JP3516910B2 - 移載装置 - Google Patents

移載装置

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JP3516910B2 JP2000279592A JP2000279592A JP3516910B2 JP 3516910 B2 JP3516910 B2 JP 3516910B2 JP 2000279592 A JP2000279592 A JP 2000279592A JP 2000279592 A JP2000279592 A JP 2000279592A JP 3516910 B2 JP3516910 B2 JP 3516910B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを保持し、
アクチュエータの作用下に前記ワークを自動的に移載す
る移載装置に関する。
【0002】
【従来の技術】通常、工場内等において、ワークを各作
業ステーション等に自動的に搬送するために種々の移載
装置が用いられている。この種の移載装置として、例え
ば、ロッドレスシリンダが広く採用されている。ロッド
レスシリンダは、ロッドを有するシリンダに比べてその
ストローク長に対する全長を短くすることができ、これ
によって占有面積が小さくなるとともに、取り扱い性に
優れるという利点を有しているからである。
【0003】この種のロッドレスシリンダは、例えば、
特許第2613337号公報に開示されているように、
シリンダとスライドテーブルとを備えている。このシリ
ンダは、シリンダチューブと前記シリンダチューブ内に
形成されたボア内を往復移動するピストンとを有すると
ともに、前記シリンダチューブにはその長手方向に延在
して外部とボアとを連通させるスリットが形成され、前
記スリットがピストンに係合する第1シール部材と前記
スライドテーブルに係合する第2シール部材とによって
閉塞されている。
【0004】ところで、移載装置は、粉塵、切削粉、紙
粉、クーラントあるいはミスト等が多く混在する環境下
で使用される場合が多く、移載装置としてロッドレスシ
リンダが用いられる際には、スリットの隙間から塵埃等
が進入してシリンダの動作性が低下するおそれがある。
このため、例えば、特開平9−144711号公報(以
下、従来技術1という)に開示されているように、シリ
ンダチューブと、このシリンダチューブ内に移動可能に
収容されたピストンと、チューブの長手方向に沿って延
びかつこのチューブの内外を連通するスリットと、前記
シリンダチューブ外に配設されるとともに、前記スリッ
トを介して前記ピストンに連結されたスライダと、前記
スリットが形成された箇所を被覆するとともに、前記ピ
ストンおよび前記スライダの移動に伴ってチューブ長手
方向に伸縮する防塵カバーと、を備えたロッドレスシリ
ンダが知られている。
【0005】また、特許第2838067号公報(以
下、従来技術2という)に開示されているように、シリ
ンダチューブと、このシリンダチューブ内に移動可能に
収容されたピストンと、チューブの長手方向に沿って延
びかつこのチューブの内外を連通するスリットと、前記
シリンダチューブ外に配設されるとともに、前記スリッ
トを介して前記ピストンに連結されたスライドテーブル
とを備え、前記シリンダチューブの少なくともスリット
形成面を覆う防塵カバーを、前記スライドテーブルに形
成されたカバー挿通孔内に挿通させ、同防塵カバーに沿
って前記スライドテーブルを往復動作させるようにした
ロッドレスシリンダが知られている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術1では、ピストンおよびスライダの移動に伴っ
てチューブ長手方向に伸縮する防塵カバーを備えるた
め、前記防塵カバーが縮んだ状態での寸法分だけロッド
レスシリンダ全体の長手方向の寸法が長尺化してしま
う。これにより、ロッドレスシリンダの短尺化を図るこ
とができないという問題が指摘されている。また、上記
の従来技術2では、防塵カバーとスライドテーブルのカ
バー挿通孔との間に隙間が生じてしまう。このため、ス
ライドテーブルの移動に伴って前記隙間から塵埃等が進
入し易いという問題が指摘されている。
【0007】本発明はこの種の問題を解決するものであ
り、移載方向の寸法を有効に短尺化するとともに、簡単
な構成で優れた防塵機能を有する移載装置を提供するこ
とを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明に係る移載装置で
は、可動体が装置本体に伝動部を介して移載方向に進退
可能に連結されており、防塵部材がカバー部材の屈曲す
る両端の内壁に前記移載方向に沿ってそれぞれ固着さ
れ、且つ該カバー部材の内壁と前記装置本体の側壁との
