JPH11125208A - リニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】発塵を確実に防止することが可能なリニアアク
チュエータを提供する。 【解決手段】リニアアクチュエータ３０は、シリンダ本
体３２と、前記シリンダ本体３２に沿って往復動作する
スライドテーブル３４を有し、前記シリンダ本体３２に
形成された貫通孔６０ａ、６０ｂ内には、シリンダ機構
（ピストン６６ａ、６６ｂ、ピストンロッド６８ａ、６
８ｂ等）が設けられ、前記シリンダ機構と前記スライド
テーブル３４（エンドプレート１１２）はフローティン
グブッシュ１１０ａ、１１０ｂを介して連結される。こ
のとき、フローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂは
エンドプレート１１２に対して摺動可能であり、その摺
接部分は、第１カバー部材１２８ａ、１２８ｂおよび第
２カバー部材１３０ａ、１３０ｂによって外部から遮蔽
される。従って、リニアアクチュエータ３０から外部へ
の塵の排出が防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体出入ポートか
ら圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線
方向に沿って該シリンダ本体に重畳されているスライド
テーブルを往復移動させるリニアアクチュエータに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ワーク等の搬送手段としてリ
ニアアクチュエータが用いられている。このリニアアク
チュエータは、シリンダ本体に沿ってそれに重畳されて
いるスライドテーブルを直線状に往復運動させることに
より、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送
することができる。

【０００３】従来技術に係るリニアアクチュエータとし
ては、クリーンルームに設置された流体圧シリンダにつ
いて、発塵や流体漏れがあった場合にこれらを速やかに
回収する技術が既に開示されるに至っている。

【０００４】第１の従来技術に係る流体圧シリンダを、
図９および図１０に示す。すなわち、流体圧シリンダ１
は、シリンダ本体２を有し、該シリンダ本体２の上面部
には、スライドテーブル３が載置されている。そして、
このスライドテーブル３は、シリンダ本体２の上面部に
設けられた図示しないガイド機構に沿って図において左
右方向に進退自在である。

【０００５】シリンダ本体２の内部には、一組の貫通孔
４ａ、４ｂが軸線方向に沿って略平行に画成されてお
り、この貫通孔４ａ、４ｂには、ピストン５、５が摺動
自在に設けられる。ピストン５、５には、ロッド６、６
が結合され、このロッド６、６は、貫通孔４ａ、４ｂの
一端に装着される軸受部材７、７によって支持される。
そして、この軸受部材７、７には、シールリングが嵌着
されている。貫通孔４ａ、４ｂの他端はエンドキャップ
９、９によって気密に閉塞され、これらの間にそれぞれ
第１シリンダ室８ａおよび第２シリンダ室８ｂが形成さ
れる。ここで、第１シリンダ室８ａおよび第２シリンダ
室８ｂは、連通孔１０ａ、１０ｂを介して連通してい
る。

【０００６】シリンダ本体２の一側面には、一組の流体
出入ポート１１ａ、１１ｂが形成され、この流体出入ポ
ート１１ａ、１１ｂは、第１シリンダ室８ａおよび第２
シリンダ室８ｂに連通している。そして、これらの流体
出入ポート１１ａ、１１ｂから第１シリンダ室８ａおよ
び第２シリンダ室８ｂに対して圧力流体を選択的に導入
することにより、ピストン５、５が軸線方向に沿って前
進または後退する。

【０００７】シリンダ本体２の一端部には、リリーフプ
レート１２が固定され、このリリーフプレート１２に画
成された一対のロッド挿通孔１３、１３には、前記軸受
部材７、７を貫通してロッド６、６が挿入される。ま
た、リリーフプレート１２の両側面には、一組のリリー
フポート１４、１４が設けられ、これらのリリーフポー
ト１４、１４は、それぞれロッド挿通孔１３、１３に連
通している。そして、これらのリリーフポート１４、１
４にそれぞれ図示しない吸引装置を接続し、負圧発生源
の付勢作用下に該吸引装置によってこれらのリリーフポ
ート１４、１４から個別にロッド挿通孔１３、１３内の
空気を吸引することにより、ロッド６、６と軸受部材
７、７との間の摺動によって発生した塵が吸引除去され
る。

