DE102006023358A1 - Linearstellglied und Verfahren zu dessen Bearbeitung - Google Patents

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Abstract

Ein gebogener Abschnitt (76), der im Wesentlichen senkrecht zu einem Zylindergrundkörper (22) gebogen ist, ist an einem Ende eines Gleittisches (24) ausgebildet. Außerdem ist ein Paar von Kugelwälznuten (90a, 90b), in denen eine Vielzahl von Kugeln (30) rollt, an Seitenflächen des Gleittisches (24) gegenüber einem Führungsabschnitt (28) ausgebildet. Eine Entlastungsnut (92), die eine größere Breite (W1) als ein Abstand (W2) zwischen den Kugelwälznuten (90a, 90b) aufweist und es ermöglicht, die Verschiebungsrichtung einer Bearbeitungsvorrichtung (102) zu ändern, wenn die Kugelwälznuten (90a, 90b) bearbeitet werden, ist an Enden der Kugelwälznuten (90a, 90b) an einer Seite des gebogenen Abschnitts (76) ausgebildet.

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Linearstellglied, bei dem ein Gleiter durch Zufuhr eines Druckfluides von einem Fluideinlass-/-auslassanschluss in axialer Richtung eines Zylindergrundkörpers hin und her bewegt wird, sowie ein Verfahren zur Bearbeitung des Linearstellgliedes, um Rollnuten für den Gleiter zur Verfügung zu stellen.
  • Linearstellglieder werden allgemein als Mittel zum Transportieren von Werkstücken oder dgl. eingesetzt. Ein solches Linearstellglied transportiert ein Werkstück, das auf einem Gleittisch angeordnet ist, indem der Gleittisch eine linear hin und her gehende Bewegung entlang eines Zylindergrundkörpers durchführen kann.
  • Die Anmelderin hat ein Linearstellglied mit einem Zylindergrundkörper vorgeschlagen, in dem ein Kolben verschieblich aufgenommen ist. Eine Stange ist mit dem Kolben verbunden und steht von dem Zylindergrundkörper nach außen vor. Ein Gleittisch weist eine mit einem Ende der Stange verbundene Endplatte und einen mit der Endplatte verbundenen Tisch auf (vgl. japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 9-141533). Bei diesem Linearstellglied ist der Gleittisch in Axialrichtung des Zylindergrundkörpers verschiebbar vorgesehen. Ein Paar von Führungsblöcken ist vorstehend an der oberen Fläche des Zylindergrundkörpers ausgebildet.
  • Bei dem Linearstellglied ist ein Führungsabschnitt des Gleittisches in den Raum zwischen dem Paar von Führungsblöcken eingesetzt. Kugelnuten, in welchen Kugeln rollen, sind an dem Führungsabschnitt und den diesem gegenüberliegenden Seitenflächen der Führungsblöcke ausgebildet. Wenn einem Anschluss des Zylindergrundkörpers Luft zugeführt wird, wird der Kolben bewegt und der Gleittisch, der an der oberen Fläche des Zylindergrundkörpers angebracht ist, wird durch Zusammenwirkung der Kugeln und des Gleitblockes integral mitbewegt.
  • Die Anmelderin hat außerdem ein Linearstellglied vorgeschlagen, bei dem eine Vielzahl von säulenförmigen Rollenlagern vorgesehen ist und Wälznuten eines Gleiters und Führungsschienen, die das Wälzen der Wälzlager erlauben, vorgesehen sind (vgl. japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 7-110011). Jede der Wälznuten hat einen im Wesentlichen V-förmigen Querschnitt. Die Rollenlager und Wälznuten sind anstelle der Kugeln und Kugelnuten des oben beschriebenen Linearstellgliedes gemäß der japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. 9-141533 vorgesehen. Bei diesem Linearstellglied ist die Vielzahl von Rollenlagern abwechselnd um 90° entlang der Wälznuten geneigt. Wenn der Gleittisch entlang des Zylindergrundkörpers verschoben wird, rollen die Rollenlager entlang der Wälznuten.
  • Im Allgemeinen erfolgt bei den oben beschriebenen Linearstellgliedern eine zusätzliche Bearbeitung der Kugelnuten und der Wälznuten, wenn der Gleittisch geformt wird. Dementsprechend wird die Genauigkeit der Kugelnuten und der Wälznuten erhöht, um den Gleitwiderstand zu verringern, der beim Rollen der Kugeln und der Rollenlager entsteht. Die Bearbeitung erfolgt bspw. derart, dass eine rotierende Poliervorrichtung entlang der Kugelnut und der Wälznut in einem Zustand bewegt wird, in dem die rotierende Poliervorrichtung an der Kugelnut bzw. der Wälznut anliegt.
  • Bei dem oben beschriebenen Stand der Technik besteht das Bedürfnis, die Endplatte und den Tisch des Gleittisches einstückig auszubilden, um die Zahl der Teile des Linearstellgliedes und die Montageschritte beim Zusammenbau des Linearstellgliedes zu verringern.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Linearstellglied und ein Bearbeitungsverfahren hierfür vorzuschlagen, wobei Wälznuten eines Gleiters mit einem gebogenen Abschnitt effizient bearbeitet werden können, um das Rollen der Wälzelemente in den Wälznuten zu verbessern.
