JP4587105B2 - リニアアクチュエータ及びその加工方法 - Google Patents

Description

本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライダを往復動作させるリニアアクチュエータ及び前記スライダの転動溝を加工するリニアアクチュエータの加工方法に関する。

従来から、ワーク等の搬送手段としてリニアアクチュエータが用いられている。このようなリニアアクチュエータは、シリンダ本体に沿ってスライドテーブルを直線状に往復動作させることにより、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送している。

本出願人は、ピストンを移動可能に内在するシリンダ本体と、前記ピストンに連結されてシリンダ本体から外部に向かって突出するロッドと、前記ロッドの端部に連結されるエンドプレートと該エンドプレートに連結されるテーブルとを有し、前記シリンダ本体の軸線方向に沿って変位自在に設けられたスライドテーブルと、前記シリンダ本体の上面に膨出形成された一組のガイドブロックとから構成されるリニアアクチュエータを既に提案している（特許文献１参照）。

このリニアアクチュエータは、一組のガイドブロックの間にスライドテーブルのガイド部が挿入され、前記ガイド部とガイドブロックの対向する側面にはそれぞれボールが転動するボール溝が形成されている。そして、シリンダ本体のポートに空気を供給することにより、ピストンが移動してシリンダ本体の上面に取り付けられたスライドテーブルがボールとガイドブロックの共働作用下に一体的に移動する。

また、本出願人は、特許文献１におけるボール及びボール溝の代わりに、円柱形状の複数のローラベアリングを設けると共に、前記ローラベアリングが転動するガイドレール及びスライダにおける転動溝をそれぞれ断面略Ｖ字状に形成したリニアアクチュエータを提案している（特許文献２参照）。このリニアアクチュエータでは、複数のローラベアリングが転動溝に沿って交互に９０°ずつ傾いた状態で配設され、スライドテーブルがシリンダ本体に沿って変位する際に、前記ローラベアリングが転動溝に沿って転動する。

特開平９−１４１５３３号公報 特開平７−１１００１１号公報

このようなリニアアクチュエータでは、一般的にスライドテーブルを形成した際にボール溝及び転動溝に追加工を行い、前記ボール溝及び転動溝の精度を向上させてボール及びローラベアリングが転動する際の摺動抵抗を軽減させている。この加工は、例えば、回転している研磨用治具をボール溝及び転動溝に当接させた状態で該ボール溝及び転動溝に沿って移動させることにより研磨している。

前記の従来技術に関連して、リニアアクチュエータにおける部品点数及び組付工数の削減を目的として、スライドテーブルを構成するテーブルとエンドプレートとを一体成形したいという要請がある。

本発明は、前記の要請に関連してなされたものであり、折曲部を有するスライダにおいて転動部材が転動する転動溝を効率的に加工することが可能なリニアアクチュエータ及びその加工方法を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、本発明は、流体出入ポートに連通するシリンダ室が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作し、前記軸線と略平行な平面部と該平面部の端部に折曲して形成された折曲部とを有するスライダと、
前記シリンダ本体の軸線に沿って形成されるガイドレールと、前記ガイドレール及び該ガイドレールに対向する前記スライダの側面に形成される転動溝に沿って転動する複数の転動部材を含み、前記スライダを前記シリンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、
前記ガイドレールと対向した平面部において前記折曲部側に形成されて前記スライダにおける一組の転動溝と連通し、前記スライダの軸線と直交する幅寸法が一方の転動溝と他方の転動溝との離間距離より大きく形成される凹部と、
を備えることを特徴とする。

本発明によれば、スライダの平面部に、該スライダの折曲部側となり且つ一組の転動溝と連通した凹部を形成し、前記凹部の幅寸法を一組の転動溝の離間距離より大きく設定している。そして、転動溝の加工を加工用治具によって行う際に、一方の転動溝に沿って前記加工用治具を変位させた後に、前記凹部内で前記加工用治具を他方の転動溝側へと移動させて前記加工用治具の変位方向を切り換えて他方の転動溝に沿って変位させることにより一組の転動溝の加工を行うことができる。