【０００８】ロッド６、６の一端は、フローティングブ
ッシュ１５、１５を介してエンドカバー１６と連結され
る。このとき、フローティングブッシュ１５、１５は、
エンドカバー１６に設けられた凹部１７、１７に摺動可
能に係着されている。そして、エンドカバー１６には、
前記スライドテーブル３が結合され、このスライドテー
ブル３は、前記エンドカバー１６およびロッド６、６を
介してピストン５、５に連結され、該ピストン５、５の
変位に伴って一体的に変位する。

【０００９】一方、第２の従来技術に係る流体圧シリン
ダを、図１１に示す。なお、図１１において、前記図９
および図１０の構成要素と同一の構成要素には同一の参
照符号を付してその詳細な説明を省略する。図１１に示
すように、流体圧シリンダ２０は、負圧発生源（図示せ
ず）に連通する吸引装置との接続の煩雑さを解消すべ
く、リリーフポート２２をリリーフプレート２１の一側
面に１つのみ形成している。そして、このリリーフポー
ト２２は、２つのロッド挿通孔２３ａ、２３ｂに連通し
ている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記第１お
よび第２の従来技術においては、フローティングブッシ
ュ１５、１５はエンドカバー１６に対して摺動可能であ
るため、その摺接部分から塵が発生するが、前記フロー
ティングブッシュ１５、１５とエンドカバー１６との摺
接部分は外部に露呈しているため、前記塵が外部に排出
されるおそれがある。具体的には、スライドテーブル３
と一体的なエンドカバー１６と、このエンドカバー１６
に嵌合するフローティングブッシュ１５、１５とが凹部
１７、１７部位で摺接し、発塵するに至る。

【００１１】また、エンドキャップ９、９も外部に露呈
しており、このエンドキャップ９、９からの発塵が懸念
される。特に、当該流体圧シリンダ１、２０がクリーン
ルームで利用されるとき、この懸念が極めて大となる。

【００１２】さらに、第２の従来技術に係る流体圧シリ
ンダ２０においては、１つのリリーフポート２２から２
つのロッド挿通孔２３ａ、２３ｂ内の塵を吸引するよう
にしているが、この場合、一方のロッド挿通孔２３ａに
対して他方のロッド挿通孔２３ｂの圧力が低下せず、発
生した塵の吸引が十分に行われないという問題がある。

【００１３】また、リリーフプレート１２または２１を
シリンダ本体２に固定する場合には、該リリーフプレー
ト１２または２１の位置ずれによってロッド挿通孔１
３、１３または２３ａ、２３ｂがロッド６、６と圧接し
て発塵することを防ぐために、ピン等の位置決め手段を
用いる必要があり、位置決めが煩雑となるとともに構成
も複雑となるという不都合がある。

【００１４】本発明は、かかる不都合を解決するために
なされたものであり、発塵の防止を確実に行うことがで
き、しかも、リリーフプレートのシリンダ本体への装着
を容易に行うことが可能な、さらには、１つのリリーフ
ポートからロッド挿通孔内の塵を確実に吸引除去するこ
とが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的
とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めに、本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入す
ることにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライ
ドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであ
って、内部にシリンダ室が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスラ
イドテーブルと、前記シリンダ室に沿って摺動自在に配
設されるピストンの変位作用下に前記スライドテーブル
を往復動作させるシリンダ機構と、前記シリンダ機構を
構成するピストンロッドに固定され、前記スライドテー
ブルのロッド側端部に摺動可能に係着されることによっ
て、前記ピストンロッドとスライドテーブルとを連結す
る連結手段とを有し、前記連結手段と前記スライドテー
ブルとの摺接部分はカバー部材によって外部から遮蔽さ
れることを特徴とする。

【００１６】本発明によれば、ピストンロッドとスライ
ドテーブルとを連結させる連結手段と前記スライドテー
ブルとの連結部分（摺接部分）はカバー部材によって外
部から遮蔽されているため、前記連結部分から発生した
塵埃等が外部に排出されることを確実に防止することが
できる。

【００１７】また、ピストンロッドを支持するブッシュ
には、絞り手段が設けられ、この絞り手段を介して貫通
孔の他端部およびブッシュの内部の真空引きが行われる
ため、塵埃等が確実に吸引除去され、外部に排出される
ことが防止される。