  • Diese Aufgabe wird mit der Erfindung im Wesentlichen durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
  • Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen und der Zeichnung. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht eines Linearstellgliedes gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
  • 2 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung des Linearstellgliedes gemäß 1,
  • 3 ist ein Schnitt entlang einer Linie III-III in 1,
  • 4 ist eine schematische Seitenansicht in axialer Richtung des Linearstellgliedes gemäß 1,
  • 5 ist eine perspektivische Ansicht eines Gleittisches gemäß 1 und einer Bearbeitungsvorrichtung zur Bearbeitung der Kugelrollnuten des Gleittisches,
  • 6 ist eine schematische Draufsicht, die eine Situation darstellt, in welcher die Kugelrollnuten des Gleittisches gemäß 5 mit Hilfe der Bearbeitungsvorrichtung bearbeitet werden,
  • 7 ist ein schematischer Längsschnitt, der eine Situation darstellt, in welcher der Gleittisch gemäß 6 bearbeitet wird,
  • 8 ist eine schematische Seitenansicht, die eine Situation darstellt, in welcher der Gleittisch gemäß 6 bearbeitet wird,
  • 9 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Gleittisch gemäß einer ersten modifizierten Ausführungsform darstellt, der eine Entlastungsnut mit einem Paar von kreisbogenförmigen Oberflächen aufweist,
  • 10 ist eine schematische Draufsicht des Gleittisches gemäß 9 gesehen von einer Seite eines gebogenen Abschnitts,
  • 11 ist eine perspektivische Ansicht eines Gleittisches gemäß einer zweiten modifizierten Ausführungsform, der eine Entlastungsnut aufweist, die im Wesentlichen parallel zu einem gebogenen Abschnitt durchtritt,
  • 12 ist eine schematische Draufsicht des Gleittisches gemäß 11 gesehen von einer Seite eines gebogenen Abschnitt,
  • 13 ist eine perspektivische Ansicht eines Gleittisches gemäß einer dritten modifizierten Ausführungsform, an dem Wälzschienen mit Kugelrollnuten angebracht sind, die separat von einem Gleittisch ausgebildet sind, und
  • 14 ist eine schematische Draufsicht des Gleittisches gemäß 13 gesehen von einer Seite eines gebogenen Abschnitts.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • In 1 bezeichnet das Bezugszeichen 20 ein Linearstellglied, das mit einem Bearbeitungsverfahren gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bearbeitet wurde. Wie in den 1 und 2 dargestellt ist, umfasst das Linearstellglied 20 einen Zylindergrundkörper 22, einen Gleittisch (Gleiter) 24, der in axialer Richtung des Zylindergrundkörpers 22 hin und her fährt, und eine Sensorbefestigungsschiene 26, die an einer Seitenfläche des Zylindergrundkörpers 22 angebracht ist.
  • Ein Führungsabschnitt 28, der sich in axialer Richtung (Richtung der Pfeile A und B) des Zylindergrundkörpers 22 erstreckt, ist an einer oberen Fläche des Zylindergrundkörpers 22 ausgebildet. Kugelwälznuten (Wälznuten) 32a, 32b, in der eine Vielzahl von Kugellagern (Wälz- oder Rollelemente) 30 (vgl. 2) rollen, sind in axialer Richtung an einander gegenüberliegenden Seitenflächen des Führungsabschnitts 28 ausgebildet. Jede der Kugelwälznuten 32a, 32b ist so zurückgesetzt, dass sie einen im Wesentlichen kreisbogenförmigen Querschnitt entsprechend der Querschnittsform der Kugeln 30 aufweist.
  • Wie in den 2 und 3 dargestellt ist, ist in axialer Richtung in dem Zylindergrundkörper 22 eine Durchgangsöffnung 34 ausgebildet. Ein Kolben 40 und eine Kolbenstange 42 sind in der Durchgangsöffnung 34 aufgenommen, wobei eine Kolbendichtung 36 und ein Dämpfer 38 an einer äußeren Umfangsfläche des Kolbens 40 angebracht sind und die Kolbenstange 42 mit dem Kolben 40 verbunden ist.
  • Ein Ende der Durchgangsöffnung 34 wird durch eine Endkappe 44 verschlossen. Die Endkappe 44 ist so angebracht, dass ein Befestigungsteil 48, das entlang einer Öffnung 46 von der Bodenfläche des Zylindergrundkörpers 22 aus eingesetzt ist, in eine Befestigungsnut 44a (vgl. 2), die an der Endkappe 44 ausgebildet ist (vgl. 3), eingreift. Das bedeutet, dass ein Lösen der Endkappe 44 aus der Durchgangsöffnung 34 durch das Befestigungsteil 48 verhindert wird.
  • Das andere Ende der Durchgangsöffnung 34 wird durch eine Stangendichtung 50 und eine Stangenabdeckung 52 verschlossen, die in Gleitkontakt mit der äußeren Umfangsfläche der Kolbenstange 42 stehen und in der Durchgangsöffnung 34 gehalten werden.
  • Die Stangenabdeckung 52 besteht aus einem Kunststoffmaterial und weist eine im Wesentlichen zylindrische Form auf. Die Stangenabdeckung 52 wird durch eine Endplatte 55 befestigt, die an der Endfläche des Zylindergrundkörpers 22 angebracht ist. Die Endplatte 55 wird mit Hilfe von Schrauben 54 (vgl. 2) an dem Zylindergrundkörper 22 befestigt.
  • Die Stangenabdeckung 52 dient als Lager für die Kolbenstange 42. Die Stangenabdeckung 52 hat eine Vielzahl von Löchern 58a bis 58d, die in Umfangsrichtung ausgebildet sind. Die Löcher 58a bis 58d sind vorgesehen, um Staub oder dgl., der an dem Lagerbereich der Kolbenstange 42 und dem Gleitbewegungsbereich relativ zu der Stangendichtung 50 erzeugt wird, abzusaugen, wenn in später beschriebener Weise eine Vakuumabsaugung durch einen Vakuumanschluss 56a (56b) erfolgt.
