JPH11125208A - リニアアクチュエータ - Google Patents
リニアアクチュエータInfo
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- JPH11125208A JPH11125208A JP28657297A JP28657297A JPH11125208A JP H11125208 A JPH11125208 A JP H11125208A JP 28657297 A JP28657297 A JP 28657297A JP 28657297 A JP28657297 A JP 28657297A JP H11125208 A JPH11125208 A JP H11125208A
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- Japan
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- linear actuator
- slide table
- rod
- cylinder
- cylinder body
- Prior art date
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Abstract
チュエータを提供する。 【解決手段】リニアアクチュエータ30は、シリンダ本
体32と、前記シリンダ本体32に沿って往復動作する
スライドテーブル34を有し、前記シリンダ本体32に
形成された貫通孔60a、60b内には、シリンダ機構
(ピストン66a、66b、ピストンロッド68a、6
8b等)が設けられ、前記シリンダ機構と前記スライド
テーブル34(エンドプレート112)はフローティン
グブッシュ110a、110bを介して連結される。こ
のとき、フローティングブッシュ110a、110bは
エンドプレート112に対して摺動可能であり、その摺
接部分は、第1カバー部材128a、128bおよび第
2カバー部材130a、130bによって外部から遮蔽
される。従って、リニアアクチュエータ30から外部へ
の塵の排出が防止される。
Description
ら圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線
方向に沿って該シリンダ本体に重畳されているスライド
テーブルを往復移動させるリニアアクチュエータに関す
る。
ニアアクチュエータが用いられている。このリニアアク
チュエータは、シリンダ本体に沿ってそれに重畳されて
いるスライドテーブルを直線状に往復運動させることに
より、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送
することができる。
ては、クリーンルームに設置された流体圧シリンダにつ
いて、発塵や流体漏れがあった場合にこれらを速やかに
回収する技術が既に開示されるに至っている。
図9および図10に示す。すなわち、流体圧シリンダ1
は、シリンダ本体2を有し、該シリンダ本体2の上面部
には、スライドテーブル3が載置されている。そして、
このスライドテーブル3は、シリンダ本体2の上面部に
設けられた図示しないガイド機構に沿って図において左
右方向に進退自在である。
4a、4bが軸線方向に沿って略平行に画成されてお
り、この貫通孔4a、4bには、ピストン5、5が摺動
自在に設けられる。ピストン5、5には、ロッド6、6
が結合され、このロッド6、6は、貫通孔4a、4bの
一端に装着される軸受部材7、7によって支持される。
そして、この軸受部材7、7には、シールリングが嵌着
されている。貫通孔4a、4bの他端はエンドキャップ
9、9によって気密に閉塞され、これらの間にそれぞれ
第1シリンダ室8aおよび第2シリンダ室8bが形成さ
れる。ここで、第1シリンダ室8aおよび第2シリンダ
室8bは、連通孔10a、10bを介して連通してい
る。
出入ポート11a、11bが形成され、この流体出入ポ
ート11a、11bは、第1シリンダ室8aおよび第2
シリンダ室8bに連通している。そして、これらの流体
出入ポート11a、11bから第1シリンダ室8aおよ
び第2シリンダ室8bに対して圧力流体を選択的に導入
することにより、ピストン5、5が軸線方向に沿って前
進または後退する。
レート12が固定され、このリリーフプレート12に画
成された一対のロッド挿通孔13、13には、前記軸受
部材7、7を貫通してロッド6、6が挿入される。ま
た、リリーフプレート12の両側面には、一組のリリー
フポート14、14が設けられ、これらのリリーフポー
ト14、14は、それぞれロッド挿通孔13、13に連
通している。そして、これらのリリーフポート14、1
4にそれぞれ図示しない吸引装置を接続し、負圧発生源
の付勢作用下に該吸引装置によってこれらのリリーフポ
ート14、14から個別にロッド挿通孔13、13内の
空気を吸引することにより、ロッド6、6と軸受部材
7、7との間の摺動によって発生した塵が吸引除去され
る。