従って、平面部に対して折曲した折曲部を有するスライダでも、加工用治具によって一組の転動溝に対して効率的に加工を施すことができる。また、前記加工用治具の変位方向を凹部内で切り換える際に、前記加工用治具をスライダに対して非接触状態とすることができるため、前記加工用治具とスライダとの間で生じる発熱を抑制することができ、それに伴って、前記加工用治具の耐久性を向上させることができる。

また、凹部を、回転駆動源の駆動作用下に回転し、転動溝の加工を行う加工用治具の加工部直径より大きく形成することにより、前記加工部によって一方の転動溝を加工した後に、前記凹部の内部で好適に移動させて他方の転動溝へと当接させることができると共に、回転駆動している前記加工部がスライダに対して接触することを防止することができる。

さらに、本発明は、流体出入ポートを有するシリンダ本体と、前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作し、前記軸線と略平行な平面部と該平面部の端部に折曲した折曲部とを有するスライダと、前記シリンダ本体の軸線に沿って形成されるガイドレールに対向し、前記スライダの側面に形成された一組の転動溝に沿って転動する複数の転動部材とを備えるリニアアクチュエータにおいて、前記転動溝を加工用治具によって加工するリニアアクチュエータの加工方法であって、
一方の転動溝に回転駆動した加工用治具を当接させ、該加工用治具を該転動溝に沿ってスライダの折曲部側へと変位させて前記転動溝の加工を行う工程と、
前記一方の転動溝の端部まで変位した前記加工用治具を、該転動溝に連通し且つ前記折曲部側に形成された凹部へと変位させ、前記凹部内で一方の転動溝側から対向した他方の転動溝側へと前記転動溝の延在方向と略直交方向に変位させる工程と、
前記加工用治具を前記凹部内から他方の転動溝側に変位させ、該転動溝に当接した状態で前記転動溝に沿って変位させて加工を行う工程と、
を有することを特徴とする。

本発明によれば、加工用治具を一方の転動溝に沿って変位させることにより前記転動溝を加工した後に、前記転動溝に連通し、スライダの折曲部側に形成された凹部内で前記加工用治具を他方の転動溝側へと変位させ、前記凹部から他方の転動溝に変位させて当接させる工程を設けている。従って、加工用治具の変位方向を切り換える際、前記加工用治具を凹部へと一旦変位させて切換動作を行うことにより、該加工用治具とスライダとの接触を防止することができる。その結果、加工用治具とスライダとの間で生じる発熱を抑制し、前記加工用治具の耐久性を向上させることが可能となる。

本発明によれば、以下の効果が得られる。

すなわち、平面部に対して折曲した折曲部を有するスライダに、一組の転動溝と連通する凹部を形成することにより、該凹部を介して前記転動溝を加工する加工用治具の変位方向を切り換えることが可能となり、一組の転動溝に対して効率的に加工を施すことができる。また、加工を行う際に加工用治具を凹部内に移動させることにより、前記加工用治具とスライダとの不要な接触を防止して発熱を抑制することができるため、前記加工用治具の耐久性を向上させることができる。

本発明に係るリニアアクチュエータ及びその加工方法について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

図１において参照数字２０は、本実施の形態に係る加工方法が適用されたリニアアクチュエータを示す。このリニアアクチュエータ２０は、シリンダ本体２２と、前記シリンダ本体２２の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブル（スライダ）２４と、前記シリンダ本体２２における一側面に固定されるセンサ取付用レール２６とを有する。

図１及び図２に示されるように、前記シリンダ本体２２の上面部には、該シリンダ本体２２の軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って延在するガイド部２８が膨出形成され、前記ガイド部２８の相互に対向する両側面には、複数のボールベアリング（転動部材）３０（図２参照）が転動するボール転動溝（転動溝）３２ａ、３２ｂが軸線方向に沿って形成される。このボール転動溝３２ａ、３２ｂは、ボールベアリング３０の断面形状に対応して断面略半円状に窪んで形成される。

