DE19720100C2 - Linearstellglied - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Linearstellglied gemäß dem Oberbegriff der Ansprüche 1 oder 10.

Linearstellglieder, beispielsweise fluiddruckbetriebene Zylinder, wurden bisher als Mittel zum Transport von Werk­ stücken oder dergleichen verwendet. Das Linearstellglied umfaßt einen Gleittisch, der linear entlang eines Haupt­ zylinderkörpers hin- und herbewegbar ist, so daß ein auf dem Gleittisch angeordnetes Werkstück transportiert wird.

Ein erstes herkömmliches Linearstellglied basiert auf einem technischen Konzept, wie es beispielsweise in der japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung JP 5-42 716 U beschrieben ist. Wie in den Fig. 39A und 39B dargestellt ist, umfaßt der fluiddruckbetriebene Zylinder 1 einen Hauptzylinderkörper 2 und eine Führungsschiene 3, die so ausgebildet ist, daß sie von einer oberen Oberfläche des Hauptzylinderkörpers 2 in einer Längsrichtung vorspringt.

Der fluiddruckbetriebene Zylinder 1 umfaßt einen Gleittisch 4, der entlang der Führungsschiene 3 entsprechend der Ver­ schiebungswirkung eines in einer Zylinderkammer aufgenommenen Kolbens gleitend verschiebbar ist. Kugelzirkulationsöffnungen (nicht dargestellt) für die Umwälzung einer Vielzahl nicht dargestellter Lagerkugeln sind in dem Gleittisch 4 entlang der Längsrichtung des Gleittisches 4 ausgebildet. Schraubenöff­ nungen 5a bis 5d zur Befestigung eines Werkstücks sind durch eine obere Oberfläche des Gleittisches hindurch ausgebildet. Ein Paar von Befestigungsöffnungen 6a, 6b zur Befestigung und Sicherung des Hauptzylinderkörpers 2 an einem nicht dar­ gestellten anderen Element sind an diagonal auf dem Haupt­ zylinderkörper 2 angeordneten Ecken ausgebildet.

Im Falle des in den Fig. 39A und 39B dargestellten fluiddruck­ betriebenen Zylinders 1 wird die Breite L des Hauptzylinder­ körpers 2 in seiner Querrichtung durch L ≈ L₁ + (L₂ × 2) dargestellt, wobei L₁ die Breite der Führungsschiene 3 und L₂ der Durchmesser der Befestigungsöffnungen 6a, 6b ist. Somit hat die Breite L des Hauptzylinderkörpers 2 etwa einen Wert der durch Addition der Breite L₁ der Führungsschiene 3 zu den Durchmessern L₂ der beiden Befestigungsöffnungen 6a, 6b erhalten wird. Bei dieser Anordnung ist es unmöglich, die Breite L₁ der Führungsschiene 3 zu reduzieren, da hierdurch die Steifigkeit des Gleittisches 4 verringert würde. Dement­ sprechend hat die Breite L des Hauptzylinderkörpers 2 einen Wert, der durch Addition der Breite L₁ der Führungsschiene 3 zu den Durchmessern L₂ der Befestigungsöffnungen 6a, 6b erhalten wird.

Wie oben beschrieben wurde, kann in dem Fall dieses herkömm­ lichen fluiddruckbetriebenen Zylinders 1 die Breite L des Hauptzylinderkörpers 2 aufgrund des Einflusses der Breite L₁ der Führungsschiene 3 nicht reduziert werden. Als Folge hiervon hat der fluiddruckbetriebene Zylinder 1 den Nachteil, daß die gesamte Zylindervorrichtung nicht in kompakter Größe und mit geringerem Gewicht ausgebildet werden kann.

Ein anderes herkömmliches Linearstellglied basiert auf einem technischen Konzept, das beispielsweise in der japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung JP 6-43 302 U beschrieben ist. Wie in Fig. 40 dargestellt, umfaßt der fluiddruckbetriebene Zylinder 7 einen Zylinderkörper 8 und einen Tisch 10. Der Zylinderkörper 8 weist eine darin ausgebildete Zylinderkammer auf. Der Tisch 10 ist entsprechend der Führung durch eine an einer oberen Oberfläche des Zylinderkörpers 8 befestigte Linearführung 9 entlang einer Axialrichtung des Zylinderkör­ pers 8 bewegbar. Ein erster Vorsprung 11 ist so ausgebildet, daß er an einem in einer Querrichtung des Zylinderkörpers 8 angeordneten Ende nach oben vorspringt. Zweite und dritte Vorsprünge 12, 13 sind so ausgebildet, daß sie seitlich an einer in Querrichtung des Tisches angeordneten Seitenfläche so vorspringen, daß der erste Vorsprung 11 zwischen den zweiten und dritten Vorsprüngen 12, 13 angeordnet ist.

Bei dieser Anordnung liegen Bolzen 14, 15, die in die zweiten bzw. dritten Vorsprünge 12, 13 eingeschraubt sind, gegen den ersten Vorsprung 11 an. Dadurch werden Endpositionen der Bewegung des Tisches eingestellt. Die Größe der Bewegung des Tisches 10 wird durch entsprechend weites Einschrauben der Bolzen 14, 15 eingestellt.

In dem Fall des in Fig. 40 dargestellten fluiddruckbetriebenen Zylinders 7 gemäß der weiteren herkömmlichen Technik sind jedoch die ersten bis dritten Vorsprünge 11, 12, 13, die dazu dienen, den Bewegungsbereich des Tisches 10 einzustellen, so ausgebildet, daß sie nach außen in Querrichtung des fluid­ druckbetriebenen Zylinders 4 vorstehen. Dementsprechend hat der fluiddruckbetriebene Zylinder 7 den Nachteil, daß es unmöglich ist, die Breite L in Querrichtung des fluiddruck­ betriebenen Zylinders 7 einschließlich des Tisches 10 zu reduzieren, und die gesamte Zylindervorrichtung kann nicht kompakt und nicht mit geringem Gewicht hergestellt werden, ähnlich wie dies bei dem zuvor beschriebenen herkömmlichen fluiddruckbetriebenen Zylinder 1 der Fall ist.

Außerdem sind in dem Fall der fluiddruckbetriebenen Zylin­ der 1, 7 entsprechend der in den Fig. 39A, 398 und 40 dargestellten herkömmlichen Techniken, die Breite L₁ der Führungsschiene 3 und die Breite L₃ der Linearführung 9 im Vergleich mit den Breiten L der Hauptzylinderkörper (Zylinder­ körper) 2, 8 relativ klein ausgebildet. Aus diesem Grund entsteht der Nachteil, daß die Lineargenauigkeit der Gleitti­ sche 4, 10 durch horizontal auf den Gleittisch (Tisch) 4, 10 wirkende Lasten verschlechtert wird.

Ein Linearstellglied gemäß einer dritten herkömmlichen Technik basiert auf einem technischen Konzept, das beispielsweise in der japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung JP 6-47 708 U beschrieben ist. Wie in den Fig. 41 und 42 dargestellt, umfaßt der fluiddruckbetriebene Zylinder 16 einen Hauptzylinderkörper 17 einschließlich eines Linearwälzlagers 16a, das so ausge­ bildet ist, daß es an seinem zentralen Abschnitt vorsteht, und einen Tisch 18, der gemäß einer Führungswirkung des Linear­ wälzlagers 16a linear hin- und herbewegbar ist.

Ein Permanentmagnet 18a ist an einer Seitenfläche des Tisches 18 befestigt. Eine Führungsschiene 18c ist mit Hilfe eines Paares von Schrauben 18b, 18b an einer Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers 17 befestigt. Eine längliche Nut 18d ist in der Führungsschiene 18c entlang deren Axialrichtung ausgebildet. Die Position des Tisches 18 wird durch Fest­ stellen einer Magnetwirkung des Permanentmagneten 18a unter Verwendung eines magnetischen Proximitätsschalters 19 festgestellt, der an einer festgelegten Position in der länglichen Nut 18d angebracht ist.

Ein Paar von Fluiddruckzufuhröffnungen 19a, 19a, von denen eine nicht dargestellt ist und die dazu verwendet werden, nicht dargestellte Rohranschlüsse einzuschrauben und nicht dargestellte Rohrleitungen anzuschließen, sind nahe der Führungsschiene 18c an einer Seitenfläche des Hauptzylinder­ körpers 18 ausgebildet.

In dem Fall des fluiddruckbetriebenen Zylinders 16 wird jedoch die Führungsschiene 18c, an der der magnetische Proximitäts­ schalter 19 angebracht wird, an der einen Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers 17 mittels der Schrauben 18b, 18b befestigt. Dementsprechend ist es notwendig, an der Seiten­ fläche des Hauptzylinderkörpers 17 Schraubenöffnungen zum Einschrauben der Schrauben 18b, 18b auszubilden. Daher ist es notwendig, daß die Dicke M zwischen einer inneren Wandfläche der Zylinderkammer und einer äußeren Wandfläche des Haupt­ zylinderkörpers 17 (vgl. Fig. 42) dick ausgebildet ist, damit die Schraubenöffnungen gebohrt werden können. Als Folge hiervon ist es unmöglich, die Breite W in Querrichtung des Hauptzylinderkörpers 17 zu reduzieren. Somit besteht die Schwierigkeit, daß es unmöglich ist, die gesamte Vorrichtung mit kompakter Größe und geringerem Gewicht auszubilden.

In dem Fall des herkömmlichen fluiddruckbetriebenen Zylin­ ders 16 entsteht der Nachteil, daß die Führungsschiene 18c, die im Vergleich zu den Fluiddruckzufuhröffnungen 19a, 19a nach außen vorsteht, hinderlich ist, so daß die Verrohrung kompliziert wird, wenn die Rohranschlüsse eingeschraubt werden, um die Rohrleitungen mit den Fluiddruckzufuhröff­ nungen 19a, 19a des Hauptzylinderkörpers 17 zu verbinden.

Die JP 7-190014 zeigt ein Linearstellglied gemäß dem Ober­ begriff des Anspruchs 1 mit einem Hauptzylinderkörper, in dem ein Kolben zur Hin- und Herbewegung in einer Zylinderkammer angeordnet ist. Der Kolben ist über eine Kolbenstange mit der Stirnseite eines Gleittisches verbunden. Zur Führung des Gleittisches ist in Axialrichtung ein Führungsabschnitt auf dem Hauptzylinderkörper angebracht, der seitlich von zwei an dem Gleittisch angebrachten Führungsblöcken eingerahmt ist. Ferner sind in der Mitte des Gleittisches und des Führungs­ abschnitts Befestigungsöffnungen vorgesehen. Allerdings sieht der Führungsmechanismus keine Möglichkeit zur genauen Einstellung des linearen Verschiebungsweges vor.