  • Bei dieser Anordnung werden eine erste Zylinderkammer 60 und eine zweite Zylinderkammer 62 durch die Endkappe 44 und die Stangenabdeckung 52, die jeweils die Durchgangsöffnung 34 verschließen (vgl. 3), gebildet.
  • Ein Paar von ersten Fluideinlass-/-auslassanschlussöffnungen 64a, 64b und ein Paar von zweiten Fluideinlass-/-auslassanschlussöffnungen 66a, 66b sind an den einander gegenüberliegenden Seitenflächen des Zylindergrundkörpers 22 ausgebildet. Die ersten Fluideinlass-/-auslassanschlüsse 64a, 64b und die zweiten Fluideinlass-/-auslassanschlüsse 66a, 66b sind an Positionen angeordnet, an denen sie jeweils zu dem Zentrum der Achse des Zylindergrundkörpers 22 symmetrisch angeordnet sind (vgl. 4). Die ersten Fluideinlass-/-auslassanschlüsse 64a, 64b sind mit der ersten Zylinderkammer 60 verbunden, während die zweiten Fluideinlass-/-auslassanschlüsse 66a, 66b mit der zweiten Zylinderkammer 62 verbunden sind.
  • Ein Schwimmmechanismus, der eine Durchbiegung oder Verschiebung zwischen dem Gleittisch 24 und der Kolbenstange 42 absorbiert, ist an dem vorderen Ende der Kolbenstange 42 vorgesehen. Der Schwimmmechanismus umfasst eine erste Hülse 70 und eine zweite Hülse 72, die den Gleittisch 24 mit einem Spiel 68 (vgl. 3) zwischen sich aufnehmen.
  • Der Gleittisch 24 hat einen im Wesentlichen L-förmigen Querschnitt mit einem flachen plattenförmigen Tischabschnitt (flacher Oberflächenabschnitt) 74 und einem gebogenen oder abgewinkelten Abschnitt 76. Der Gleittisch 24 wird durch Metallspritzgießen einstückig ausgebildet. Der Gleittisch 24 kann auch durch Gießen einstückig geformt werden. Bei dieser Anordnung wird ein nicht dargestelltes Pufferelement in ein Loch des gebogenen Abschnitts 76 eingesetzt. Das Pufferelement dient der Reduzierung von Stößen, die erzeugt werden, wenn der gebogene Abschnitt 76 an einem Verschiebungsende des Gleittisches 24 an der Endfläche des Zylindergrundkörpers 22 anschlägt.
  • O-Ringe 78a, 78b sind in Ringnuten an den Kontaktflächen der ersten und zweiten Hülsen 70, 72 eingesetzt, um den gebogenen Abschnitt 76 zwischen sich aufzunehmen. Die O-Ringe 78a, 78b dienen dazu, das Austreten von Staub, der erzeugt wird, wenn die ersten und zweiten Hülsen 70, 72 schwimmen, nach außen zu verhindern.
  • Wie in den 1 und 2 dargestellt ist, weist der Tischabschnitt 74 vier Werkstückhaltelöcher 80a, 80d, Positionierungslöcher 82a, 82b als kreisförmiges Loch und Langloch und vier Durchgangsöffnungen 86a bis 86d auf, die Befestigungslöchern 84a bis 84d in dem Zylindergrundkörper 22 zugeordnet sind (vgl. 2). Die Positionierungslöcher 82a, 82b sind auf einer geraden Linie so angeordnet, dass sie auf der Achse des Tischabschnitts 74 liegen.
  • Bei dieser Anordnung können Befestigungsbolzen (nicht dargestellt) von der oberen Fläche des Tischabschnitts 74 durch die Durchgangsöffnungen 86a bis 86d in die Befestigungslöcher 84a bis 84d des Zylindergrundkörpers 22 eingeschraubt werden, um den Zylindergrundkörper 22 an einem anderen Element zu befestigen. Alternativ können die Befestigungsbolzen von der Bodenfläche des Zylinderkörpers 22 direkt in die Befestigungslöcher 84a bis 84d eingeschraubt werden, um die Befestigung zu bewirken. Wie oben beschrieben wurde, kann ein Bediener das Linearstellglied 20 anbringen, wobei er eine Aufwärtsrichtung und Abwärtsrichtung der Befestigung des Linearstellgliedes 20 auswählen kann.
  • Wie in den 4 bis 6 dargestellt ist, ist außerdem eine Führungsnut 88, die sich in Längsrichtung erstreckt, an einem unteren Flächenbereich des Gleittisches 24 ausgebildet. Ein Paar von Kugelwälznuten (Wälznuten) 90a, 90b, die einander gegenüberliegen, sind in Längsrichtung in der Führungsnut 88 ausgebildet. Die Kugelwälznuten 90a, 90b sind so ausgeformt und zurückgesetzt, dass sie einen im Wesentlichen halbkreisförmigen Querschnitt entsprechend der Querschnittsform der Kugeln 30 aufweisen.
  • Die Führungsnut 88 ist korrespondierend zu dem Führungsabschnitt 28 des Zylindergrundkörpers 22 ausgebildet. Der Gleittisch 24 greift mit Hilfe der Führungsnut 88 an dem oberen Bereich des Zylindergrundkörpers 22 an.
  • Eine Entlastungsnut (Aussparung) 92, die mit im Wesentlichen rechteckiger Form zurückgesetzt ist, ist angrenzend an den gebogenen Abschnitt 76 an einer unteren Fläche des Gleittisches 25 ausgebildet. Die Entlastungsnut 92 ist mit den Kugelwälznuten 90a, 90b und der Führungsnut 88 verbunden. Das bedeutet, dass die Entlastungsnut 92 an den Enden der Führungsnut 88 und der Kugelwälznuten 90a, 90b ausgebildet ist.