間、および該カバー部材の内壁と取り付け台の屈曲部の
側壁との間で一体的に挟持されるとともに、前記防塵部
材が該移載方向に交差する方向に圧縮弾性変形可能に構
成されている。このため、防塵部材が可動体のストロー
ク長に影響を与えることがなく、移載装置全体の短尺化
が容易に図られるとともに、前記防塵部材を介して装置
本体と前記可動体との隙間から塵埃等が進入することを
確実に阻止することができる。
【0009】
【0010】さらにまた、防塵部材がスポンジゴムで構
成されることにより、簡単な構成で確実な防塵機能を有
することが可能になる。その際、スポンジゴムには、可
動体に摺接する面側に摺動部材、例えば、ステンレス鋼
が一体的に設けられており、摺動性能が向上するととも
に、塵埃等の堆積を軽減することができる。
【0011】さらに、防塵部材は、板材を移載方向に沿
って複数回だけ折り曲げた蛇腹形状に設定されることに
より、簡単な構成で有効な防塵性能を確保することがで
きる。ここで、防塵部材の蛇腹形状に対応するスクレー
パを備えており、このスクレーパが可動体に装着されて
移動することによって、前記防塵部材に塵埃等が堆積し
た際にも、この塵埃等を確実に除去することが可能にな
る。
【0012】また、移載装置がロッドレスシリンダであ
り、このロッドレスシリンダを構成するシリンダチュー
ブおよび/またはスライドテーブルと、カバー部材の内
壁とに、防塵部材が一体的に挟持されている。従って、
防塵部材によりスライドテーブルのストローク長が長尺
化することがなく、しかもシリンダチューブに長手方向
に延在して形成されたスリットから塵埃等が進入するこ
とを確実に阻止し、防塵機能を大幅に向上させることが
できる。
【0013】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の第1の実施形態
に係るロッドレスシリンダ10の分解斜視図であり、図
2は、前記ロッドレスシリンダ10の一部切欠斜視図で
あり、図3は、前記ロッドレスシリンダ10のスライド
テーブル14を含む縦断面図である。
【0014】このロッドレスシリンダ10は、図示しな
いワークの移載方向(矢印A方向)に長尺に設定される
とともに、アクチュエータを構成するシリンダチューブ
(装置本体)12と、可動体であるスライドテーブル1
4と、前記シリンダチューブ12内に矢印A方向に延在
して形成されたボア16内を往復移動するピストン18
(図3および図4参照)と、前記シリンダチューブ12
に矢印A方向に延在して形成されたスリット20を介し
て前記ピストン18と前記スライドテーブル14とを連
結する伝動部22(図3および図4参照)と、前記スラ
イドテーブル14および該スライドテーブル14に固定
される取り付け台24を覆って前記シリンダチューブ1
2に長手方向(矢印A方向)に延在して装着されるカバ
ー部材26と、前記カバー部材26の内壁26aと前記
シリンダチューブ12の側壁12aおよび前記取り付け
台24の側壁24aとに一体的に挟持される防塵部材2
8とを備える。なお、取り付け台24を用いることな
く、スライドテーブル14に直接ワーク(図示せず)を
装着するように構成してもよい。
【0015】図1および図4に示すように、シリンダチ
ューブ12の両端側には、ボア16内に配置されている
ピストン18を矢印A方向に進退させるための流体供給
用および排出用のポート30a、30bが形成される。
図3および図4に示すように、シリンダチューブ12に
は、スリット20を挟んで第1シール部材32と第2シ
ール部材34とが固着される。ピストン18は、第1お
よび第2シール部材32、34を上下に離間させるため
のベルトセパレータ36a、36bを備えるとともに、
シリンダチューブ12のスリット20の上方に突出して
伝動部22が設けられ、この伝動部22にローラ38が
設けられる。スライドテーブル14には、伝動部22を
嵌合する空間40が設けられており、前記スライドテー
ブル14が前記伝動部22を介してピストン18に保持
される。
【0016】図3に示すように、シリンダチューブ12
には、その長手方向に延在して合成樹脂製軸受42a、
42bが固着される一方、スライドテーブル14には、
調整ねじ44を介して揺動自在なアジャストアーム46
が設けられている。シリンダチューブ12およびスライ
ドテーブル14は、基本的には上記のように構成される
ものであるが、その詳細な構成は、本出願人による特許
第2613337号公報に開示されているロッドレスシ
リンダと同様である。
【0017】スライドテーブル14に固着される取り付
け台24は、図1および図2に示すように、屈曲部50
a、50bを一体的に備えており、この屈曲部50a、
50bは上方に開放される空間52a、52bが矢印A