Aus der EP 0 713 748 A1 ist ein Linearantrieb bekannt, bei dem zur Bewegung des Gleittisches ein sich von diesem im Wesentli­ chen vertikal erstreckender Verbinder vorgesehen ist, der durch Schlitze in dem Zylinderkörper hindurchgeführt und zwischen sich hin- und herbewegenden Kolben angeordnet ist. Der Verbinder kann in den Schlitzen frei verschoben werden, bis er am Ende des Verschiebungsweges auf die Endflächen der Schlitze trifft. Eine Einstellmöglichkeit hinsichtlich der Länge des Verschiebungsweges ist nicht vorgesehen.

Bei einem aus der DE 195 31 523 A1 bekannten Linearantrieb sind zur Begrenzung des Verschiebungsweges Begrenzungsein­ heiten mit Anschlägen vorgesehen, die unabhängig von einem Gleittisch verschiebbar sind. Die Begrenzungseinheiten sind auf einer Führungsschiene geführt, wobei die Anschläge seitlich angeordnet sind.

Die EP 0 603 459 A2 zeigt ein Linearstellglied gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 10 mit einem Gleittisch, bei dem im Zylinderkörper zwei Zylinderkammern ausgebildet sind. Zur Führung des Gleittisches ist auf dem Zylinderkörper eine zentrale Führungsschiene befestigt. Seitlich hiervon sind Führungselemente auf der Unterseite des Gleittisches montiert, wobei die Führungselemente ebenso wie die Führungsschiene V- förmige Nuten aufweisen, die zwei Längskanäle bilden, in denen Wälzelemente aufgenommen sind. Diese Wälzelemente laufen in den Nuten in Axialrichtung hin und her.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Linearstell­ glied kompakter Anordnung und Größe zu schaffen, bei dem bei hoher Linearführungsgenauigkeit des Gleittisches eine präzise Einstellung des Verschiebungsweges möglich ist.

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der Patentansprüche 1 und 10 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbei­ spielen und der Zeichnung näher beschrieben.

Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines Linearstell­ gliedes gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 2 eine perspektivische Explosionsdarstellung des Linearstellgliedes gemäß Fig. 1,

Fig. 3 eine Draufsicht auf das Linearstellglied gemäß Fig. 1,

Fig. 4 einen Schnitt entlang der Linie IV-IV in Fig. 3,

Fig. 5 einen Schnitt entlang der Linie V-V in Fig. 1,

Fig. 6 einen Schnitt entlang der Linie VI-VI in Fig. 4,

Fig. 7 einen Schnitt entlang der Linie VII-VII in Fig. 6,

Fig. 8 einen Schnitt durch ein Linearstellglied gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 9 einen Schnitt entlang der Linie IX-IX in Fig. 8,

Fig. 10 eine Draufsicht auf ein Linearstellglied gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 11 einen Schnitt entlang der Linie XI-XI in Fig. 10,

Fig. 12 einen Schnitt entlang der Linie XII-XII in Fig. 11,

Fig. 13 einen Schnitt entlang der Linie XIII-XIII in Fig. 12,

Fig. 14 eine Draufsicht auf ein Stellglied gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 15 einen Schnitt entlang der Linie XV-XV in Fig. 14,

Fig. 16 einen Schnitt entlang der Linie XVI-XVI in Fig. 15,

Fig. 17 einen Schnitt entlang der Linie XVII-XVII in Fig. 16,

Fig. 18 eine perspektivische Darstellung eines Linearstell­ gliedes gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 19 eine perspektivische Explosionsdarstellung des Linearstellgliedes gemäß Fig. 18,

Fig. 20 eine perspektivische Explosionsdarstellung eines Führungsmechanismus für den Aufbau des in Fig. 13 gezeigten Linearstellgliedes,

Fig. 21 eine Draufsicht auf das in Fig. 18 gezeigte Linear­ stellglied,

Fig. 22 einen Schnitt entlang der Linie XXII-XXII in Fig. 21,

Fig. 23 einen Schnitt entlang der Linie XXIII-XXIII in Fig. 22,

Fig. 24 eine perspektivische Ansicht eines Linearstell­ gliedes gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 25 eine perspektivische Explosionsdarstellung des Linearstellgliedes gemäß Fig. 24,

Fig. 26 eine Draufsicht auf das Linearstellglied gemäß Fig. 24,

Fig. 27 eine Seitenansicht des Linearstellgliedes gemäß Fig. 24,

Fig. 28 einen Schnitt entlang der Linie XXVIII-XXVIII in Fig. 26,

Fig. 29 einen Schnitt entlang der Linie XXIX-XXIX in Fig. 24,

Fig. 30 einen Schnitt entlang der Linie XXX-XXX in Fig. 29,

Fig. 31 einen Schnitt entlang der Linie XXXI-XXXI in Fig. 30,

Fig. 32 eine perspektivische Explosionsdarstellung eines Linearstellgliedes gemäß einer siebten Ausführungs­ form der Erfindung,

Fig. 33 einen Schnitt durch das Linearstellglied gemäß Fig. 32,

Fig. 34 einen Schnitt entlang der Linie XXXIV-XXXIV in Fig. 33,

Fig. 35 einen Schnitt entlang der Linie XXXV-XXXV in Fig. 33,

Fig. 36 eine perspektivische Explosionsdarstellung eines Linearstellgliedes gemäß einer achten Ausführungs­ form der Erfindung,

Fig. 37 einen Schnitt durch das Linearstellglied gemäß Fig. 36,

Fig. 38 einen Schnitt entlang der Linie XXXVIII-XXXVIII in Fig. 37,

Fig. 39A eine Draufsicht auf ein herkömmliches Linearstell­ glied,

Fig. 39B eine Seitenansicht des herkömmlichen Linearstell­ gliedes gemäß Fig. 39A,

Fig. 40 eine perspektivische Darstellung eines anderen herkömmlichen Linearstellgliedes,

Fig. 41 eine perspektivische Darstellung eines weiteren herkömmlichen Linearstellgliedes und

Fig. 42 eine Seitenansicht eines weiteren herkömmlichen Linearstellgliedes.

Mit Bezug auf Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 20 ein Linearstellglied gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Linearstellglied 20 umfaßt einen Hauptzylinderkörper 22 für den Aufbau eines Zylindermecha­ nismus, einen Gleittisch 24, der in einer Längsrichtung des Hauptzylinderkörpers 22 linear hin- und herbewegbar ist, und einen Führungsmechanismus 26 (vgl. Fig. 2) zum gleichmäßigen Hin- und Herbewegen des Gleittisches 24 entlang der Längs­ richtung des Hauptzylinderkörpers 22.

Wie in Fig. 2 dargestellt ist, ist ein Paar von Führungs­ blöcken 28a, 28b, die um einen festgelegten Abstand vonein­ ander beabstandet sind und einander in Querrichtung gegen­ überliegen, einstückig mit dem Hauptzylinderkörper 22 so ausgebildet, daß sie von einer oberen Oberfläche des Haupt­ zylinderkörpers 22 vorstehen. Kugelzirkulationsöffnungen 30a, 30b und Kugelwälznuten 32a, 32b, die später beschrieben werden, sind in dem Paar von Führungsblöcken 28a, 28b in Längsrichtung ausgebildet.

Ein Positionierabsatz 38, der zur Befestigung eines recht­ eckigen, parallelepipedförmigen Stopperblockes 36 mittels Schrauben 34 vorgesehen ist, ist an einer etwa mittigen Position zwischen dem Paar von Führungsblöcken 28a, 28b ausgebildet. Ein Paar von Befestigungsöffnungen 40a, 40b, die durch den Hauptzylinderkörper 22 in einer Richtung im wesentlichen senkrecht zu der Achse hindurchtreten, sind an Positionen nahe dem Positionierabsatz 38 vorgesehen (vgl. Fig. 4). Eine Durchgangsöffnung 42, die den Hauptzylinderkör­ per 22 in Längsrichtung durchtritt, ist in dem Hauptzylinder­ körper 22 ausgebildet (vgl. Fig. 5). Die Durchgangsöffnung 42 weicht um eine festgelegte Strecke zu einer Seite des einen Führungsblockes 28a von der Achse des Hauptzylinderkörpers 22 ab.

Wie in Fig. 5 dargestellt ist, sind ein Kolben 48 und eine Kolbenstange 50 in der Durchgangsöffnung 42 aufgenommen. Der Kolben 48 wird mit einem Dichtungsring 44 und einem Dämpfer 46 an seiner äußeren Umfangsfläche angebracht. Die Kolben­ stange 50 ist mit dem Kolben 48 verbunden. Ein Ende der Durchgangsöffnung 42 ist luftdicht mittels einer Endkappe 54 verschlossen, die mit Hilfe eines Halteringes 52 angebracht ist. Eine ringförmige Erhöhung 55, die die äußere Umfangs­ fläche der Kolbenstange 50 umgibt, ist an dem anderen Ende der Durchgangsöffnung 42 ausgebildet. Das andere Ende der Durchgangsöffnung 42 ist mittels eines Kragens 60 und einer Stangenpackung 58 luftdicht verschlossen, die mit Hilfe eines Halte- oder Sprengringes 57 in einer mit der Durchgangsöffnung 42 verbundenen Öffnung 56 gehalten wird.

Bei dieser Ausführungsform werden durch die ringförmige Erhöhung 55 und die Endkappe 54 zum Schließen der Durchgangs­ öffnung 42 Zylinderkammern 62a, 62b festgelegt. Die Zylinder­ kammern 62a, 62b sind so ausgebildet, daß sie mit einem Paar von Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 64a, 64b in Verbindung stehen, die durch eine Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers 22 ausgebildet sind. Eine schwimmende Hülse 68 ist über eine Verschlußmutter 66 mit einem vorderen Ende der Kolbenstange 50 verbunden.

Der Gleittisch 24 umfaßt einen Tisch 72 und eine Endplatte 74, die durch Schrauben senkrecht befestigt sind, um mit Hilfe eines Paares von Bolzen 70a, 70b einen L-förmigen Querschnitt zu bilden. Die schwimmende Hülse 68 wird durch eine halb­ kreisförmige Öffnung 76 gehalten, die in der Endplatte 74 ausgebildet ist. Ein Pufferelement 78 (vgl. Fig. 2) ist in eine in der Endplatte 74 ausgebildete Öffnung eingesetzt. Das Pufferelement 78 dient dazu, einen Stoß zu mildern, der erzeugt wird, wenn die Endplatte 74 innerhalb des Ver­ schiebungsbereiches des Gleittisches 24 an einer Endposition an der Endfläche des Hauptzylinderkörpers 22 anschlägt.