また、図２及び図３に示されるように、前記シリンダ本体２２の内部には軸線方向に沿って貫通孔３４が形成され、前記貫通孔３４内には、外周面にピストンパッキン３６及びダンパ３８が装着されたピストン４０と、前記ピストン４０に連結されたピストンロッド４２とが収装される。

前記貫通孔３４の一端部は、エンドキャップ４４によって気密に閉塞され、該エンドキャップ４４は、シリンダ本体２２の底面側から孔４６に沿って挿入される係止片４８が該エンドキャップ４４に形成された係止用溝部４４ａに係合することによって抜け止めされている（図３参照）。前記貫通孔３４の他端部は、ピストンロッド４２の外周面に摺接し、前記貫通孔３４内に保持されたロッドパッキン５０及びロッドカバー５２によって閉塞される。

このロッドカバー５２は、樹脂製材料から略円筒状に形成され、シリンダ本体２２の端面にねじ５４（図２参照）を介して装着されるエンドプレート５５によって抜け止めされる。前記ロッドカバー５２は、ピストンロッド４２の軸受として機能し、該ロッドカバー５２には、後述するバキュームポート５６ａ（５６ｂ）から真空引きした際に前記ピストンロッド４２の軸受部分やロッドパッキン５０との摺動部位で発生した塵埃等を吸引するための孔部５８ａ〜５８ｄが周方向に沿って複数形成されている。

この場合、貫通孔３４を閉塞するエンドキャップ４４とロッドカバー５２によって、第１シリンダ室６０及び第２シリンダ室６２がそれぞれ形成される（図３参照）。

また、シリンダ本体２２の相互に対向する両側面には、一組の第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ及び第２流体出入ポート６６ａ、６６ｂが該シリンダ本体２２の軸線を中心としてそれぞれ対称となる位置に配置され（図４参照）、前記第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂは第１シリンダ室６０に連通し、第２流体出入ポート６６ａ、６６ｂは第２シリンダ室６２にそれぞれ連通するように形成されている。

前記ピストンロッド４２の先端部には、スライドテーブル２４とピストンロッド４２との間の偏位を吸収するフローティング機構が設けられる。このフローティング機構は、クリアランス６８（図３参照）を介してスライドテーブル２４を挟持する第１ブッシュ７０と第２ブッシュ７２とから構成される。

さらに、スライドテーブル２４は、平板状のテーブル部７４と折曲部７６とからなる断面略Ｌ字状であり、金属射出成形により一体成形されている。なお、前記スライドテーブル２４を、鋳造によって一体成形してもよい。ここで、前記折曲部７６に形成された孔部内に図示しない緩衝部材が挿入され、前記緩衝部材はスライドテーブル２４の一方の変位終端位置において、前記折曲部７６がシリンダ本体２２の端面に当接する際に発生する衝撃を緩和する機能を有する。

また、スライドテーブル２４の折曲部７６を挟持する前記第１及び第２ブッシュ７０、７２の接触面には、環状溝を介してＯリング７８が嵌合されている。前記Ｏリング７８は、前記第１及び第２ブッシュ７０、７２がフローティングする際に発生する塵埃が外部に流出することを阻止する機能を備える。

前記テーブル部７４には、図１及び図２に示されるように、４個のワーク保持用孔部８０ａ〜８０ｄと、円形孔部及び長穴からなる位置決め用孔部８２ａ、８２ｂと、シリンダ本体２２の取付用孔部８４ａ〜８４ｄに対応し、且つ、貫通した４個の通し穴８６ａ〜８６ｄとが形成される（図２参照）。この場合、前記通し穴８６ａ〜８６ｄを通じてテーブル部７４の上面側から取付用ボルト（図示せず）を取付用孔部８４ａ〜８４ｄに螺入してシリンダ本体２２を他の部材に取り付け、あるいは、シリンダ本体２２の底面側からボルトを取付用孔部８４ａ〜８４ｄに直接螺入して取り付けることが可能である。このように、作業者は、リニアアクチュエータ２０の取付方向を上方向、下方向のいずれかを選択することができる。

