JP5092121B2 - スピンドルユニット - Google Patents

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本発明は、工作機械に用いられるスピンドルユニットに関する。
従来、この種のスピンドルユニット100は、図8に示すように、各種の工具Tが取り付けられるスピンドル102を、直動自在に構成したスライド体103に組み付けてユニット化したものがある。スライド体103にはリニアガイド133と共に直動駆動装置(図示せず)が設けられており、このスライド体103を移動させることでスピンドル102を、例えば上下動させるようにしている。そして、スピンドル102は、スライド体103のホルダー131の孔134に内嵌させると共にスピンドル102のフランジ122をホルダー131にボルト止めして固定することで組み付けられている。このスピンドル102の内部にはモータ104によって回転される回転軸124が軸支されており、この回転軸124の先端にはスピンドル102の先端部から露出されるチャック123が接続されている。そして、このチャック123に工具Tが装着されて工具Tを回転させてワークに対する各種の加工(穴あけ、切削、研磨等)が行われる。なお、ホルダー131としては、スピンドル102を内嵌させる孔134が設けられて、この孔134内にスピンドル102を直接挿入させて組み付けるものや、ホルダー131が半割りとなってスピンドル102をクランプさせて孔134内に組み付けるものがある。
特開2002−96298号公報(図5)
ところで、上記従来のスピンドルユニット100は、スピンドル102の外径やホルダー131の孔134の孔径には製作寸法としての公差がある。従って、スピンドル102とホルダー131は、その公差分の微小なすき間Sを部分的に有した状態で接して嵌合されている。そのため、加工時にスピンドル102に負荷が加わったり回転軸124の回転に伴って、上記すき間S分のガタツキが生じ、スピンドル102が振れて軸芯が微妙に振れてしまうおそれがある。また、回転軸124の回転等によりスピンドル102で発生した熱がホルダー131に伝わり、上記すき間S分、ホルダー131が熱変形してスピンドル102の軸芯位置を変化させるおそれもある。このことから、上記従来のスピンドルユニット100は、加工精度を低下させるおそれがあり、高精度な加工を安定して行う場合には必ずしも適していなかった。
また、半割のホルダー131によりスピンドル102をクランプするものでは、スピンドル102の軸芯を精度よくだす等のためにホルダー131のクランプ力を調整するのが難しかった。クランプ力を強くすればスピンドル102の軸芯を比較的容易に中心に設定できる。しかし、ホルダー131はスピンドル102の外周面を全面接触してクランプするので、クランプ力が強くなり過ぎるとスピンドル102が微小変形し回転軸124の回転を阻害するおそれがあった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、スピンドルとホルダーとの間に生じるガタツキを簡単に且つ確実に無くすことができるスピンドルユニットを提供することを課題とする。
本発明に係るスピンドルユニットは、
装着した工具を回転させる回転軸がハウジング内に軸支されたスピンドルを、ホルダーに着脱自在に保持して組み付けたスピンドルユニットであって、
上記スピンドルの外周部と上記ホルダーの内周部との間の間隙に上記スピンドルの外周に沿って複数の転動体を予圧状態に介在させて上記スピンドルと上記ホルダーとを両者間で移動しないように固定したものである。
上記構成によれば、スピンドルの外径やホルダーの内径に製作寸法の公差があっても、上記転動体によってこの公差によるすき間を吸収することができる。これにより、スピンドルとホルダーは、その公差によるガタツキを簡単に且つ確実に無くすことができる。従って、加工時にスピンドルに加わる負荷や回転軸の回転によってもスピンドルの回転軸が振れることもない。
しかも、スピンドルとホルダーとは上記転動体を介在させることで直接接触しなくなるので、スピンドルで発生した熱がホルダーに伝わり難くすることができる。従って、ホルダーの熱変形が抑制されてスピンドルの回転軸の軸芯位置を変化させることも抑制することができる。
さらには、上記複数の転動体を上記スピンドルの外周に沿って配置することによって上記ホルダーに対して上記スピンドルの調芯作用が生じ、これにより、ホルダーにスピンドルを組み付けたときスピンドルの軸芯が確実に位置決めされる。
上記転動体は、リテーナによって保持されて上記スピンドルの外周部と上記ホルダーの内周部とに転がり接触可能に介在させるようにしてもよい。