Der Tisch 72 weist vier Werkstückhalteöffnungen 80a bis 80d und ein Paar von Durchgangsöffnungen 82a, 82b auf, die mit den Befestigungsöffnungen 40a, 40b des Hauptzylinderkörpers 22 korrespondieren und in Verbindung stehen. Daher kann der Hauptzylinderkörper 22 durch Einschrauben nicht dargestellter Bolzen in die Befestigungsöffnungen 40a, 40b von einer oberen Oberflächenseite des Tisches 72 durch die Durchgangsöff­ nungen 82a, 82b befestigt werden. Alternativ kann der Hauptzylinderkörper 22 durch direktes Einschrauben der Bolzen in die Befestigungsöffnungen 40a, 40b von einer Bodenseite des Hauptzylinderkörpers 22 befestigt werden. Wie oben be­ schrieben, kann ein Benutzer eine der Befestigungsrichtungen des Linearstellgliedes 20 von oben und unten frei auswählen.

Ein Führungsabschnitt 84, der sich in Längsrichtung erstreckt, ist einstückig so ausgebildet, daß er von einem zentralen Abschnitt der Bodenfläche des Gleittisches 24 vorsteht. Die Kugelwälznuten 86a, 86b sind in Längsrichtung durch gegenüberliegende Seitenflächen festgelegt, die in Querrichtung des Führungsabschnitts 84 angeordnet sind. Ein Ausschnitt 88, der der Form des Stopperblockes 36 entspricht und sich über eine festgelegte Länge entlang der Axialrichtung erstreckt, ist in dem Führungsabschnitt 84 ausgebildet (vgl. Fig. 4 und 6). Ein Einstellbolzen 90, der als Verschiebungsweg-Einstellelement für den Gleittisch 24 dient, ist an einem Ende des Ausschnitts 88 mittels einer Verschlußmutter 92 angeschraubt. Ein Pufferelement 94, das beispielsweise aus Gummi, wie Urethan besteht, ist an einem vorderen Ende des Einstellbolzens 90 angebracht.

Bei dieser Ausführungsform wird der Einstellbolzen 90 einstückig mit dem Gleittisch 24 verschoben. Der Verschie­ bungsweg des Gleittisches 24 wird durch Anschlag des Puffer­ elementes 94 an dem Stopperblock 36 reguliert (vgl. Fig. 4). Der Einstellbolzen 90 und das Pufferelement 94 sind an einer Seite des Endes und etwa an der mittleren Position in Querrichtung des Gleittisches 24 vorgesehen (vgl. Fig. 3). Dementsprechend ist es möglich, jegliche vorgespannte Last, die auf den Gleittisch 24 aufgebracht wird, wenn der Gleit­ tisch 24 an seiner Verschiebungsendposition ankommt, zu verringern. Als Folge hiervon kann eine Vielzahl von Lagerku­ geln (Wälzelementen) 104, die als Linearführung dienen, daran gehindert werden, ein durch die vorgespannte Last bewirktes Moment aufzubringen.

Wie in Fig. 2 dargestellt ist, umfaßt der Führungsmecha­ nismus 26 das Paar von Führungsblöcken 28a, 28b, die expan­ diert einstückig mit dem Hauptzylinderkörper 22 ausgebildet sind, und Abdeckungen 98a, 98b und Abstreifer 100a, 100b, die an beiden Enden der Führungsblöcke 28a, 28b mit Hilfe von Schrauben 96 angebracht sind. Die Kugelzirkulationsöffnungen 30a, 30b, die die Führungsblöcke 28a, 28b in Längsrichtung durchtreten, werden durch die Führungsblöcke 28a, 28b definiert. Die Kugelwälznuten 32a, 32b, die sich in Längs­ richtung erstrecken, sind an einander gegenüberliegenden inneren Wandflächen der Führungsblöcke 28a, 28b ausgebildet.

Der Führungsmechanismus 26 umfaßt außerdem Rückführungen 102, die an den beiden Enden der Führungsblöcke 28a bzw. 28b angebracht sind, um eine Verbindung zwischen den Kugelzirkula­ tionsöffnungen 30a, 30b und den Kugelwälznuten 32a, 32b zu schaffen, und eine Vielzahl von Lagerkugeln 104, die in den Kugelzirkulationsöffnungen 30a, 30b und den Kugelwälznu­ ten 32a, 32b rollen. Absätze 106 sind an den Abdeckungen 98a, 98b ausgebildet, die die Kugelzirkulationsöffnungen 30a, 30b und die Kugelwälznuten 32a, 32b verbinden und als Zirkula­ tionsbahn für die Lagerkugeln 104 dienen.

Das Linearstellglied 20 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist im wesentlichen wie oben be­ schrieben aufgebaut. Nachfolgend werden seine Bedienung, Funktion und Wirkung beschrieben.

Zunächst wird ein unter Druck stehendes Fluid von einer nicht dargestellten Fluiddruckzufuhrquelle in eine Fluideinlaß- /Auslaßöffnung 64b eingeführt. In diesem Zustand ist durch Betätigen eines nicht dargestellten Richtungskontrollventils die andere Fluideinlaß-/Auslaßöffnung 64a zur Atmosphäre offen.

Das unter Druck stehende Fluid wird einer Zylinderkammer 62b zugeführt, die mit der Fluideinlaß-/Auslaßöffnung 64b in Verbindung steht, und drückt den Kolben 48 in einer Richtung eines Pfeiles X₁ (vgl. Fig. 5). Die Endplatte 74, die mit dem Kolben 50 in Eingriff steht, wird gemäß der Druckwirkung des Kolbens 48 in der Richtung des Pfeiles X₁ verschoben. Der Gleittisch 24 wird gemäß der Rollwirkung der Lagerkugeln 104 einstückig mit der Endplatte 74 verschoben.

Das Pufferelement 94, das an den zusammen mit dem Gleit­ tisch 24 verschobenen Einstellbolzen 40 angebracht ist, schlägt während des Verschiebungsprozesses des Gleittisches 24 in Richtung des Pfeiles X₁ an dem Stopperblock 36 an. Somit erreicht der Gleittisch 24 seine Endposition des Verschie­ bungsbereiches. Bei dieser Ausführungsform kann der Ver­ schiebungsweg des Gleittisches 24 vergrößert oder verkleinert werden, indem die Verschlußmutter 92 gelockert und die Einschraubtiefe des Einstellbolzens 90 verändert wird.

Wenn der Gleittisch 24 in einer Richtung entgegengesetzt zu der oben beschriebenen Richtung verschoben wird, wird das unter Druck stehende Fluid der anderen Fluideinlaß-/Auslaßöff­ nung 64a zugeführt. Das zugeführte, unter Druck stehende Fluid wird in die andere Zylinderkammer 62a eingeführt und drückt den Kolben 48 in einer Richtung eines Pfeiles X₂. Der Gleit­ tisch 24 wird gemäß der Druckwirkung des Kolbens 48 mit Hilfe der mit der Kolbenstange 50 in Eingriff stehenden Endplatte 74 in Richtung des Pfeiles X₂ verschoben. Der Gleittisch 24 erreicht die Endposition des Verschiebungsbereiches, wenn das Pufferelement 78, das an der Endplatte 74 vorgesehen ist, an der Endfläche des Hauptzylinderkörpers 22 anschlägt.

In dem Fall des Linearstellgliedes 20 gemäß der ersten Ausführungsform ist der Führungsabschnitt 84 einstückig in einer expandierten Weise entlang der Längsrichtung an dem zentralen Abschnitt der Bodenfläche des Gleittisches 24 ausgebildet. Außerdem sind die Führungsblöcke 28a, 28b, die den Führungsabschnitt 84 über die Lagerkugeln 104 gleitend berühren, einstückig in einer expandierten Weise an der oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers 22 ausgebildet. Daher können im Gegensatz zu den in den Fig. 39A und 39B dargestellten herkömmlichen Techniken die Befestigungsöffnungen 40a, 40b an beliebigen Positionen an dem Hauptzylinderkörper 22 gebohrt werden, ohne durch die Breite H des Führungsabschnitts 84 in Querrichtung beeinträchtigt zu werden (vgl. Fig. 6).

Wie oben beschrieben, kann die Breite H des Hauptzylinderkör­ pers 22 in Querrichtung bei dem Linearstellglied 20 gemäß dieser Ausführungsform im Gegensatz zu der herkömmlichen Technik reduziert werden. Als Folge hiervon kann die gesamte Vorrichtung eine kompakte Gestalt und ein geringes Gewicht erhalten.

In dem Falle des Linearstellgliedes 20 gemäß dieser Aus­ führungsform ist der Einstellbolzen 90, der als Verschiebungs­ weg-Einstellelement für den Gleittisch 24 dient, entsprechend dem Ausschnitt 88 vorgesehen, der in dem etwa mittigen Abschnitt der Bodenfläche des Gleittisches 24 ausgebildet ist. Dementsprechend kann im Vergleich mit dem anderen herkömm­ lichen Stellglied gemäß Fig. 40, bei dem die ersten bis dritten Vorsprünge 11, 12, 13 von einer Seitenfläche des Gleittisches 24 nach außen vorstehen, die Breite H des Hauptzylinderkörpers 22 in Querrichtung noch weiter reduziert werden. Außerdem ist es möglich, die an der Endposition des Verschiebungsbereiches der Gleittisches 24 erzeugte vor­ gespannte Last zu reduzieren. Damit ist es möglich, das Werkstück auf stabile Weise zu transportieren.

Als nächstes wird ein Linearstellglied 110 gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung beschrieben, wie es in den Fig. 8 und 9 dargestellt ist. Bei den nachfolgenden Aus­ führungsformen werden die gleichen Elemente wie bei der vorhergehenden Ausführungsform durch die selben Bezugszeichen bezeichnet und lediglich abweichende Elemente beschrieben.

In dem Fall des Linearstellgliedes 20 gemäß der ersten Ausführungsform sind die Kugelzirkulationsöffnungen 30a, 30b in den jeweiligen Führungsblöcken 28a, 28b ausgebildet. Das Linearstellglied 110 gemäß der zweiten Ausführungsform unterscheidet sich jedoch von dem Linearstellglied 20 gemäß der ersten Ausführungsform darin, daß ein Paar von Kugelzirku­ lationsöffnungen 112a, 112b in dem Führungsabschnitt 84 des Gleittisches 24 im wesentlichen parallel zu den Kugelwälznu­ ten 86a, 86b ausgebildet ist.

Als Folge hiervon tritt der folgende Unterschied auf. Das Linearstellglied 20 gemäß der ersten Ausführungsform ist so aufgebaut, daß die Vielzahl von Lagerkugeln 104 an der Außenseite des Gleittisches 24 über die Gleitabschnitte zwischen dem Führungsabschnitt 84 und den Führungsblöcken 28a, 28b zirkuliert. Demgegenüber zirkulieren im Falle des Linearstellgliedes 110 gemäß der zweiten Ausführungsform die Lagerkugeln 104 an der Innenseite des Gleittisches über die Gleitabschnitte zwischen dem Führungsabschnitt 84 und den Führungsblöcken 28a, 28b.

