JPH1089312A

JPH1089312A - リニアアクチュエータ

Info

Publication number: JPH1089312A
Application number: JP8242368A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Hosono; 正行細野; Hiroshi Miyaji; 博宮地; Shigeo Ueno; 成央上野
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1996-09-12
Filing date: 1996-09-12
Publication date: 1998-04-07
Anticipated expiration: 2016-09-12
Also published as: JP3775866B2

Abstract

(57)【要約】【課題】シリンダ本体の短手方向の幅を縮小して装置全
体の小型・軽量化を図ることにある。【解決手段】リニアアクチュエータ２０は、側面部に軸
線方向に沿って延在する溝部６９ａ、６９ｂが形成され
たシリンダ本体２２と、前記シリンダ本体２２の軸線方
向に沿って往復動作するスライドテーブル２４と、ピス
トン４８の変位作用下に前記スライドテーブル２４を往
復動作させるシリンダ機構と、センサ装着用の長溝９８
ａ、９８ｂが形成され、前記溝部６９ａ、６９ｂに沿っ
て嵌挿され該溝部６９ａ、６９ｂに保持される係止部１
０２ａ、１０２ｂが設けられたセンサ取付用レール２６
とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体出入ポートか
ら圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線
方向に沿ってスライドテーブルを往復させるリニアアク
チュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ワーク等の搬送手段としてリ
ニアアクチュエータが用いられている。このリニアアク
チュエータは、シリンダ本体に沿ってスライドテーブル
を直線状に往復運動させることにより、前記スライドテ
ーブルに載置されたワークを搬送している。

【０００３】従来技術に係るリニアアクチュエータ（実
開平６−４７７０８号公報参照）を図１６および図１７
に示す。この流体圧シリンダ１は、中央部に直線ころが
り軸受２が膨出形成されたシリンダ本体３と、前記直線
ころがり軸受２の案内作用下に直線状に往復動作するテ
ーブル４とを有する。

【０００４】前記テーブル４の一側面には永久磁石５が
固着され、またシリンダ本体３の一側面には一組のねじ
６ａ、６ｂを介してガイドレール７が締結される。前記
ガイドレール７には軸線方向に沿って長溝８が形成さ
れ、前記長溝８の所定位置に装着された磁気近接スイッ
チ９によって永久磁石５の磁気作用を検知することによ
り、テーブル４の位置を検出している。

【０００５】なお、前記ガイドレール７に近接するシリ
ンダ本体３の一側面部には、管継手を螺入して配管用チ
ューブを接続するための一組の流体圧供給ポート１０
ａ、１０ｂ（一方は図示せず）が形成される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
流体圧シリンダ１では、磁気近接スイッチ９が装着され
るガイドレール７をねじ６ａ、６ｂによってシリンダ本
体３の一側面部にねじ締結しているため、前記シリンダ
本体３の側面部には前記ねじ６ａ、６ｂを螺入するため
のねじ穴を形成する必要があり、前記ねじ穴を穿孔する
ためにシリンダ室の内壁面とシリンダ本体３の外壁面と
の間の肉厚Ｌ（図１７参照）を厚く形成しなければなら
ない。この結果、シリンダ本体３の短手方向の幅Ｗを縮
小することができないため、装置全体の小型・軽量化を
図ることが不可能となる難点がある。

【０００７】また、従来技術に係る流体圧シリンダ１で
は、シリンダ本体３の流体圧供給ポート１０ａ、１０ｂ
に対して配管用チューブを接続するための管継手を螺入
する際、前記流体圧供給ポート１０ａ、１０ｂよりも外
部側に突出するガイドレール７が障害となって配管作業
が煩雑となる不都合がある。

【０００８】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであり、配管作業を簡便に行うことができ
るとともに、シリンダ本体の短手方向の幅を縮小して装
置全体の小型・軽量化を図ることが可能なリニアアクチ
ュエータを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、流体出入ポートに連通するシリンダ室
を有し、側面部に軸線方向に沿って延在する溝部が形成
されたシリンダ本体と、前記シリンダ本体の軸線方向に
沿って往復動作するスライドテーブルと、前記シリンダ
室に沿って摺動自在に配設されるピストンの変位作用下
に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構
と、センサ装着用の長溝が形成され、前記溝部に沿って
嵌挿され該溝部に保持される係止部が設けられたブロッ
ク体と、前記長溝の所定位置に選択的に装着されるセン
サと、を備えることを特徴とする。

