JP3896558B2

JP3896558B2 - リニアアクチュエータ

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Publication number: JP3896558B2
Application number: JP28657297A
Authority: JP
Inventors: 正行細野; 俊夫佐藤; 隆之原田; 成央上野
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1997-10-20
Filing date: 1997-10-20
Publication date: 2007-03-22
Anticipated expiration: 2017-10-20
Also published as: JPH11125208A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿って該シリンダ本体に重畳されているスライドテーブルを往復移動させるリニアアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ワーク等の搬送手段としてリニアアクチュエータが用いられている。このリニアアクチュエータは、シリンダ本体に沿ってそれに重畳されているスライドテーブルを直線状に往復運動させることにより、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送することができる。
【０００３】
従来技術に係るリニアアクチュエータとしては、クリーンルームに設置された流体圧シリンダについて、発塵や流体漏れがあった場合にこれらを速やかに回収する技術が既に開示されるに至っている。
【０００４】
第１の従来技術に係る流体圧シリンダを、図９および図１０に示す。すなわち、流体圧シリンダ１は、シリンダ本体２を有し、該シリンダ本体２の上面部には、スライドテーブル３が載置されている。そして、このスライドテーブル３は、シリンダ本体２の上面部に設けられた図示しないガイド機構に沿って図において左右方向に進退自在である。
【０００５】
シリンダ本体２の内部には、一組の貫通孔４ａ、４ｂが軸線方向に沿って略平行に画成されており、この貫通孔４ａ、４ｂには、ピストン５、５が摺動自在に設けられる。ピストン５、５には、ロッド６、６が結合され、このロッド６、６は、貫通孔４ａ、４ｂの一端に装着される軸受部材７、７によって支持される。そして、この軸受部材７、７には、シールリングが嵌着されている。貫通孔４ａ、４ｂの他端はエンドキャップ９、９によって気密に閉塞され、これらの間にそれぞれ第１シリンダ室８ａおよび第２シリンダ室８ｂが形成される。ここで、第１シリンダ室８ａおよび第２シリンダ室８ｂは、連通孔１０ａ、１０ｂを介して連通している。
【０００６】
シリンダ本体２の一側面には、一組の流体出入ポート１１ａ、１１ｂが形成され、この流体出入ポート１１ａ、１１ｂは、第１シリンダ室８ａおよび第２シリンダ室８ｂに連通している。そして、これらの流体出入ポート１１ａ、１１ｂから第１シリンダ室８ａおよび第２シリンダ室８ｂに対して圧力流体を選択的に導入することにより、ピストン５、５が軸線方向に沿って前進または後退する。
【０００７】
シリンダ本体２の一端部には、リリーフプレート１２が固定され、このリリーフプレート１２に画成された一対のロッド挿通孔１３、１３には、前記軸受部材７、７を貫通してロッド６、６が挿入される。また、リリーフプレート１２の両側面には、一組のリリーフポート１４、１４が設けられ、これらのリリーフポート１４、１４は、それぞれロッド挿通孔１３、１３に連通している。そして、これらのリリーフポート１４、１４にそれぞれ図示しない吸引装置を接続し、負圧発生源の付勢作用下に該吸引装置によってこれらのリリーフポート１４、１４から個別にロッド挿通孔１３、１３内の空気を吸引することにより、ロッド６、６と軸受部材７、７との間の摺動によって発生した塵が吸引除去される。
【０００８】
ロッド６、６の一端は、フローティングブッシュ１５、１５を介してエンドカバー１６と連結される。このとき、フローティングブッシュ１５、１５は、エンドカバー１６に設けられた凹部１７、１７に摺動可能に係着されている。そして、エンドカバー１６には、前記スライドテーブル３が結合され、このスライドテーブル３は、前記エンドカバー１６およびロッド６、６を介してピストン５、５に連結され、該ピストン５、５の変位に伴って一体的に変位する。
【０００９】
