JP2000283113A - リニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】装置全体の幅方向、軸線方向および高さ方向の
寸法をそれぞれ抑制することにより、小型・軽量化を図
ることにある。 【解決手段】アクチュエータボデイ２２の底面部に形成
された凹部７４にセンサ取付用レール７２の凸部１２２
を装着し、ボルト７０をねじ込むことによってアクチュ
エータボデイ２２にセンサ取付用レール７２を固定す
る。また、アクチュエータボデイ２２と別体で形成さ
れ、且つ該アクチュエータボデイ２２の軸線方向に沿っ
た一端部に連結される連結ブロック６２に変位量調整手
段として機能するストッパ９０を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体出入ポートか
ら圧力流体を導入することにより、アクチュエータボデ
イの軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させ
ることが可能なリニアアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ワーク等の搬送手段としてリ
ニアアクチュエータが用いられている。このリニアアク
チュエータは、ボデイに沿って移動テーブルを直線状に
往復運動させることにより、前記移動テーブルに載置さ
れたワークを搬送することができる。

【０００３】この種の従来技術に係る流体圧アクチュエ
ータを図９および図１０に示す（特開平１１−５１００
９号公報参照）。

【０００４】この従来技術に係る流体圧アクチュエータ
１は略直方体状に形成されたボデイ２を有し、前記ボデ
イ２の一側面部には、磁気近接センサ３を装着するため
の略平行な２条の取付用溝４が形成されたセンサ取付用
レール５が設けられる。このセンサ取付用レール５は、
離間する一組の孔部（図示せず）に挿入されたボルト６
を前記ボデイ２の一側面に形成された図示しないねじ穴
に螺入することにより該ボデイ２の一側面に固定されて
いる。

【０００５】次に、他の従来技術に係る流体圧シリンダ
を図１１に示す（実開平６−４３３０２号公報参照）。

【０００６】この流体圧シリンダ７は、内部に図示しな
いシリンダ室が設けられ、一端部にエンドブロック８が
連結されたシリンダ本体９と、前記シリンダ本体９の上
面部に固設されたリニアガイド１０の案内作用下に、前
記シリンダ本体９の軸線方向に沿って移動するテーブル
１１とを有する。前記シリンダ本体９の長手方向と略直
交する一端部には、第１張出し部１２が上方に向かって
膨出形成され、前記テーブル１１の一側面部には前記第
１張出し部１２を挟むように第２張出し部１３および第
３張出し部１４が横方向に向かって膨出形成されてい
る。

【０００７】この場合、前記第２張出し部１３および第
３張出し部１４にそれぞれねじ込まれたボルト１５ａ、
１５ｂが前記第１張出し部１２に当接することにより、
テーブル１１の移動終端位置が規制されるとともに、前
記ボルト１５ａ、１５ｂのねじ込み量を調整することに
より、該テーブル１１の移動量が調整される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来技術に係る流体圧アクチュエータ１では、センサ取
付用レール５にボルト挿入用の孔部を形成する必要があ
り、前記孔部の直径分だけ前記センサ取付用レール５の
高さ方向の寸法が増大し、装置全体における高さ方向の
寸法が大きくなってしまうという不都合がある。

【０００９】また、他の従来技術に係る流体圧シリンダ
７では、テーブル１１の移動量を規制するボルト１５
ａ、１５ｂを第２張出し部１３および第３張出し部１４
を介してテーブル１１の横方向（幅方向）に設けている
ため前記テーブル１１の幅方向の寸法が増大し、装置全
体における幅方向の寸法が大きくなってしまうという不
都合がある。

【００１０】この場合、シリンダ本体９に連結されるエ
ンドブロック８の略中央部の上面に図示しない凸部を膨
出形成し、前記凸部にねじ込まれるボルト１５ａ（１５
ｂ）によってテーブル１１の移動量を規制することが考
えられるが、シリンダ本体９の一端部にエンドブロック
８を連結することによりシリンダ本体９の軸線方向の寸
法が増大し、装置全体における軸線方向の寸法が大きく
なってしまうという他の不都合がある。