Als nächstes wird ein Linearstellglied 120 gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben, wie es in den Fig. 10 bis 13 dargestellt ist.

Wie in Fig. 12 dargestellt ist, unterscheidet sich das Linearstellglied 120 gemäß der dritten Ausführungsform von den Linearstellgliedern 20, 110 gemäß den ersten und zweiten Ausführungsformen in folgenden Punkten. Ein Führungs­ abschnitt 122 ist so ausgebildet, daß er in Axialrichtung an einem zentralen Abschnitt einer oberen Fläche eines Haupt­ zylinderkörpers 22 vorsteht. Außerdem stehen Führungs­ blöcke 126a bzw. 126b in Querrichtung an beiden Enden eines Gleittisches 124 vor.

Als Folge hiervon zirkuliert in dem Fall des Linearstell­ gliedes 120 gemäß der dritten Ausführungsform eine Vielzahl von Lagerkugeln 104 an der Außenseite des Hauptzylinderkörpers 22 über Gleitabschnitte zwischen den Führungsblöc­ ken 126a, 126b und dem Führungsabschnitt 122. Das Bezugs­ zeichen 128 bezeichnet einen Halteblock zum Halten des Einstellbolzens 90, der in ein Ende des Gleittisches 124 eingeschraubt ist.

In dem Fall der Linearstellglieder 20, 110 gemäß der ersten und zweiten Ausführungsformen ist der Stopperblock 36 getrennt von dem Hauptzylinderkörper 22 ausgebildet und ersterer ist an letzterem über Schrauben befestigt. Das Linearstell­ glied 120 gemäß der dritten Ausführungsform unterscheidet sich jedoch von den Linearstellgliedern 20, 110 gemäß der ersten und zweiten Ausführungsformen darin, daß ein Ausschnitt 130 durch Ausschneiden des Führungsabschnitts 122 des Haupt­ zylinderkörpers 22 ausgebildet ist, und daß ein Stopper­ block 132 einstückig mit dem Hauptzylinderkörper ausgebildet ist (vgl. Fig. 11).

Als nächstes wird ein in den Fig. 14 bis 17 dargestelltes Linearstellglied 140 gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.

Wie in Fig. 16 dargestellt ist, sind in dem Falle des Linearstellgliedes 140 gemäß der vierten Ausführungsform ein Paar von Kugelzirkulationsöffnungen 142a, 142b in einem Führungsabschnitt 122 eines Hauptzylinderkörpers 22 ausge­ bildet. Somit zirkulieren Lagerkugeln 104 an der Innenseite des Hauptzylinderkörpers 22 über Gleitabschnitte zwischen Führungsblöcken 126a, 126b und dem Führungsabschnitt 122.

Die Linearstellglieder 110, 120, 140 gemäß der zweiten bis vierten Ausführungsform haben Funktionen und Wirkungen äquivalent zu denjenigen des Linearstellgliedes 20 gemäß der ersten Ausführungsform, so daß auf ihre erneute Erklärung verzichtet wird.

Als nächstes wird ein Linearstellglied 220 gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben, wie es in den Fig. 18 bis 23 dargestellt ist. Das Linearstell­ glied 220 umfaßt einen Hauptzylinderkörper 222, einen in Längsrichtung des Hauptzylinderkörpers 222 linear hin- und herbewegbaren Gleittisch 224 und einen Führungsmecha­ nismus 228, der zwischen dem Hauptzylinderkörper 222 und dem Gleittisch 224 angeordnet ist und auf dem Hauptzylinderkör­ per 222 mit Hilfe eines Paares von Stiftelementen (Halte­ elementen) 226a, 226b gehalten wird (vgl. Fig. 19).

Wie in den Fig. 19 und 20 dargestellt ist, ist auf einer oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers 222 ein Absatz 230 ausgebildet, der sich seitlich von Seite zu Seite erstreckt und ein gekrümmtes Ende aufweist. Ein Paar von Stifteinsetz­ öffnungen 232a, 232b zum Einsetzen der Stiftelemente 226a, 226b sind in dem Absatz 230 ausgebildet und voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet. Ein Paar von Be­ festigungsöffnungen 234a, 234b zur Befestigung des Führungs­ mechanismus 228 an dem Hauptzylinderkörper 222 sind so ausgebildet, daß sie den Hauptzylinderkörper 222 an Positionen angrenzend an die Stifteinsetzöffnungen 232a, 232b durch­ dringen.

Zwei Streifen länglicher Nuten 236a, 236b zur Befestigung von Sensoren sind in Längsrichtung entlang einer Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers 222 ausgebildet. Ein Verschiebungsweg- Einstellelement 240 ist über Schrauben an der anderen Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers 222 befestigt. Ein Stopperblock 238, der später beschrieben wird, kann an dem Verschiebungsweg-Einstellelement 240 zum Einstellen des Verschiebungsweges des Gleittisches 224 anschlagen. Nicht dargestellte Sensoren sind an festgelegten Positionen in den länglichen Sensorbefestigungsnuten 236a, 236b befestigt.

Wie in Fig. 21 dargestellt ist, umfaßt das Verschiebungsweg- Einstellelement 240 ein Blockelement 242, ein Schraub­ element 246, das in eine Öffnung des Blockelementes 242 eingeschraubt wird und an dem Blockelement 242 mit Hilfe einer Mutter 244 befestigt ist, und ein Dämpferelement 247, das an einem Ende des Schraubelements 246 vorgesehen ist. Der Verschiebungsweg des Gleittisches 224 kann eingestellt werden, indem die Einschraubtiefe des Schraubelementes 246 in das Blockelement 242 erhöht oder verringert wird.

Ein Paar von Durchgangsöffnungen 243a, 243b (vgl. Fig. 22), die nebeneinander im wesentlichen parallel zueinander in Axialrichtung angeordnet sind, sind innerhalb des Haupt­ zylinderkörpers 222 ausgebildet. Zylindermechanismen sind in den Durchgangsöffnungen 243a bzw. 243b vorgesehen (vgl. Fig. 23). Die entsprechenden Zylindermechanismen sind so ausgebildet, daß sie eine im wesentlichen identische Gestalt haben, wobei jede von ihnen einen Kolben 248 einschließlich eines Dichtungsringes 245, ein magnetisches Element 247, das an seiner äußeren Umfangsfläche angebracht ist, und eine mit dem Kolben 248 verbundene Kolbenstange 250 aufweist.

Ein Ende jeder der Durchgangsöffnungen 243a, 243b ist luftdicht mittels einer Endkappe 254 verschlossen, die zusammen mit einem Haltering montiert ist. Das andere Ende jeder der Durchgangsöffnungen 243a, 243b ist luftdicht mittels eines Ringelementes 256, einer Stangenpackung 258 und eines mittels eines Halteringes 252 gehaltenen Kragens 260 abgedich­ tet. Ein O-Ring 262 ist in eine ringförmige Nut in der äußeren Umfangsfläche des Kragens 260 eingesetzt.

Bei dieser Ausführungsform sind erste und zweite Zylinderkam­ mern 264b nebeneinander angeordnet, mit Endkappen 254 und Kragen 260 zum Verschließen des Paares von Durchgangsöff­ nungen 243a, 243b. Die ersten und zweiten Zylinderkammern 264a, 264b sind so ausgebildet, daß sie miteinander über Verbindungsdurchgänge 266a, 266b verbunden sind. Ein Paar von Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 268a, 268b ist an einer Seiten­ fläche des Hauptzylinderkörpers 222 ausgebildet. Die Fluid­ einlaß-/Auslaßöffnungen 268a, 268b sind so ausgebildet, daß sie mit der zweiten Zylinderkammer 264b in Verbindung stehen. Schwimmende Hülsen 270 sind über Schraubelemente mit Vorderen­ den der Kolbenstangen 250 verbunden.

Wie in Fig. 18 dargestellt ist, umfaßt der Gleittisch 224 einen Haupttischkörper 274 und eine Endplatte 276, die aneinander über Schrauben senkrecht zueinander befestigt sind, um mit Hilfe eines Paares von Bolzen 272a, 272b einen im wesentlichen L-förmigen Querschnitt zu bilden. Die schwimmen­ den Hülsen 270 werden durch halbkreisförmige Öffnungen in der Endplatte 276 gehalten.

Ein nicht dargestelltes Pufferelement ist an der Endplatte 276 angebracht. Das Pufferelement dient dazu, den Stoß zu mildern, der auftritt, wenn die Endplatte 276 gegen eine Endfläche des Hauptzylinderkörpers 222 an einer Endposition eines Ver­ schiebungsbereiches eines Gleittisches 224 anschlägt. Vier Werkstückhalteöffnungen 278a bis 278d sind in dem Haupttisch­ körper 274 ausgebildet.

Wie in Fig. 19 dargestellt ist, ist der Haupttischkörper 274 mit einem Paar von Führungsabschnitten 280 ausgebildet, die einstückig in Längsrichtung vorstehen. Kugelwälznuten 282a, 282b sind in Längsrichtung entlang gegenüberliegender innerer Wandflächen der Führungsabschnitte 280 ausgebildet. Der Stopperblock 238 ist über Schrauben an einer Seitenfläche des Haupttischkörpers 274 befestigt. Der Stopperblock 238 wird einstückig mit dem Gleittisch 224 verschoben. Der Ver­ schiebungsweg des Gleittisches 224 wird über das Dämpferelement 247 reguliert, das an dem Stopperblock 238 anschlagen kann.

Wie in Fig. 20 dargestellt ist, weist der Führungsmecha­ nismus 228 zum Führen des Gleittisches 224 einen flachen Führungsblock 284, der in einer Richtung im wesentlichen senkrecht zu der Achse breit ist, Paare von Kugelrückführ­ elementen 286, Abdeckelementen 288 und Abstreifern 290, die an beiden Enden in Längsrichtung des Führungsblockes 284 angebracht sind, und das Paar von Stiftelementen 226a, 226b zum Positionieren und Halten des Führungsblockes 284 auf dem Hauptzylinderkörper 222 auf. Jedes der Abdeckelemente 288 weist halbkreisförmige Kugelrückführnuten 294 zum zirkulieren von Lagerkugeln 292 auf, die in Zusammenwirkung mit dem Kugelrückführelement 286 rollen.