一方、第２の従来技術に係る流体圧シリンダを、図１１に示す。なお、図１１において、前記図９および図１０の構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。図１１に示すように、流体圧シリンダ２０は、負圧発生源（図示せず）に連通する吸引装置との接続の煩雑さを解消すべく、リリーフポート２２をリリーフプレート２１の一側面に１つのみ形成している。そして、このリリーフポート２２は、２つのロッド挿通孔２３ａ、２３ｂに連通している。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記第１および第２の従来技術においては、フローティングブッシュ１５、１５はエンドカバー１６に対して摺動可能であるため、その摺接部分から塵が発生するが、前記フローティングブッシュ１５、１５とエンドカバー１６との摺接部分は外部に露呈しているため、前記塵が外部に排出されるおそれがある。具体的には、スライドテーブル３と一体的なエンドカバー１６と、このエンドカバー１６に嵌合するフローティングブッシュ１５、１５とが凹部１７、１７部位で摺接し、発塵するに至る。
【００１１】
また、エンドキャップ９、９も外部に露呈しており、このエンドキャップ９、９からの発塵が懸念される。特に、当該流体圧シリンダ１、２０がクリーンルームで利用されるとき、この懸念が極めて大となる。
【００１２】
さらに、第２の従来技術に係る流体圧シリンダ２０においては、１つのリリーフポート２２から２つのロッド挿通孔２３ａ、２３ｂ内の塵を吸引するようにしているが、この場合、一方のロッド挿通孔２３ａに対して他方のロッド挿通孔２３ｂの圧力が低下せず、発生した塵の吸引が十分に行われないという問題がある。
【００１３】
また、リリーフプレート１２または２１をシリンダ本体２に固定する場合には、該リリーフプレート１２または２１の位置ずれによってロッド挿通孔１３、１３または２３ａ、２３ｂがロッド６、６と圧接して発塵することを防ぐために、ピン等の位置決め手段を用いる必要があり、位置決めが煩雑となるとともに構成も複雑となるという不都合がある。
【００１４】
本発明は、かかる不都合を解決するためになされたものであり、発塵の防止を確実に行うことができ、しかも、リリーフプレートのシリンダ本体への装着を容易に行うことが可能な、さらには、１つのリリーフポートからロッド挿通孔内の塵を確実に吸引除去することが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するために、本発明は、
流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであって、
内部にシリンダ室が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
前記シリンダ機構を構成するピストンロッドと、前記スライドテーブルのロッド側端部に摺動可能に係着されて前記ピストンロッドとスライドテーブルとを連結するフローティングブッシュと、
前記スライドテーブルのロッド側端部と前記フローティングブッシュの一端部との間に設けられる中空状の第１カバー部材と、
前記スライドテーブルに装着され、前記フローティングブッシュの他端部側を覆う第２カバー部材と、
を備え、
前記スライドテーブルのロッド側端部と前記フローティングブッシュとの摺接部位が、前記第１及び第２カバー部材によって該スライドテーブルの変位方向となる両端部側でそれぞれ閉塞されて外部から遮蔽されることを特徴とする。
【００１６】
本発明によれば、ピストンロッドとスライドテーブルとをフローティングブッシュで連結し、前記スライドテーブルのロッド側端部と接続される前記フローティングブッシュの両端部を第１カバー部材及び第２カバー部材によって閉塞している。そのため、スライドテーブルとフローティングブッシュとの摺接部位を外部から好適に遮蔽し、前記摺接部分から発生した塵埃等が外部に排出されることを確実に防止することができる。
【００１７】
また、ピストンロッドを支持するブッシュには、絞り手段が設けられ、この絞り手段を介して貫通孔の他端部およびブッシュの内部の真空引きが行われるため、塵埃等が確実に吸引除去され、外部に排出されることが防止される。
【００１８】
さらに、貫通孔の一端部は、第３カバー部材によって閉塞されているため、塵埃等の排出が防止される。
【００１９】
このように、本発明によれば、清浄な環境で好適に使用することが可能なリニアアクチュエータが実現される。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００２１】