  • Die Tiefe der Entlastungsnut 92 entspricht im Wesentlichen der Tiefe der Führungsnut 88 (vgl. 7). Außerdem ist die Breite W1 der Entlastungsnut 92 in der Richtung im Wesentlichen senkrecht zu der Achse des Gleittisches 24 so gewählt, dass sie größer ist als der Abstand W2 zwischen einer Kugelwälznut 90a und der anderen Kugelwälznut 90b (W1 > W2, wie in 6 dargestellt ist). Mit anderen Worten sind die Innenwandflächen der Entlastungsnut 92 so geformt, dass die Innenwandflächen von den Kugelwälznuten 90a, 90b jeweils im Wesentlichen senkrecht zu der Achse des Gleittisches 24 getrennt sind.
  • Die Kugelwälznuten 90a, 90b erstrecken sich um eine festgelegte Länge zu dem gebogenen Abschnitt 76 (in Richtung des Pfeils A) an der unteren Fläche des Gleittisches 24, während die Entlastungsnut 92 angrenzend an die Wandfläche des gebogenen Abschnitts 76 ausgebildet ist und eine Breite aufweist, die größer ist als der Abstand W2 zwischen den Kugelwälznuten 90a, 90b.
  • Eine Platte 94, welche die Führungsnut 88 und die Kugelwälznuten 90a, 90b verschließt, wird über Schrauben 54 an einer Endfläche des Tischabschnitts 74 angebracht. Dementsprechend können die Kugeln 30, die entlang der Kugelwälznuten 90a, 90b rollen, sich nicht von dem Gleittisch 24 mit dem Tischabschnitt 74 lösen.
  • Der Gleittisch 24 wird durch den Führungsmechanismus 95 in axialer Richtung des Zylindergrundkörpers 22 geführt. Der Führungsmechanismus 95 umfasst den Führungsabschnitt 28, der an der oberen Fläche des Zylindergrundkörpers 22 vorsteht und das Paar von Kugelwälznuten 32a, 32b, die an seinen beiden Seitenflächen ausgebildet sind, aufweist, die Führungsnut 88, die an der unteren Fläche des Gleittisches 24 ausgebildet ist, und das Paar von Kugelwälznuten 90a, 90b, die an beiden Seiten der Führungsnut 88 ausgebildet sind.
  • Wie in 2 dargestellt ist, ist die Sensorbefestigungsschiene 26 über Bolzen 96 lösbar an einer Seitenfläche des Zylindergrundkörpers 22 angebracht. Die Sensorbefestigungsschiene 26 hat einen im Wesentlichen U-förmigen Querschnitt. Beide Enden der Sensorbefestigungsschiene 26 werden über die Bolzen 96 befestigt. Ein Streifen einer geschlitzten Öffnung 98, die einen kreisbogenförmigen Querschnitt aufweist, ist in Axialrichtung an der Sensorbefestigungsschiene 26 ausgebildet. Ein nicht dargestellter Sensor wird nach Bedarf an einer festgelegten Position der Schiene angebracht.
  • Eine Lücke, die von der Seitenfläche des Zylindergrundkörpers 22 bis auf dessen beide Enden einen festgelegten Abstand aufweist, ist an der anderen Seitenfläche der Sensorbefestigungsschiene 26 ausgebildet. Ein magnetisches Element 100 ist an einem festgelegten Bereich der Seitenfläche des Gleittisches 24 mit Hilfe einer Befestigung angebracht. Das magnetische Element 100 wird in der Lücke zwischen der Sensorbefestigungsschiene und dem Zylindergrundkörper 22 angeordnet. Daher wird das Magnetfeld des magnetischen Elementes 100, das zusammen mit dem Gleittisch 24 verschiebbar ist, durch den nicht dargestellten Sensor, der an der Sensorbefestigungsschiene 26 angebracht ist, erfasst. Dementsprechend wird die Position des Gleittisches 24 erfasst.
  • Die Vakuumanschlüsse 56a, 56b sind an den Seitenflächen des Zylindergrundkörpers 22 vorgesehen. Ein Saugmechanismus, bspw. eine nicht dargestellte Vakuumpumpe, ist an den Vakuumanschluss 56a (56b) angeschlossen, um Luft, die aus der zweiten Zylinderkammer 62 leckt, und den durch die Gleitbewegung der Kolbenstange 42 und der Kolbendichtung 50 erzeugten Staub durch die in der Stangenabdeckung 52 ausgebildeten Löcher 58a bis 58d abzusaugen. Dementsprechend kann das Linearstellglied 20 auch in einer Umgebung mit hohen Reinheitsanforderungen eingesetzt werden, bspw. einem Reinraum.
  • Das Linearstellglied 20 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist im Wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend wird ein Verfahren zur Bearbeitung und zum Polieren der Kugelwälznuten 90a, 90b des Gleittisches 24 mittels einer Bearbeitungsvorrichtung 102 erläutert. Das Polierverfahren wird mittels der Bearbeitungsvorrichtung 102 an den Kugelwälznuten 90a, 90b vorgenommen, um den Gleitwiderstand beim Rollen der Kugeln 30 zu reduzieren, nachdem der Gleittisch 24 bspw. durch Metallspritzgießen geformt wurde.