方向に沿って形成される。取り付け台24がスライドテ
ーブル14に固着された状態で、カバー部材26の長手
方向に沿った両端部がシリンダチューブ12に固定され
た一組のエンドプレート53にそれぞれ固着される(図
1、図2および図4参照)。
【0018】カバー部材26は、矢印A方向に長尺な板
材の両端を屈曲させて構成されており、その両端の内壁
26aには、防塵部材28の高さ寸法に対応して一組の
突起部54a、54bが矢印A方向に延在して設けられ
ている。カバー部材26は、取り付け台24の空間52
a、52b内にその両端部が配置されており、前記カバ
ー部材26の内壁26aとシリンダチューブ12の側壁
12aおよび取り付け台24の側壁24a(実質的には
スライドテーブル14の側壁と同等)とに防塵部材28
が一体的に挟持される。
【0019】この防塵部材28は、角柱状のスポンジゴ
ム56と、前記スポンジゴム56の両側部に固着される
ステンレス鋼製の板材58a、58bとを備える。板材
58aは、取り付け台24の側壁24aに摺接する摺動
部材を構成する。防塵部材28は、例えば、カバー部材
26の内壁26aに対して固着されており、この防塵部
材28は、取り付け台24が摺接することによって矢印
A方向と直交(交差)する矢印B方向に弾性変形可能で
ある。
【0020】なお、取り付け台24の移動方向両端部に
は、前記取り付け台24の近傍において、防塵部材28
が弾性変形した際に形成される間隙(図示せず)を閉塞
する閉塞部材60が固着される(図1参照)。
【0021】このように構成される第1の実施形態に係
るロッドレスシリンダ10の動作について、以下に説明
する。
【0022】まず、取り付け台24に図示しないワーク
が装着された後、例えば、ポート30aからシリンダチ
ューブ12内に圧縮空気が導入されると、この圧縮空気
がピストン18を押圧する。このため、ピストン18
は、伝動部22が嵌合する空間40を介してスライドテ
ーブル14および取り付け台24と一体的に、図4中、
矢印A1方向に移動する。一方、ポート30bに圧縮空
気が導入されると、ピストン18は、スライドテーブル
14および取り付け台24と一体的に矢印A2方向に移
動する。従って、図示しないワークの移載作業が自動的
に遂行されることになる。
【0023】この場合、第1の実施形態では、カバー部
材26の内壁26aとシリンダチューブ12の側壁12
aおよび取り付け台24の側壁24aとに、防塵部材2
8が一体的に挟持されており、前記防塵部材28を構成
するスポンジゴム56が、ワークの移載方向(矢印A方
向)と交差する矢印B方向に弾性変形可能である(図1
中、二点鎖線参照)。
【0024】これにより、防塵部材28は、スライドテ
ーブル14の矢印A方向への移動(ストローク)に影響
を与えることがなく、ロッドレスシリンダ10の全長が
長尺化することを阻止し、このロッドレスシリンダ10
を有効に小型化することが可能になる。しかも、防塵部
材28は、シリンダチューブ12の長手方向(矢印A方
向)に沿って配置されており、ロッドレスシリンダ10
全体を確実に閉塞することができ、簡単な構成で防塵機
能が大幅に向上するという効果が得られる。従って、特
に粉塵やクーラントあるいはミスト等が多く発生する環
境下でも、ワークの移載作業に効果的に使用することが
可能になる。
【0025】さらに、防塵部材28は、スポンジゴム5
6とステンレス鋼製の板材58a、58bとを備えてい
る。このため、特に、防塵部材28がスライドテーブル
14と一体的に移動する取り付け台24の側壁24aに
摺接して変形する際に、板材58aが前記側壁24aに
摺接することによって前記防塵部材28自体の耐久性が
有効に向上する。
【0026】図5は、本発明の第2の実施形態に係るロ
ッドレスシリンダ80の分解斜視図であり、図6は、前
記ロッドレスシリンダ80のスライドテーブル14を含
む縦断面図である。なお、第1の実施形態に係るロッド
レスシリンダ10と同一の構成要素には同一の参照符号
を付して、その詳細な説明は省略する。
【0027】このロッドレスシリンダ80は防塵部材8
2を備えており、前記防塵部材82は、例えば、ゴム製
の板材を移載方向(矢印A方向)に沿って、例えば、2
回だけ折り曲げた蛇腹形状に設定されている。
【0028】図7に示すように、防塵部材82は、カバ
ー部材26の突起部54a、54b間に配置される固定
片84と、この固定片84に対して揺動自在な揺動片8
6と、前記揺動片86に揺動自在に設けられる摺動片8
8とを備える。この摺動片88には、複数のシールリッ
プ88aが移載方向に沿って設けられるとともに、前記
摺動片88の表面には必要に応じて耐摩耗処理(コーテ
ィング)が施されている。
【0029】図5に示すように、取り付け台24の移動