図１において参照数字３０は、本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示し、このリニアアクチュエータ３０は、シリンダ本体３２と、前記シリンダ本体３２に重量され、その長手方向に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル３４と、前記シリンダ本体３２とスライドテーブル３４との間に介装され、一組のピン部材（保持手段）３６ａ、３６ｂを介して該シリンダ本体３２に保持されるガイド機構３８（図２参照）とを有する。
【００２２】
図２並びに図３に示されるように、前記シリンダ本体３２の上面部には、一端部が湾曲して閉塞される横長の凹部４０が形成され、前記凹部４０にはピン部材３６ａ、３６ｂを挿入するための一組のピン挿入用孔部４２ａ、４２ｂが所定間隔離間して形成される。また、前記ピン挿入用孔部４２ａ、４２ｂに近接する部位には、ガイド機構３８をシリンダ本体３２に取り付けるための一組の取付用孔部４４ａ、４４ｂが貫通して形成される。
【００２３】
前記シリンダ本体３２の一方の側面部には、長手方向に沿って二条のセンサ取付用長溝４６ａ、４６ｂが形成され、他方の側面部には、後述するストッパブロック１４０が当接してスライドテーブル３４の変位量を規制する変位量調整部材（変位量調整手段）５０がねじ締結される。前記センサ取付用長溝４６ａ、４６ｂ内の所定部位には、図示しないセンサが係着される。
【００２４】
前記変位量調整部材５０は、図４に示されるように、ブロック体５２と、前記ブロック体５２の孔部に螺入され、ナット５４を介して前記ブロック体５２に固定されるねじ部材５６と、前記ねじ部材５６の一端部に付設されるダンパ部材５８とから構成され、前記ブロック体５２に対するねじ部材５６のねじ込み量を増減させることにより、ストッパブロック１４０が前記ダンパ部材５８に当接するまでの距離が変更され、この結果、スライドテーブル３４の変位量を調整することができる。
【００２５】
さらに、前記シリンダ本体３２の内部には、軸線方向に沿って略平行に一組の貫通孔６０ａ、６０ｂが形成され（図５参照）、前記貫通孔６０ａ、６０ｂ内には、略同一形状に形成され、外周面にシールリング６２ａ、６２ｂおよび磁性体６４ａ、６４ｂ等が装着されたピストン６６ａ、６６ｂと、前記ピストン６６ａ、６６ｂに連結されたピストンロッド６８ａ、６８ｂ等を含むシリンダ機構がそれぞれ設けられる（図６参照）。
【００２６】
各貫通孔６０ａ、６０ｂの一端部は、止め輪７０を介して装着されるエンドキャップ７２ａ、７２ｂによって気密に閉塞される。なお、エンドキャップ７２ａ、７２ｂの外周面には、環状溝を介してＯリング７４ａ、７４ｂが嵌着される。そして、エンドキャップ７２ａ、７２ｂのＯリング７４ａ、７４ｂに対する内方向側の外周面は、貫通孔６０ａ、６０ｂとの間に所定のクリアランスを有するように、該貫通孔６０ａ、６０ｂの径より小径に形成される。
【００２７】
さらに、エンドキャップ７２ａ、７２ｂの外方向側の端部には、孔部７６ａ、７６ｂが設けられており、この孔部７６ａ、７６ｂに、該孔部７６ａ、７６ｂおよび貫通孔６０ａ、６０ｂの一端部からなる空間の形状に対応して形成されたエンドカバー７８ａ、７８ｂを装着することによって、エンドキャップ７２ａ、７２ｂは外部から遮蔽される。ここで、前記孔部７６ａ、７６ｂは、開口部側が縮径するように形成されているため、この孔部７６ａ、７６ｂに装着されるエンドカバー７８ａ、７８ｂの抜け落ちが防止される。
【００２８】
貫通孔６０ａ、６０ｂの他端部は、止め輪７０を介して保持されるリング体８０ａ、８０ｂ、ロッドパッキン８２ａ、８２ｂおよびカラー８４ａ、８４ｂによって気密に閉塞される。なお、カラー８４ａ、８４ｂの外周面には、環状溝を介してＯリング８６ａ、８６ｂが嵌着される。
【００２９】
この場合、一組の貫通孔６０ａ、６０ｂを夫々閉塞するエンドキャップ７２ａ、７２ｂとカラー８４ａ、８４ｂとによって第１シリンダ室８８ａおよび第２シリンダ室８８ｂが夫々並設され、前記第１シリンダ室８８ａおよび第２シリンダ室８８ｂは、連通路９０ａ、９０ｂを介して夫々連通するように形成される。また、シリンダ本体３２の一側面には、一組の流体出入ポート９２ａ、９２ｂが形成され、前記流体出入ポート９２ａ、９２ｂは、連通路９０ａ、９０ｂを介して第１シリンダ室８８ａおよび第２シリンダ室８８ｂに夫々連通する。
【００３０】