  • Wie in den 5 bis 8 dargestellt ist, umfasst die Bearbeitungsvorrichtung 102 einen Schaftabschnitt 104, der mit einer nicht dargestellten Drehantriebsquelle (bspw. einem Motor) verbunden ist, und einen scheibenförmigen Polier abschnitt (Bearbeitungsabschnitt) 106 (bspw. eine Schleifscheibe), der mit dem Ende des Schaftabschnitts 104 verbunden ist.
  • Der äußere Umfangsbereich des Polierabschnitts 106 hat einen im Wesentlichen kreisbogenförmigen Querschnitt entsprechend der Querschnittsform der Kugelwälznuten 90a, 90b (vgl. 7 und 8). Wenn die Drehantriebsquelle gedreht wird, wird der Polierabschnitt 106 zusammen mit dem Schaftabschnitt 104 gedreht. Die Bearbeitungsvorrichtung 102 ist mit Hilfe einer nicht dargestellten Bewegungseinheit in horizontaler Richtung (Richtung der Pfeile A und B) im Wesentlichen parallel zu der Achse des Gleittisches 24 und in vertikaler Richtung im Wesentlichen senkrecht zu der Achse bewegbar.
  • Wenn die Kugelwälznuten 90a, 90b mit Hilfe der Bearbeitungsvorrichtung 102 bearbeitet und poliert werden, wird die Bearbeitungsvorrichtung 102 durch den Antrieb der Drehantriebsquelle angetrieben und gedreht. Wie in den 6 und 7 dargestellt ist, wird der Polierabschnitt 106 von dem einen Ende des Gleittisches 24, der mit der Umgebung in Verbindung steht, zu dem Raum zwischen den Kugelwälznuten 90a, 90b bewegt. Der Polierabschnitt 106 kann hierbei an einer Kugelwälznut 90a anliegen und wird mit einer festgelegten Geschwindigkeit auf einer geraden Linie linear zu dem gebogenen Abschnitt 76 (in Richtung des Pfeils A) verschoben. Dementsprechend wird die Kugelwälznut 90a durch den Polierabschnitt 106 in der axialen Richtung (Richtung des Pfeils A) poliert.
  • Der Polierabschnitt 106 erreicht das Ende einer Kugelwälznut 90a, wobei er rotiert, und der Polierprozess der Kugelwälznut 90a wird abgeschlossen. Anschließend wird der Polierabschnitt 106 weiter zu dem gebogenen Abschnitt 76 (in Richtung des Pfeils A) verschoben, und der Polierabschnitt 106 tritt in die Entlastungsnut 92 ein. Die Verschiebung der Bearbeitungsvorrichtung 102 in der im Wesentlichen horizontalen Richtung, welche durch die nicht dargestellte Bewegungseinheit bewirkt wurde, wird gestoppt. In dieser Situation berührt die äußere Umfangsfläche des Polierabschnitts 106 in dem rotierenden Zustand den Gleittisch 24 nicht, da die Entlastungsnut 92 so ausgestaltet ist, dass sie im Vergleich zu der Kugelwälznut 90a eine große Breite in Richtung weg von der Achse des Gleittisches 24 aufweist.
  • Als Folge hiervon kann der Kontakt mit dem Gleittisch 24 vermieden werden, so dass der rotierende Polierabschnitt 106 nach Abschluss des Polierprozesses für eine Kugelwälznut 90a in die Entlastungsnut 92 bewegt wird. Dadurch ist es möglich, einen Abrieb des Polierabschnitts 106 zu vermeiden. Außerdem wird vermieden, dass der Gleittisch 24 in nicht notwendiger Weise und übermäßig durch den Polierabschnitt 106 poliert wird.
  • Anschließend wird der Polierabschnitt 106, der im rotierenden Zustand ist, mit Hilfe der nicht dargestellten Bewegungseinheit in der Entlastungsnut 92 zu der Kugelwälznut 90a bewegt. Hierbei wird der Polierabschnitt 106 in Breitenrichtung des Gleittisches 24 bewegt, so dass sich der Polierabschnitt 106 der anderen Kugelwälznut 90b annähert. Der Polierabschnitt 106 wird dann in axialer Richtung des Gleittisches 24 von der Entlastungsnut 92 zu der anderen Kugelwälznut 90b (in Richtung des Pfeils B) bewegt. In dieser Situation berührt der Polierabschnitt 106 die Kugelwälznut 90b in der Entlastungsnut 90 nicht. Daher wird die Kugelwälznut 90b durch den Polierabschnitt 106 nicht poliert.
  • Der Verschiebungsweg der Bearbeitungsvorrichtung 102 in Breitenrichtung des Gleittisches 24 wird so gewählt, dass die äußere Umfangsfläche des Polierabschnitts 106 an der einen Kugelwälznut 90a oder der anderen Kugelwälznut 90b anliegen kann.
  • Der Polierabschnitt 106 wird in Anlage gegen die Kugelwälznut 90b gebracht und mit einer festgelegten Geschwindigkeit linear auf einer geraden Linie in Richtung weg von dem gebogenen Abschnitt 76 (Richtung des Pfeils B) verschoben. Dementsprechend wird die andere Kugelwälznut 90b durch den Polierabschnitt 106 in axialer Richtung (Richtung des Pfeils B) poliert. Wenn der Polierabschnitt 106 an dem offenen einen Ende des Gleittisches 24 ankommt, ist der Polierprozess der Kugelwälznuten 90a, 90b des Gleittisches 24 abgeschlossen.