ッシュ15、15を介してエンドカバー16と連結され
る。このとき、フローティングブッシュ15、15は、
エンドカバー16に設けられた凹部17、17に摺動可
能に係着されている。そして、エンドカバー16には、
前記スライドテーブル3が結合され、このスライドテー
ブル3は、前記エンドカバー16およびロッド6、6を
介してピストン5、5に連結され、該ピストン5、5の
変位に伴って一体的に変位する。
ダを、図11に示す。なお、図11において、前記図9
および図10の構成要素と同一の構成要素には同一の参
照符号を付してその詳細な説明を省略する。図11に示
すように、流体圧シリンダ20は、負圧発生源(図示せ
ず)に連通する吸引装置との接続の煩雑さを解消すべ
く、リリーフポート22をリリーフプレート21の一側
面に1つのみ形成している。そして、このリリーフポー
ト22は、2つのロッド挿通孔23a、23bに連通し
ている。
よび第2の従来技術においては、フローティングブッシ
ュ15、15はエンドカバー16に対して摺動可能であ
るため、その摺接部分から塵が発生するが、前記フロー
ティングブッシュ15、15とエンドカバー16との摺
接部分は外部に露呈しているため、前記塵が外部に排出
されるおそれがある。具体的には、スライドテーブル3
と一体的なエンドカバー16と、このエンドカバー16
に嵌合するフローティングブッシュ15、15とが凹部
17、17部位で摺接し、発塵するに至る。
しており、このエンドキャップ9、9からの発塵が懸念
される。特に、当該流体圧シリンダ1、20がクリーン
ルームで利用されるとき、この懸念が極めて大となる。
ンダ20においては、1つのリリーフポート22から2
つのロッド挿通孔23a、23b内の塵を吸引するよう
にしているが、この場合、一方のロッド挿通孔23aに
対して他方のロッド挿通孔23bの圧力が低下せず、発
生した塵の吸引が十分に行われないという問題がある。
シリンダ本体2に固定する場合には、該リリーフプレー
ト12または21の位置ずれによってロッド挿通孔1
3、13または23a、23bがロッド6、6と圧接し
て発塵することを防ぐために、ピン等の位置決め手段を
用いる必要があり、位置決めが煩雑となるとともに構成
も複雑となるという不都合がある。
なされたものであり、発塵の防止を確実に行うことがで
き、しかも、リリーフプレートのシリンダ本体への装着
を容易に行うことが可能な、さらには、1つのリリーフ
ポートからロッド挿通孔内の塵を確実に吸引除去するこ
とが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的
とする。
めに、本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入す
ることにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライ
ドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであ
って、内部にシリンダ室が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスラ
イドテーブルと、前記シリンダ室に沿って摺動自在に配
設されるピストンの変位作用下に前記スライドテーブル
を往復動作させるシリンダ機構と、前記シリンダ機構を
構成するピストンロッドに固定され、前記スライドテー
ブルのロッド側端部に摺動可能に係着されることによっ
て、前記ピストンロッドとスライドテーブルとを連結す
る連結手段とを有し、前記連結手段と前記スライドテー
ブルとの摺接部分はカバー部材によって外部から遮蔽さ
れることを特徴とする。
ドテーブルとを連結させる連結手段と前記スライドテー
ブルとの連結部分(摺接部分)はカバー部材によって外
部から遮蔽されているため、前記連結部分から発生した
塵埃等が外部に排出されることを確実に防止することが
できる。
には、絞り手段が設けられ、この絞り手段を介して貫通
孔の他端部およびブッシュの内部の真空引きが行われる
ため、塵埃等が確実に吸引除去され、外部に排出される
ことが防止される。
材によって閉塞されているため、塵埃等の排出が防止さ
れる。
で好適に使用することが可能なリニアアクチュエータが
実現される。
タについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照
しながら以下詳細に説明する。
施の形態に係るリニアアクチュエータを示し、このリニ
アアクチュエータ30は、シリンダ本体32と、前記シ
リンダ本体32に重量され、その長手方向に沿って直線
状に往復動作するスライドテーブル34と、前記シリン
ダ本体32とスライドテーブル34との間に介装され、
一組のピン部材(保持手段)36a、36bを介して該
シリンダ本体32に保持されるガイド機構38(図2参
照)とを有する。
リンダ本体32の上面部には、一端部が湾曲して閉塞さ
れる横長の凹部40が形成され、前記凹部40にはピン
部材36a、36bを挿入するための一組のピン挿入用