シリンダ本体３２の他端部には、ブッシュ（軸受部材）９４ａ、９４ｂを介してリリーフプレート（連通部材）９６が装着され、このブッシュ９４ａ、９４ｂおよびリリーフプレート９６にはピストンロッド６８ａ、６８ｂが挿入されて、支持される。また、ブッシュ９４ａ、９４ｂの外周面には、絞り手段として機能する複数（例えば、２つ）の小孔９８ａ、９８ｂが形成される。
【００３１】
リリーフプレート９６には、貫通孔６０ａ、６０ｂに対応した位置にロッド挿通孔１００ａ、１００ｂが形成され、このロッド挿通孔１００ａ、１００ｂに連通して、ブッシュ９４ａ、９４ｂの小径部分の外形形状に対応したブッシュ取着孔１０２ａ、１０２ｂが設けられる。また、リリーフプレート９６の一側面には、リリーフポート（連通孔）１０４が形成され、このリリーフポート１０４は、各ロッド挿通孔１００ａ、１００ｂ（ブッシュ取着孔１０２ａ、１０２ｂ）に連通している。そして、リリーフポート１０４には、図示しない吸引装置が接続される。
【００３２】
リリーフプレート９６は、ブッシュ取着孔１０２ａ、１０２ｂにブッシュ９４ａ、９４ｂが挿入されるようにシリンダ本体３２の他端部に取り付けられ、ねじ１０６によって固定される（図８参照）。このとき、ブッシュ９４ａ、９４ｂは、リリーフプレート９６とシリンダ本体３２（止め輪７０）との間に狭持される（図６参照）。また、ブッシュ９４ａ、９４ｂの外周面とブッシュ取着孔１０２ａ、１０２ｂとの間には空所１０８ａ、１０８ｂが形成され、この空所１０８ａ、１０８ｂおよび小孔９８ａ、９８ｂを介してリリーフポート１０４とロッド挿通孔１００ａ、１００ｂが連通される。
【００３３】
前記ピストンロッド６８ａ、６８ｂの他端部は、フローティングブッシュ（連結手段）１１０ａ、１１０ｂを介してエンドプレート１１２に連結される。このフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂは、内部を貫通するねじ穴を有する略円筒状に形成され、その外周面には、環状の突起部１１４ａ、１１４ｂが一体的に設けられる（図８参照）。
【００３４】
エンドプレート１１２は、その上部側にピストンロッド６８ａ、６８ｂの軸線に沿って内方向に延在する突起部１１６を有する断面略Ｌ字状に形成され、その下部側には、フローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂの外径に対応した径の孔部１１８ａ、１１８ｂが貫通して形成される。この孔部１１８ａ、１１８ｂにはフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂが挿入され、このとき、このフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂは、突起部１１４ａ、１１４ｂによってエンドプレート１１２に係止される（図６参照）。また、エンドプレート１１２の内面部分における孔部１１８ａ、１１８ｂの外周部分には、後述する第１カバー部材１２８ａ、１２８ｂを取り付けるための環状の溝部１２０ａ、１２０ｂが形成される。
【００３５】
孔部１１８ａ、１１８ｂの外面側には、凹部１２２ａ、１２２ｂが一体的に形成され、この凹部１２２ａ、１２２ｂには、リング部材１２４ａ、１２４ｂが挿入される。そして、ねじ１２６ａ、１２６ｂによってリング部材１２４ａ、１２４ｂとフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂを結合することにより、前記フローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂはエンドプレート１１２に保持される。ここで、フローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂは、エンドプレート１１２に対して摺動可能であるため、リング部材１２４ａ、１２４ｂの外周面１２４１ａ、１２４１ｂと凹部１２２ａ、１２２ｂの内周面１２２１ａ、１２２１ｂ、前記リング部材１２４ａ、１２４ｂの内側面１２４２ａ、１２４２ｂと前記凹部１２２ａ、１２２ｂの底面１２２２ａ、１２２２ｂ、前記フローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂの外周面１１０１ａ、１１０１ｂと孔部１１８ａ、１１８ｂの内周面および突起部１１４ａ、１１４ｂの外側面１１４１ａ、１１４１ｂとエンドプレート１１２の内側面１１２ａ、１１２ｂとは摺接している（図７参照）。
【００３６】