方向両端部には、各防塵部材82を構成する揺動片86
と摺動片88の間に挿入されて塵埃等の除去を行うため
のスクレーパ89が固着される。このスクレーパ89に
は、揺動片86と摺動片88により構成される開口形状
に対応して三角形状に設定されている。
【0030】このように構成される第2の実施形態に係
るロッドレスシリンダ80では、防塵部材82が移載方
向である矢印A方向と直交(交差)する矢印B方向に弾
性変形可能である。そして、図7に示すように、通常シ
ール状態では、摺動片88がシリンダチューブ12の側
壁12aに摺接する一方、可動体であるスライドテーブ
ル14と一体的に取り付け台24が通過する際には、こ
の摺動片88が固定片84側に弾性変形してこの取り付
け台24の側壁24aに摺接する(図7中、二点鎖線参
照)。
【0031】これにより、防塵部材82は、ロッドレス
シリンダ80のストロークに影響を与えることがなく、
前記ロッドレスシリンダ80の全長を有効に短尺化する
ことができる等、第1の実施形態と同様の効果が得られ
る。さらに、取り付け台24が移動する際には、この取
り付け台24の端部に固着されたスクレーパ89が、防
塵部材82の揺動片86と摺動片88との間に塵埃等が
堆積した際に、該塵埃等を確実に除去することが可能に
なるという利点がある。
【0032】図8は、本発明の第3の実施形態に係るロ
ッドレスシリンダ90のスライドテーブル14を含む縦
断面図である。
【0033】このロッドレスシリンダ90は、シリンダ
チューブ12に装着されるカバー部材92を備え、この
カバー部材92の天井側内壁92aの両側にそれぞれ長
手方向に沿って延在する突起部94a、94bが設けら
れる。突起部94a、94bは、蛇腹状に設定された防
塵部材96の一端を嵌合支持している。防塵部材96
は、例えば、ゴム製の板材を複数回、例えば、7回だけ
折り曲げて構成されており、通常のシール状態では、カ
バー部材92の両端部下端まで延在してシリンダチュー
ブ12内に塵埃等が進入することを阻止している。
【0034】スライドテーブル14には、取り付け台9
8が固着されており、この取り付け台98の両側部が屈
曲形成されてこの両端部にカバー部材92の両端を収容
するスリット状の空間100が設けられている。
【0035】この場合、ロッドレスシリンダ90では、
防塵部材96が上下方向、すなわち、シリンダチューブ
12の長手方向と直交する方向に弾性変形可能であり、
取り付け台98が通過する際、蛇腹状の前記防塵部材9
6がこの取り付け台98の上面98aに接触して確実な
防塵機能を有する等、第1および第2の実施形態と同様
の効果が得られる。
【0036】図9は、本発明の第4の実施形態に係るロ
ッドレスシリンダ110の縦断面図である。
【0037】このロッドレスシリンダ110は、シリン
ダチューブ12に装着されるカバー部材112と、スラ
イドテーブル14に固着される取り付け台114とを備
える。シリンダチューブ12の側壁12aに突起部11
6a、116bが形成されるとともに、この突起部11
6a、116bに蛇腹状の防塵部材118の一端が保持
される。防塵部材118の自由端側は、通常のシール状
態でカバー部材112の内壁112aに接触する一方、
スライドテーブル14が通過する際に取り付け台114
の内壁114aに摺接して矢印B方向に収縮する。この
ように、防塵部材118は、矢印B方向に弾性変形可能
に構成されている。
【0038】図10は、本発明の第5の実施形態に係る
ロッドレスシリンダ120の縦断面図である。
【0039】このロッドレスシリンダ120では、シリ
ンダチューブ12の両側部上部側に外方に膨出して受け
部122が形成されるとともに、このシリンダチューブ
12に固着されるカバー部材124には、一対の突起を
備えた受け部126が前記受け部122に対向して設け
られる。
【0040】受け部122、126には、蛇腹状の防塵
部材128、130の一端が保持されており、前記防塵
部材128、130の自由端同士が互いに接触すること
によって、通常のシール状態が維持されている。スライ
ドテーブル14には、取り付け台132が固着されてお
り、この取り付け台132の上面132aと下面132
bとが、防塵部材130、128の自由端側に摺接する
ように構成されている。
【0041】図11は、本発明の第6の実施形態に係る
ロッドレスシリンダ140の縦断面図である。
【0042】このロッドレスシリンダ140は、シリン
ダチューブ12に固着されるカバー部材142を備えて
おり、前記カバー部材142の上部には、移載方向に沿
って開口部144a、144bが形成されている。カバ
ー部材142内には、矢印B方向に突出して支持板14
6a、146bが一体的に設けられるとともに、前記支
持板146a、146bにより蛇腹状の防塵部材148