【００１０】本発明によれば、流体出入ポートから導入
された圧力流体はシリンダ室に供給され、ピストンを所
定方向に押圧する。前記ピストンの変位作用下にシリン
ダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルが往復動作
する。

【００１１】また、本発明によれば、センサ装着用の長
溝が形成されたブロック体をシリンダ本体に連結する
際、シリンダ本体の側面部に形成された溝部に沿ってブ
ロック体に設けられた係止部を嵌挿することにより、ブ
ロック体をシリンダ本体に簡便に連結することができ
る。従って、ブロック体をねじ止めする必要がないた
め、シリンダ室の内壁面からシリンダ本体の外壁面まで
の肉厚を薄く形成することができ、シリンダ本体の短手
方向の幅を縮小することが可能となる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明に係るリニアアクチュエー
タについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照
しながら以下詳細に説明する。

【００１３】図１において参照数字２０は、本発明の第
１の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。こ
のリニアアクチュエータ２０は、シリンダ本体２２と、
前記シリンダ本体２２の長手方向に沿って直線状に往復
動作するスライドテーブル２４と、前記シリンダ本体２
２の一方の側面部にねじ止めされるセンサ取付用レール
（ブロック体）２６と、前記センサ取付用レール２６に
対向するシリンダ本体２２の他方の側面部にねじ止めさ
れるプレート（閉塞プレート）２７とを有する。

【００１４】図１並びに図８に示されるように、前記シ
リンダ本体２２の上面部には、相互に対向する一対のガ
イドブロック２８ａ、２８ｂが該シリンダ本体２２と一
体的に膨出形成され、前記一対のガイドブロック２８
ａ、２８ｂには、複数のボールベアリング２９が転動し
て無限循環軌道を構成するボール循環穴３０ａ、３０ｂ
とボール転動溝３２ａ、３２ｂとが長手方向に沿ってそ
れぞれ形成される。

【００１５】また、図５に示されるように、前記一対の
ガイドブロック２８ａ、２８ｂ間の略中央部には一組の
ねじ３４を介して直方体状のストッパブロック３６が固
設され、前記ストッパブロック３６に近接する部位に
は、軸線と略直交する方向に貫通する一組の取付用孔部
４０ａ、４０ｂが形成される。

【００１６】さらに、図６に示されるように、前記シリ
ンダ本体２２の内部には軸線方向に沿って略平行に並設
された一組の貫通孔４２ａ、４２ｂが形成され、前記貫
通孔４２ａ、４２ｂ内には、略同一形状に形成され、外
周面にシールリング４４およびダンパ４６が装着された
ピストン４８と、前記ピストン４８に連結されたピスト
ンロッド５０とがそれぞれ収装される。

【００１７】各貫通孔４２ａ、４２ｂの一端部は、止め
輪５２を介して装着されるエンドキャップ５４によって
気密に閉塞され、前記貫通孔４２ａ、４２ｂの他端部
は、ピストンロッド５０の外周面に摺接する環状凸部５
６によって閉塞される。前記環状凸部５６から外部に露
呈するピストンロッド５０は、止め輪を介してシリンダ
本体２２に保持されたロッドパッキン５８およびカラー
６０によってシールされる。

【００１８】この場合、一組の貫通孔４２ａ、４２ｂを
それぞれ閉塞するエンドキャップ５４と環状凸部５６と
によって、実質的に、第１シリンダ室６２ａ、６２ｂお
よび第２シリンダ室６３ａ、６３ｂが形成され、前記第
１シリンダ室６２ａ、６２ｂおよび第２シリンダ室６３
ａ、６３ｂは、連通路６７ａ、６７ｂを介してそれぞれ
連通するように形成される。

【００１９】また、シリンダ本体２２の相互に対向する
両側面には、一組の第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ
および第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂが該シリンダ
本体２２の軸線を対称軸としてそれぞれ線対称に配置さ
れ、前記第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂは第１シリ
ンダ室６２ａ、６２ｂにそれぞれ連通し、第２流体出入
ポート６５ａ、６５ｂは第２シリンダ室６３ａ、６３ｂ
にそれぞれ連通するように形成されている。なお、前記
ピストンロッド５０の先端部にはロックナット６６を介
してフローティングブッシュ６８が連結される。