図４に示されるように、前記スライドテーブル２４の下面部には、シリンダ本体２２の上面部に長手方向に沿って延在するガイド部２８に対応したガイド溝８８が形成され、該ガイド溝８８には相互に対向する一組のボール転動溝（転動溝）９０ａ、９０ｂが長手方向に沿って形成される。このボール転動溝９０ａ、９０ｂは、ボールベアリング３０の断面形状に対応して断面略半円状に窪んで形成される。

また、スライドテーブル２４の下面部には、図５に示されるように、折曲部７６と隣接して略長方形状に窪んだ逃げ溝（凹部）９２が形成され、前記逃げ溝９２がボール転動溝９０ａ、９０ｂ及びガイド溝８８と連通している。この逃げ溝９２の深さは、図７に示されるように、前記ガイド溝８８の深さと略同等に形成されると共に、前記逃げ溝９２におけるスライドテーブル２４の軸線と略直交する幅寸法Ｗ１は、一方のボール転動溝９０ａと他方のボール転動溝９０ｂとの間の離間距離Ｗ２より大きく設定される（図６中、Ｗ１＞Ｗ２）。換言すれば、逃げ溝９２におけるスライドテーブル２４の軸線と略直交した内壁面は、前記スライドテーブル２４の軸線に対してボール転動溝９０ａ、９０ｂよりそれぞれ離間するように形成されている。

すなわち、スライドテーブル２４の下面部では、折曲部７６側（矢印Ａ方向）に向かってボール転動溝９０ａ、９０ｂが所定長だけ延在した後、前記折曲部７６の壁面に隣接し、前記ボール転動溝９０ａ、９０ｂの離間距離Ｗ２より幅寸法の大きい逃げ溝９２が形成されている。

一方、前記スライドテーブル２４の一端面には、ボール転動溝３２ａ、３２ｂ、９０ａ、９０ｂに沿って転動するボールベアリング３０の脱落を阻止するプレート９４がねじ５４を介して装着される。

スライドテーブル２４を軸線方向に沿って案内するガイド機構は、前記シリンダ本体２２の上面部に膨出形成され、その両側面に一組のボール転動溝３２ａ、３２ｂが形成されたガイド部２８と、前記スライドテーブル２４の下面部に形成されたガイド溝８８の両側面に形成された一対のボール転動溝９０ａ、９０ｂとを含む。

また、前記シリンダ本体２２の一側面には、図２に示されるように、センサ取付用レール２６がボルト９６を介して着脱自在に設けられている。前記センサ取付用レール２６は断面略Ｕ字状に形成され、その両端部がそれぞれボルト９６を介して固定されている。前記センサ取付用レール２６には断面円弧状の一条の長溝９８が軸線方向に沿って形成され、その所定部位には図示しないセンサが選択的に装着される。

また、前記センサ取付用レール２６の他側面には、その両端部を除いて前記シリンダ本体２２の側面から所定間隔だけ離間した間隙が形成され、該スライドテーブル２４の側面の所定部位に取付金具を介して磁性体１００が固定されている。

従って、スライドテーブル２４と一体的に変位する磁性体１００の磁界をセンサ取付用レール２６に装着された図示しないセンサによって検知することにより、前記スライドテーブル２４の位置が検出される。

なお、前記シリンダ本体２２の側面には、それぞれバキュームポート５６ａ、５６ｂが設けられている。前記バキュームポート５６ａ（５６ｂ）に対して図示しない真空ポンプ等の吸収手段を接続し、第２シリンダ室６２からのエアー漏れやピストンロッド４２とロッドパッキン５０との摺動による発塵をロッドカバー５２に形成された孔部５８ａ〜５８ｄを介して真空引きする。これにより、例えば、リニアアクチュエータ２０をクリーンルーム等の清浄性が要求される環境で好適に使用することができる。