孔部42a、42bが所定間隔離間して形成される。ま
た、前記ピン挿入用孔部42a、42bに近接する部位
には、ガイド機構38をシリンダ本体32に取り付ける
ための一組の取付用孔部44a、44bが貫通して形成
される。
は、長手方向に沿って二条のセンサ取付用長溝46a、
46bが形成され、他方の側面部には、後述するストッ
パブロック140が当接してスライドテーブル34の変
位量を規制する変位量調整部材(変位量調整手段)50
がねじ締結される。前記センサ取付用長溝46a、46
b内の所定部位には、図示しないセンサが係着される。
るように、ブロック体52と、前記ブロック体52の孔
部に螺入され、ナット54を介して前記ブロック体52
に固定されるねじ部材56と、前記ねじ部材56の一端
部に付設されるダンパ部材58とから構成され、前記ブ
ロック体52に対するねじ部材56のねじ込み量を増減
させることにより、ストッパブロック140が前記ダン
パ部材58に当接するまでの距離が変更され、この結
果、スライドテーブル34の変位量を調整することがで
きる。
は、軸線方向に沿って略平行に一組の貫通孔60a、6
0bが形成され(図5参照)、前記貫通孔60a、60
b内には、略同一形状に形成され、外周面にシールリン
グ62a、62bおよび磁性体64a、64b等が装着
されたピストン66a、66bと、前記ピストン66
a、66bに連結されたピストンロッド68a、68b
等を含むシリンダ機構がそれぞれ設けられる(図6参
照)。
輪70を介して装着されるエンドキャップ72a、72
bによって気密に閉塞される。なお、エンドキャップ7
2a、72bの外周面には、環状溝を介してOリング7
4a、74bが嵌着される。そして、エンドキャップ7
2a、72bのOリング74a、74bに対する内方向
側の外周面は、貫通孔60a、60bとの間に所定のク
リアランスを有するように、該貫通孔60a、60bの
径より小径に形成される。
外方向側の端部には、孔部76a、76bが設けられて
おり、この孔部76a、76bに、該孔部76a、76
bおよび貫通孔60a、60bの一端部からなる空間の
形状に対応して形成されたエンドカバー78a、78b
を装着することによって、エンドキャップ72a、72
bは外部から遮蔽される。ここで、前記孔部76a、7
6bは、開口部側が縮径するように形成されているた
め、この孔部76a、76bに装着されるエンドカバー
78a、78bの抜け落ちが防止される。
70を介して保持されるリング体80a、80b、ロッ
ドパッキン82a、82bおよびカラー84a、84b
によって気密に閉塞される。なお、カラー84a、84
bの外周面には、環状溝を介してOリング86a、86
bが嵌着される。
夫々閉塞するエンドキャップ72a、72bとカラー8
4a、84bとによって第1シリンダ室88aおよび第
2シリンダ室88bが夫々並設され、前記第1シリンダ
室88aおよび第2シリンダ室88bは、連通路90
a、90bを介して夫々連通するように形成される。ま
た、シリンダ本体32の一側面には、一組の流体出入ポ
ート92a、92bが形成され、前記流体出入ポート9
2a、92bは、連通路90a、90bを介して第1シ
リンダ室88aおよび第2シリンダ室88bに夫々連通
する。
(軸受部材)94a、94bを介してリリーフプレート
(連通部材)96が装着され、このブッシュ94a、9
4bおよびリリーフプレート96にはピストンロッド6
8a、68bが挿入されて、支持される。また、ブッシ
ュ94a、94bの外周面には、絞り手段として機能す
る複数(例えば、2つ)の小孔98a、98bが形成さ
れる。
a、60bに対応した位置にロッド挿通孔100a、1
00bが形成され、このロッド挿通孔100a、100
bに連通して、ブッシュ94a、94bの小径部分の外
形形状に対応したブッシュ取着孔102a、102bが
設けられる。また、リリーフプレート96の一側面に
は、リリーフポート(連通孔)104が形成され、この
リリーフポート104は、各ロッド挿通孔100a、1
00b(ブッシュ取着孔102a、102b)に連通し
ている。そして、リリーフポート104には、図示しな
い吸引装置が接続される。
102a、102bにブッシュ94a、94bが挿入さ
れるようにシリンダ本体32の他端部に取り付けられ、
ねじ106によって固定される(図8参照)。このと
き、ブッシュ94a、94bは、リリーフプレート96
とシリンダ本体32(止め輪70)との間に狭持される
(図6参照)。また、ブッシュ94a、94bの外周面
とブッシュ取着孔102a、102bとの間には空所1
08a、108bが形成され、この空所108a、10
8bおよび小孔98a、98bを介してリリーフポート
104とロッド挿通孔100a、100bが連通され
る。
部は、フローティングブッシュ(連結手段)110a、
110bを介してエンドプレート112に連結される。
このフローティングブッシュ110a、110bは、内
部を貫通するねじ穴を有する略円筒状に形成され、その