Kugelwälznuten 296a, 296b sind in Längsrichtung entlang beider Seitenflächen des Führungsblockes 284 ausgebildet. Ein Paar von Kugelzirkulationsöffnungen 298, die den Führungsblock 284 in Längsrichtung durchtreten, sind an Positionen angrenzend an die Kugelwälznuten 296a, 296b ausgebildet, wobei die Kugelzirkulationsöffnungen 298 voneinander um einen festgeleg­ ten Abstand beabstandet sind. Kontinuierliche Kugelzirkula­ tionsdurchgänge werden durch die Kugelwälznuten 282a, 282b der Führungsabschnitte 280, die Kugelwälznuten 296a, 296b des Führungsblockes 284, die Kugelzirkulationsöffnungen 298 und die Kugelrückführnuten 294 des Abdeckelemenetes 288 gebildet. Die Vielzahl von Lagerkugeln 292 rollt entlang der Kugelzirku­ lationsdurchgänge. Dadurch kann der Gleittisch 224 gleichmäßig hin- und herbewegt werden.

Ringförmige Vorsprünge 300a, 300b sind einstückig an beiden Längsenden des Führungsblockes 284 ausgebildet. Die Ausbildung der Vorsprünge 300a, 300b ermöglicht es, den Abstand (Pitch) P zwischen einem Paar von Befestigungsöffnungen 302a, 302b, die voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet sind, zu vergrößern.

Der Führungsblock 284 weist an seiner Bodenfläche Stift­ einsetzöffnungen 304a, 304b zum Einsetzen des Paares von Stiftelementen 226a, 226b auf, wobei die Stifteinsetzöff­ nungen 304a, 304b voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet sind. Das Paar von Befestigungslöchern 302a, 302b, die eingravierte Schraubengewinde aufweisen und den Führungs­ block 284 durchtreten, ist an Positionen angrenzend an die Stifteinsetzlöcher 304a, 304b ausgebildet. Wie später beschrieben wird, ist der Führungsmechanismus 228 ein­ schließlich des Führungsblockes 284 an der oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers 222 mit Hilfe von Bolzenelementen 306 angebracht, die mit den Schraubengewinden der Befestigungs­ löcher 302a, 302b in Eingriff stehen.

Das Linearstellglied 220 gemäß der fünften Ausführungsform ist im wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend werden seine Bedienung, Funktion und Wirkung beschrieben.

Ein unter Druck stehendes Fluid wird von einer nicht dar­ gestellten Fluiddruckzufuhrquelle in eine Fluideinlaß- /Auslaßöffnung 268b eingeführt. In diesem Zustand ist die andere Fluideinlaß-/Auslaßöffnung 268a zur Atmosphäre hin geöffnet, indem ein nicht dargestelltes Richtungskontroll­ ventil betätigt wird.

Das unter Druck stehende Fluid wird nacheinander der zweiten Zylinderkammer 264b und der ersten Zylinderkammer 264a zugeführt, die mit der Fluideinlaß-/Auslaßöffnung 268b in Veribndung stehen, und drückt den Kolben 248 in einer Richtung eines Pfeiles X₁ (vgl. Fig. 23). Die schwimmenden Hülsen 270, die mit den Kolbenstangen 250 in Eingriff stehen, werden gemäß der Druckwirkung der Kolben 248 in der Richtung des Pfeiles X₁ verschoben. Der Gleittisch 224 wird gemäß der Wälzbewegung der Lagerkugeln 292 einstückig mit der Endplatte 276 ver­ schoben.

Der Stopperblock 238 wird während des Verschiebungsprozesses des Gleittisches 224 zusammen mit dem Gleittisch 224 in Richtung des Pfeiles X₁ verschoben. Wenn der Stopperblock 238 an dem auf dem Schraubelement 246 angebrachten Dämpfer­ element 247 anschlägt, erreicht er seine Verschiebungs­ endposition. Bei dieser Ausführungsform kann der Verschie­ bungsweg des Gleittisches 224 vergrößert oder verkleinert werden, indem die Mutter 244 gelöst und die Einschraubtiefe des Schraubelements 246 relativ zu dem Blockelement 242 eingestellt wird.

Wenn der Gleittisch 224 in einer der oben beschriebenen Richtung entgegengesetzten Richtung verschoben wird, wird das unter Druck stehende Fluid der Fluideinlaß-/Auslaßöffnung 268a zugeführt. Das zugeführte unter Druck stehende Fluid wird nacheinander in die zweite Zylinderkammer 264b und die erste Zylinderkammer 264a eingeführt und drückt die Kolben 248 in der durch den Pfeil X₂ angedeuteten Richtung. Die End­ platte 276 und der Gleittisch 224 werden mit Hilfe der mit den Kolbenstangen 250 in Eingriff stehenden schwimmenden Hülsen 270 gemäß der Druckwirkung der Kolben 248 einstückig in der durch den Pfeil X₂ angedeuteten Richtung verschoben. Wenn das nicht dargestellte, an der Endplatte 276 vorgesehene Pufferelement an der Endfläche des Hauptzylinderkörpers 222 anschlägt, kehrt der Gleittisch 224 zu seiner in Fig. 18 dargestellten Ursprungsposition zurück.

Als nächstes wird der Zusammenbau des Führungsmechanismus 228 mit dem Hauptzylinderkörper 222 beschrieben.

Die Stiftelemente 226a, 226b werden in das Paar von Stift­ einsetzlöchern 304a, 304b eingesetzt, die in die Bodenfläche des Führungsblockes 284 gebohrt und voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet sind, und in das Paar von Stifteinsetzlöchern 232a, 232b, die in die obere Fläche des Hauptzylinderkörpers 222 gebohrt sind. Dadurch wird der Führungsmechanismus 228 einschließlich des Führungsblockes 284 in dem Absatz 230 des Hauptzylinderkörpers 222 positioniert und befestigt. Die Bolzenelemente 306 werden in das Paar von Befestigungslöchern 234a, 234b eingesetzt, die so ausgebildet sind, daß sie den Hauptzylinderkörper 222 durchtreten. Jedes der Bolzenelemente 306 weist an seinem einen Ende ein Schraubengewinde auf, das in das Schraubengewinde der Befestigungslöcher 302a bzw. 302b des Führungsblockes 284 eingeschraubt ist. Dadurch wird der Führungsmechanismus 228 durch Schrauben an dem Hauptzylinderkörper 222 befestigt.

Wie oben beschrieben, wird der Führungsblock 284 für den Aufbau des Führungsmechanismus 228 an dem Hauptzylinderkör­ per 222 gemäß der Zusammenwirkung der Bolzenelemente 306, die in die mit großen Trennabstand (Pitch) P ausgebildeten Befestigungslöcher 302a, 302b eingeschraubt sind, und der Stiftelemente 226a, 226b, die in die Stifteinsetzlöcher 304a, 304b eingesetzt sind, befestigt.

Wie in Fig. 22 dargestellt ist, umfaßt das Linearstellglied 220 gemäß dieser Ausführungsform den Führungsmechanismus 228, der so ausgebildet ist, daß er im Vergleich mit der Führungs­ schiene 3 und der Linearführung 9 gemäß der herkömmlichen Technik, wie sie in den Fig. 39A, 39B und 40 dargestellt ist, breit ist, indem das Verhältnis der Breite L₄ des Führungs­ mechanismus 228 zu der Breite L des Hauptzylinderkörpers 222 vergrößert wird. Die Stiftelemente 226a, 226b sind zwischen dem Führungsblock 284 und dem Hauptzylinderkörper 222 zusätzlich zu den Bolzenelementen 306 vorgesehen, um den Führungsmechanismus 228 an dem Hauptzylinderkörper 222 zu befestigen.

Daher wird der Gleittisch 224 in stabiler Weise getragen, selbst wenn Lasten F₁, F₂ im wesentlichen horizontal auf den Gleittisch 224 aufgebracht werden (vgl. Fig. 22). Dement­ sprechend kann der Gleittisch 224 gleichmäßig und weich hin- und herbewegt werden, wobei die Lineargenauigkeit des Gleittisches 224 aufrecht erhalten bleibt. Als Folge hiervon kann ein Werkstück auf stabile Weise mit Hilfe des Gleitti­ sches 224 transportiert werden.

Als nächstes wird ein Linearstellglied 320 gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Fig. 24 bis 31 beschrieben. Das Linearstellglied 320 umfaßt einen Hauptzylinderkörper 322, einen Gleittisch 324, der in Längsrichtung des Hauptzylinderkörpers 322 linear hin- und herbewegbar ist, eine über Schrauben an einer Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers 322 befestigte Sensorbefestigungs­ schiene (Blockelement) 326 und eine Platte (Verschlußplatte) 327, die über Schrauben an der anderen Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers 322 befestigt ist und der Sensorbe­ festigungsschiene 326 gegenüber liegt.

Wie in den Fig. 24 und 31 dargestellt ist, ist ein Paar einander gegenüberliegender Führungsblöcke 328a, 328b einstückig mit dem Hauptzylinderkörper 322 so ausgebildet, daß sie von einer oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers 322 vorstehen. Kugelzirkulationslöcher 330a, 330b und Kugelwälznu­ ten 332a, 332b, die eine endlose Zirkulationsbahn zum Rollen einer Vielzahl von Lagerkugeln 329 bilden, sind in dem Paar von Führungsblöcken 328a, 328b in Längsrichtung ausgebildet.

Wie in Fig. 28 dargestellt ist, ist ein rechteckiger par­ allelepipedförmiger Stopperblock 336 über ein Paar von Schrauben 334 an einem im wesentlichen mittigen Abschnitt zwischen dem Paar von Führungsblöcken 328a, 328b befestigt. Ein Paar von Befestigungslöchern 340a, 340b, die den Haupt­ zylinderkörper 322 in einer Richtung im wesentlichen senkrecht zu der Achse durchtreten, sind an Positionen nahe den Stopperblöcken 336 angeordnet.

Wie in Fig. 29 dargestellt ist, ist ein Paar von Durchgangs­ löchern 342a, 342b, die im wesentlichen parallel zueinander nebeneinander in Axialrichtung angeordnet sind, in dem Hauptzylinderkörper 322 ausgebildet. Die Durchgangslöcher 342a, 342b nehmen Kolben 348 auf, die jeweils eine im wesentlichen identische Form aufweisen und mit einem Dichtring 344 und einem Dämpfer 346 auf ihrer äußeren Umfangsfläche versehen sind, und Kolbenstangen 350, die jeweils mit den Kolben 348 verbunden sind.

Jedes der Durchgangslöcher 342a, 342b ist an seinem einen Ende luftdicht mittels einer Endkappe 354 verschlossen, die zusammen mit einem Haltering 352 installiert ist. Das andere Ende jedes der Durchgangslöcher 342a, 342b wird durch eine ringförmige Erhöhung 356 verschlossen, die die äußere Umfangsfläche der Kolbenstange 350 gleitend berührt. Die Kolbenstange 350, die durch die ringförmige Erhöhung 356 dem Äußeren ausgesetzt ist, wird durch eine Stangendichtungs­ packung 358 und einen Kragen 360 abgedichtet, der über den Hauptzylinderkörper 322 mit Hilfe eines Halteringes gehalten wird.