【００１１】また、前記流体圧シリンダ７において、シ
リンダ本体９とエンドブロック８とを鋳造成形等によっ
て一体成形することが考えられるが、リニアガイド１０
の側面部に対しボール転動溝を形成するために図示しな
い研磨砥石を用いて研磨加工を行う場合に、シリンダ本
体９と一体成形されたエンドブロック８および該エンド
ブロック８に膨出形成された図示しない凸部が障害とな
り、ボール転動溝の研磨加工を円滑に行うことができな
いという不都合がある。

【００１２】本発明は、前記の種々の不都合を克服する
ためになされたものであり、装置全体の幅方向、軸線方
向および高さ方向の寸法をそれぞれ抑制することによ
り、小型・軽量化を図ることが可能なリニアアクチュエ
ータを提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入す
ることにより、アクチュエータボデイの軸線方向に沿っ
てスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエ
ータであって、軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有す
るとともに、前記貫通孔に連通する開口部が形成された
アクチュエータボデイと、前記アクチュエータボデイの
軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、前
記開口部を介して前記スライドテーブルの底面部に略直
交して連結され、該スライドテーブルと一体的に変位す
るジョイント部材と、前記貫通孔内に形成されたシリン
ダ室に沿って摺動自在に配設され、圧力流体の作用下に
前記ジョイント部材をアクチュエータボデイの軸線方向
に沿って押圧する一組のピストンと、前記スライドテー
ブルをアクチュエータボデイの軸線方向に沿って案内す
る摺動機構と、前記アクチュエータボデイに形成された
凹部に装着される凸部を有し、センサ取付用の長溝が形
成されたレール部材と、を備えることを特徴とする。

【００１４】この場合、前記アクチュエータボデイの軸
線方向に沿った一端部に、該アクチュエータボデイと別
体からなる連結部材を連結し、前記連結部材に、スライ
ドテーブルの変位量を調整する変位量調整手段を設ける
と好適である。前記連結部材は、アクチュエータボデイ
に形成された凹部に装着される突起部と、シリンダ室に
連通する流体出入ポートが形成されたブロック体とから
なり、前記突起部およびブロック体を一体的に設けると
好適である。

【００１５】本発明によれば、アクチュエータボデイに
形成された凹部にレール部材の凸部を装着し、ボルト等
をねじ込むことによってアクチュエータボデイにレール
部材を固定している。従って、レール部材の高さ方向に
沿ってボルト挿入用の孔部を設けていないため、前記孔
部の直径分だけ高さ方向の寸法が抑制され、装置全体と
して高さ方向の寸法が抑制される。

【００１６】また、本発明では、アクチュエータボデイ
と別体で形成され、且つ該アクチュエータボデイの軸線
方向に沿った一端部に連結される連結部材に変位量調整
手段が設けられているため、スライドテーブルの横方向
に第２張出し部および第３張出し部等を設ける必要がな
く、スライドテーブルの幅方向の寸法が抑制され、装置
全体として幅方向の寸法が抑制される。

【００１７】さらに、本発明では、エンドブロックを連
結していないため、装置全体における軸線方向の寸法が
抑制される。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明に係るリニアアクチュエー
タについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照
しながら以下詳細に説明する。

【００１９】図１において、参照数字２０は本発明の実
施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。

【００２０】このリニアアクチュエータ２０は、基本的
には、直方体状のアクチュエータボデイ２２と、前記ア
クチュエータボデイ２２の上面部に膨出して一体的に形
成された一対のガイドブロック２４ａ、２４ｂに沿って
直線状に往復動作するスライドテーブル２６と、前記ス
ライドテーブル２６をアクチュエータボデイ２２の軸線
方向に沿って円滑に往復動作させるための摺動機構２８
とから構成される。なお、前記アクチュエータボデイ２
２は、例えば、ロストワックス法等によって鋳造成形す
ると好適である。