本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にスライドテーブル２４のボール転動溝９０ａ、９０ｂを加工治具１０２によって研磨加工する加工方法について説明する。詳細には、このようなボールベアリング３０が転動するボール転動溝９０ａ、９０ｂは、スライドテーブル２４を金属射出成形等により形成した後に、前記ボールベアリング３０が転動する際の摺動抵抗を軽減させる目的で加工治具１０２によって研磨加工が施される。

この加工治具１０２は、図５〜図８に示されるように、図示しない回転駆動源（例えば、モータ）に接続される軸部１０４と、前記軸部１０４の端部に連結される円盤状の研磨部（加工部）１０６（例えば、砥石）とを含む。この研磨部１０６の外周部位は、ボール転動溝９０ａ、９０ｂの断面形状に対応して断面略円弧状に形成されている（図７及び図８参照）。そして、前記回転駆動源を回転させることにより、前記軸部１０４を介して研磨部１０６が一体的に回転する。なお、加工治具１０２は、図示しない移動装置によってスライドテーブル２４の軸線に対して略平行となる水平方向（矢印Ａ、Ｂ方向）及び前記軸線と略直交する鉛直方向に移動可能である。

次に、この加工治具１０２によってボール転動溝９０ａ、９０ｂを研磨加工する場合には、前記加工治具１０２を回転駆動源による駆動作用下に回転駆動させ、図６及び図７に示されるように、研磨部１０６をスライドテーブル２４におけるボール転動溝９０ａ、９０ｂが外部と連通した一端部側からボール転動溝９０ａ、９０ｂの間に移動させる。

研磨部１０６を一方のボール転動溝９０ａに当接させて折曲部７６側（矢印Ａ方向）に向かって所定速度で一直線上に変位させることにより、前記ボール転動溝９０ａが前記研磨部１０６により軸線方向（矢印Ａ方向）に沿って研磨される。

そして、一方のボール転動溝９０ａの端部まで研磨部１０６が回転しながら到達し、前記ボール転動溝９０ａの研磨加工が完了した後に、前記研磨部１０６がさらに折曲部７６側（矢印Ａ方向）へと変位して逃げ溝９２に進入し、図示しない移動装置による加工治具１０２の略水平方向への変位が停止する。この際、前記逃げ溝９２は、ボール転動溝９０ａよりスライドテーブル２４の軸線から離間する方向に拡幅して形成されているため、回転した状態にある研磨部１０６の外周面がスライドテーブル２４に接触することがない。

その結果、一方のボール転動溝９０ａの研磨加工が完了した後に、回転している研磨部１０６が逃げ溝９２に移動することによりスライドテーブル２４に接触することを防止できるため、前記研磨部１０６の摩耗を防止することが可能となり、且つ、前記研磨部１０６によってスライドテーブル２４が必要以上に研磨されることを阻止できる。

次に、回転した状態の研磨部１０６を、図示しない移動装置を介して逃げ溝９２内においてボール転動溝９０ｂに接近するようにスライドテーブル２４の幅方向に移動させた後、前記逃げ溝９２から前記とは反対方向となる他方のボール転動溝９０ｂ側（矢印Ｂ方向）へと移動させる。この際、前記研磨部１０６は、逃げ溝９２において前記ボール転動溝９０ｂに接触していないため、前記研磨部１０６によってボール転動溝９０ｂが研磨されることがない。