これにより、スピンドルをホルダーの内周部に直接挿入して内嵌させる場合には、転動体の転動によってスピンドルをホルダー内にスムーズに挿入することができる。また、スピンドルが熱膨張しているときでも転動体の転動によってスピンドルをホルダーから簡単に抜き出すことができる。従って、スピンドルのホルダーへの着脱を容易に行うことができる。
上記リテーナの一方側の端部には、上記ホルダーにおける上記スピンドル挿入側へリテーナを付勢する付勢手段を設けるようにしてもよい。
これにより、ホルダーからスピンドルを抜くと、付勢手段によって転動体を保持するリテーナがホルダーのスピンドル挿入側へ付勢移動される。従って、次にスピンドルをホルダーに直接挿入する際には、初期から転動体がスピンドルとホルダーとの間に転がり接触されるので、楽にスピンドルをホルダーに挿入することができる。
上記転動体は、非導電性の材質で構成してもよい。
これにより、スピンドルとホルダーとの間の絶縁状態が確保される。従って、例えば、電気回路を含むプリント基板をスピンドルによって加工する場合、ホルダーからスピンドルへの漏電が遮断されるので、上記プリント基板における電気回路の電気的破壊を防止することができる。
また、本願発明に係るスピンドルユニットは、
装着した工具を回転させるスピンドルを、ホルダーに着脱自在に保持して組み付けたスピンドルユニットであって、
上記スピンドルの外周部と上記ホルダーの内周部との間の間隙に、上記スピンドルの外周に沿って複数の転動体を介在させて上記スピンドルと上記ホルダーとを固定し、
上記スピンドルは、先端側を小径にし基端側を大径に形成し、
上記転動体は、上記スピンドルの小径部には大径のものを、上記スピンドルの大径部には小径のものをそれぞれ対応させて介在するようにしてもよい。
これにより、スピンドルをホルダーに直接挿入して内嵌させる際に、転動体の移動量を少なくすることができる。従って、転動体は、スピンドルとホルダーとの間で軸線方向での片寄りが少なく長い領域に介在させることができる。
以上のように、本発明によれば、加工時に、スピンドルの回転軸が振れることがなく、また、ホルダーの熱変形も抑制されるから、超高精度な加工を行う場合にも適したスピンドルユニットが得られる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施の形態によるスピンドルユニット1の一部を切り欠いた斜視図を示し、図2は、このスピンドルユニット1の断面図を示し、図3は、リング状のフタ部材8を取り外してスピンドルユニット1の先端側から見た状態の側面図を示す。これら図1から図3を参照して、実施の形態によるスピンドルユニット1は、各種の工具Tが交換可能に装着されるスピンドル2をスライド体3に固定した構成を有する。
スライド体3は、スピンドル2を取り付けたホルダー31にブロック状のスタンド部32が設けられている。ホルダー31とスタンド部32とは一体形成されたものでもよいし、別体に形成されて組み付けられたものでもよい。ホルダー31には孔34が設けられ、この孔34内にスピンドル2が取り付けられる。スタンド部32には、一対の平行なリニアガイド33が設けられると共に、ボールネジ又はシリンダ装置等の直動駆動装置(図示せず)が取り付けられている。従って、直動駆動装置を駆動すると、スライド体3が移動してホルダー31に固定したスピンドル2が直線往復移動(例えば、上下動)される。なお、リニアガイド33は、それ自体がリニアガイド33の直交方向に延びるクロスレールに設けられてこのスピンドルユニット1をクロスレールの長手方向に往復移動自在に構成されてもよい。
スピンドル2は、外装のハウジング21によって全体が円柱状に形成されており、このハウジング21の基端部に円盤状のフランジ22が設けられている。また、スピンドル2の先端には、各種の工具T(例えば、ドリル、エンドミル、砥石等)が交換可能に取り付けられるチャック23が設けられている。このチャック23は、ハウジング21内に軸支されてモータ4により回転駆動される回転軸24に接続されている。従って、チャック23に取り付けられた工具Tは、モータ4の駆動によって回転され、図示しないテーブルに固定されたワークに対して各種の加工(穴あけ、切削、研磨等)が行えるようになっている。
そして、このスピンドルユニット1は、スピンドル2をスライド体3のホルダー31に設けた孔34に挿通させてスピンドル2のフランジ22をスライド体3のホルダー31にボルト止めして内嵌固定されているが、このスピンドル2の外径面とホルダー31の孔34の内径面との間の間隙に複数のボール(転動体)5を予圧状態に介在させている。
各ボール5は、スピンドル2の軸線方向に直線上に並び且つスピンドル2の周方向の3箇所に等間隔に配列されるように、円筒状のリテーナ6によって回転可能に保持されている。従って、スピンドル2がホルダー31に固定されていない状態では、ボール5は、このリテーナ6に保持された状態でスピンドル2の外径面とホルダー31の孔34の孔径面とに転がり接触するようになっている。