【００２１】前記アクチュエータボデイ２２の上面部に
は、図４に示されるように、所定間隔離間し軸線方向に
沿って延在する一対のガイドブロック２４ａ、２４ｂが
一体的に膨出形成され、前記一対のガイドブロック２４
ａ、２４ｂには、後述するボール循環穴３０およびボー
ル転動溝３２がそれぞれ形成されている。前記アクチュ
エータボデイ２２の上面部および底面部の略中央部に
は、図２に示されるように、略円柱状のジョイント部材
３４（後述する）が自在に変位するための略楕円形状の
開口部３６ａ、３６ｂがそれぞれ形成されている。

【００２２】また、前記アクチュエータボデイ２２の対
角線状に対向する一組の角部には、図１および図５に示
されるように、段部を介して貫通する取付用孔部３８
ａ、３８ｂがそれぞれ形成され、前記取付用孔部３８
ａ、３８ｂに図示しない固定用ボルトを嵌合することに
より、該アクチュエータボデイ２２を図示しない他の部
材、壁面等に固定することが可能となる。

【００２３】さらに、アクチュエータボデイ２２の内部
には、図２に示されるように、前記開口部３６ａ、３６
ｂに連通し且つ軸線方向に沿って延在する貫通孔４０が
形成され、前記貫通孔４０の両端部は、環状溝にシール
リング４２が装着された一対のエンドキャップ４４ａ、
４４ｂによってそれぞれ閉塞され、一方のエンドキャッ
プ４４ａは、止め輪４６を介して貫通孔４０内に気密に
保持される。

【００２４】前記貫通孔４０内には、環状溝を介してピ
ストンパッキン４８が装着された一対のピストン５０
ａ、５０ｂが配設され、前記一対のピストン５０ａ、５
０ｂは前記貫通孔４０に沿って摺動自在に設けられる。
なお、一方のピストン５０ａの一端部には、例えば、ウ
レタンゴムによって形成されたリング状のダンパ５２が
装着され、また、前記他方のエンドキャップ４４ｂに
は、軸線方向に沿って貫通する小径の固定絞り５４が形
成されている。

【００２５】この場合、前記貫通孔４０を閉塞する一対
のエンドキャップ４４ａ、４４ｂと一対のピストン５０
ａ、５０ｂとによって一組のシリンダ室５６ａ、５６ｂ
がそれぞれ形成され、一方のシリンダ室５６ａは、図３
に示されるように、固定絞り５８を介して一対の第１流
体出入ポート６０ａ、６０ｂにそれぞれ連通するように
設けられる。他方のシリンダ室５６ｂは、エンドキャッ
プ４４ｂの固定絞り５４を介して、後述する連結ブロッ
ク６２に形成された一対の第２流体出入ポート６４ａ、
６４ｂにそれぞれ連通するように設けられる。

【００２６】なお、前記第１流体出入ポート６０ａ、６
０ｂ（第２流体出入ポート６４ａ、６４ｂ）は、チュー
ブ等の配管の取り出し方向が軸線方向に沿って設けられ
た第１ポートと、チューブ等の配管の取り出し方向が軸
線と略直交する方向に設けられた第２ポートとから構成
され、作業者は、設置環境に応じて第１ポートまたは第
２ポートのいずれかにチューブ等を接続することによ
り、適宜、配管の取り出し方向を選択することができ
る。

【００２７】本実施の形態では、図３に示されるよう
に、軸線と略直交する方向からの配管取り出しが選択さ
れ、軸線方向に沿った第１ポートは、該第１ポートにね
じ込まれたプラグ６６によって閉塞されている。このプ
ラグ６６は、第１ポートまたは第２ポートのいずれにも
ねじ込み可能に設けられている。

【００２８】図２に示されるように、前記一対のピスト
ン５０ａ、５０ｂの間には、略上下方向に沿って延在す
るジョイント部材３４が設けられ、前記ジョイント部材
３４の一端部は、スライドテーブル２６の略中央部に形
成されたねじ孔６８に螺入される。この場合、第１流体
出入ポート６０ａ、６０ｂ（あるいは第２流体出入ポー
ト６４ａ、６４ｂ）を介して一方のシリンダ室５６ａ
（５６ｂ）に圧力流体を導入し、ピストン５０ａ、５０
ｂの変位作用下に、該ピストン５０ａ、５０ｂの端部が
ジョイント部材３４に当接して押圧することにより、前
記ジョイント部材３４を介してスライドテーブル２６を
矢印Ｘ方向（あるいは矢印Ｙ方向）に変位させることが
できる。