なお、加工治具１０２のスライドテーブル２４における幅方向への変位量は、研磨部１０６の外周面が他方のボール転動溝９０ｂに対して当接可能となる変位量に設定される。

そして、研磨部１０６をボール転動溝９０ｂに対して当接させ、折曲部７６から離間する方向（矢印Ｂ方向）に向かって所定速度で一直線上に変位させることにより、他方のボール転動溝９０ｂが前記研磨部１０６によって軸線方向（矢印Ｂ方向）に沿って研磨される。この研磨部１０６が、スライドテーブル２４の開口した一端部側まで到達することにより、前記スライドテーブル２４におけるボール転動溝９０ａ、９０ｂの研磨加工が完了する。

以上のように、本実施の形態では、スライドテーブル２４の下面部に、折曲部７６と隣接して略長方形状に窪んだ逃げ溝９２を形成することにより、前記スライドテーブル２４における一組のボール転動溝９０ａ、９０ｂを加工する際、一方のボール転動溝９０ａを加工した後に加工治具１０２を逃げ溝９２へと一旦移動させ、該逃げ溝９２を介して前記加工治具１０２の移動方向を切り換えて他方のボール転動溝９０ｂを再び加工することができる。

これにより、スライドテーブル２４の端部に、テーブル部７４に対して折曲した折曲部７６が形成され、該折曲部７６によってボール転動溝９０ａ、９０ｂの端部が閉塞された場合でも、前記スライドテーブル２４の一端部側から挿入された加工治具１０２を一方のボール転動溝９０ａに沿って移動させ、且つ、逃げ溝９２を介して反転させて他方のボール転動溝９０ｂに沿って移動させて加工を行うことが可能となる。このように、折曲部７６を有するスライドテーブル２４を加工治具１０２によって一組のボール転動溝９０ａ、９０ｂに対して効率的に研磨加工を施すことができる。

また、この際、一方のボール転動溝９０ａと他方のボール転動溝９０ｂの加工を行う間に、前記加工治具１０２の研磨部１０６を逃げ溝９２を介して前記スライドテーブル２４に対して非接触状態とすることができるため、前記研磨部１０６とスライドテーブル２４との間で生じる発熱を抑制することが可能となり、前記加工治具１０２の耐久性を向上させることができる。

次に、このようにスライドテーブル２４のボール転動溝９０ａ、９０ｂが加工治具１０２によって加工されたリニアアクチュエータ２０の動作について説明する。

先ず、図示しない流体圧供給源を付勢して圧力流体を第１流体出入ポート６４ａに供給する。この場合、他方の第２流体出入ポート６６ａは、図示しない切替弁の操作下に大気開放状態にしておく。

前記圧力流体は、第１流体出入ポート６４ａに連通する一方の第１シリンダ室６０に供給され、ピストン４０を図１の矢印Ａ方向に押圧する。前記ピストン４０の押圧作用下にピストンロッド４２に係合するスライドテーブル２４が矢印Ａ方向に変位し、ボールベアリング３０の転動作用下に前記スライドテーブル２４が変位する。

前記とは逆に、前記スライドテーブル２４を矢印Ｂ方向に向かって変位させる場合には、第１流体出入ポート６４ａに供給されていた圧力流体を、図示しない切換弁の切換作用下に他方の第２流体出入ポート６６ａへと供給する。この際、第１流体出入ポート６４ａは大気開放状態にしておく。そして、第２流体出入ポート６６ａから供給された圧力流体は第２シリンダ室６２に導入され、ピストン４０を矢印Ｂ方向に向かって押圧する。前記ピストン４０の押圧作用下に、ピストンロッド４２に係合するスライドテーブル２４が矢印Ｂ方向に変位する。

なお、上述した説明では、加工治具１０２によって一方のボール転動溝９０ａから加工を行う場合について説明したが、特にこれに限定されるものではなく、前記加工治具１０２によって他方のボール転動溝９０ｂから先に加工を行い、逃げ溝９２を介して一方のボール転動溝９０ａを加工するようにしてもよい。