  • Bei der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist die Entlastungsnut 92, die so zurückgesetzt ist, dass sie eine im Wesentlichen rechteckige Form hat, angrenzend an den gebogenen Abschnitt 76 an dem unteren Oberflächenbereich des Gleittisches 24 vorgesehen. Wenn das Paar von Kugelwälznuten 90a, 90b des Gleittisches 24 bearbeitet wird, kann daher die Bearbeitungsvorrichtung 102 nach der Bearbeitung einer Kugelwälznut 90a mit der Bearbeitungsvorrichtung 102 in die Entlastungsnut 92 bewegt werden. Mit Hilfe der Entlastungsnut 92 kann dann die Bewegungsrichtung der Bearbeitungsvorrichtung 102 umgeschaltet werden, um die andere Kugelwälznut 90b zu bearbeiten.
  • Auch wenn der Gleittisch 24 den gebogenen Abschnitt 76 aufweist, der an dem Ende des Tischabschnitts 74 vorgesehen und relativ zu dem Tischabschnitt 74 gebogen ist, wobei die Enden der Kugelwälznuten 90a, 90b durch den gebogenen Abschnitt 76 verschlossen werden, kann daher die Bearbeitung so durchgeführt werden, dass die Bearbeitungsvorrichtung 102, die von dem einen Ende des Gleittisches 24 eingesetzt wird, entlang einer Kugelwälznut 90a bewegt und dann mit Hilfe der Entlastungsnut 92 umgekehrt wird, um die Bearbeitungsvorrichtung 102 entlang der anderen Kugelwälznut 90b zu bewegen. Auf diese Weise kann der Poliervorgang durch die Bearbeitungsvorrichtung 102 an einem Gleittisch 24 mit dem gebogenen Abschnitt 76 effizient für das Paar von Kugelwälznuten 90a, 90b durchgeführt werden.
  • Der Polierabschnitt 106 der Bearbeitungsvorrichtung 102 wird während des Zeitraums zwischen der Bearbeitung der einen Kugelwälznut 90a und der Bearbeitung der anderen Kugelwälznut 90b in die Entlastungsnut 92 bewegt. Dementsprechend kann der Polierabschnitt 106 zeitweise in einem berührungsfreien Zustand relativ zu dem Gleittisch 24 sein. Dadurch ist es möglich, die Wärmeentwicklung, die andernfalls zwischen dem Polierabschnitt 106 und dem Gleittisch 24 auftreten würde, zu unterdrücken. Es ist möglich, die Haltbarkeit der Bearbeitungsvorrichtung 102 zu verbessern.
  • Als nächstes wird die Betriebsweise des Linearstellgliedes 20, bei dem die Kugelwälznuten 90a, 90b des Gleittisches mit Hilfe der Bearbeitungsvorrichtung 102 bearbeitet wurden, erläutert.
  • Zunächst wird eine nicht dargestellte Fluiddruckzufuhrquelle betrieben, um dem ersten Fluideinlass-/-auslassanschluss 64a das Druckfluid zuzuführen. In dieser Situation ist der zweite Fluideinlass-/-auslassanschluss 66a durch die Schaltung eines nicht dargestellten Wegeventils zur Umgebung offen.
  • Das Druckfluid wird der ersten Zylinderkammer 60, die an einer Seite angeordnet ist, welche mit dem ersten Fluideinlass-/-auslassanschluss 64a kommuniziert, zugeführt. Der Kolben 40 wird durch das Druckfluid zu der Stangenabdeckung 52 (in Richtung des Pfeils A) gepresst. Der Gleittisch 24, der an der Kolbenstange 42 angreift, wird durch den Druck des Kolbens 40 in Richtung des Pfeils A verschoben. Der Gleittisch 24 wird durch die Wälzwirkung der Kugellager 30 verschoben.
  • Wenn der Gleittisch 24 umgekehrt zu dem oben beschriebenen Vorgang in Richtung des Pfeils B verschoben wird, wird das Druckfluid, das zuvor dem ersten Fluideinlass-/-auslassanschluss 64a zugeführt wurde, durch die Schaltung des nicht dargestellten Wegeventils dem zweiten Fluideinlass-/ -auslassanschluss 66a zugeführt, der an der anderen Seite angeordnet ist. In dieser Situation ist der erste Fluideinlass-/-auslassanschluss 64a zur Umgebung offen.
  • Das Druckfluid, das von dem zweiten Fluideinlass-/-auslassanschluss 66a zugeführt wird, wird der zweiten Zylinderkammer 62 zugeführt. Der Kolben 40 wird durch das Druckfluid zu der Endkappe 44 (in Richtung des Pfeils B) gepresst. Der Gleittisch 24, der an der Kolbenstange 42 angreift, wird durch den Druck des Kolbens 40 in Richtung des Pfeils B verschoben.
  • Die Erläuterung erfolgte für das Verfahren zur Bearbeitung des Gleittisches 24, bei dem eine Kugelwälznut 90a mittels der Bearbeitungsvorrichtung 102 bearbeitet wurde. Es besteht jedoch keine Einschränkung hierauf. Es ist auch möglich, dass zunächst die andere Kugelwälznut 90b mittels der Bearbeitungsvorrichtung 102 bearbeitet wird und dann unter Nutzung der Entlastungsnut 92 die eine Kugelwälznut 90a.
  • Säulenförmige Rollenlager, die in der japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. 7-110011 verwendet werden, können anstelle der Kugellager 30 bei dem oben beschriebenen Linearstellglied 20 eingesetzt werden. Außerdem kann die Querschnittsform der Kugelwälznuten 32a, 32b, 90a, 90b, die in dem Gleittisch 24 und dem Führungsabschnitt 28 ausgebildet sein, von der dargestellten, im Wesentlichen halbkreisförmigen Form zu einer V-Form entsprechend den Rollenlagern geändert werden.