Bei dieser Ausführungsform werden erste Zylinderkammern 362a, 362b und zweite Zylinderkammern 363a, 363b im wesentlichen durch die Endkappen 354 und die ringförmigen Erhöhungen 356 ausgebildet, die das Paar von Durchgangslöchern 342a, 342b verschließen. Die ersten Zylinderkammern 362a, 362b und die zweiten Zylinderkammern 363a, 363b sind so ausgebildet, daß sie miteinander über Verbindungsdurchgänge 367a, 367b in Verbindung stehen.

Paare von ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b und zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b sind axial symmetrisch relativ zu der Achse des Hauptzylinderkörpers 322 als einer Symmetrieachse auf beiden einander gegenüberliegen­ den Seitenflächen des Hauptzylinderkörpers 322 angeordnet. Die ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b sind so ausgebildet, daß sie mit den ersten Zylinderkammern 362a bzw. 362b kommunizieren. Die zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b sind so ausgebildet, daß sie mit den zweiten Zylinderkammern 363a bzw. 363b kommunizieren. Schwimmende Hülsen 368 sind mit vorderen Enden der Kolbenstangen 350 mit Hilfe von Verschlußmuttern 366 verbunden.

Wie in Fig. 30 dargestellt ist, ist ein Paar von Nuten 369a, 369b zum Anbringen der Sensorbefestigungsschiene 326 und der Platte 327 an dem Hauptzylinderkörper 322 entlang der beiden gegenüberliegenden Seitenflächen des Hauptzylinderkörpers 322 ausgebildet. Das Paar von Nuten 369a, 369b ist jeweils axial symmetrisch ausgebildet.

Wie in Fig. 24 dargestellt ist, umfaßt der Gleittisch 324 einen Tisch 372 und eine Endplatte 374, die über Schrauben im wesentlichen senkrecht befestigt werden, so daß sie mit Hilfe eines Paars von Bolzen 370a, 370b einen im wesentlichen L- förmigen Querschnitt bilden. Die schwimmenden Hülsen 368 werden über halbkreisförmige Löcher 376, die in der Endplatte 374 ausgebildet sind, gehalten. Ein nicht dargestelltes Pufferelement wird in eine Öffnung eingesetzt, die in der Endplatte 374 ausgebildet ist. Das Pufferelement dient dazu, den Stoß zu mildern, der erzeugt wird, wenn die Endplatte 374 an einer Verschiebungsendposition des Gleittisches 324 an der Endfläche des Hauptzylinderkörpers 322 anschlägt.

Der Tisch 372 weist vier Werkstückhaltelöcher 380a bis 380d und ein Paar von Durchgangslöchern 382a, 382b auf, die den Befestigungslöchern 340a, 340b des Hauptzylinderkörpers 322 entsprechen und mit diesen in Verbindung stehen (vgl. Fig. 24 und 26). Bei dieser Ausführungsform kann der Hauptzylinderkör­ per 322 an einem anderen Element befestigt werden, indem nicht dargestellte Bolzen von einer oberen Seite des Tisches 372 durch die Durchgangslöcher 382a, 382b in die Befestigungs­ löcher 340a, 340b eingeschraubt werden. Alternativ kann der Hauptzylinderkörper 322 durch direktes Einschrauben der Bolzen in die Befestigungslöcher 340a, 340b von einer Bodenfläche des Hauptzylinderkörpers 322 befestigt werden (vgl. Fig. 28). Wie oben beschrieben kann ein Bediener jede der Befestigungs­ richtungen des Linearstellglieds 320 von oben und unten auswählen.

Wie in Fig. 30 dargestellt ist, ist ein Paar von Führungs­ abschnitten 384a, 384b, die sich in Längsrichtung erstrecken, einstückig so ausgebildet, daß sie auf der unteren Fläche des Gleittisches 324 vorstehen. Kugelwälznuten 386a, 386b sind in Längsrichtung an gegenüberliegenden Seitenflächen der Führungsabschnitte 384a, 384b ausgebildet. Ein Ausschnitt 388, der sich entsprechend der Form des Stopperblockes 336 über eine festgelegte Länge entlang der Axialrichtung erstreckt, ist zwischen dem Paar von Führungsabschnitten 384a, 384b, die voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet sind, ausgebildet (vgl. Fig. 28 und 30).

Wie in Fig. 28 dargestellt ist, wird ein Einstellbolzen 390, der als ein Verschiebungsweg-Einstellelement für den Gleit­ tisch 324 dient, an einem Ende des Ausschnitts 388 mit Hilfe einer Verschlußmutter 392 verschraubt. Ein Pufferelement 394, das beispielsweise aus Gummi, wie Urethan, besteht, wird an einem vorderen Ende des Einstellbolzens 390 angebracht.

Bei dieser Ausführungsform wird der Einstellbolzen 390 einstückig mit dem Gleittisch 324 verschoben. Der Ver­ schiebeweg des Gleittisches 324 wird durch den Anschlag des Pufferelements 394 an dem Stopperblock 336 reguliert. Der Einstellbolzen 390 und das Pufferelement 394 sind etwa in dem mittleren Abschnitt eines Endes des Gleittisches 324 in Längsrichtung vorgesehen (vgl. Fig. 26 und 28). Dement­ sprechend dienen der Einstellbolzen 390 und das Pufferelement 394 dazu, eine vorgespannte Last, die auf den Gleittisch 324 ausgeübt wird, wenn der Gleittisch 324 an seiner Verschie­ bungsendposition anlangt, zu veringern.

Als Folge hiervon kann ein nicht dargestelltes Werkstück, das auf dem Gleittisch 324 angeordnet ist, an der Übertragung irgendeiner vorgespannten Last gehindert werden.

Der Führungsmechanismus zum Führen des Gleittisches 324 in Axialrichtung des Hauptzylinderkörpers 322 umfaßt die Führungsabschnitte 384a, 384b, die einstückig so ausgebildet sind, daß sie von der unteren Fläche des Gleittisches 324 vorstehen und ein Paar von Kugelwälznuten 386a, 386b auf­ weisen, die einander auf beiden Seitenflächen gegenüberliegen, und das Paar von Führungsblöcken 328a, 328b, die um einen festgelegten Abstand auf den beiden Seiten der Führungs­ abschnitte 384a, 384b, die einstückig so ausgebildet sind, daß sie von der oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers 322 vorstehen, beabstandet sind, und die Kugelzirkulationslöcher 380a, 380b und die Kugelwälznuten 332a, 332b aufweisen. Abdeckungen 396a, 396b und nicht dargestellte Abstreifer sind über Schrauben an beiden Enden der Führungsblöcke 328a bzw. 328b befestigt.

Wie in Fig. 25 dargestellt ist, sind die Sensorbefestigungs­ schienen 326 und die Platte 327 lösbar in einander gegen­ überliegender Weise auf den beiden Seitenflächen des Hauptzylinderkörpers 322 vorgesehen. Zwei Streifen länglicher Nuten 398a, 398b, die im wesentlichen parallel zueinander in Längsrichtung angeordnet sind, sind an einer Seitenfläche der Sensorbefestigungschiene 326 ausgebildet. Nicht dargestellte Sensoren sind wahlweise an festgelegten Positionen in den länglichen Nuten 398a, 398b befestigt. Ein Ausschnitt 400, der so ausgestaltet ist, daß er einen <-geformten Querschnitt aufweist, ist in Längsrichtung an der äußeren Seitenfläche der Sensorbefestigungsschiene 326 ausgebildet. Das Vorsehen des Ausschnitts 400 ermöglicht es, ein später beschriebenes magnetisches Element gleichmäßig zu verschieben.

Verriegelungsabschnitte 402a, 402b, die gestufte Abschnitte mit einer entsprechend der Querschnittsgestaltung der Nuten 369a, 369b großen Breite zum Halten der Sensorbefestigungs­ schiene 326 und der Platte 327 an dem Hauptzylinderkörper 322 aufweisen, sind in Längsrichtung an der Sensorbefestigungs­ schiene 326 bzw. der Platte 327 ausgebildet.

Bei dieser Ausführungsform sind die Verriegelungsabschnitte 402a, 402b von Enden der Nuten 369a, 369b eingesetzt und die Verriegelungsabschnitte 402a, 402b können entlang der Nuten 369a, 369b gleiten. Somit können die Sensorbefestigungsschiene 326 und die Platte 327 bequem an dem Hauptzylinderkörper 322 angebracht werden, oder die Sensorbefestigungsschiene 326 und die Platte 327 können bequem von dem Hauptzylinderkörper 322 entfernt werden. Wie oben beschrieben, sind die Sensorbe­ festigungsschiene 326 und die Platte 327 so ausgebildet, daß sie wahlweise an den entsprechenden Nuten 369a, 369b an­ gebracht und gegeneinander austauschbar sind.

Wie in den Fig. 25 und 29 dargestellt ist, weisen die Sensorbefestigungsschiene 326 und die Platte 327 ein Paar von Schraubenlöchern 404 auf, die die Sensorbefestigungsschiene 326 und die Platte 327 in einer Richtung im wesentlichen senkrecht zu der Längsrichtung durchdringen. Die Schraubenöff­ nungen 404 sind voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet, wobei jede einen ringförmigen abgestuften Abschnitt aufweist. Stellschrauben (Befestigungselement) 406, 408, die ein im wesentlichen konisches vorderes Ende auf­ weisen, sind in die entsprechenden Schraubenlöcher 404 eingeschraubt.

Die Stellschraube 406, die in die Sensorbefestigungsschiene 326 eingeschraubt werden soll, weist einen Durchgang 410 auf, der die Stellschraube 406 in deren Axialrichtung durchdringt (vgl. Fig. 29). Die Durchgänge 410 sind so ausgebildet, daß sie mit den ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b (oder den zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b) kommunizieren. Die Stellschrauben 408, die in die Platte 327 eingeschraubt werden soll, dienen dazu, die zweiten Fluid­ einlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b (oder die ersten Fluid­ einlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b) zu verschließen.

Ringförmige Vorsprünge 412 sind an vorderen Enden der Stellschrauben 406, 408 ausgebildet. Die Sensorbefestigungs­ schiene 326 und die Platte 327 können an den Seitenflächen des Hauptzylinderkörpers 322 positioniert und angebracht werden, indem die ringförmigen Vorsprünge 412 in die ersten Fluid­ einlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b oder die zweiten Fluid­ einlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b eingesetzt und eingepaßt werden. Ein O-Ring 414 mit einem dreieckigen Querschnitt wird an jedem der ringförmigen Vorsprünge 412 der Stellschrauben 402, 408 angebracht, um deren Verbindungsabschnitte luftdicht zu halten. Wie in Fig. 25 dargestellt ist, werden die Stellschrauben 406, 408 von Innenseiten der Sensorbefesti­ gungsschiene 326 und der Platte 327 in die entsprechenden Schraubenlöcher 404 eingeschraubt.