【００１８】さらに、貫通孔の一端部は、他のカバー部
材によって閉塞されているため、塵埃等の排出が防止さ
れる。

【００１９】このように、本発明によれば、清浄な環境
で好適に使用することが可能なリニアアクチュエータが
実現される。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明に係るリニアアクチュエー
タについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照
しながら以下詳細に説明する。

【００２１】図１において参照数字３０は、本発明の実
施の形態に係るリニアアクチュエータを示し、このリニ
アアクチュエータ３０は、シリンダ本体３２と、前記シ
リンダ本体３２に重量され、その長手方向に沿って直線
状に往復動作するスライドテーブル３４と、前記シリン
ダ本体３２とスライドテーブル３４との間に介装され、
一組のピン部材（保持手段）３６ａ、３６ｂを介して該
シリンダ本体３２に保持されるガイド機構３８（図２参
照）とを有する。

【００２２】図２並びに図３に示されるように、前記シ
リンダ本体３２の上面部には、一端部が湾曲して閉塞さ
れる横長の凹部４０が形成され、前記凹部４０にはピン
部材３６ａ、３６ｂを挿入するための一組のピン挿入用
孔部４２ａ、４２ｂが所定間隔離間して形成される。ま
た、前記ピン挿入用孔部４２ａ、４２ｂに近接する部位
には、ガイド機構３８をシリンダ本体３２に取り付ける
ための一組の取付用孔部４４ａ、４４ｂが貫通して形成
される。

【００２３】前記シリンダ本体３２の一方の側面部に
は、長手方向に沿って二条のセンサ取付用長溝４６ａ、
４６ｂが形成され、他方の側面部には、後述するストッ
パブロック１４０が当接してスライドテーブル３４の変
位量を規制する変位量調整部材（変位量調整手段）５０
がねじ締結される。前記センサ取付用長溝４６ａ、４６
ｂ内の所定部位には、図示しないセンサが係着される。

【００２４】前記変位量調整部材５０は、図４に示され
るように、ブロック体５２と、前記ブロック体５２の孔
部に螺入され、ナット５４を介して前記ブロック体５２
に固定されるねじ部材５６と、前記ねじ部材５６の一端
部に付設されるダンパ部材５８とから構成され、前記ブ
ロック体５２に対するねじ部材５６のねじ込み量を増減
させることにより、ストッパブロック１４０が前記ダン
パ部材５８に当接するまでの距離が変更され、この結
果、スライドテーブル３４の変位量を調整することがで
きる。

【００２５】さらに、前記シリンダ本体３２の内部に
は、軸線方向に沿って略平行に一組の貫通孔６０ａ、６
０ｂが形成され（図５参照）、前記貫通孔６０ａ、６０
ｂ内には、略同一形状に形成され、外周面にシールリン
グ６２ａ、６２ｂおよび磁性体６４ａ、６４ｂ等が装着
されたピストン６６ａ、６６ｂと、前記ピストン６６
ａ、６６ｂに連結されたピストンロッド６８ａ、６８ｂ
等を含むシリンダ機構がそれぞれ設けられる（図６参
照）。

【００２６】各貫通孔６０ａ、６０ｂの一端部は、止め
輪７０を介して装着されるエンドキャップ７２ａ、７２
ｂによって気密に閉塞される。なお、エンドキャップ７
２ａ、７２ｂの外周面には、環状溝を介してＯリング７
４ａ、７４ｂが嵌着される。そして、エンドキャップ７
２ａ、７２ｂのＯリング７４ａ、７４ｂに対する内方向
側の外周面は、貫通孔６０ａ、６０ｂとの間に所定のク
リアランスを有するように、該貫通孔６０ａ、６０ｂの
径より小径に形成される。

【００２７】さらに、エンドキャップ７２ａ、７２ｂの
外方向側の端部には、孔部７６ａ、７６ｂが設けられて
おり、この孔部７６ａ、７６ｂに、該孔部７６ａ、７６
ｂおよび貫通孔６０ａ、６０ｂの一端部からなる空間の
形状に対応して形成されたエンドカバー７８ａ、７８ｂ
を装着することによって、エンドキャップ７２ａ、７２
ｂは外部から遮蔽される。ここで、前記孔部７６ａ、７
６ｂは、開口部側が縮径するように形成されているた
め、この孔部７６ａ、７６ｂに装着されるエンドカバー
７８ａ、７８ｂの抜け落ちが防止される。