【００２０】図７に示されるように、シリンダ本体２２
の相互に対向する両側面部には、センサ取付用レール２
６およびプレート２７を該シリンダ本体２２に装着する
ための一組の溝部６９ａ、６９ｂが形成され、前記一組
の溝部６９ａ、６９ｂはそれぞれ線対称に形成される。

【００２１】図１に示されるように、スライドテーブル
２４は、一組のボルト７０ａ、７０ｂを介して断面略Ｌ
字状に略直交してねじ締結されるテーブル７２とエンド
プレート７４とから構成され、前記エンドプレート７４
に形成された半円形状の孔部７６を介してフローティン
グブッシュ６８が保持される。なお、前記エンドプレー
ト７４に形成された孔部内に図示しない緩衝部材が挿入
され、前記緩衝部材はスライドテーブル２４の一方の変
位終端位置においてエンドプレート７４がシリンダ本体
２２の端面に当接する際に発生する衝撃を緩和する機能
を営む。

【００２２】前記テーブル７２には、４個のワーク保持
用孔部８０ａ〜８０ｄと、シリンダ本体２２の取付用孔
部４０ａ、４０ｂに対応し且つ連通する一組の通し穴８
２ａ、８２ｂが形成される（図１並びに図３参照）。こ
の場合、前記通し穴８２ａ、８２ｂを通じてテーブル７
２の上面側から図示しないボルトを取付用孔部４０ａ、
４０ｂに螺入してシリンダ本体２２を他の部材に取り付
け、あるいはシリンダ本体２２の底面側からボルトを取
付用孔部４０ａ、４０ｂに直接螺入して取り付けること
が可能である（図５参照）。このように、作業者は、リ
ニアアクチュエータ２０の取付方向を上方向または下方
向のいずれかを選択することができる。

【００２３】図７に示されるように、スライドテーブル
２４の下面部には、長手方向に沿って延在する一組のガ
イド部８４ａ、８４ｂが一体的に膨出形成され、前記ガ
イド部８４ａ、８４ｂの対向する側面部には、ボール転
動溝８６ａ、８６ｂが長手方向に沿って形成される。ま
た、所定間隔離間する一組のガイド部８４ａ、８４ｂ間
には、ストッパブロック３６の形状に対応し軸線方向に
沿って所定長だけ延在する切欠部８８が形成される（図
５並びに図７参照）。

【００２４】図５に示されるように、前記切欠部８８の
一端部には、スライドテーブル２４の変位量調整手段と
して機能するアジャスタボルト９０がロックナット９２
を介して螺入され、前記アジャスタボルト９０の先端部
には、例えば、ウレタン等のゴムからなる緩衝部材９４
が装着される。

【００２５】この場合、アジャスタボルト９０はスライ
ドテーブル２４と一体的に変位し、緩衝部材９４がスト
ッパブロック３６に当接することにより、スライドテー
ブル２４の移動量が規制される。また、前記アジャスタ
ボルト９０および緩衝部材９４は、スライドテーブル２
４の一端部の略中央に軸線方向に沿って設けられている
ため（図３並びに図５参照）、スライドテーブル２４が
変位終端位置に到達する際に前記スライドテーブル２４
に付与される偏荷重を減少させる機能を営む。この結
果、スライドテーブル２４に載置される図示しないワー
クに対して偏荷重が伝達されることを阻止することがで
きる。

【００２６】スライドテーブル２４をシリンダ本体２２
の軸線方向に沿って案内するガイド機構は、前記スライ
ドテーブル２４の下面部に一体的に膨出形成され、両側
面に相互に対向する一組のボール転動溝８６ａ、８６ｂ
が形成されたガイド部８４ａ、８４ｂと、前記ガイド部
８４ａ、８４ｂの両側に所定距離離間しシリンダ本体２
２の上面部に一体的に膨出形成され、ボール循環穴３０
ａ、３０ｂとボール転動溝３２ａ、３２ｂとがそれぞれ
形成された一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂとを含
む。前記ガイドブロック２８ａ、２８ｂの両端部には、
カバー９６ａ、９６ｂおよび図示しないスクレーパがそ
れぞれねじ止めされる。

【００２７】図２に示されるように、シリンダ本体２２
の両側面部には、センサ取付用レール２６およびプレー
ト２７がそれぞれ対向し且つ着脱自在に設けられる。前
記センサ取付用レール２６の一方の側面には長手方向に
沿って略平行な二条の長溝９８ａ、９８ｂが形成され、
前記長溝９８ａ、９８ｂ内の所定部位には図示しないセ
ンサが選択的に係着される。前記センサ取付用レール２
６の他方の側面には、断面くの字状に切り欠かれた切欠
部１００が長手方向に沿って形成される。前記切欠部１
００を設けることにより、後述する磁性体を円滑に変位
させることが可能となる。