Wie in den Fig. 25 und 27 dargestellt ist, ist eine metalli­ sche Befestigung 418 über Schrauben 416 auf einer Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers 322 befestigt. Teile der metallischen Befestigung 418, die an deren Enden in den vier vertikalen und lateralen Richtungen angeordnet sind, sind so gebogen, daß sie Klinken 420 bilden, mit denen ein zylindrisches magnetisches Element 422 gehalten wird. Bei dieser Ausführungsform ist das magnetische Element 422 so angeordnet, daß es dem Ausschnitt 400 mit dem <-geformten Querschnitt, der entlang der Sensorbe­ festigungsschiene 326 ausgebildet ist, gegenüberliegt.

Das Linearstellglied 320 gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist im wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Als nächstes werden seine Bedienung, Funktion und Wirkungsweise erläutert.

Zunächst trifft ein Bediener eine Auswahl derart, daß die Sensorbefestigungsschiene 326 an einer Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers 322 und die Platte 327 an der anderen Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers 322 angebracht wird. Bei dieser Ausführungsform können die Sensorbefestigungsschiene 326 und die Platte 327 bequem an dem Hauptzylinderkörper 322 angebracht werden, indem sie in das Paar von Nuten 369a, 369b eingesetzt und eingepaßt werden, während die Verriegelungs­ abschnitte 402a, 402b entlang der Paare von Nuten 369a, 369b, die mit identischer Form an den Seitenflächen des Haupt­ zylinderkörpers 322 ausgebildet sind, gleitend verschoben werden.

Wenn die Sensorbefestigungsschiene 326 und die Platte 327 an dem Hauptzylinderkörper 322 angebracht sind, werden die Paare von Stellschrauben 406, 408 von den Innenseiten der Sensorbe­ festigungsschiene 326 und der Platte 327 eingeschraubt (vgl. Fig. 25). Die ringförmigen Vorsprünge 412, die an den vorderen Enden der Stellschrauben 406, 408 ausgebildet sind, werden in die ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b und die zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b eingesetzt und eingepaßt. Dadurch werden die Sensorbefestigungsschiene 326 und die Platte 327 positioniert und an festgelegten Positionen an dem Hauptzylinderkörper 322 gehalten (vgl. Fig. 29).

Nachfolgend werden nicht dargestellte Rohranschlüsse in die Schraubenlöcher 404 der Sensorbefestigungsschiene 326 eingeschraubt. Während dieses Vorgangs ist um die Schrauben­ öffnungen 404 keinerlei nach außen vorstehendes Hindernis gegenwärtig. Daher kann der Rohranschluß im Vergleich zu der herkömmlichen Technik bequem installiert werden.

Nach Durchführen der vorläufigen Bedienung wie oben be­ schrieben, wird ein von einer nicht dargestellten Fluiddruck­ zufuhrquelle zugeführtes unter Druck stehendes Fluid durch den Durchgang 410 in der Stellschraube 406 in die erste Fluid­ einlaß-/Auslaßöffnung 364b eingeführt. In diesem Zustand ist die andere Fluideinlaß-/Auslaßöffnung 364a durch Betätigung eines nicht dargestellten Richtungskontrollventils zur Atmosphäre offen.

Das unter Druck stehende Fluid wird zu der einen ersten Zylinderkammer 362 zugeführt, die mit der ersten Fluideinlaß- Auslaßöffnung 364b in Verbindung steht, und drückt den Kolben 348 in eine Richtung eines Pfeils X₁ (vgl. Fig. 29). Die Endplatte 374, die mit der Kolbenstange 350 in Eingriff steht, wird gemäß der Druckwirkung des Kolbens 348 in der Richtung des Pfeiles X₁ verschoben. Der Gleittisch 324 wird gemäß der Rollwirkung der Lagerkugeln 329 einstückig mit der Endplatte 374 verschoben.

Das Pufferelement 394, das an dem zusammen mit dem Gleittisch 324 verschobenen Einstellbolzen 390 angebracht ist, schlägt während des Verschiebungsvorgangs des Gleittisches 324 in Richtung des Pfeiles X₁ an dem Stopperblock 336 an. Dadurch erreicht der Gleittisch 324 seine Verschiebungsendposition. Bei dieser Ausführungsform kann der Verschiebungsweg des Gleittisches 324 vergrößert oder verkleinert werden, indem die Verschlußmutter 392 gelöst und die Einschraubtiefe des Einstellbolzens 390 eingestellt wird.

Wenn der Gleittisch 324 in einer der oben beschriebenen Richtung entgegengesetzten Richtung verschoben wird, wird das unter Druck stehende Fluid der anderen ersten Fluideinlaß- /Auslaßöffnung 364a zugeführt. Das zugeführte unter Druck stehende Fluid wird in die andere erste Zylinderkammer 362a eingeführt und drückt den Kolben 348 in einer Richtung eines Pfeiles X₂. Der Gleittisch 324 wird gemäß der Druckwirkung des Kolbens 348 mit Hilfe der mit der Kolbenstange 350 in Eingriff stehenden Endplatte 324 in der Richtung des Pfeiles X₂ verschoben. Der Gleittisch 324 erreicht die Verschiebungs­ endposition, wenn das an der Endplatte 374 vorgesehene nicht dargestellte Pufferelement an der Endfläche des Haupt­ zylinderkörpers 322 anschlägt.

In dem Falle des Linearstellglieds 320 gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird die Sensorbe­ festigungsschiene 326 nicht über Schrauben an dem Haupt­ zylinderkörper 322 befestigt. Stattdessen kann die Sensorbe­ festigungsschiene 326 bequem an der Nut 369a (369b) des Hauptzylinderkörpers 322 angebracht werden, indem der Verriegelungsabschnitt 402a der Sensorbefestigungsschiene 326 entlang der Nut 369a (369b) eingesetzt und eingepaßt wird. Die Dicke L₅ zwischen der inneren Wandfläche der ersten und zweiten Zylinderkammern 362b (362b) und der äußeren Wandfläche des Hauptzylinderkörpers 322 (vgl. Fig. 30) kann im Vergleich mit der herkömmlichen Technik dünn ausgebildet werden.

Wie oben beschrieben, ist im Falle des Linearstellgliedes 320 gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Dicke L₅ zwischen der inneren Wandfläche der ersten und zweiten Zylinderkammern 362b (363b) und der äußeren Wandfläche des Hauptzylinderkörpers 322 im Vergleich zu der herkömmlichen Technik dünn ausgebildet. Dementsprechend kann die Breite W₁ des Hauptzylinderkörpers 322 in Querrichtung reduziert werden. Als Folge hiervon ist es möglich, die gesamte Vorrichtung in kompakter Größe mit geringem Gewicht auszubilden.

In dem Falle des Linearstellglieds 320 gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung besteht überhaupt kein nach außen vorstehendes Hindernis um die ersten Fluid­ einlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b und die zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b, wenn die Rohr­ anschlüsse hergestellt werden. Daher können die Rohranschlüsse einfach mit den ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b und den zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b verbunden werden.

Als nächstes wird ein Linearstellglied 430 gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Fig. 32 bis 35 beschrieben. Bei den nachfolgenden Ausführungs­ formen werden die gleichen Aufbauelemente wie bei dem Linearstellglied 320 gemäß der sechsten Ausführungsform mit denselben Bezugszeichen bezeichnet und lediglich sich unterscheidende Aufbauelemente erneut erläutert.

In dem Fall des Linearstellglieds 430 gemäß der siebten Ausführungsform ist eine Sensorbefestigungsschiene 442 mit einem Paar erster Schraubenlöcher 434 versehen, die jeweils eine Öffnung 432 mit einem verringerten Durchmesser an einem Ende aufweisen und mit dem ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b (zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b) kommunizieren, und ein Paar zweiter Schraubenlöcher 440, in die jeweils eine Stellschraube 438 mit einem konischen Abschnitt 436 an ihrem vorderen Ende eingeschraubt ist.

In dem Fall des Linearstellglieds 320 gemäß der sechsten Ausführungsform weist die Stellschraube 406 den darin ausgebildeten Durchgang 410 auf, so daß die Stellschraube 406 sowohl die Funktion einer Befestigung der Sensorbefestigungs­ schiene 326 an dem Hauptzylinderkörper 322 als auch die Funktion der Zufuhr des unter Druck stehenden Fluids zu den ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b (zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b) erfüllt. Das Linearstellglied 430 gemäß der siebten Ausführungsform unterscheidet sich jedoch von dem Linearstellglied 320 gemäß der sechsten Ausführungsform darin, daß die entsprechenden Funktionen voneinander getrennt sind.

Bei dieser Ausführungsform sind nicht dargestellte Rohr­ anschlüsse für den Anschluß von mit einer Fluiddruckzufuhr­ quelle verbundenen Rohren in die ersten Schraublöcher 434 eingeschraubt. Andererseits sind die Stellschrauben 438 in die zweiten Schraublöcher 440 eingeschraubt. Die konischen Abschnitte 436 drücken entsprechend der Schraubwirkung der Stellschrauben 438 gegen die äußere Wandfläche des Haupt­ zylinderkörpers 322. Dadurch wird die Sensorbefestigungs­ schiene 442 an dem Hauptzylinderkörper 322 positioniert und gehalten.

Schraubenlöcher 446 zum Einschrauben von Stellschrauben 438 sind so ausgebildet, daß sie eine Platte 444 durchdringen. Die Platte 444 ist mittels der in die Schraubenlöcher 446 eingeschraubten Stellschrauben 438 an einer festgelegten Position an dem Hauptzylinderkörper 322 positioniert und gehalten.

Das Bezugszeichen 448 bezeichnet ringförmige Dichtungs­ packungen. Die Dichtungspackungen 448, die in kreisförmigen Absätzen 449 der Sensorbefestigungsschiene 442 angebracht sind, dienen dazu, Verbindungsabschnitte zwischen den Öffnungen 432 und den ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b (zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b) luftdicht zu halten. Andererseits dienen die Dichtungs­ packungen 448, die in kreisförmigen Absätzen 449 der Platte 444 angebracht sind, dazu, die zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöff­ nungen 365a, 365b (ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b) luftdicht zu verschließen.

Als nächstes wird ein Linearstellglied 450 gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Fig. 36 bis 38 beschrieben.