さらに、上述したリニアアクチュエータ２０において、ボールベアリング３０の代わりに特許文献２で適用された円柱状のローラベアリングを採用すると共に、前記ローラベアリングに対応してスライドテーブル２４及びガイド部２８に形成されたボール転動溝３２ａ、３２ｂ、９０ａ、９０ｂの断面形状を略半円状から略Ｖ字状へと変更するようにしてもよい。

一方、スライドテーブルにおける逃げ溝の形状は、上述した折曲部７６と略平行方向に長く形成された略長方形状に限定されるものではなく、例えば、図９及び図１０に示される第１変形例に係るスライドテーブル１５０のように、逃げ溝１５２の内壁面に一組の円弧面１５４ａ、１５４ｂを備える長孔状としてもよい。

この逃げ溝１５２における円弧面１５４ａ、１５４ｂは、ワーク保持用孔部８０ｃ、８０ｄに隣接した内壁面が、それぞれ前記ワーク保持用孔部８０ｃ、８０ｄに向かって円弧状に膨出することにより形成され、前記円弧面１５４ａ、１５４ｂの半径は、加工治具１０２における研磨部１０６の半径と略同等に形成すると好適である。これにより、加工治具１０２が逃げ溝１５２に移動した際に、円弧面１５４ａ、１５４ｂによって前記加工治具１０２が逃げ溝１５２と接触することがない。

さらに、図１１及び図１２に示される第２変形例に係るスライドテーブル２００のように、折曲部７６と略平行にテーブル部２０４を所定深さで貫通するように逃げ溝２０２を形成してもよい。これにより、略長方形状の逃げ溝９２（図６参照）をテーブル部７４の内部に形成する場合と比較して、逃げ溝２０２をテーブル部２０４の幅方向に沿って貫通させることができるため、前記逃げ溝２０２の加工が容易となり、その加工時間を低減することが可能となる。

さらにまた、上述した本実施の形態では、一組のボール転動溝９０ａ、９０ｂがスライドテーブル２４の下面に直接形成される場合について説明したが、特にこれに限定されるものではなく、図１３及び図１４に示される第３変形例に係るスライドテーブル２５０のように、予めボール転動溝９０ａ、９０ｂが形成された一組の転動レール２５２ａ、２５２ｂを前記スライドテーブル２５０と別個に形成し、前記転動レール２５２ａ、２５２ｂをそれぞれ前記スライドテーブル２５０に形成された装着溝２５４ａ、２５４ｂに装着するようにしてもよい。この転動レール２５２ａ、２５２ｂは、溶接、接着、加締め等の手段によってスライドテーブル２５０に対して一体的に固着される。

装着溝２５４ａ、２５４ｂは、スライドテーブル２５０をシリンダ本体２２に装着した際に、ガイド部２８のボール転動溝３２ａ、３２ｂと対向する位置にそれぞれ形成され、前記装着溝２５４ａ、２５４ｂに転動レール２５２ａ、２５２ｂを装着することにより、前記転動レール２５２ａ、２５２ｂのボール転動溝９０ａ、９０ｂとガイド部２８のボール転動溝３２ａ、３２ｂとが対向する。

これにより、ボールベアリング３０が転動するボール転動溝９０ａ、９０ｂを、スライドテーブル２５０より強度の大きい材質によって別個に形成することが可能となるため、前記ボール転動溝９０ａ、９０ｂの摺動による摩耗を低減することができる。

また、上述したスライドテーブル２４、１５０、２００、２５０は、断面略Ｌ字状からなる一体成形によって形成される場合に限定されるものではなく、テーブル部７４、２０４と折曲部７６とをそれぞれ別個に形成し、前記テーブル部７４、２０４と折曲部７６を当接させ、溶接、接着、ロー付け等の接合手段によって一体的に接合するようにしてもよい。