さらに、ピストンロッド６８ａ、６８ｂの先端には、前記ねじ１２６ａ、１２６ｂが螺入してフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂが結合され、このフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂを介してエンドプレート１１２が連結される。
【００３７】
フローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂには、第１カバー部材１２８ａ、１２８ｂが装着される。この第１カバー部材１２８ａ、１２８ｂは、樹脂製材料等から中空の略カップ状に形成され、その一端部が前記溝部１２０ａ、１２０ｂに取り付けられ、他端部がフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂに画成された環状溝１２９ａ、１２９ｂに取り付けられる（図６並びに図８参照）。また、エンドプレート１１２の凹部１２２ａ、１２２ｂには、同じく樹脂製材料等で形成された円盤状の第２カバー部材１３０ａ、１３０ｂが装着され、この第２カバー部材１３０ａ、１３０ｂによって前記凹部１２２ａ、１２２ｂが閉塞される。そして、これら第１カバー部材１２８ａ、１２８ｂおよび第２カバー部材１３０ａ、１３０ｂによって、フローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂ、リング部材１２４ａ、１２４ｂおよびエンドプレート１１２間の摺接部分（リング部材１２４ａ、１２４ｂの外周面１２４１ａ、１２４１ｂと凹部１２２ａ、１２２ｂの内周面１２２１ａ、１２２１ｂ、前記リング部材１２４ａ、１２４ｂの内側面１２４２ａ、１２４２ｂと前記凹部１２２ａ、１２２ｂの底面１２２２ａ、１２２２ｂ、前記フローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂの外周面１１０１ａ、１１０１ｂと孔部１１８ａ、１１８ｂの内周面および突起部１１４ａ、１１４ｂの外側面１１４１ａ、１１４１ｂとエンドプレート１１２の内側面１１２ａ、１１２ｂとの摺接部分）が外部から遮蔽される（図７参照）。
【００３８】
エンドプレート１１２は、その突起部１１６を介してテーブル本体１３１に結合され、スライドテーブル３４を構成する（図２参照）。ここで、エンドプレート１１２とテーブル本体１３１とは、一組のボルト１３２ａ、１３２ｂをねじ穴１１７ａ、１１７ｂおよび１３７ａ、１３７ｂに螺入することによってねじ締結され、全体として断面略Ｌ字状を呈する（図２および図８参照）。なお、前記エンドプレート１１２には図示しない緩衝部材が付設され、前記緩衝部材は、スライドテーブル３４の一方の変位領域の終端位置においてエンドプレート１１２がシリンダ本体３２の端面に当接する際に発生する衝撃を緩和する機能を営む。前記テーブル本体１３１には、４個のワーク保持用孔部１３４ａ〜１３４ｄが形成される。
【００３９】
図２に示されるように、テーブル本体１３１には、その両端部に長手方向に沿って一体的に膨出する一組のガイド部１３６ａ、１３６ｂが形成され、前記ガイド部１３６ａ、１３６ｂの対向する内壁面には長手方向に沿ってボール転動溝１３８ａ、１３８ｂが形成される。テーブル本体１３１の一側面部にはストッパブロック１４０がねじ止めされ、前記ストッパブロック１４０はスライドテーブル３４と一体的に変位し、図示しない緩衝部材がストッパブロック１４０に当接することにより、スライドテーブル３４の変位量が規制される。
【００４０】
スライドテーブル３４を案内するガイド機構３８は、図３に示されるように、軸線と略直交する方向に幅広な扁平状のガイドブロック１４２と、前記ガイドブロック１４２の長手方向に沿った両端部にそれぞれ装着される一組のボールリターン部材１４４ａ、１４４ｂ、カバー部材１４６ａ、１４６ｂおよびスクレーパ１４８ａ、１４８ｂと、前記ガイドブロック１４２をシリンダ本体３２に位置決め保持する前記一組のピン部材３６ａ、３６ｂとを有する。前記カバー部材１４６ａ、１４６ｂには、ボールリターン部材１４４ａ、１４４ｂとの共働作用下に転動するボールベアリング１５０ａ、１５０ｂを循環させる半円状のボールリターン溝１５２ａ、１５２ｂが形成されている。
【００４１】
前記ガイドブロック１４２の両側面には、長手方向に沿ってボール転動溝１５４ａ、１５４ｂが形成され、前記ボール転動溝１５４ａ、１５４ｂに近接する部位には、長手方向に沿って貫通する一組のボール循環穴１５６ａ、１５６ｂが所定間隔離間して形成される。前記ガイド部１３６ａ、１３６ｂのボール転動溝１３８ａ、１３８ｂ、ガイドブロック１４２のボール転動溝１５４ａ、１５４ｂ、ボール循環穴１５６ａ、１５６ｂおよびカバー部材１４６ａ、１４６ｂのボールリターン溝１５２ａ、１５２ｂによって連続するボール循環通路が形成され、複数のボールベアリング１５０ａ、１５０ｂが前記ボール循環通路に沿って転動することにより、スライドテーブル３４を円滑に往復動作させることができる。