【００２８】前記センサ取付用レール２６およびプレー
ト２７には、溝部６９ａ、６９ｂの断面形状に対応して
幅広となる段部を有し、シリンダ本体２２に対して該セ
ンサ取付用レール２６およびプレート２７を保持する係
止部１０２ａ、１０２ｂが長手方向に沿ってそれぞれ形
成される。

【００２９】この場合、前記係止部１０２ａ、１０２ｂ
を溝部６９ａ、６９ｂの一端部から挿入し前記溝部６９
ａ、６９ｂに沿ってスライドさせることにより、前記セ
ンサ取付用レール２６およびプレート２７がシリンダ本
体２２に簡便に装着され、あるいはシリンダ本体２２か
ら簡便に取り外すことが可能となる。このように、セン
サ取付用レール２６およびプレート２７は、それぞれの
溝部６９ａ、６９ｂに対して選択可能に装着されるとと
もに、相互に交換可能に形成される。

【００３０】前記センサ取付用レール２６およびプレー
ト２７には、それぞれ、図２並びに図６に示されるよう
に、長手方向と略直交する方向に貫通し環状段部を有す
る一組のねじ穴１０４が所定間隔離間して形成され、各
ねじ穴１０４には先端部が略テーパ状に形成された押し
ねじ（固定手段）１０６、１０８がそれぞれ螺入され
る。

【００３１】センサ取付用レール２６に螺入される押し
ねじ１０６には、該押しねじ１０６の軸線方向に沿って
貫通する通路１１０が形成され（図６参照）、前記通路
１１０は、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（または
第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）にそれぞれ連通す
るように形成される。また、プレート２７に螺入される
押しねじ１０８は、第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ
（または第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ）を閉塞す
る機能を営む。

【００３２】前記押しねじ１０６、１０８の先端部には
環状突起部１１２が形成され、前記環状突起部１１２を
第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂまたは第２流体出入
ポート６５ａ、６５ｂに嵌挿することにより、センサ取
付用レール２６およびプレート２７をシリンダ本体２２
の側面部にそれぞれ位置決めして装着することができ
る。また、前記押しねじ１０６、１０８の環状突起部１
１２には、その連結部位を気密に保持するために断面三
角形状のＯリング１１４が装着される。なお、前記押し
ねじ１０６、１０８は、図２に示されるように、センサ
取付用レール２６並びにプレート２７の内側から各ねじ
穴１０４に螺入される。

【００３３】図２並びに図４に示されるように、シリン
ダ本体２２の一側面部にはねじ１１６を介して金具１１
８が締結され、前記金具１１８の一部を上下左右の四方
向から折曲させた爪片１２０によって円柱状の磁性体１
２２が保持される。この場合、前記磁性体１２２は、セ
ンサ取付用レール２６に形成された断面くの字状の切欠
部１００に臨むように配設される。

【００３４】本発明の第１の実施の形態に係るリニアア
クチュエータ２０は、基本的には以上のように構成され
るものであり、次にその動作並びに作用効果について説
明する。

【００３５】まず、作業者は、その選択によりシリンダ
本体２２の一方の側面にセンサ取付用レール２６を装着
し、該シリンダ本体２２の他方の側面にプレート２７を
装着する。この場合、前記センサ取付用レール２６並び
にプレート２７は、シリンダ本体２２の側面に同一形状
に形成された一組の溝部６９ａ、６９ｂに沿って係止部
１０２ａ、１０２ｂをスライドさせながら嵌挿すること
により、シリンダ本体２２に簡便に装着することができ
る。

【００３６】前記センサ取付用レール２６並びにプレー
ト２７をシリンダ本体２２に装着する際、該センサ取付
用レール２６並びにプレート２７の内側から一組の押し
ねじ１０６、１０８を螺入し（図２参照）、前記押しね
じ１０６、１０８の先端部に形成された環状突起部１１
２がそれぞれ第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂおよび
第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂにそれぞれ嵌挿され
ることにより、前記センサ取付用レール２６並びにプレ
ート２７がシリンダ本体２２の所定位置に位置決め保持
される（図６参照）。