【００２８】貫通孔６０ａ、６０ｂの他端部は、止め輪
７０を介して保持されるリング体８０ａ、８０ｂ、ロッ
ドパッキン８２ａ、８２ｂおよびカラー８４ａ、８４ｂ
によって気密に閉塞される。なお、カラー８４ａ、８４
ｂの外周面には、環状溝を介してＯリング８６ａ、８６
ｂが嵌着される。

【００２９】この場合、一組の貫通孔６０ａ、６０ｂを
夫々閉塞するエンドキャップ７２ａ、７２ｂとカラー８
４ａ、８４ｂとによって第１シリンダ室８８ａおよび第
２シリンダ室８８ｂが夫々並設され、前記第１シリンダ
室８８ａおよび第２シリンダ室８８ｂは、連通路９０
ａ、９０ｂを介して夫々連通するように形成される。ま
た、シリンダ本体３２の一側面には、一組の流体出入ポ
ート９２ａ、９２ｂが形成され、前記流体出入ポート９
２ａ、９２ｂは、連通路９０ａ、９０ｂを介して第１シ
リンダ室８８ａおよび第２シリンダ室８８ｂに夫々連通
する。

【００３０】シリンダ本体３２の他端部には、ブッシュ
（軸受部材）９４ａ、９４ｂを介してリリーフプレート
（連通部材）９６が装着され、このブッシュ９４ａ、９
４ｂおよびリリーフプレート９６にはピストンロッド６
８ａ、６８ｂが挿入されて、支持される。また、ブッシ
ュ９４ａ、９４ｂの外周面には、絞り手段として機能す
る複数（例えば、２つ）の小孔９８ａ、９８ｂが形成さ
れる。

【００３１】リリーフプレート９６には、貫通孔６０
ａ、６０ｂに対応した位置にロッド挿通孔１００ａ、１
００ｂが形成され、このロッド挿通孔１００ａ、１００
ｂに連通して、ブッシュ９４ａ、９４ｂの小径部分の外
形形状に対応したブッシュ取着孔１０２ａ、１０２ｂが
設けられる。また、リリーフプレート９６の一側面に
は、リリーフポート（連通孔）１０４が形成され、この
リリーフポート１０４は、各ロッド挿通孔１００ａ、１
００ｂ（ブッシュ取着孔１０２ａ、１０２ｂ）に連通し
ている。そして、リリーフポート１０４には、図示しな
い吸引装置が接続される。

【００３２】リリーフプレート９６は、ブッシュ取着孔
１０２ａ、１０２ｂにブッシュ９４ａ、９４ｂが挿入さ
れるようにシリンダ本体３２の他端部に取り付けられ、
ねじ１０６によって固定される（図８参照）。このと
き、ブッシュ９４ａ、９４ｂは、リリーフプレート９６
とシリンダ本体３２（止め輪７０）との間に狭持される
（図６参照）。また、ブッシュ９４ａ、９４ｂの外周面
とブッシュ取着孔１０２ａ、１０２ｂとの間には空所１
０８ａ、１０８ｂが形成され、この空所１０８ａ、１０
８ｂおよび小孔９８ａ、９８ｂを介してリリーフポート
１０４とロッド挿通孔１００ａ、１００ｂが連通され
る。

【００３３】前記ピストンロッド６８ａ、６８ｂの他端
部は、フローティングブッシュ（連結手段）１１０ａ、
１１０ｂを介してエンドプレート１１２に連結される。
このフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂは、内
部を貫通するねじ穴を有する略円筒状に形成され、その
外周面には、環状の突起部１１４ａ、１１４ｂが一体的
に設けられる（図８参照）。

【００３４】エンドプレート１１２は、その上部側にピ
ストンロッド６８ａ、６８ｂの軸線に沿って内方向に延
在する突起部１１６を有する断面略Ｌ字状に形成され、
その下部側には、フローティングブッシュ１１０ａ、１
１０ｂの外径に対応した径の孔部１１８ａ、１１８ｂが
貫通して形成される。この孔部１１８ａ、１１８ｂには
フローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂが挿入さ
れ、このとき、このフローティングブッシュ１１０ａ、
１１０ｂは、突起部１１４ａ、１１４ｂによってエンド
プレート１１２に係止される（図６参照）。また、エン
ドプレート１１２の内面部分における孔部１１８ａ、１
１８ｂの外周部分には、後述する第１カバー部材１２８
ａ、１２８ｂを取り付けるための環状の溝部１２０ａ、
１２０ｂが形成される。