【００２９】アクチュエータボデイ２２の底面部には、
図８に示されるように、一組のボルト７０を介して後述
するセンサ取付用レール（レール部材）７２を装着する
ための凹部７４が形成され、前記凹部７４にはボルト７
０を螺入するための一組のねじ穴７３が形成されてい
る。また、アクチュエータボデイ２２の底面部には、３
本のボルト７０を介して連結ブロック６２を取り付ける
ための取付用凹部７６が形成され、前記取付用凹部７６
にはボルトを螺入するための３つのねじ穴が形成されて
いる。

【００３０】前記連結ブロック６２は、シールリング７
８を介してエンドキャップ４４ｂと気密に連結される環
状段部８０（図２参照）が形成されるとともに、一組の
第２流体出入ポート６４ａ、６４ｂがそれぞれ略直交す
る方向に形成されたブロック体８２と、前記ブロック体
８２の側面部に一体的に設けられ、アクチュエータボデ
イ２２の取付用凹部７６に装着される長尺な平板状の突
起部８４とを有する（図８および図９参照）。なお、前
記連結ブロック６２は、例えば、アルミニウム等を押し
出し成形することにより形成すると好適である。

【００３１】前記ブロック体８２には貫通するねじ孔８
６が形成され、前記ねじ孔８６には、一端部にダンパ８
８が設けられたストッパ９０が螺入される。このストッ
パ９０は、スライドテーブル２６が該ストッパ９０に当
接することにより該スライドテーブル２６の変位量を規
制するとともに、ナット部材９２の螺回作用下に前記変
位量を自在に調整する変位量調整手段としての機能を営
む。

【００３２】スライドテーブル２６の上面部には、後述
するブラケット９４の屈曲部９６ａ、９６ｂが装着され
る一組の凹部９８ａ、９８ｂが形成され、前記ブラケッ
ト９４は、前記凹部９８ａ、９８ｂに前記屈曲部９６
ａ、９６ｂを装着しボルト１００を介してねじ止めする
ことにより、スライドテーブル２６に固定される。ま
た、スライドテーブル２６の底面部には、軸線方向に沿
って延在するガイド部１０２が一体的に膨出形成され、
前記ガイド部１０２の対向する側面部には、軸線方向に
沿って延在する断面円弧状のボール転動溝１０４がそれ
ぞれ形成される。さらに、前記スライドテーブル２６に
は、図２に示されるように、ストッパ９０に当接する当
接面１０６を有する断面矩形状の切欠部が形成される。

【００３３】摺動機構２８は、図５に示されるように、
アクチュエータボデイ２２と一体的に膨出形成された一
対のガイドブロック２４ａ、２４ｂと、ねじ部材を介し
て前記ガイドブロック２４ａ、２４ｂの両端部にそれぞ
れ装着されるカバー１０８およびスクレーパ１１０とを
含む。前記ガイドブロック２４ａ、２４ｂには、軸線方
向に沿って貫通するボール循環穴３０が形成され、該ガ
イドブロック２４ａ、２４ｂの対向する内壁面には軸線
方向に沿って延在するボール転動溝３２が形成される。
前記ボール循環穴３０およびボール転動溝３２には、該
ボール循環穴３０およびボール転動溝３２に沿って転動
する複数のボールベアリング１１６が配設される。

【００３４】センサ取付用レール７２の一側面部には、
断面円弧状に形成されたセンサ取付用の長溝１１８が略
平行に２条形成され、前記長溝１１８と反対側の一側面
部には断面Ｖ字状の凹部１２０が形成される（図４参
照）。また、センサ取付用レール７２には、アクチュエ
ータボデイ２２の凹部７４に対応する形状からなる凸部
１２２が膨出形成され、前記凸部１２２を凹部７４に装
着しボルト７０によってねじ締結することにより、アク
チュエータボデイ２２にセンサ取付用レール７２が固定
される（図８参照）。