【００３７】続いて、前記センサ取付用レール２６のね
じ穴１０４に図示しない管継手を螺入する。その際、前
記ねじ穴１０４の周囲には外部に突出して障害となるも
のが何ら存在しないため、従来技術と比較して簡便に管
継手を装着することが可能となる。

【００３８】このような準備作業を経た後、図示しない
流体圧供給源から供給された圧力流体を押しねじ１０６
の通路１１０を介して一方の第１流体出入ポート６４ｂ
に導入する。この場合、他方の第１流体出入ポート６４
ａは、図示しない切換弁の操作下に大気開放状態にして
おく。

【００３９】前記圧力流体は、第１流体出入ポート６４
ｂに連通する一方の第１シリンダ室６２ｂに供給され、
ピストン４８を矢印Ｘ₁方向に押圧する（図６参照）。
前記ピストン４８の押圧作用下にピストンロッド５０に
係合するエンドプレート７４が矢印Ｘ₁方向に変位し、
ボールベアリング２９の転動作用下に前記エンドプレー
ト７４と一体的にスライドテーブル２４が変位する。

【００４０】前記スライドテーブル２４が矢印Ｘ₁方向
に向かって変位する過程において、該スライドテーブル
２４に伴って変位するアジャスタボルト９０に装着され
た緩衝部材９４がストッパブロック３６に当接すること
により変位終端位置に至る。この場合、ロックナット９
２を緩めてアジャスタボルト９０のねじ込み量を調整す
ることにより、スライドテーブル２４の変位量を増減変
更することが可能である。

【００４１】前記とは逆方向にスライドテーブル２４を
変位させる場合には、他方の第１流体出入ポート６４ａ
に圧力流体を供給する。前記供給された圧力流体は他方
の第１シリンダ室６２ａに導入され、ピストン４８を矢
印Ｘ₂方向に向かって押圧する。前記ピストン４８の押
圧作用下に、ピストンロッド５０に係合するエンドプレ
ート７４を介してスライドテーブル２４が矢印Ｘ₂方向
に変位し、エンドプレート７４に設けられた図示しない
緩衝部材がシリンダ本体２２の端面に当接することによ
り変位終端位置に至る。

【００４２】第１の実施の形態に係るリニアアクチュエ
ータ２０では、センサ取付用レール２６をシリンダ本体
２２にねじ止めすることがなく、前記シリンダ本体２２
の溝部６９ａ（６９ｂ）にセンサ取付用レール２６の係
止部１０２ａを前記溝部６９ａ（６９ｂ）に沿って嵌挿
することにより、簡便に装着することができるととも
に、第１および第２シリンダ室６２ｂ（６３ｂ）の内壁
面とシリンダ本体２２の外壁面との肉厚Ｌ₁（図７参
照）を従来技術と比較して薄く形成することができる。

【００４３】このように、本実施の形態に係るリニアア
クチュエータ２０では、従来技術と比較して、第１およ
び第２シリンダ室６２ｂ（６３ｂ）の内壁面とシリンダ
本体２２の外壁面との肉厚Ｌ₁を薄く形成することによ
りシリンダ本体２２の短手方向の幅Ｗ₁を縮小すること
ができ、この結果、装置全体の小型・軽量化を図ること
が可能となる。

【００４４】また、本実施の形態に係るリニアアクチュ
エータ２０では、配管作業に際し、第１流体出入ポート
６４ａ、６４ｂ並びに第２流体出入ポート６５ａ、６５
ｂの周囲には外部に突出して障害となるものが何ら存在
しないため、簡便に第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ
並びに第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂに管継手を接
続することができる。

【００４５】次に、本発明の第２の実施の形態に係るリ
ニアアクチュエータ１３０を図９〜図１２に示す。な
お、以下の実施の形態において、同一の構成要素には同
一の参照符号を付し、異なる構成要素についてのみ説明
する。

【００４６】第２の実施の形態に係るリニアアクチュエ
ータ１３０では、一端部に縮径したオリフィス１３２を
有し、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出
入ポート６５ａ、６５ｂ）に連通する一組の第１ねじ穴
１３４と、先端部にテーパ部１３６を有する押しねじ１
３８が螺入される一組の第２ねじ穴１４０とをセンサ取
付用レール１４２に設けている。