また、ボール5を予圧状態に介在させるには、スピンドル2の外径とホルダー31の孔34の孔径との間隙量よりも僅かに大きな直径のボール5を使用することで実現される。例えば、ボール5は、スピンドル2の直径とホルダー31の孔34の直径との差の1/2の大きさ(間隙量)に対して、5〜15μm程度大きな直径を有するものが使用される。具体的には、例えば、スピンドル2の外径φ50.000mm(公差が−0.005mm)で、スライド体3の孔34の孔径φ60.000mm(公差が+0.005mm)として、ボール5は、φ5.010〜5.015mmの外径を有するものが使用される。なお、ボール5は、スピンドル2とホルダー31の出来上がりの製作公差により、所定のボール径のものを適宜選択して使用することができる。ボール5の材質として、例えば、セラミック、ステンレス、鋼鉄等の各種材質が使用されるが、中でも、断熱性や絶縁性(非導電性)に優れるセラミックが好ましく使用される。
また、リテーナ6には、その周壁に内外に出張った凸部61が軸線方向に畝状に形成されている。この凸部61は、周方向に配列するボール5の列間に位置してリテーナ6の周壁の3箇所に形成されている。そして、各凸部61は、ボール5の直径よりも大きくならない範囲で、スピンドル2の外径面とホルダー31の孔34の孔径面とに接触可能な大きさに形成されてもよい。これにより、スピンドル2の着脱時にリテーナ6がスピンドル2の外径面又はホルダー31の孔径面に接触して摺動抵抗となることが防止される
また、各凸部61におけるスピンドル2の先端側に位置する端部には、ポケット穴62が設けられており、このポケット穴62内にコイルバネ(付勢手段)7が外部にその一部が露出されるように取り付けられている。そして、このコイルバネ7は、ホルダー31の先端側端部にボルト止めされるリング状のフタ部材8に押し当てられて、リテーナ6がホルダー31のスピンドル2挿入側(基端側)へ付勢されるようになっている。
以上の構成の実施形態によるスピンドルユニット1によれば、スピンドル2の外径やホルダー31の孔34には製作寸法の公差があっても、上記ボール5によって上記スピンドル2と上記ホルダー31との間に生じる微小なすき間を吸収して無くすことができる。これにより、スピンドル2とホルダー31とは、その公差によるガタツキを簡単に且つ確実に無くすことができる。従って、加工時にスピンドル2に加わる負荷や回転軸24の回転によってもスピンドル2の回転軸24が振れることもない。
また、スピンドル2の外径やホルダー31の孔34の孔径の公差を厳密に管理しなくてもよいので、その分の加工の手間が軽減され、且つ加工コストを低減することができる。
また、ボール5を介在させることでスピンドル2とホルダー31が直接接触しないから、スピンドル2で発生した熱をホルダー31に伝わり難くすることができる。しかも、ボール5を断熱性の優れた材質で構成すればスピンドル2の熱がホルダー31に一層伝わり難くなる。従って、ホルダー31の熱変形を抑制してスピンドル2の回転軸24の軸芯位置を変化させることを抑制することができる。
なお、スピンドル2とホルダー31との間に間隙が形成されているから、この間隙に例えばエアー(冷却媒体)を送ることができる。これにより、スピンドル2やホルダー31を冷却することができ、熱の影響で回転軸24の軸芯位置がズレる等の問題を確実に防止することができる。
さらには、各ボール5がスピンドル2の外周に沿って配置されることによってホルダー31に対するスピンドル2の調芯作用が生じ、これにより、ホルダー31にスピンドル2を組み付けたときスピンドル2の軸芯が確実に位置決めされる。
そのため、頻繁にスピンドル2を交換する場合でも、ホルダー31に対してスピンドル2の軸芯位置を簡易に位置決めすることができ、スピンドル2の交換時の調芯の手間が大幅に軽減される。
また、各ボール5は、リテーナ6によって保持されてスピンドル2の外径面とホルダー31の孔34の孔径面とに転がり接触されるので、スピンドル2をホルダー31の孔34に挿入して組み付ける際には、ボール5の転動によってスピンドル2をホルダー31の孔34内にスムーズに挿入することができる。また、スピンドル2が熱膨張しているときでもボール5が転動することでスピンドル2をホルダー31から簡単に抜き出すことができる。従って、スピンドル2のホルダー31への着脱を容易に行うことができる。
また、リテーナ6には、ホルダー31におけるスピンドル2挿入側へリテーナ6を付勢するコイルバネ7を取り付けることにより、ホルダー31からスピンドル2を抜くと、コイルバネ7によってボール5を保持するリテーナ6がスライド体3のスピンドル2挿入側へ付勢移動される。従って、次にスピンドル2をホルダー31に挿入する際には、初期からボール5がスピンドル2とホルダー31との間に介在されるので、楽にスピンドル2をホルダー31に挿入することができる。