外周面には、環状の突起部114a、114bが一体的
に設けられる(図8参照)。
ストンロッド68a、68bの軸線に沿って内方向に延
在する突起部116を有する断面略L字状に形成され、
その下部側には、フローティングブッシュ110a、1
10bの外径に対応した径の孔部118a、118bが
貫通して形成される。この孔部118a、118bには
フローティングブッシュ110a、110bが挿入さ
れ、このとき、このフローティングブッシュ110a、
110bは、突起部114a、114bによってエンド
プレート112に係止される(図6参照)。また、エン
ドプレート112の内面部分における孔部118a、1
18bの外周部分には、後述する第1カバー部材128
a、128bを取り付けるための環状の溝部120a、
120bが形成される。
部122a、122bが一体的に形成され、この凹部1
22a、122bには、リング部材124a、124b
が挿入される。そして、ねじ126a、126bによっ
てリング部材124a、124bとフローティングブッ
シュ110a、110bを結合することにより、前記フ
ローティングブッシュ110a、110bはエンドプレ
ート112に保持される。ここで、フローティングブッ
シュ110a、110bは、エンドプレート112に対
して摺動可能であるため、リング部材124a、124
bの外周面1241a、1241bと凹部122a、1
22bの内周面1221a、1221b、前記リング部
材124a、124bの内側面1242a、1242b
と前記凹部122a、122bの底面1222a、12
22b、前記フローティングブッシュ110a、110
bの外周面1101a、1101bと孔部118a、1
18bの内周面および突起部114a、114bの外側
面1141a、1141bとエンドプレート112の内
側面112a、112bとは摺接している(図7参
照)。
先端には、前記ねじ126a、126bが螺入してフロ
ーティングブッシュ110a、110bが結合され、こ
のフローティングブッシュ110a、110bを介して
エンドプレート112が連結される。
bには、第1カバー部材128a、128bが装着され
る。この第1カバー部材128a、128bは、樹脂製
材料等から中空の略カップ状に形成され、その一端部が
前記溝部120a、120bに取り付けられ、他端部が
フローティングブッシュ110a、110bに画成され
た環状溝129a、129bに取り付けられる(図6並
びに図8参照)。また、エンドプレート112の凹部1
22a、122bには、同じく樹脂製材料等で形成され
た円盤状の第2カバー部材130a、130bが装着さ
れ、この第2カバー部材130a、130bによって前
記凹部122a、122bが閉塞される。そして、これ
ら第1カバー部材128a、128bおよび第2カバー
部材130a、130bによって、フローティングブッ
シュ110a、110b、リング部材124a、124
bおよびエンドプレート112間の摺接部分(リング部
材124a、124bの外周面1241a、1241b
と凹部122a、122bの内周面1221a、122
1b、前記リング部材124a、124bの内側面12
42a、1242bと前記凹部122a、122bの底
面1222a、1222b、前記フローティングブッシ
ュ110a、110bの外周面1101a、1101b
と孔部118a、118bの内周面および突起部114
a、114bの外側面1141a、1141bとエンド
プレート112の内側面112a、112bとの摺接部
分)が外部から遮蔽される(図7参照)。
6を介してテーブル本体131に結合され、スライドテ
ーブル34を構成する(図2参照)。ここで、エンドプ
レート112とテーブル本体131とは、一組のボルト
132a、132bをねじ穴117a、117bおよび
137a、137bに螺入することによってねじ締結さ
れ、全体として断面略L字状を呈する(図2および図8
参照)。なお、前記エンドプレート112には図示しな
い緩衝部材が付設され、前記緩衝部材は、スライドテー
ブル34の一方の変位領域の終端位置においてエンドプ
レート112がシリンダ本体32の端面に当接する際に
発生する衝撃を緩和する機能を営む。前記テーブル本体
131には、4個のワーク保持用孔部134a〜134
dが形成される。
1には、その両端部に長手方向に沿って一体的に膨出す
る一組のガイド部136a、136bが形成され、前記
ガイド部136a、136bの対向する内壁面には長手
方向に沿ってボール転動溝138a、138bが形成さ
れる。テーブル本体131の一側面部にはストッパブロ
ック140がねじ止めされ、前記ストッパブロック14
0はスライドテーブル34と一体的に変位し、図示しな
い緩衝部材がストッパブロック140に当接することに
より、スライドテーブル34の変位量が規制される。
構38は、図3に示されるように、軸線と略直交する方
向に幅広な扁平状のガイドブロック142と、前記ガイ
ドブロック142の長手方向に沿った両端部にそれぞれ
装着される一組のボールリターン部材144a、144