【００３５】孔部１１８ａ、１１８ｂの外面側には、凹
部１２２ａ、１２２ｂが一体的に形成され、この凹部１
２２ａ、１２２ｂには、リング部材１２４ａ、１２４ｂ
が挿入される。そして、ねじ１２６ａ、１２６ｂによっ
てリング部材１２４ａ、１２４ｂとフローティングブッ
シュ１１０ａ、１１０ｂを結合することにより、前記フ
ローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂはエンドプレ
ート１１２に保持される。ここで、フローティングブッ
シュ１１０ａ、１１０ｂは、エンドプレート１１２に対
して摺動可能であるため、リング部材１２４ａ、１２４
ｂの外周面１２４１ａ、１２４１ｂと凹部１２２ａ、１
２２ｂの内周面１２２１ａ、１２２１ｂ、前記リング部
材１２４ａ、１２４ｂの内側面１２４２ａ、１２４２ｂ
と前記凹部１２２ａ、１２２ｂの底面１２２２ａ、１２
２２ｂ、前記フローティングブッシュ１１０ａ、１１０
ｂの外周面１１０１ａ、１１０１ｂと孔部１１８ａ、１
１８ｂの内周面および突起部１１４ａ、１１４ｂの外側
面１１４１ａ、１１４１ｂとエンドプレート１１２の内
側面１１２ａ、１１２ｂとは摺接している（図７参
照）。

【００３６】さらに、ピストンロッド６８ａ、６８ｂの
先端には、前記ねじ１２６ａ、１２６ｂが螺入してフロ
ーティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂが結合され、こ
のフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂを介して
エンドプレート１１２が連結される。

【００３７】フローティングブッシュ１１０ａ、１１０
ｂには、第１カバー部材１２８ａ、１２８ｂが装着され
る。この第１カバー部材１２８ａ、１２８ｂは、樹脂製
材料等から中空の略カップ状に形成され、その一端部が
前記溝部１２０ａ、１２０ｂに取り付けられ、他端部が
フローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂに画成され
た環状溝１２９ａ、１２９ｂに取り付けられる（図６並
びに図８参照）。また、エンドプレート１１２の凹部１
２２ａ、１２２ｂには、同じく樹脂製材料等で形成され
た円盤状の第２カバー部材１３０ａ、１３０ｂが装着さ
れ、この第２カバー部材１３０ａ、１３０ｂによって前
記凹部１２２ａ、１２２ｂが閉塞される。そして、これ
ら第１カバー部材１２８ａ、１２８ｂおよび第２カバー
部材１３０ａ、１３０ｂによって、フローティングブッ
シュ１１０ａ、１１０ｂ、リング部材１２４ａ、１２４
ｂおよびエンドプレート１１２間の摺接部分（リング部
材１２４ａ、１２４ｂの外周面１２４１ａ、１２４１ｂ
と凹部１２２ａ、１２２ｂの内周面１２２１ａ、１２２
１ｂ、前記リング部材１２４ａ、１２４ｂの内側面１２
４２ａ、１２４２ｂと前記凹部１２２ａ、１２２ｂの底
面１２２２ａ、１２２２ｂ、前記フローティングブッシ
ュ１１０ａ、１１０ｂの外周面１１０１ａ、１１０１ｂ
と孔部１１８ａ、１１８ｂの内周面および突起部１１４
ａ、１１４ｂの外側面１１４１ａ、１１４１ｂとエンド
プレート１１２の内側面１１２ａ、１１２ｂとの摺接部
分）が外部から遮蔽される（図７参照）。

【００３８】エンドプレート１１２は、その突起部１１
６を介してテーブル本体１３１に結合され、スライドテ
ーブル３４を構成する（図２参照）。ここで、エンドプ
レート１１２とテーブル本体１３１とは、一組のボルト
１３２ａ、１３２ｂをねじ穴１１７ａ、１１７ｂおよび
１３７ａ、１３７ｂに螺入することによってねじ締結さ
れ、全体として断面略Ｌ字状を呈する（図２および図８
参照）。なお、前記エンドプレート１１２には図示しな
い緩衝部材が付設され、前記緩衝部材は、スライドテー
ブル３４の一方の変位領域の終端位置においてエンドプ
レート１１２がシリンダ本体３２の端面に当接する際に
発生する衝撃を緩和する機能を営む。前記テーブル本体
１３１には、４個のワーク保持用孔部１３４ａ〜１３４
ｄが形成される。