の両端が支持されている。防塵部材148は移載方向に
沿って長尺に構成されており、開口部144a、144
bからの塵埃の進入を阻止する機能を有している。
【0043】スライドテーブル14に取り付け台150
が固着されるとともに、この取り付け台150には、カ
バー部材142の開口部144a、144bから上方に
突出する膨出部152が設けられている。防塵部材14
8は、この膨出部152が通過する際に矢印B方向に収
縮されるように構成されている。
【0044】図12は、本発明の第7の実施形態に係る
リニアガイド160の一部縦断面図である。
【0045】このリニアガイド160は、基台161上
に支持部162a、162bが移載方向に沿って固定さ
れるとともに、この支持部162a、162bに蛇腹状
の防塵部材164の端部が固定されている。
【0046】通常のシール状態では、防塵部材164の
自由端側がリニアガイド160の支持部162a、16
2bに固着されているカバー部材166の内壁166a
に摺接する。一方、スライドテーブル14が移動する際
には、このスライドテーブル14と一体的に移動する取
り付け台168の下面168aに防塵部材164の自由
端側が摺接し、前記防塵部材164が上下方向に弾性変
形可能に構成されている。
【0047】なお、第3乃至第7の実施形態では、それ
ぞれ蛇腹状の防塵部材96、118、128、148お
よび164を用いているが、これに代替して第1の実施
形態に示すスポンジゴム56等を含む防塵部材を使用す
ることができる。その際、例えば、図8に示す構造で
は、防塵部材96の下部が、通常のシール状態で外部に
露呈しており、この防塵部材96に代替してスポンジゴ
ム56等を用いる場合、このスポンジゴム56の下部に
ステンレス鋼製の板材を固着すれば、特にスパッタの飛
散による前記スポンジゴム56の損傷を有効に阻止する
ことができる。
【0048】また、第1乃至第7の実施形態では、移載
装置としてロッドレスシリンダ10、80、90、11
0、120および140とリニアガイド160とを用い
て説明したが、これに代替して、例えば、ボールねじ等
の種々のアクチュエータを構成する移載装置に適応する
ことが可能である。
【0049】
【発明の効果】本発明に係る移載装置では、アクチュエ
ータを構成する装置本体と、この装置本体に対し前記ア
クチュエータの作用下にワークの移載方向に進退可能な
可動体とに、防塵部材が一体的に配設されるとともに、
この防塵部材が前記移載方向と交差する方向に圧縮弾性
変形可能である。このため、防塵部材の変形状態によっ
て可動体のストローク長が影響されることがなく、装置
本体の全長を可及的に短尺化することができる。しか
も、防塵部材がカバー部材の屈曲する両端の内壁に前記
移載方向に沿ってそれぞれ固着され、且つ該カバー部材
の内壁と前記装置本体の側壁との間、および該カバー部
材の内壁と取り付け台の屈曲部の側壁との間で一体的に
挟持されるため、移載装置全体の防塵機能が有効に向上
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係るロッドレスシリ
ンダの分解斜視図である。
【図2】図1に示すロッドレスシリンダの一部切欠斜視
図である。
【図3】前記ロッドレスシリンダのスライドテーブルを
含む縦断面図である。
【図4】前記ロッドレスシリンダの長手方向に沿った縦
断面図である。
【図5】本発明の第2の実施形態に係るロッドレスシリ
ンダの分解斜視図である。
【図6】図5に示すロッドレスシリンダのスライドテー
ブルを含む縦断面図である。
【図7】前記ロッドレスシリンダを構成する防塵部材の
拡大縦断面図である。
【図8】本発明の第3の実施形態に係るロッドレスシリ
ンダのスライドテーブルを含む縦断面図である。
【図9】本発明の第4の実施形態に係るロッドレスシリ
ンダのスライドテーブルを含む縦断面図である。
【図10】本発明の第5の実施形態に係るロッドレスシ
リンダのスライドテーブルを含む縦断面図である。
【図11】本発明の第6の実施形態に係るロッドレスシ
リンダのスライドテーブルを含む縦断面図である。
【図12】本発明の第7の実施形態に係るリニアガイド
の一部縦断面図である。
【符号の説明】
10、80、90、110、120、140…ロッドレ
スリンダ 12…シリンダチューブ 14…スライドテー
ブル 18…ピストン 20…スリット 22…伝動部 24、98、114、132、168、150、168
…取り付け台 26、92、112、124、142、166…カバー
部材 28、82、96、118、128、130、148、
164…防塵部材 32、34…シール部材 50a、50b…屈
曲部 52a、52b、100…空間 54a、54b、94a、94b、116a、116b
…突起部 56…スポンジゴム 58a、58b…板