【００３５】アクチュエータボデイ２２とセンサ取付用
レール７２との間には、複数の爪片１２４を介して円柱
状の磁石１２６を保持するブラケット９４が設けられ
る。前記ブラケット９４は、所定間隔離間する一組の平
板状の屈曲部９６ａ、９６ｂを介してスライドテーブル
２６の上面部に固定され、前記磁石１２６は、該スライ
ドテーブル２６と一体的に変位するように設けられてい
る（図７参照）。

【００３６】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュ
エータ２０は基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について説明する。

【００３７】先ず、図示しない流体圧供給源からの圧力
流体を第２流体出入ポート６４ｂに導入する。この場
合、他方の第１流体出入ポート６０ａは、図示しない切
換弁の切換作用下に大気開放状態にしておく。

【００３８】前記圧力流体は、第２流体出入ポート６４
ｂに連通する固定絞り５４を介して一方のシリンダ室５
６ｂに供給され、ピストン５０ｂを矢印Ｘ方向に押圧す
る。前記ピストン５０ｂが押圧されて変位することによ
り該ピストン５０ｂの端部がジョイント部材３４に当接
し、前記ジョイント部材３４は開口部３６ａ、３６ｂに
沿って矢印Ｘ方向に変位する。従って、前記ジョイント
部材３４に連結されたスライドテーブル２６が該ジョイ
ント部材３４と一体的に矢印Ｘ方向に向かって変位し、
ピストン５０ａの一端部に装着されたダンパ５２がエン
ドキャップ４４ａに当接することにより一方の変位終端
位置に至る。なお、前記ダンパ５２によってピストン５
０ａがエンドキャップ４４ａに当接する際の衝撃が緩和
される。

【００３９】前記とは逆方向（矢印Ｙ方向）にスライド
テーブル２６を変位させる場合には、第１流体出入ポー
ト６０ａに圧力流体を供給する。前記供給された圧力流
体は、固定絞り５８を介して他方のシリンダ室５６ａに
導入され、ピストン５０ａを矢印Ｙ方向に向かって押圧
する。前記ピストン５０ａの押圧作用下にジョイント部
材３４が矢印Ｙ方向に向かって変位し、前記ジョイント
部材３４を介してスライドテーブル２６が矢印Ｙ方向に
変位する。この場合、スライドテーブル２６の切欠部に
形成された当接面１０６がストッパ９０のダンパ８８に
当接することにより他方の変位終端位置に至る。なお、
ストッパ９０の一端部に設けられたダンパ８８によって
スライドテーブル２６がストッパ９０に当接する際の衝
撃が緩和される。

【００４０】上記したように、本実施の形態では、アク
チュエータボデイ２２の底面部に形成された凹部７４に
対しセンサ取付用レール７２の凸部１２２を装着し、ボ
ルト７０をねじ込むことによってアクチュエータボデイ
２２にセンサ取付用レール７２を固定している。従っ
て、センサ取付用レール７２の高さ方向に沿ってボルト
挿入用の孔部を設けていないため、前記孔部の直径分だ
け高さ方向の寸法が抑制され、装置全体として高さ方向
の寸法を抑制することができる。

【００４１】また、本実施の形態では、連結ブロック６
２を介してスライドテーブル２６の移動量を規制するス
トッパ９０をアクチュエータボデイ２２に設けている。
従って、図１１に示す従来技術のようにテーブル１１の
横方向に第２張出し部１３および第３張出し部１４を設
ける必要がないため、スライドテーブル２６の幅方向の
寸法が抑制され、装置全体として幅方向の寸法を抑制す
ることができる。

【００４２】さらに、本実施の形態では、図１１に示す
従来技術のようにシリンダ本体９の一端部にエンドブロ
ック８を連結していないため、装置全体における軸線方
向の寸法を抑制することができる。