b、カバー部材146a、146bおよびスクレーパ1
48a、148bと、前記ガイドブロック142をシリ
ンダ本体32に位置決め保持する前記一組のピン部材3
6a、36bとを有する。前記カバー部材146a、1
46bには、ボールリターン部材144a、144bと
の共働作用下に転動するボールベアリング150a、1
50bを循環させる半円状のボールリターン溝152
a、152bが形成されている。
長手方向に沿ってボール転動溝154a、154bが形
成され、前記ボール転動溝154a、154bに近接す
る部位には、長手方向に沿って貫通する一組のボール循
環穴156a、156bが所定間隔離間して形成され
る。前記ガイド部136a、136bのボール転動溝1
38a、138b、ガイドブロック142のボール転動
溝154a、154b、ボール循環穴156a、156
bおよびカバー部材146a、146bのボールリター
ン溝152a、152bによって連続するボール循環通
路が形成され、複数のボールベアリング150a、15
0bが前記ボール循環通路に沿って転動することによ
り、スライドテーブル34を円滑に往復動作させること
ができる。
向に沿った両端部には、角張った膨出部158a、15
8bが一体的に形成され、前記膨出部158a、158
bを形成することにより、所定間隔離間する一組の取付
用孔部160a、160bのピッチPを大きくすること
ができる。
は、一組のピン部材36a、36bを挿入するためのピ
ン挿入用孔部162a、162bが所定間隔離間して形
成され、前記ピン挿入用孔部162a、162bに近接
する部位には、ねじ溝が刻設された一組の取付用孔部1
60a、160bが貫通して形成される。前記取付用孔
部160a、160bのねじ溝に螺合するボルト部材1
64を介してガイドブロック142を含むガイド機構3
8がシリンダ本体32の上面部に取り付けられる。
30は、基本的には以上のように構成されるものであ
り、次にその動作並びに作用効果について説明する。
ましくは圧縮空気を一方の流体出入ポート92bに導入
する。この場合、他方の流体出入ポート92aは、図示
しない切換弁の操作下に大気開放状態にしておく。
bに連通するヘッド側の第1シリンダ室88aと、連通
路90bを介して同じくヘッド側の第2シリンダ室88
bに供給され、ピストン66a、66bを矢印X1方向
に押圧する(図6参照)。なお、前記ピストン66a、
66bの押圧作用下にピストンロッド68a、68bに
係合するフローティングブッシュ110a、110bお
よびエンドプレート112が矢印X1方向に変位し、ボ
ールベアリング150a、150bの転動作用下に前記
エンドプレート112と一体的にスライドテーブル34
が変位する。
に向かって変位する過程において、該スライドテーブル
34に伴って変位するストッパブロック140がねじ部
材56に装着されたダンパ部材58に当接することによ
り変位終端位置に至る。この場合、ナット54を緩めて
ブロック体52に対するねじ部材56のねじ込み量を調
整することにより、スライドテーブル34の変位量を増
減変更することが可能である。
変位させる場合には、流体出入ポート92aに圧力流体
を供給する。前記供給された圧力流体はロッド側の第1
シリンダ室88a、連通路90aを介して同じくロッド
側の第2シリンダ室88bに導入され、ピストン66
a、66bを矢印X2方向に向かって押圧する。前記ピ
ストン66a、66bの押圧作用下に、ピストンロッド
68a、68bに係合するフローティングブッシュ11
0a、110bを介してエンドプレート112およびス
ライドテーブル34が矢印X2方向に一体的に変位し、
前記エンドプレート112に設けられた図示しない緩衝
部材がスライドテーブル34の端面に当接することによ
り、図1に示す初期位置に復帰する。
孔60a、60bの一端部が、エンドカバー78a、7
8bによって閉塞されているため、エンドキャップ72
a、72b等から発生した塵の外部への排出を防止する
ことができる。塵は、通常、ピストン66a、66bの
摺動変位によってOリング74a、74bから微量漏洩
して外部に至ろうとするが、前記のように、エンドカバ
ー78a、78bによってこの塵の外部への排出が阻止
される。
は、ブッシュ94a、94bの小孔98a、98bを介
してリリーフポート104に連通しているため、負圧作
用下に該リリーフポート104からの吸引に伴う圧力の
低下が、それぞれのロッド挿通孔100a、100bに
対してほぼ均一となる。従って、例えば、ブッシュ94
a、94bとピストンロッド68a、68bの摺接面か
ら発生した塵が、1つのリリーフポート104を介して
確実に吸引され、外部への排出が防止される。
ィングブッシュ110a、110bとの摺接部分は、第
1カバー部材128a、128bおよび第2カバー部材
130a、130bによって外部から遮蔽されているた
め、ピストン66a、66bの変位動作等に伴って前記
摺接部分から発生した塵が外部へ排出されることを防止
することができる。