【００４７】すなわち、第１の実施の形態に係るリニア
アクチュエータ２０では、押しねじ１０６に通路１１０
を形成することにより、センサ取付用レール２６をシリ
ンダ本体２２に固定する機能と第１流体出入ポート６４
ａ、６４ｂ（第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）に圧
力流体を供給する機能とを併用させているのに対し、第
２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０で
は、それぞれの機能を分離させている点で異なってい
る。

【００４８】この場合、第１ねじ穴１３４には、流体圧
供給源に連通するチューブを接続するための図示しない
管継手が螺入され、一方、第２ねじ穴１４０には押しね
じ１３８が螺入され、前記押しねじ１３８の螺入作用下
にテーパ部１３６がシリンダ本体２２の外壁面を押圧す
ることにより、センサ取付用レール１４２がシリンダ本
体２２に位置決め保持される。

【００４９】また、プレート１４４には、押しねじ１３
８を螺入するためのねじ穴１４６が貫通形成され、前記
ねじ穴１４６に沿って螺入される押しねじ１３８によっ
て該プレート１４４がシリンダ本体２２の所定位置に位
置決め保持される。

【００５０】参照数字１４８はリング状のシールパッキ
ンを示し、センサ取付用レール１４２の円形凹部１４９
に装着されたシールパッキン１４８は、オリフィス１３
２と第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出入
ポート６５ａ、６５ｂ）との連結部位を気密に保持する
機能を営み、一方、プレート１４４の円形凹部１４９に
装着されたシールパッキン１４８は、第２流体出入ポー
ト６５ａ、６５ｂ（第１流体出入ポート６４ａ、６４
ｂ）を気密に閉塞する機能を営む。

【００５１】次に、本発明の第３の実施の形態に係るリ
ニアアクチュエータ１５０を図１３〜図１５に示す。

【００５２】第３の実施の形態に係るリニアアクチュエ
ータ１５０では、一端部に縮径したオリフィス１５２を
有し、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出
入ポート６５ａ、６５ｂ）に連通する一組のねじ穴１５
４と、一組のボルト取付用孔部１５６とをセンサ取付用
レール１５８に貫通形成するとともに、シリンダ本体２
２の溝部６９ａ、６９ｂに沿って嵌挿される一組の固定
ブロック１６０を別個に形成している。前記固定ブロッ
ク１６０には、溝部６９ａ、６９ｂの形状に対応し上下
方向に沿って幅広となる係止部１６２が形成されてい
る。

【００５３】この場合、ボルト取付用孔部１５６を挿通
させたボルト１６４によって一組の固定ブロック１６０
を緊締することにより、センサ取付用レール１５８がシ
リンダ本体２２に位置決め保持される。

【００５４】また、プレート１６６には、押しねじ１３
８を螺入するためのねじ穴１６８が貫通形成され、前記
ねじ穴１６８に沿って押しねじ１３８を螺入し、前記押
しねじ１３８の先端部に係合するパッキン１７０によっ
て第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ（第１流体出入ポ
ート６４ａ、６４ｂ）が気密に閉塞される。

【００５５】第２の実施の形態に係るリニアアクチュエ
ータ１３０および第３の実施の形態に係るリニアアクチ
ュエータ１５０では、押しねじおよびボルトをセンサ取
付用レール１４２およびプレート１４４の外側から取着
している点で第１の実施の態様に係るリニアクチュエー
タ２０と異なる。

【００５６】なお、第２および第３の実施の形態に係る
リニアアクチュエータ１３０、１５０の作用効果は、第
１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０と同様
であるため、その詳細な説明を省略する。

【００５７】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。

【００５８】すなわち、シリンダ本体の短手方向の幅を
縮小して装置全体の小型・軽量化を図ることができる。

【００５９】また、流体出入ポートの周囲には外部に突
出して障害となるものが何ら存在しないため、簡便に流
体出入ポートに管継手を接続することができ、配管作業
を簡便に行うことができる。

【００６０】さらに、前記シリンダ本体を他の部材に取
り付ける取付方向の自由度を増大させることができる。

【００６１】さらにまた、変位量調整手段をスライドテ
ーブルの一端部の中央に設けることにより、前記スライ
ドテーブルの変位終端位置で発生する偏荷重を減少させ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチ
ュエータの斜視図である。