【００４３】さらにまた、アクチュエータボデイ２２と
連結ブロック６２とを別体で構成することにより、アク
チュエータボデイ２２の一対のガイドブロック２４ａ、
２４ｂに形成されたボール転動溝３２を図示しない研磨
砥石によって研磨加工を行う際に障害物がないため、前
記ボール転動溝３２の研磨加工を円滑に行うことができ
るという利点がある。

【００４４】この結果、本実施の形態では、装置全体に
おける高さ方向、幅方向および軸線方向の寸法を抑制す
ることにより、装置全体の小型・軽量化を図ることがで
きる。

【００４５】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。

【００４６】すなわち、装置全体における高さ方向、幅
方向および軸線方向の寸法を抑制することにより、装置
全体の小型・軽量化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエー
タの斜視図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。

【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った横断面図であ
る。

【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った縦断面図である。

【図５】摺動機構を示す横断面図である。

【図６】図１に示すリニアアクチュエータの底面図であ
る。

【図７】図１に示すリニアアクチュエータの要部分解斜
視図である。

【図８】図７の矢印Ｚ方向からみた矢視図である。

【図９】従来技術に係る流体圧アクチュエータの正面図
である。

【図１０】図９に示す流体圧アクチュエータの側面図で
ある。

【図１１】他の従来技術に係る流体圧シリンダの斜視図
である。

【符号の説明】

２０…リニアアクチュエータ ２２…アクチュ
エータボデイ ２４ａ、２４ｂ…ガイドブロック ２６…スライド
テーブル ２８…摺動機構 ３０…ボール循
環穴 ３２、１０４…ボール転動溝 ３４…ジョイン
ト部材 ３６ａ、３６ｂ…開口部 ４０…貫通孔 ４４ａ、４４ｂ…エンドキャップ ５０ａ、５０ｂ
…ピストン ５２、８８…ダンパ ５６ａ、５６ｂ
…シリンダ室 ６０ａ、６０ｂ、６４ａ、６４ｂ…流体出入ポート ６２…連結ブロック ７０、１００…
ボルト ７２…センサ取付用レール ７６…取付用凹
部 ８２…ブロック体 ８４…突起部 ９０…ストッパ ９４…ブラケッ
ト ９６ａ、９６ｂ…屈曲部 ７４、９８ａ、
９８ｂ、１２０…凹部 １０２…ガイド部 １１６…ボール
ベアリング １１８…長溝 １２２…凸部 １２６…磁石

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮崎 省吾 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H081 AA03 BB01 CC23 EE26 EE29 GG04 GG14 GG23

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流体出入ポートから圧力流体を導入するこ
   とにより、アクチュエータボデイの軸線方向に沿ってス
   ライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータ
   であって、 軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するとともに、前
   記貫通孔に連通する開口部が形成されたアクチュエータ
   ボデイと、 前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿って往復動作
   するスライドテーブルと、 前記開口部を介して前記スライドテーブルの底面部に略
   直交して連結され、該スライドテーブルと一体的に変位
   するジョイント部材と、 前記貫通孔内に形成されたシリンダ室に沿って摺動自在
   に配設され、圧力流体の作用下に前記ジョイント部材を
   アクチュエータボデイの軸線方向に沿って押圧する一組
   のピストンと、 前記スライドテーブルをアクチュエータボデイの軸線方
   向に沿って案内する摺動機構と、 前記アクチュエータボデイに形成された凹部に装着され
   る凸部を有し、センサ取付用の長溝が形成されたレール
   部材と、 を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 【請求項２】請求項１記載のリニアアクチュエータにお
   いて、 前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿った一端部に
   は、該アクチュエータボデイと別体からなる連結部材が
   連結され、前記連結部材には、スライドテーブルの変位
   量を調整する変位量調整手段が設けられることを特徴と
   するリニアアクチュエータ。
3. 【請求項３】請求項２記載のリニアアクチュエータにお
   いて、 前記連結部材は、アクチュエータボデイに形成された凹
   部に装着される突起部と、シリンダ室に連通する流体出
   入ポートが形成されたブロック体とからなり、前記突起
   部およびブロック体は一体的に設けられることを特徴と
   するリニアアクチュエータ。