ダ本体32に装着されたリリーフプレート96との間に
はブッシュ94a、94bが介在しているため、前記リ
リーフプレート96のシリンダ本体32に対する位置決
めを容易に行うことができる。
れば、発生した塵の外部への排出の防止を確実に行うこ
とができ、しかも、1つのリリーフポートによってロッ
ド挿通孔内の塵を吸引除去することが可能である。ま
た、リリーフプレートをシリンダ本体へ装着する際に容
易に位置決めすることができる。従って、特に、クリー
ンルームの如く清浄な空気の雰囲気内で行う動作に好適
に対応できる。
タの斜視図である。
である。
イド機構の分解斜視図である。
る。
接続を示す部分断面図である。
ドプレートの結合状態を示す分解斜視図である。
である。
面図である。
通孔 66a、66b…ピストン 68a、68b…ピ
ストンロッド 72a、72b…エンドキャップ 78a、78b…エ
ンドカバー 88a、88b…シリンダ室 90a、90b…連
通路 92a、92b…流体出入ポート 94a、94b…ブ
ッシュ 96…リリーフプレート 98a、98b…小
孔 104…リリーフポート 110a、110b…フローティングブッシュ 112…エンドプレート 124a、124b
…リング部材 128a、128b、130a、130b…カバー部材
Claims (6)
- 【請求項1】流体出入ポートから圧力流体を導入するこ
とにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテ
ーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであっ
て、 内部にシリンダ室が形成されたシリンダ本体と、 前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスラ
イドテーブルと、 前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストン
の変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させる
シリンダ機構と、 前記シリンダ機構を構成するピストンロッドに固定さ
れ、前記スライドテーブルのロッド側端部に摺動可能に
係着されることによって、前記ピストンロッドとスライ
ドテーブルとを連結する連結手段とを有し、 前記連結手段と前記スライドテーブルとの摺接部分はカ
バー部材によって外部から遮蔽されることを特徴とする
リニアアクチュエータ。 - 【請求項2】請求項1記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記連結手段は、一端側が前記スライドテーブルのロッ
ド側端部に設けられるエンドプレートを貫通して形成さ
れた孔部に嵌合され、他端側が前記ピストンロッドに連
結されるフローティングブッシュからなり、 前記カバー部材は、一端が前記エンドプレート側に取着
され、他端が前記フローティングブッシュ側に取着され
ることによって、前記エンドプレートとフローティング
ブッシュとの摺接部分を閉塞する中空状のカバー部材か
らなることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項3】請求項1または2記載のリニアアクチュエ
ータにおいて、 前記エンドプレートの一端側に設けられ、前記フローテ
ィングブッシュの一端部が露呈する孔部に別異のカバー
部材を嵌合することを特徴とするリニアアクチュエー
タ。 - 【請求項4】請求項1乃至3のいずれか1項に記載のリ
ニアアクチュエータにおいて、 前記ピストンロッドが挿通するロッド挿通孔と、このロ
ッド挿通孔に連通する連通孔とを備えた、前記シリンダ
本体のロッド側端部に設けられる連通部材と、 前記ロッド挿通孔に連通するブッシュ取着孔に設けら
れ、前記ピストンロッドを進退自在に支持するブッシュ
とを有し、 前記ブッシュには、一端部が前記ピストンロッドに臨
み、且つ貫通する絞り手段が設けられることを特徴とす
るリニアアクチュエータ。 - 【請求項5】請求項4記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記絞り手段は小孔からなり、前記小孔を介して真空引
きされることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項6】請求項1乃至5のいずれか1項に記載のリ
ニアアクチュエータにおいて、 前記シリンダ室のヘッド側端部は、他のカバー部材によ
って閉塞されることを特徴とするリニアアクチュエー
タ。
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-
1997
- 1997-10-20 JP JP28657297A patent/JP3896558B2/ja not_active Expired - Fee Related
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