【００４２】
また、前記ガイドブロック１４２の長手方向に沿った両端部には、角張った膨出部１５８ａ、１５８ｂが一体的に形成され、前記膨出部１５８ａ、１５８ｂを形成することにより、所定間隔離間する一組の取付用孔部１６０ａ、１６０ｂのピッチＰを大きくすることができる。
【００４３】
さらに、ガイドブロック１４２の底面部には、一組のピン部材３６ａ、３６ｂを挿入するためのピン挿入用孔部１６２ａ、１６２ｂが所定間隔離間して形成され、前記ピン挿入用孔部１６２ａ、１６２ｂに近接する部位には、ねじ溝が刻設された一組の取付用孔部１６０ａ、１６０ｂが貫通して形成される。前記取付用孔部１６０ａ、１６０ｂのねじ溝に螺合するボルト部材１６４を介してガイドブロック１４２を含むガイド機構３８がシリンダ本体３２の上面部に取り付けられる。
【００４４】
本実施の形態に係るリニアアクチュエータ３０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００４５】
図示しない流体圧供給源から圧力流体、好ましくは圧縮空気を一方の流体出入ポート９２ｂに導入する。この場合、他方の流体出入ポート９２ａは、図示しない切換弁の操作下に大気開放状態にしておく。
【００４６】
前記圧力流体は、前記流体出入ポート９２ｂに連通するヘッド側の第１シリンダ室８８ａと、連通路９０ｂを介して同じくヘッド側の第２シリンダ室８８ｂに供給され、ピストン６６ａ、６６ｂを矢印Ｘ１方向に押圧する（図６参照）。なお、前記ピストン６６ａ、６６ｂの押圧作用下にピストンロッド６８ａ、６８ｂに係合するフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂおよびエンドプレート１１２が矢印Ｘ１方向に変位し、ボールベアリング１５０ａ、１５０ｂの転動作用下に前記エンドプレート１１２と一体的にスライドテーブル３４が変位する。
【００４７】
前記スライドテーブル３４が矢印Ｘ１方向に向かって変位する過程において、該スライドテーブル３４に伴って変位するストッパブロック１４０がねじ部材５６に装着されたダンパ部材５８に当接することにより変位終端位置に至る。この場合、ナット５４を緩めてブロック体５２に対するねじ部材５６のねじ込み量を調整することにより、スライドテーブル３４の変位量を増減変更することが可能である。
【００４８】
前記とは逆方向にスライドテーブル３４を変位させる場合には、流体出入ポート９２ａに圧力流体を供給する。前記供給された圧力流体はロッド側の第１シリンダ室８８ａ、連通路９０ａを介して同じくロッド側の第２シリンダ室８８ｂに導入され、ピストン６６ａ、６６ｂを矢印Ｘ２方向に向かって押圧する。前記ピストン６６ａ、６６ｂの押圧作用下に、ピストンロッド６８ａ、６８ｂに係合するフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂを介してエンドプレート１１２およびスライドテーブル３４が矢印Ｘ２方向に一体的に変位し、前記エンドプレート１１２に設けられた図示しない緩衝部材がスライドテーブル３４の端面に当接することにより、図１に示す初期位置に復帰する。
【００４９】
この場合、本実施の形態においては、貫通孔６０ａ、６０ｂの一端部が、エンドカバー７８ａ、７８ｂによって閉塞されているため、エンドキャップ７２ａ、７２ｂ等から発生した塵の外部への排出を防止することができる。塵は、通常、ピストン６６ａ、６６ｂの摺動変位によってＯリング７４ａ、７４ｂから微量漏洩して外部に至ろうとするが、前記のように、エンドカバー７８ａ、７８ｂによってこの塵の外部への排出が阻止される。
【００５０】
また、ロッド挿通孔１００ａ、１００ｂは、ブッシュ９４ａ、９４ｂの小孔９８ａ、９８ｂを介してリリーフポート１０４に連通しているため、負圧作用下に該リリーフポート１０４からの吸引に伴う圧力の低下が、それぞれのロッド挿通孔１００ａ、１００ｂに対してほぼ均一となる。従って、例えば、ブッシュ９４ａ、９４ｂとピストンロッド６８ａ、６８ｂの摺接面から発生した塵が、１つのリリーフポート１０４を介して確実に吸引され、外部への排出が防止される。
【００５１】
さらに、エンドプレート１１２とフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂとの摺接部分は、第１カバー部材１２８ａ、１２８ｂおよび第２カバー部材１３０ａ、１３０ｂによって外部から遮蔽されているため、ピストン６６ａ、６６ｂの変位動作等に伴って前記摺接部分から発生した塵が外部へ排出されることを防止することができる。