  • Die Form der Entlastungsnut 92 des Gleittisches 24 ist nicht auf eine im Wesentlichen rechteckige Gestalt in Richtung im Wesentlichen parallel zu dem gebogenen Abschnitt 76 beschränkt. Vielmehr ist bspw. auch möglich, die Form einer geschlitzten Öffnung zu verwenden, bei welcher ein Paar von kreisbogenförmigen Flächen 154a, 154b an Innenwandflächen einer Entlastungsnut 152 vorgesehen ist, wie bei dem Gleittisch 150 gemäß der ersten modifizierten Ausführungsform, die in den 9 und 10 dargestellt ist.
  • Bei den kreisbogenförmigen Flächen 154a, 154b sind die Innenwandflächen, die angrenzend an die Werkstückhaltelöcher 80c, 80d angeordnet sind, jeweils konkav relativ zu den Werkstückhaltelöchern 80c, 80d geformt. Vorzugsweise wird der Radius der kreisbogenförmigen Fläche 154a, 154b so gewählt, dass er etwa gleich dem Radius des Polierabschnitts 106 der Bearbeitungsvorrichtung 102 ist. Dementsprechend tritt bei einer Bewegung der Bearbeitungsvorrichtung 102 zu der Entlastungsnut 152 die Bearbeitungsvorrichtung 102 dank der kreisbogenförmigen Flächen 154a, 154b nicht in Kontakt mit der Entlastungsnut 152. Der Kontakt mit der Bearbeitungsvorrichtung 102 wird zuverlässig vermieden.
  • Außerdem kann eine Entlastungsnut 202 im Wesentlichen parallel zu dem gebogenen Abschnitt 76 vorgesehen sein. Die Entlastungsnut 202 kann in Breitenrichtung des Tischabschnitts 204 mit einer festgelegten Tiefe durchtreten, wie bei dem Gleittisch 200 gemäß einer zweiten modifizierten Ausführungsform, die in den 11 und 12 dargestellt ist. Hierbei ist die Entlastungsnut 202 angrenzend an den gebogenen Abschnitt 76 vorgesehen und erstreckt sich so, dass die Entlastungsnut 202 im Wesentlichen senkrecht zu der Achse des Gleittisches 200 verläuft.
  • Dementsprechend wird die Entlastungsnut 202 einfach bearbeitet und die Bearbeitungszeit kann im Vergleich zu dem Fall, bei dem die im Wesentlichen rechteckige Entlastungsnut 92 (vgl. 6) an dem Tischabschnitt 74 wie bei dem oben beschriebenen Gleittisch 24 des Linearstellgliedes 20 ausgebildet ist, reduziert werden, indem die Entlastungsnut 202 in Breitenrichtung des Tischabschnitts 204 durchtritt.
  • Außerdem wurde die Ausführungsform der vorliegenden Erfindung für einen Fall erläutert, bei dem das Paar von Kugelwälznuten 90a, 90b direkt an dem Gleittisch 24 ausgebildet ist. Auch hierauf besteht jedoch keine Einschränkung. Bspw. kann ein Paar von Wälzschienen 252a, 252b, an welchen die Kugelwälznuten 90a, 90b ausgebildet sein, separat von einem Gleittisch 250 vorgesehen werden, wobei die Wälzschienen 252a, 252b an einem Paar von Installationsnuten 254a, 254b, die jeweils in der Führungsnut 88 des Gleittisches 250 ausgebildet sind, angebracht werden, wie bei dem Gleittisch 250 gemäß einer dritten modifizierten Ausführungsform, die in den 13 und 14 dargestellt ist. Die Wälzschienen 252a, 252b werden bspw. durch Schweißen, Kleben, eine Sickenverbindung oder dgl. einstückig an dem Gleittisch 250 befestigt.
  • Die Installationsnut 254a, 254b sind an den Innenwandflächen der Führungsnut 88 gegenüber den Kugelwälznuten 32a, 32b des Führungsabschnitts 28 ausgebildet, wenn der Gleittisch 250 an dem Zylindergrundkörper 22 angebracht ist. Wenn die Wälzschienen 252a, 252b an den Installationsnuten 254a, 254b angebracht werden, liegen die Kugelwälznuten 90a, 90b der Wälzschienen 252a, 252b gegenüber den Kugelwälznuten 32a, 32b des Führungsabschnitts 28.
  • Die Wälzschienen 252a, 252b, die die Kugelwälznuten 90a, 90b aufweisen, können aus einem Material hergestellt sein, das sich von dem Material des Gleittisches 250 unterscheidet. Wenn die Wälzschienen 252a, 252b aus einem im Vergleich zu dem Gleittisch 250 hochfesten Material hergestellt werden, ist es möglich, den Abrieb der Wälzschienen 252a, 252b, der durch die Wälzbewegung der Kugeln 30 bewirkt wird, zu reduzieren.
  • Die Gleittische 24, 150, 200, 250 sind nicht auf den Fall beschränkt, bei dem sie einstückig zu dem im Wesentlichen L-förmigen Querschnitt geformt sind. Vielmehr können die Tischabschnitte 74, 204 auch separat von dem gebogenen Abschnitt 76 hergestellt werden. Hierbei werden die Tischabschnitte 74, 204 anschließend durch ein beliebiges Verbindungsverfahren, bspw. Schweißen, Kleben, Löten, oder auch Verschrauben, einstückig mit dem gebogenen Abschnitt 76 verbunden.