【００３９】図２に示されるように、テーブル本体１３
１には、その両端部に長手方向に沿って一体的に膨出す
る一組のガイド部１３６ａ、１３６ｂが形成され、前記
ガイド部１３６ａ、１３６ｂの対向する内壁面には長手
方向に沿ってボール転動溝１３８ａ、１３８ｂが形成さ
れる。テーブル本体１３１の一側面部にはストッパブロ
ック１４０がねじ止めされ、前記ストッパブロック１４
０はスライドテーブル３４と一体的に変位し、図示しな
い緩衝部材がストッパブロック１４０に当接することに
より、スライドテーブル３４の変位量が規制される。

【００４０】スライドテーブル３４を案内するガイド機
構３８は、図３に示されるように、軸線と略直交する方
向に幅広な扁平状のガイドブロック１４２と、前記ガイ
ドブロック１４２の長手方向に沿った両端部にそれぞれ
装着される一組のボールリターン部材１４４ａ、１４４
ｂ、カバー部材１４６ａ、１４６ｂおよびスクレーパ１
４８ａ、１４８ｂと、前記ガイドブロック１４２をシリ
ンダ本体３２に位置決め保持する前記一組のピン部材３
６ａ、３６ｂとを有する。前記カバー部材１４６ａ、１
４６ｂには、ボールリターン部材１４４ａ、１４４ｂと
の共働作用下に転動するボールベアリング１５０ａ、１
５０ｂを循環させる半円状のボールリターン溝１５２
ａ、１５２ｂが形成されている。

【００４１】前記ガイドブロック１４２の両側面には、
長手方向に沿ってボール転動溝１５４ａ、１５４ｂが形
成され、前記ボール転動溝１５４ａ、１５４ｂに近接す
る部位には、長手方向に沿って貫通する一組のボール循
環穴１５６ａ、１５６ｂが所定間隔離間して形成され
る。前記ガイド部１３６ａ、１３６ｂのボール転動溝１
３８ａ、１３８ｂ、ガイドブロック１４２のボール転動
溝１５４ａ、１５４ｂ、ボール循環穴１５６ａ、１５６
ｂおよびカバー部材１４６ａ、１４６ｂのボールリター
ン溝１５２ａ、１５２ｂによって連続するボール循環通
路が形成され、複数のボールベアリング１５０ａ、１５
０ｂが前記ボール循環通路に沿って転動することによ
り、スライドテーブル３４を円滑に往復動作させること
ができる。

【００４２】また、前記ガイドブロック１４２の長手方
向に沿った両端部には、角張った膨出部１５８ａ、１５
８ｂが一体的に形成され、前記膨出部１５８ａ、１５８
ｂを形成することにより、所定間隔離間する一組の取付
用孔部１６０ａ、１６０ｂのピッチＰを大きくすること
ができる。

【００４３】さらに、ガイドブロック１４２の底面部に
は、一組のピン部材３６ａ、３６ｂを挿入するためのピ
ン挿入用孔部１６２ａ、１６２ｂが所定間隔離間して形
成され、前記ピン挿入用孔部１６２ａ、１６２ｂに近接
する部位には、ねじ溝が刻設された一組の取付用孔部１
６０ａ、１６０ｂが貫通して形成される。前記取付用孔
部１６０ａ、１６０ｂのねじ溝に螺合するボルト部材１
６４を介してガイドブロック１４２を含むガイド機構３
８がシリンダ本体３２の上面部に取り付けられる。

【００４４】本実施の形態に係るリニアアクチュエータ
３０は、基本的には以上のように構成されるものであ
り、次にその動作並びに作用効果について説明する。

【００４５】図示しない流体圧供給源から圧力流体、好
ましくは圧縮空気を一方の流体出入ポート９２ｂに導入
する。この場合、他方の流体出入ポート９２ａは、図示
しない切換弁の操作下に大気開放状態にしておく。