材 86…揺動片 88…摺動片 88a…シールリップ 89…スクレーパ 122、126…受け部 144a、144b
…開口部 146a、146b…支持板 152…膨出部 160…リニアガイド 162a、162b
…支持部
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−47308(JP,A) 特開 平3−239809(JP,A) 特開 平10−89480(JP,A) 特開 昭61−218808(JP,A) 特開 平8−121411(JP,A) 特開 平9−229015(JP,A) 実開 平6−47707(JP,U) 登録実用新案3059064(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F15B 15/14 330

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ワークの移載方向に長尺に設定されるとと
    もに、アクチュエータを構成する装置本体と、 前記アクチュエータに伝動部を介して連結され、前記ワ
    ークを保持して該アクチュエータの作用下に前記装置本
    体に対し前記移載方向に進退可能な可動体と、前記可動体に固着されて該可動体と一体的に進退動作
    し、前記移載方向に沿って延在する空間を有する一組の
    屈曲部が設けられた取り付け台と、 前記装置本体の上面に装着されることにより、前記可動
    体を覆うとともに屈曲する両端が前記取り付け台の空間
    に臨むように設けられたカバー部材と、 前記カバー部材の両端の内壁に前記移載方向に沿ってそ
    れぞれ固着され、該カバー部材の内壁と前記装置本体の
    側壁との間、および該カバー部材の内壁と前記取り付け
    台の側壁との間で一体的に挟持される防塵部材と、 を備え、 前記防塵部材は、前記 可動体が摺動することにより前記
    移載方向と交差する方向に圧縮弾性変形可能に設けられ
    ることを特徴とする移載装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の移載装置において、 前記防塵部材は、スポンジゴムで構成されることを特徴
    とする移載装置。
  3. 【請求項3】請求項記載の移載装置において、 前記スポンジゴムには、前記可動体に摺接する面側に摺
    動部材が一体的に設けられることを特徴とする移載装
    置。
  4. 【請求項4】請求項記載の移載装置において、 前記摺動部材は、ステンレス鋼で構成されることを特徴
    とする移載装置。
  5. 【請求項5】請求項1記載の移載装置において、 前記防塵部材は、複数の折曲部を有する板材を前記移載
    方向に沿って折り畳み可能な蛇腹形状に形成されること
    を特徴とする移載装置。
  6. 【請求項6】請求項記載の移載装置において、 前記防塵部材の蛇腹形状に対応するスクレーパを備え、
    前記スクレーパが前記可動体に装着されることを特徴と
    する移載装置。
  7. 【請求項7】請求項1乃至のいずれか1項に記載の移
    載装置において、 前記移載装置は、ロッドレスシリンダであり、 前記ロッドレスシリンダは、装置本体であるシリンダチ
    ューブと、 可動体であるスライドテーブルと、 アクチュエータを構成し、前記シリンダチューブ内に画
    成されたボア内を往復移動するピストンと、 前記シリンダチューブに移載方向である長手方向に延在
    して形成されたスリットを介して前記ピストンと前記ス
    ライドテーブルとを連結する伝動部と 備えることを特徴とする移載装置。
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JP4587103B2 (ja) * 2005-04-19 2010-11-24 Smc株式会社 シリンダ装置のガイド機構
JP5574152B2 (ja) * 2010-01-05 2014-08-20 Smc株式会社 リニアアクチュエータ
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CN112916814B (zh) * 2021-03-31 2024-01-23 佛山市戴德包袋有限公司 一种移动式独立空间点除尘罩
CN116313958B (zh) * 2023-03-03 2023-12-05 珠海恒格微电子装备有限公司 一种用于晶圆真空去胶的半自动送料机构

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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