【図２】図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図
である。

【図３】図１に示すリニアアクチュエータの平面図であ
る。

【図４】図１に示すリニアアクチュエータの側面図であ
る。

【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。

【図６】図１のＶＩ−ＶＩ線に沿った横断面図である。

【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った縦断面図であ
る。

【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った縦断面図
である。

【図９】本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチ
ュエータの分解斜視図である。

【図１０】図９に示すリニアクチュエータの横断面図で
ある。

【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線に沿った縦断面図であ
る。

【図１２】図１０のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った縦断面図
である。

【図１３】本発明の第３の実施の形態に係るリニアアク
チュエータの分解斜視図である。

【図１４】図１３に示すリニアアクチュエータの横断面
図である。

【図１５】図１４のＸＶ−ＸＶ線に沿った縦断面図であ
る。

【図１６】従来技術に係るリニアアクチュエータの斜視
図である。

【図１７】図１６に示すリニアアクチュエータの側面図
である。

【符号の説明】

２０、１３０、１５０…リニアアクチュエータ２２…シリンダ本体２４…スライドテ
ーブル２６、１４２、１５８…センサ取付用レール２７、１４４、１６６…プレート２８ａ、２８ｂ…
ガイドブロック３０ａ、３０ｂ…ボール循環穴３２ａ、３２ｂ…
ボール転動溝４０ａ、４０ｂ…取付用孔部４２ａ、４２ｂ…
貫通孔４８…ピストン５０…ピストンロ
ッド６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ…シリンダ室６４ａ、６４ｂ、６５ａ、６５ｂ…流体出入ポート６９ａ、６９ｂ…溝部７２…テーブル７４…エンドプレート９０…アジャスタ
ボルト９４…緩衝部材９８ａ、９８ｂ…
長溝１００…切欠部１０２ａ、１０２
ｂ、１６２…係止部１０４、１３４、１４０、１４６、１５４、１６８…ね
じ穴１０６、１０８、１３８…押しねじ１１０…通路１１２…環状突起部１１４…Ｏリング１１８…金具１２０…爪片１２２…磁性体１３２、１５２…
オリフィス１６０…固定ブロック

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流体出入ポートに連通するシリンダ室を有
し、側面部に軸線方向に沿って延在する溝部が形成され
たシリンダ本体と、前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスラ
イドテーブルと、前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストン
の変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させる
シリンダ機構と、センサ装着用の長溝が形成され、前記溝部に沿って嵌挿
され該溝部に保持される係止部が設けられたブロック体
と、前記長溝の所定位置に選択的に装着されるセンサと、を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
いて、ブロック体には、該ブロック体をシリンダ本体の
側面部の所定位置に固定する固定手段が設けられること
を特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】請求項２記載のリニアアクチュエータにお
いて、固定手段は、ブロック体に貫通形成されたねじ穴
に螺入される押しねじ、またはボルトを介して緊締され
る固定ブロックを有することを特徴とするリニアアクチ
ュエータ。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載のリ
ニアアクチュエータにおいて、係止部はブロック体と一
体的に形成され、またはブロック体と別個に設けられた
固定ブロックに形成されることを特徴とするリニアアク
チュエータ。
【請求項５】請求項２記載のリニアアクチュエータにお
いて、押しねじには、流体出入ポートに連通する通路が
形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項６】請求項１乃至５のいずれか１項に記載のリ
ニアアクチュエータにおいて、溝部は、シリンダ本体の
相互に対向する一組の側面部に形成され、固定手段を介
してシリンダ本体の一方の側面部の溝部にブロック体を
固定するとともに他方の側面部の溝部に流体出入ポート
を閉塞する閉塞プレートを固定し、前記ブロック体と閉
塞プレートは、相互に交換可能に設けられることを特徴
とするリニアアクチュエータ。
【請求項７】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
いて、ブロック体の一側面は、スライドテーブルに付設
された磁性体が臨むように切り欠いて形成されることを
特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項８】請求項１乃至７のいずれか１項に記載のリ
ニアアクチュエータにおいて、スライドテーブルをシリ
ンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構が設け
られることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項９】請求項１乃至８のいずれか１項に記載のリ
ニアアクチュエータにおいて、スライドテーブルの一端
部の中央に設けられ、前記スライドテーブルの変位量を
調整する変位量調整手段を備えることを特徴とするリニ
アアクチュエータ。
【請求項１０】請求項１乃至９のいずれか１項に記載の
リニアアクチュエータにおいて、スライドテーブル側ま
たはシリンダ本体側のいずれの方向からも選択可能にシ
リンダ本体を他の部材に取り付ける取付手段を設けるこ
とを特徴とするリニアアクチュエータ。