | 2003-04-03 | Rexroth Indramat Gmbh | Sekundärteil eines Linearmotors |
| DE20300571U1 (de) * | 2003-01-15 | 2003-03-13 | Festo Ag & Co | Linearantrieb mit Positionserfassungsmitteln |
| JP4403537B2 (ja) * | 2003-12-02 | 2010-01-27 | Ｓｍｃ株式会社 | リニアスライド装置 |
| DE10359820A1 (de) * | 2003-12-19 | 2005-07-21 | Siemens Ag | Einrichtung zum Fixieren einer Magnetschiene eines elektrischen Linearmotors an einem Träger |
| WO2005072074A2 (en) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Leiv Eiriksson Nyskaping As | Working machine with an electromechanical converter |
| JP3759947B1 (ja) * | 2004-11-02 | 2006-03-29 | 株式会社コガネイ | マグネット式ロッドレスシリンダ |
| JP3759946B1 (ja) * | 2004-11-02 | 2006-03-29 | 株式会社コガネイ | マグネット式ロッドレスシリンダ |
| JP4441792B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2010-03-31 | Ｓｍｃ株式会社 | リニアモータ用ブレーキ装置及びリニアモータの可動部の位置決め方法 |
| JP4587105B2 (ja) * | 2005-05-18 | 2010-11-24 | Ｓｍｃ株式会社 | リニアアクチュエータ及びその加工方法 |
| GB0616589D0 (en) * | 2006-08-21 | 2006-09-27 | Instron Ltd | Linear motor brake |
| JP5574152B2 (ja) * | 2010-01-05 | 2014-08-20 | Ｓｍｃ株式会社 | リニアアクチュエータ |
| JP6024290B2 (ja) * | 2012-08-27 | 2016-11-16 | 豊和工業株式会社 | マグネット式ロッドレスシリンダ |
| ITMI20121548A1 (it) * | 2012-09-18 | 2014-03-19 | Medacta Int Sa | Apparecchio di posizionamento dell¿arto inferiore di un paziente in sede operatoria, in particolare per operazioni di sostituzione dell¿anca con approccio anteriore, e sistema di posizionamento chirurgico comprendente detto apparecchio |
| CN103148159B (zh) * | 2013-03-18 | 2014-12-31 | 中国人民解放军装甲兵工程学院 | 复合式作动器及其控制方法 |
| CN103746535B (zh) * | 2014-01-20 | 2016-01-27 | 长沙一派数控股份有限公司 | 一种流体支撑直线电机 |
| CN110530591B (zh) * | 2014-07-30 | 2021-12-10 | 国际计测器株式会社 | 电动型致动器、激振装置、致动器及其固定部支承机构 |
| DK178683B1 (da) | 2015-04-13 | 2016-11-07 | Uni-Food Technic As | Maskine til opskæring af fiskefileter i skiver, især laksefileter |
| CN110043532B (zh) * | 2019-04-16 | 2020-05-19 | 安徽捷迅光电技术有限公司 | 一种无杆气缸的荷载脱磁的检测方法 |
| CN112762336B (zh) * | 2021-04-07 | 2021-07-13 | 潍坊万隆电气股份有限公司 | 气膜形成装置及往复式电机 |
| CN113904520B (zh) * | 2021-09-26 | 2023-03-24 | 深圳大学 | 一种低能耗的氢燃料电池专用直线电机 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1982379U (de) * | 1966-04-22 | 1968-03-28 | Kurt Dipl Ing Stoll | Foerdervorrichtung zum transportieren des foerdergutes zwischen einer ausgangsstellung und gegebenen end- oder zwischenstellungen. |
| JPH0419214Y2 (ja) * | 1986-01-21 | 1992-04-30 | ||
| DE3719814A1 (de) * | 1987-06-13 | 1988-12-22 | Ingbuero Ramcke Gmbh | Hydropneumatischer linearantrieb |
| EP0346504B1 (de) * | 1988-06-11 | 1992-01-22 | Festo KG | Kolbenstangenlose Kolben-Zylinder-Anordnung mit einer Vorrichtung zur Hubbegrenzung |
| DE4115482A1 (de) * | 1991-05-11 | 1992-11-12 | Schaeffler Waelzlager Kg | Linearfuehrungseinheit |
| JP2858391B2 (ja) * | 1994-03-11 | 1999-02-17 | エヌオーケー株式会社 | ロッドレスシリンダ |
| JPH10205534A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-08-04 | Nippon Thompson Co Ltd | 潤滑プレートを備えた直動案内ユニット |
| JP3767648B2 (ja) * | 1997-05-16 | 2006-04-19 | Ｎｏｋ株式会社 | ロッドレスシリンダ |
| DE19826129C2 (de) * | 1998-06-12 | 2000-07-20 | Andreas Grasl | Druckluftzylinder zur Betätigung eines einstellbaren Elements, insbesondere einer Rauchabzugsklappe |
| DE29815317U1 (de) * | 1998-08-26 | 1998-11-12 | Festo Ag & Co | Kolbenstangenloser fluidbetätigter Linearantrieb |
-
2000
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-
2001
- 2001-02-07 TW TW090102607A patent/TW472117B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-02-15 DE DE10107474A patent/DE10107474B4/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-16 US US09/784,182 patent/US20010015580A1/en not_active Abandoned
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- 2001-02-19 KR KR10-2001-0008155A patent/KR100416396B1/ko active IP Right Grant
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258218A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Koganei Corp | マグネット式ロッドレスシリンダ |
| JP4652858B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2011-03-16 | 株式会社コガネイ | マグネット式ロッドレスシリンダ |
| JP2009150455A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Howa Mach Ltd | マグネット式ロッドレスシリンダ |
| CN102678658A (zh) * | 2012-03-22 | 2012-09-19 | 宁波亚德客自动化工业有限公司 | 线性执行器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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