また、ボール5を非導電性の材質で構成すれば、スピンドル2とホルダー31との間の絶縁状態が確保される。従って、例えば、電気回路を含むプリント基板をスピンドル2によって加工する場合、ホルダー31からスピンドル2への漏電が遮断されるので、上記プリント基板における電気回路の電気的破壊を防止することができる。
以上のように、本実施の形態のスピンドルユニット1によれば、加工時に、スピンドル2の回転軸24が振れることがなく、また、スライド体3の熱変形も抑制されるから、超高精度な加工を行う場合にも適したスピンドルユニット1が得られる。
(他の実施形態)
図4に示すように、他の実施形態によるスピンドルユニット1Aは、スピンドル2Aのハウジング21Aを、先端側を小径211にし基端側を大径212に形成し、且つこのスピンドル2Aの外径面とホルダー31の孔34の孔径面との間隙に介在させるボールとしては、スピンドル2Aの小径部211には大径のボール5Lを、スピンドル2Aの大径部212には小径のボール5Sをそれぞれ対応させるようにする。
この場合、スピンドル2Aをホルダー31に挿入して組み付ける際に、スピンドル2Aがホルダー31の孔34内にある程度挿入されて、スピンドル2Aの小径部211が大径のボール5Lに達するか、スピンドル2Aの大径部212が小径のボール5Sに達することにより、各ボール5L,5Sがスピンドル2Aの外周面とホルダー31の孔34の孔径面との間に転がり接触される。これにより、スピンドル2Aのホルダー31への組み付け時に各ボール5L,5Sの移動量を少なくすることができる。従って、各ボール5L,5Sは、スピンドル2Aとホルダー31との間で軸線方向での片寄りが少なく長い領域に介在させることができる。その他の内容は、図1〜図3に示したスピンドルユニット1と同様である。
なお、本発明は、上記実施の形態のみに限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の設計変更を施すことが可能である。
例えば、図5、図6に示すスピンドルユニット1B,1Cのように、スピンドル2Bの外径、スライド体3Bのホルダー31Bの孔34Bの孔径及び上記リテーナ6Bをそれぞれ多角形断面とし(図示したものは六角形であるが、四角形、五角形、七角形、八角形等の他の多角形でもよい。)、上記スピンドル2Bの外径面と上記ホルダー31Bの孔34Bの孔径面との対向する平面間にボール5(図5)又はローラ5A(図6)を介在させるようにしてもよい。なお、ローラ5Aは、中空ローラとしてもよい。
また、図7に示すスピンドルユニット1Dのように、スライド体3Dのホルダー31Dを半割りにしてスピンドル2をクランプしてホルダー31Dの孔34D内に組み付けるようにしてもよい。
また、スピンドル2外径面とホルダー31の孔34の孔径面との間隙に介在させるボール5は、周方向の少なくとも3列に配列すればよく、4列、5列、6列等の複数列に配列してもよい。
また、スピンドル2の外径面とホルダー31の孔34の孔径面のいずれか、または両方にスプライン溝が設けられ、このスプライン溝内に転動体としてのボール5を介在させるようにしてもよい。すなわち、スピンドル2の外径面とホルダー31の孔34の孔径面との形状、形式等にかかわらず、スピンドル2の外周部とホルダー31の内周部との間の間隙にボール5等の転動体が予圧状態に介在されるように構成されればよい。
また、各列のボール5は、軸線に対して所定角度に傾けて配置するようにしてもよい。
また、ボール5等の転動体は、基本的には鋼性で形成することができるが、リテーナ6に組み込まれた転動体すべてを鋼製とするのではなく、そのうち何個(何列)かをゴムやウレタン樹脂などの振動を吸収する材料で形成してもよい。例えば、6列配置のボール5として、3列は鋼球で形成し、他の3列はウレタンボールで形成することでもよい。
また、スピンドルユニット1の直動機構として、スピンドル2を固定させたホルダー31をスリーブの挿通孔内に滑り接触あるいは転がり接触等させるように収容して、このホルダー31を直動駆動装置によって直線往復移動させるようにしてもよい。
また、スピンドルユニット1は、直動機構を設けることなく基台等に不動状態に固定させて、ワークを装着固定するテーブルをXYZ方向等に移動させるようにして、このスピンドルユニット1によってワークに対する各種の加工を行うようにしてもよい。