本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。 図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図である。 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図である。 図１に示すリニアアクチュエータの軸線方向からみた一部省略概略側面図である。 図１に示すスライドテーブル及び前記スライドテーブルのボール転動溝の加工を行う加工治具を示す斜視図である。 図５に示すスライドテーブルのボール転動溝を加工治具によって加工する際の概略平面図である。 図６に示すスライドテーブルの加工を行う際の概略縦断面図である。 図６に示すスライドテーブルの加工を行う際の概略側面図である。 一組の円弧面を備える逃げ溝が形成された第１変形例に係るスライドテーブルの斜視図である。 図９のスライドテーブルを折曲部側から見た概略平面図である。 折曲部と略平行に貫通した逃げ溝を有する第２変形例に係るスライドテーブルの斜視図である。 図１１のスライドテーブルを折曲部側から見た概略平面図である。 スライドテーブルと別体に形成されたボール転動溝を有する転動レールが装着された第３変形例に係るスライドテーブルの斜視図である。 図１３のスライドテーブルを折曲部側から見た概略平面図である。

符号の説明

２０…リニアアクチュエータ ２２…シリンダ本体
２４、１５０、２００、２５０…スライドテーブル
２６…センサ取付用レール ２８…ガイド部
３０…ボールベアリング
３２ａ、３２ｂ、９０ａ、９０ｂ…ボール転動溝
３４…貫通孔 ４０…ピストン
４２…ピストンロッド ４４…エンドキャップ
５２…ロッドカバー ６０…第１シリンダ室
６２…第２シリンダ室 ６４ａ、６４ｂ…第１流体出入ポート
６６ａ、６６ｂ…第２流体出入ポート ７４、２０４…テーブル部
７６…折曲部 ８８…ガイド溝
９２、１５２、２０２…逃げ溝 １００…磁性体
１０２…加工治具 １０６…研磨部
２５２ａ、２５２ｂ…転動レール ２５４ａ、２５４ｂ…装着溝

Claims (2)

1. 流体出入ポートに連通するシリンダ室が形成されたシリンダ本体と、
   前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作し、前記軸線と略平行な平面部と該平面部の端部に折曲して一体成形された折曲部とを有するスライダと、
   前記シリンダ本体の軸線に沿って形成されるガイドレールと、前記ガイドレール及び該ガイドレールに対向する前記スライダの内側面に形成される転動溝に沿って転動する複数の転動部材を含み、前記スライダを前記シリンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、
   前記ガイドレールと対向した平面部において前記折曲部側に形成されて前記スライダにおける一組の転動溝と連通し、前記スライダの軸線と直交する幅寸法が一方の転動溝と他方の転動溝との離間距離より大きく形成される凹部と、
   を備え、
   前記凹部は、回転駆動源の駆動作用下に回転し、前記転動溝の加工を行う加工用治具の加工部直径より大きく形成され、且つ、前記加工治具を前記一方の転動溝から前記他方の転動溝へと移動可能に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 流体出入ポートを有するシリンダ本体と、前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作し、前記軸線と略平行な平面部と該平面部の端部に折曲した折曲部とを有するスライダと、前記シリンダ本体の軸線に沿って形成されるガイドレールに対向し、前記スライダの内側面に形成された一組の転動溝に沿って転動する複数の転動部材とを備えるリニアアクチュエータにおいて、前記転動溝を加工用治具によって加工するリニアアクチュエータの加工方法であって、
   一方の転動溝に回転駆動した加工用治具を当接させ、該加工用治具を該転動溝に沿ってスライダの折曲部側へと変位させて前記転動溝の加工を行う工程と、
   前記一方の転動溝の端部まで変位した前記加工用治具を、該転動溝に連通し且つ前記折曲部側に形成され、且つ、前記加工用治具の加工部直径より大きく形成された凹部へと変位させ、前記凹部内で一方の転動溝側から対向した他方の転動溝側へと前記転動溝の延在方向と略直交方向に変位させる工程と、
   前記加工用治具を前記凹部内から他方の転動溝側に変位させ、該転動溝に当接した状態で前記転動溝に沿って変位させて加工を行う工程と、
   を有することを特徴とするリニアアクチュエータの加工方法。

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