Claims (6)

  1. Linearstellglied mit: einem Zylindergrundkörper (22), der Zylinderkammern (60, 62) aufweist, die mit Fluideinlass-/-auslassanschlüssen (64a, 64b, 66a, 66b) in Verbindung stehen, einem Gleiter (24, 150, 200, 250), der sich in einer Axialrichtung des Zylindergrundkörpers (22) hin und her bewegt und einen flachen Oberflächenabschnitt (74) aufweist, welcher im Wesentlichen parallel zu der Achse angeordnet ist, und einen gebogenen Abschnitt (76), der an einem Ende des flachen Flächenabschnitts (74) ausgebildet und gebogen ist; einem Führungsmechanismus (95), der eine Führungsschiene (28), welche entlang der Achse des Zylindergrundkörpers (22) ausgebildet ist, und eine Vielzahl von Wälzelementen (30) zur Wälzbewegung entlang von Wälznuten (32a, 32b, 90a, 90b), die an Seitenflächen der Führungsschiene (28) und des Gleiters (24, 150, 200, 250) gegenüber der Führungsschiene (28) ausgebildet sind, aufweist, wobei der Führungsmechanismus (95) den Gleiter (24, 250, 200, 250) in der Axialrichtung des Zylindergrundkörpers (22) führt, und einer Aussparung (92, 152, 202), die an einer Seite des gebogenen Abschnitts (76) an dem flachen Oberflächenabschnitt (74) gegenüber der Führungsschiene (28) ausgebildet ist, mit einem Paar der Wälznuten (90a, 90b) des Gleiters (24, 150, 200, 250) in Verbindung steht und eine Breite (W1) senkrecht zu einer Achse des Gleiters (24, 150, 200, 250) aufweist, die größer ist als ein Abstand (W2) zwischen einer (90a) der Wälznuten und der anderen (90b) der Wälznuten.
  2. Linearstellglied nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparung (92, 152, 202) größer ist als ein Durchmesser eines Bearbeitungs abschnitts (106) einer Bearbeitungsvorrichtung (102), der mittels einer Drehantriebsquelle drehbar ist und die Wälznuten (90a, 90b) bearbeitet.
  3. Linearstellglied nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wälznuten (90a, 90b) einen im Wesentlichen halbkreisförmigen Querschnitt entsprechend den kugelig geformten Wälzelementen (30) aufweisen und dass eine äußere Umfangsfläche des Bearbeitungsabschnitts (106) so gestaltet ist, dass sie einen im Wesentlichen kreisbogenförmigen Querschnitt mit im Wesentlichen dem gleichen Radius wie die Wälznuten (90a, 90b) aufweist.
  4. Linearstellglied nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparung (152) ein Paar von kreisbogenförmigen Flächen (154a, 154b) aufweist, die in Richtungen senkrecht zu der Achse des Gleiters (150) konkav sind und der Form des Bearbeitungsabschnitts (106) entsprechen, und dass der Bearbeitungsabschnitt (106) im Wesentlichen den gleichen Radius wie die kreisbogenförmigen Flächen (154a, 154b) aufweist.
  5. Linearstellglied nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Aussparung (202) im Wesentlichen senkrecht zu dem gebogenen Abschnitt (76) erstreckt, so dass sie in einer Breitenrichtung des flachen Flächenabschnitts (74) durchtritt.
  6. Verfahren zur Bearbeitung eines Linearstellgliedes mit einem Zylindergrundkörper (22), der Fluideinlass-/-auslassanschlüsse (64a, 64b, 66a, 66b) aufweist, einem Gleiter (24, 150, 200, 250), der sich in Axialrichtung des Zylindergrundkörpers (22) hin und her bewegt und einen flachen Flächenabschnitt (74), der im Wesentlichen parallel zu der Achse angeordnet ist, und einen gebogenen Abschnitt (76), der an einem Ende des flachen Oberflächenabschnitts (74) ausgebildet und gebogen ist, aufweist, und einer Vielzahl von Wälzelementen (30), die entlang eines Paares von Wälznuten (90a, 90b), die an Seitenflä chen des Gleiters (24, 150, 200, 250) ausgebildet sind, wobei der Gleiter (24, 150, 200, 250) einer Führungsschiene (28), die entlang der Achse des Zylindergrundkörpers (22) ausgebildet ist, gegenüberliegt, und mit Wälznuten (90a, 90b), die mittels einer Bearbeitungseinheit (102) bearbeitet werden, wobei das Verfahren zur Bearbeitung des Linearstellgliedes folgende Schritte aufweist: Bearbeiten einer (90a) der Wälznuten, indem die rotierende Bearbeitungsvorrichtung (102) an der einen Wälznut (90a) anliegen kann und die Bearbeitungsvorrichtung (102) entlang der einen Wälznut (90a) zu dem gebogenen Abschnitt (76) des Gleiters (24, 150, 200, 250) verschoben wird, Verschieben der Bearbeitungsvorrichtung (102), die zu einem Ende der einen Wälznut (90a) verschoben wurde, in eine Aussparung (92, 152, 202), die mit der einen Wälznut (90a) in Verbindung steht und an einer Seite des gebogenen Abschnitts (76) ausgebildet ist, und Verschieben der Bearbeitungsvorrichtung (102) von einer Seite der einen Wälznut (90a) zu einer Seite einer anderen Wälznut (90b), die der einen Wälznut (90a) gegenüberliegt, in der Aussparung (92, 152, 202), und Bearbeiten der anderen Wälznut (90b) durch Verschieben der Bearbeitungsvorrichtung (102) aus der Aussparung (92, 152, 202) zu der anderen Wälznut (90b) und Verschieben der Bearbeitungsvorrichtung (102) entlang der anderen Wälznut (90b) in einem Zustand, in dem die Bearbeitungsvorrichtung (102) an der anderen Wälznut (90b) anliegt.
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