実施の形態によるスピンドルユニットの構成を示すためその一部を切り欠いた斜視図である。 実施の形態によるスピンドルユニットの構成を示す断面図である。 実施の形態によるスピンドルユニットをリング状のフタ部材を取り外して先端側から見た状態の側面図である。 他の実施の形態としてのスピンドルユニットの構成を示す断面図である。 変形例としてのスピンドルユニット(スピンドル等を多角形断面とする)を、リング状のフタ部材を取り外した先端側から見た側面図である。 他の変形例としてのスピンドルユニット(転動体をローラとする等)を、リング状のフタ部材を取り外して先端側から見た状態の側面図である。 更なる他の変形例としてのスピンドルユニット(スライド体を半割りとする)を示す一部分解斜視図である。 従来のスピンドルユニットの構成を示す断面図である。
符号の説明
1 スピンドルユニット
2 スピンドル
3 スライド体
5 ボール(転動体)
6 リテーナ
7 コイルバネ
8 フタ部材
31 ホルダー
34 孔
61 凸部
T 工具

Claims (5)

  1. 装着した工具を回転させる回転軸がハウジング内に軸支されたスピンドルを、ホルダーに着脱自在に保持して組み付けたスピンドルユニットであって、
    上記スピンドルの外周部と上記ホルダーの内周部との間の間隙に上記スピンドルの外周に沿って複数の転動体を予圧状態に介在させて上記スピンドルと上記ホルダーとを両者間で移動しないように固定したスピンドルユニット。
  2. 請求項1に記載のスピンドルユニットにおいて、
    上記転動体は、リテーナによって保持されて上記スピンドルの外周部と上記ホルダーの内周部とに転がり接触可能に介在させたスピンドルユニット。
  3. 請求項2に記載のスピンドルユニットにおいて、
    上記リテーナの一方側の端部には、上記ホルダーにおける上記スピンドル挿入側へリテーナを付勢する付勢手段を設けたスピンドルユニット。
  4. 請求項1乃至3のいずれかに記載のスピンドルユニットにおいて、
    上記転動体は、非導電性の材質で構成したスピンドルユニット。
  5. 装着した工具を回転させるスピンドルを、ホルダーに着脱自在に保持して組み付けたスピンドルユニットであって、
    上記スピンドルの外周部と上記ホルダーの内周部との間の間隙に上記スピンドルの外周に沿って複数の転動体を介在させて上記スピンドルと上記ホルダーとを固定し、
    上記スピンドルは、先端側を小径にし基端側を大径に形成し、
    上記転動体は、上記スピンドルの小径部には大径のものを、上記スピンドルの大径部には小径のものをそれぞれ対応させて介在するようにしたスピンドルユニット。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111823134A (zh) * 2020-07-30 2020-10-27 华海清科股份有限公司 主轴组件、主轴安装座、基板磨削设备及主轴拆装方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102371365B (zh) * 2011-10-31 2013-09-11 山东新华医疗器械股份有限公司 全自动雕铣机加工设备电主轴固定装置
CN109622997A (zh) * 2019-02-01 2019-04-16 洛阳迈凯数控设备有限公司 一种恒轴心独立主轴箱
CN111843823A (zh) * 2020-07-30 2020-10-30 华海清科股份有限公司 主轴组件

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10286701A (ja) * 1997-02-14 1998-10-27 Okuma Mach Works Ltd 工作機械の主軸装置
JP2002096298A (ja) * 2000-09-19 2002-04-02 Hitachi Via Mechanics Ltd プリント基板加工機
JP2002346880A (ja) * 2001-05-25 2002-12-04 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 主軸装置
JP4058292B2 (ja) * 2002-04-26 2008-03-05 日立ビアメカニクス株式会社 プリント基板加工機
US8795028B2 (en) * 2004-10-04 2014-08-05 The Gleason Works Magnetic spindle for machine tool

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111823134A (zh) * 2020-07-30 2020-10-27 华海清科股份有限公司 主轴组件、主轴安装座、基板磨削设备及主轴拆装方法
CN111823134B (zh) * 2020-07-30 2021-10-15 华海清科股份有限公司 主轴组件、主轴安装座、基板磨削设备及主轴拆装方法

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