【００４６】前記圧力流体は、前記流体出入ポート９２
ｂに連通するヘッド側の第１シリンダ室８８ａと、連通
路９０ｂを介して同じくヘッド側の第２シリンダ室８８
ｂに供給され、ピストン６６ａ、６６ｂを矢印Ｘ１方向
に押圧する（図６参照）。なお、前記ピストン６６ａ、
６６ｂの押圧作用下にピストンロッド６８ａ、６８ｂに
係合するフローティングブッシュ１１０ａ、１１０ｂお
よびエンドプレート１１２が矢印Ｘ１方向に変位し、ボ
ールベアリング１５０ａ、１５０ｂの転動作用下に前記
エンドプレート１１２と一体的にスライドテーブル３４
が変位する。

【００４７】前記スライドテーブル３４が矢印Ｘ１方向
に向かって変位する過程において、該スライドテーブル
３４に伴って変位するストッパブロック１４０がねじ部
材５６に装着されたダンパ部材５８に当接することによ
り変位終端位置に至る。この場合、ナット５４を緩めて
ブロック体５２に対するねじ部材５６のねじ込み量を調
整することにより、スライドテーブル３４の変位量を増
減変更することが可能である。

【００４８】前記とは逆方向にスライドテーブル３４を
変位させる場合には、流体出入ポート９２ａに圧力流体
を供給する。前記供給された圧力流体はロッド側の第１
シリンダ室８８ａ、連通路９０ａを介して同じくロッド
側の第２シリンダ室８８ｂに導入され、ピストン６６
ａ、６６ｂを矢印Ｘ２方向に向かって押圧する。前記ピ
ストン６６ａ、６６ｂの押圧作用下に、ピストンロッド
６８ａ、６８ｂに係合するフローティングブッシュ１１
０ａ、１１０ｂを介してエンドプレート１１２およびス
ライドテーブル３４が矢印Ｘ２方向に一体的に変位し、
前記エンドプレート１１２に設けられた図示しない緩衝
部材がスライドテーブル３４の端面に当接することによ
り、図１に示す初期位置に復帰する。

【００４９】この場合、本実施の形態においては、貫通
孔６０ａ、６０ｂの一端部が、エンドカバー７８ａ、７
８ｂによって閉塞されているため、エンドキャップ７２
ａ、７２ｂ等から発生した塵の外部への排出を防止する
ことができる。塵は、通常、ピストン６６ａ、６６ｂの
摺動変位によってＯリング７４ａ、７４ｂから微量漏洩
して外部に至ろうとするが、前記のように、エンドカバ
ー７８ａ、７８ｂによってこの塵の外部への排出が阻止
される。

【００５０】また、ロッド挿通孔１００ａ、１００ｂ
は、ブッシュ９４ａ、９４ｂの小孔９８ａ、９８ｂを介
してリリーフポート１０４に連通しているため、負圧作
用下に該リリーフポート１０４からの吸引に伴う圧力の
低下が、それぞれのロッド挿通孔１００ａ、１００ｂに
対してほぼ均一となる。従って、例えば、ブッシュ９４
ａ、９４ｂとピストンロッド６８ａ、６８ｂの摺接面か
ら発生した塵が、１つのリリーフポート１０４を介して
確実に吸引され、外部への排出が防止される。

【００５１】さらに、エンドプレート１１２とフローテ
ィングブッシュ１１０ａ、１１０ｂとの摺接部分は、第
１カバー部材１２８ａ、１２８ｂおよび第２カバー部材
１３０ａ、１３０ｂによって外部から遮蔽されているた
め、ピストン６６ａ、６６ｂの変位動作等に伴って前記
摺接部分から発生した塵が外部へ排出されることを防止
することができる。

【００５２】さらにまた、シリンダ本体３２と該シリン
ダ本体３２に装着されたリリーフプレート９６との間に
はブッシュ９４ａ、９４ｂが介在しているため、前記リ
リーフプレート９６のシリンダ本体３２に対する位置決
めを容易に行うことができる。

【００５３】

【発明の効果】本発明に係るリニアアクチュエータによ
れば、発生した塵の外部への排出の防止を確実に行うこ
とができ、しかも、１つのリリーフポートによってロッ
ド挿通孔内の塵を吸引除去することが可能である。ま
た、リリーフプレートをシリンダ本体へ装着する際に容
易に位置決めすることができる。従って、特に、クリー
ンルームの如く清浄な空気の雰囲気内で行う動作に好適
に対応できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエー
タの斜視図である。