【００５２】
さらにまた、シリンダ本体３２と該シリンダ本体３２に装着されたリリーフプレート９６との間にはブッシュ９４ａ、９４ｂが介在しているため、前記リリーフプレート９６のシリンダ本体３２に対する位置決めを容易に行うことができる。
【００５３】
【発明の効果】
本発明に係るリニアアクチュエータによれば、スライドテーブルと第１及び第２カバー部材を設けることにより、前記スライドテーブルとフローティングブッシュとの摺接部位を確実に閉塞し、前記摺接部位で発生する塵埃等が外部に排出されることを確実に阻止することができる。しかも、１つのリリーフポートによってロッド挿通孔内の塵を吸引除去することが可能である。また、リリーフプレートをシリンダ本体へ装着する際に容易に位置決めすることができる。従って、特に、クリーンルームの如く清浄な空気の雰囲気内で行う動作に好適に対応できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図２】図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】図１に示すリニアアクチュエータを構成するガイド機構の分解斜視図である。
【図４】図１に示すリニアアクチュエータの平面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った横断面図である。
【図７】フローティングブッシュとエンドプレートとの接続を示す部分断面図である。
【図８】シリンダ本体に対するリリーフプレートとエンドプレートの結合状態を示す分解斜視図である。
【図９】第１の従来技術に係る流体圧シリンダの側面図である。
【図１０】図９のＸ−Ｘ線に沿った横断面図である。
【図１１】第２の従来技術に係る流体圧シリンダの横断面図である。
【符号の説明】
３０…リニアアクチュエータ３２…シリンダ本体
３４…スライドテーブル６０ａ、６０ｂ…貫通孔
６６ａ、６６ｂ…ピストン６８ａ、６８ｂ…ピストンロッド
７２ａ、７２ｂ…エンドキャップ７８ａ、７８ｂ…エンドカバー
８８ａ、８８ｂ…シリンダ室９０ａ、９０ｂ…連通路
９２ａ、９２ｂ…流体出入ポート９４ａ、９４ｂ…ブッシュ
９６…リリーフプレート９８ａ、９８ｂ…小孔
１０４…リリーフポート
１１０ａ、１１０ｂ…フローティングブッシュ
１１２…エンドプレート１２４ａ、１２４ｂ…リング部材
１２８ａ、１２８ｂ、１３０ａ、１３０ｂ…カバー部材

Claims

流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであって、
内部にシリンダ室が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
前記シリンダ機構を構成するピストンロッドと、前記スライドテーブルのロッド側端部に摺動可能に係着されて前記ピストンロッドとスライドテーブルとを連結するフローティングブッシュと、
前記スライドテーブルのロッド側端部と前記フローティングブッシュの一端部との間に設けられる中空状の第１カバー部材と、
前記スライドテーブルに装着され、前記フローティングブッシュの他端部側を覆う第２カバー部材と、
を備え、
前記スライドテーブルのロッド側端部と前記フローティングブッシュとの摺接部位が、前記第１及び第２カバー部材によって該スライドテーブルの変位方向となる両端部側でそれぞれ閉塞されて外部から遮蔽されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記ピストンロッドが挿通するロッド挿通孔と、このロッド挿通孔に連通する連通孔とを備えた、前記シリンダ本体のロッド側端部に設けられる連通部材と、
前記ロッド挿通孔に連通するブッシュ取着孔に設けられ、前記ピストンロッドを進退自在に支持するブッシュとを有し、
前記ブッシュには、一端部が前記ピストンロッドに臨み、且つ貫通する絞り手段が設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記絞り手段は小孔からなり、前記小孔を介して真空引きされることを特徴とするリニアアクチュエータ。
請求項１〜３のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記シリンダ室のヘッド側端部が、第３カバー部材によって閉塞されることを特徴とするリニアアクチュエータ。