【図２】図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図
である。

【図３】図１に示すリニアアクチュエータを構成するガ
イド機構の分解斜視図である。

【図４】図１に示すリニアアクチュエータの平面図であ
る。

【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。

【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った横断面図である。

【図７】フローティングブッシュとエンドプレートとの
接続を示す部分断面図である。

【図８】シリンダ本体に対するリリーフプレートとエン
ドプレートの結合状態を示す分解斜視図である。

【図９】第１の従来技術に係る流体圧シリンダの側面図
である。

【図１０】図９のＸ−Ｘ線に沿った横断面図である。

【図１１】第２の従来技術に係る流体圧シリンダの横断
面図である。

【符号の説明】

３０…リニアアクチュエータ ３２…シリンダ本体 ３４…スライドテーブル ６０ａ、６０ｂ…貫
通孔 ６６ａ、６６ｂ…ピストン ６８ａ、６８ｂ…ピ
ストンロッド ７２ａ、７２ｂ…エンドキャップ ７８ａ、７８ｂ…エ
ンドカバー ８８ａ、８８ｂ…シリンダ室 ９０ａ、９０ｂ…連
通路 ９２ａ、９２ｂ…流体出入ポート ９４ａ、９４ｂ…ブ
ッシュ ９６…リリーフプレート ９８ａ、９８ｂ…小
孔 １０４…リリーフポート １１０ａ、１１０ｂ…フローティングブッシュ １１２…エンドプレート １２４ａ、１２４ｂ
…リング部材 １２８ａ、１２８ｂ、１３０ａ、１３０ｂ…カバー部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上野 成央 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流体出入ポートから圧力流体を導入するこ
   とにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテ
   ーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであっ
   て、 内部にシリンダ室が形成されたシリンダ本体と、 前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスラ
   イドテーブルと、 前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストン
   の変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させる
   シリンダ機構と、 前記シリンダ機構を構成するピストンロッドに固定さ
   れ、前記スライドテーブルのロッド側端部に摺動可能に
   係着されることによって、前記ピストンロッドとスライ
   ドテーブルとを連結する連結手段とを有し、 前記連結手段と前記スライドテーブルとの摺接部分はカ
   バー部材によって外部から遮蔽されることを特徴とする
   リニアアクチュエータ。
2. 【請求項２】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
   いて、 前記連結手段は、一端側が前記スライドテーブルのロッ
   ド側端部に設けられるエンドプレートを貫通して形成さ
   れた孔部に嵌合され、他端側が前記ピストンロッドに連
   結されるフローティングブッシュからなり、 前記カバー部材は、一端が前記エンドプレート側に取着
   され、他端が前記フローティングブッシュ側に取着され
   ることによって、前記エンドプレートとフローティング
   ブッシュとの摺接部分を閉塞する中空状のカバー部材か
   らなることを特徴とするリニアアクチュエータ。
3. 【請求項３】請求項１または２記載のリニアアクチュエ
   ータにおいて、 前記エンドプレートの一端側に設けられ、前記フローテ
   ィングブッシュの一端部が露呈する孔部に別異のカバー
   部材を嵌合することを特徴とするリニアアクチュエー
   タ。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載のリ
   ニアアクチュエータにおいて、 前記ピストンロッドが挿通するロッド挿通孔と、このロ
   ッド挿通孔に連通する連通孔とを備えた、前記シリンダ
   本体のロッド側端部に設けられる連通部材と、 前記ロッド挿通孔に連通するブッシュ取着孔に設けら
   れ、前記ピストンロッドを進退自在に支持するブッシュ
   とを有し、 前記ブッシュには、一端部が前記ピストンロッドに臨
   み、且つ貫通する絞り手段が設けられることを特徴とす
   るリニアアクチュエータ。
5. 【請求項５】請求項４記載のリニアアクチュエータにお
   いて、 前記絞り手段は小孔からなり、前記小孔を介して真空引
   きされることを特徴とするリニアアクチュエータ。
6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれか１項に記載のリ
   ニアアクチュエータにおいて、 前記シリンダ室のヘッド側端部は、他のカバー部材によ
   って閉塞されることを特徴とするリニアアクチュエー
   タ。