In dem Falle des Linearstellgliedes 450 gemäß der achten Ausführungsform weist eine Sensorbefestigungsschiene 458 ein Paar von Schraublöchern 454 auf, die jeweils eine Öffnung 452 mit reduziertem Durchmesser an einem Ende haben und mit den ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b (zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b) kommunizieren, und ein Paar von Bolzenbefestigungslöchern 456, derart, daß die Schraublöcher 454 und die Bolzenbefestigungslöcher durch die Sensorbefestigungsschiene 458 hindurchtreten. Ein Paar von Befestigungsblöcken 460 sind getrennt ausgebildet und entlang der Nuten 369a, 369b des Hauptzylinderkörpers 322 eingesetzt und eingepaßt. Ein Verriegelungsabschnitt 462, der ent­ sprechend der Form der Nuten 369a, 369b in vertikaler Richtung eine große Breite aufweist, ist an jedem der Befestigungs­ blöcke 460 ausgebildet.

Bei dieser Ausführungsform wird das Paar von Befestigungs­ blöcken 460 durch Verwendung von Bolzen 464 befestigt, die in die Bolzenbefestigungslöcher 456 eingesetzt werden. Somit wird die Sensorbefestigungsschiene 458 an dem Hauptzylinderkörper 322 positioniert und gehalten.

Schraubenlöcher 468 zum Einschrauben von Stellschrauben 438 sind so ausgebildet, daß sie durch die Platte 466 hindurch­ treten. Die Stellschrauben 438 sind in die Schraubenlöcher 468 eingeschraubt. Die zweiten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 365a, 365b (ersten Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen 364a, 364b) sind mittels Packungen 470 luftdicht abgeschlossen, die mit vorderen Enden der Stellschrauben 438 in Eingriff stehen.

Das Linearstellglied 430 gemäß der siebten Ausführungsform und das Linearstellglied 450 gemäß der achten Ausführungsform unterscheiden sich von dem Linearstellglied 320 gemäß der sechsten Ausführungsform darin, daß die Stellschrauben und die Holzen von den Außenseiten der Sensorbefestigungsschiene 442 und der Platte 444 angebracht werden.

Die Linearstellglieder 430, 450 gemäß der siebten und achten Ausführungsform haben Funktionen und Wirkungen, die denjenigen des Linearstellgliedes 320 gemäß der sechsten Ausführungsform entsprechen, so daß auf ihre erneute Erläuterung verzichtet wird.

Claims (22)

1. Linearstellglied mit
einem Zylindermechanismus mit einem Hauptzylinderkörper (22), in dem in Axialrichtung eine Durchgangsöffnung (42) ausge­ bildet ist, um einen Gleittisch (24) entsprechend der Verschiebung eines Kolbens (48) hin- und herzubewegen, der entlang einer in der Durchgangsöffnung (42) ausgebildeten Zylinderkammer (62a, 62b) gleitend angeordnet ist;
einem Führungsmechanismus (26) zum Führen des Gleittisches (24) entlang der Axialrichtung des Hauptzylinderkörpers (22) mit einem Führungsabschnitt (84), der in Axialrichtung ausgebildet ist und von einer Bodenfläche des Gleittisches (24) oder einer oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers (22) vorsteht, und einem Paar von Führungsblöcken (28a, 28b), die einander gegenüberliegend und voneinander um einen festgeleg­ ten Abstand beabstandet an der oberen Fläche des Haupt­ zylinderkörpers (22) oder an der Bodenfläche des Gleittisches (24) ausgebildet sind;
einem Befestigungselement zum wahlweisen Befestigen des Hauptzylinderkörpers (22) an einem anderen Element in einer Befestigungsrichtung von einer Seite des Gleittisches (24) oder von einer Seite des Hauptzylinderkörpers (22);
dadurch gekennzeichnet,
dass ein Verschiebungsweg-Einstellelement (90) zum Einstellen eines Verschiebungsweges des Gleittisches (24) in einem Ausschnitt (88) in dem Gleittisch (24) oder dem Haupt­ zylinderkörper (22) vorgesehen ist, wobei der Ausschnitt (88) einen Freiraum zwischen einer Unterseite des Gleittisches (24) und einer oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers (22) ausbildet; und
dass das Verschiebungsweg-Einstellelement einen Einstell­ bolzen (90) aufweist, der an einer im wesentlichen mittigen Position an dem Gleittisch (24) angebracht ist und einstückig mit dem Gleittisch (24) in Axialrichtung durch den Ausschnitt (88) verschiebbar ist.

2. Linearstellglied nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschiebungsweg-Einstellelement einen Stopperblock (36) zum Einstellen des Verschiebungsweges des Gleittisches (24) entsprechend dem Anschlag des Einstellbolzens (90) aufweist, und dass der Verschiebungsweg des Gleittisches (24) entsprechend der Einschraubtiefe des Einstellbolzens (90) vergrößert oder verkleinert wird.

3. Linearstellglied nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Befestigungselement Durchgangsöffnungen (82a, 82b) aufweist, die in im wesentlichen zentralen Abschnitten des Gleittisches (24) ausgebildet sind, und Befestigungsöff­ nungen (40a, 40b), die mit den Durchgangsöffnungen (82a, 82b) in Verbindung stehen und so ausgebildet sind, dass sie durch den Hauptzylinderkörper (22) in einer Richtung im wesentlichen senkrecht zu der Axialrichtung des Hauptzylinderkörpers (22) hindurchtreten, und dass eine in dem Zylinderkörper (22) ausgebildete Durchgangsöffnung (42) um einen festgelegten Abstand von einer Achse des Hauptzylinderkörpers (22) zu einer Seite in einer Querrichtung abweicht.

4. Linearstellglied nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein Pufferelement (94), das aus einem elastischen Element besteht, an einem Ende des Einstellbolzens (90) vorgesehen ist, der an dem Stopperblock (36) anschlägt.

5. Linearstellglied nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Führungsmechanismus (26) Rollelemente (104) zum Rollen entlang einer endlosen Zirkulationsbahn aufweist, die entlang des Führungsabschnitts (84) und der Führungsblöcke (28a, 28b) ausgebildet ist, und dass die endlose Zirkulations­ bahn durch eine Kugelzirkulationsöffnung (30a, 30b) und eine Kugelwälznut (32a, 32b, 86a, 86b) gebildet wird.

6. Linearstellglied nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Führungsmechanismus (26) den Führungsabschnitt (84) aufweist, der so ausgebildet ist, dass er von der Bodenfläche des Gleittisches (24) vorsteht, und das Paar von Führungs­ blöcken (28a, 28b), die einander gegenüberliegend und voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet an der oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers (22) ausgebildet sind, wobei der Führungsabschnitt (84) zwischen den Führungsblöcken (28a, 28b) angeordnet ist, dass die Kugelwälznuten (32a, 32b, 86a, 86b) an Gleitabschnitten zwischen den Führungsblöcken (28a, 28b) und dem Führungsabschnitt (84) durch die Rollele­ mente (104) gleitend ausgebildet sind, und dass die Kugelzir­ kulationsöffnungen (30a, 30b) in Axialrichtung in den entsprechenden Führungsblöcken (28a, 28b) ausgebildet sind.

7. Linearstellglied nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Führungsmechanismus (26) den Führungsabschnitt (84) aufweist, der so ausgebildet ist, dass er von der Bodenfläche des Gleittisches (24) vorsteht, und das Paar von Führungs­ blöcken (28a, 28b), die einander gegenüberliegend und voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet an der oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers (22) ausgebildet sind, wobei der Führungsabschnitt (84) zwischen den Führungsblöcken (28a, 28b) angeordnet ist, dass die Kugelwälznuten (32a, 32b, 86a, 86b) an Gleitabschnitten zwischen den Führungsblöcken (28a, 28b) und dem Führungsabschnitt (84) durch die Rollele­ mente (104) gleitend ausgebildet sind, und dass die Kugelzirkulationsöffnungen (112a, 112b) im wesentlichen parallel zueinander durch den Führungsabschnitt (84) ausgebildet sind.

8. Linearstellglied nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Führungsmechanismus (26) den Führungsabschnitt (122) umfaßt, der so ausgebildet ist, dass er von der oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers (22) vorsteht, und das Paar von Führungsblöcken (126a, 126b), die einander gegenüberliegend und voneinander um den vorbestimmten Abstand beabstandet an der Bodenfläche des Gleittisches (124) ausgebildet sind, dass die Kugelwälznuten (32a, 32b, 86a, 86b) an Gleitabschnitten zwischen den Führungsblöcken (126a, 126b) und dem Führungs­ abschnitt (122) durch die Rollelemente (104) gleitend ausgebildet sind, und dass die Kugelzirkulationsöffnungen (30a, 30b) in Axialrichtung in den entsprechenden Führungs­ blöcken (126a, 126b) ausgebildet sind.

9. Linearstellglied nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Führungsmechanismus (26) den Führungsabschnitt (122) umfaßt, der so ausgebildet ist, dass er von der oberen Fläche des Hauptzylinderkörpers (22) vorsteht, und das Paar von Führungsblöcken (126a, 126b), die einander gegenüberliegend und voneinander um den vorbestimmten Abstand beabstandet an der Bodenfläche des Gleittisches (124) ausgebildet sind, dass die Kugelwälznuten (32a, 32b, 86a, 86b) an Gleitabschnitten zwischen den Führungsblöcken (126a, 126b) und dem Führungs­ abschnitt (122) durch die Rollelemente (104) gleitend ausgebildet sind, und dass die Kugelzirkulationsöffnungen (142a, 142b) im wesentlichen parallel zueinander durch den Führungsabschnitt (122) ausgebildet sind.

10. Linearstellglied mit:
einem Hauptzylinderkörper (222) mit wenigstens einer darin ausgebildeten Zylinderkammer (264a, 264b);
einem entlang einer Axialrichtung des Hauptzylinderkörpers (222) hin- und herbewegbaren Gleittisch (224);
einem Zylindermechanismus zum Hin- und Herbewegen des Gleittisches (224) entsprechend einer Verschiebungswirkung eines Kolbens (248), der entlang der Zylinderkammer (264a, 264b) gleitend angeordnet ist;
einem Führungsmechanismus (228) zum Führen des Gleittisches (224) entlang der Axialrichtung des Hauptzylinderkörpers (222), wobei der Führungsmechanismus (228) an dem Haupt­ zylinderkörper (222) angebracht ist und einen flachen Führungsblock (284) mit einer Vielzahl von Wälzelementen (292) aufweist; und
einem Halteelement (226a, 226b, 306) zum Halten des Führungs­ blockes (284) an dem Hauptzylinderkörper (222), wobei das Halteelement ein Paar von Bolzenelementen (306) aufweist, mit denen der Führungsblock (284) an den Hauptzylinderkörper (222) angeschraubt ist,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Halteelement ein Paar von zwischen dem Haupt­ zylinderkörper (222) und dem Führungsblock (284) angeordneten Stiftelementen (226a, 226b) aufweist, die in Stifteinsetzlö­ cher (232a, 232b) eingesetzt und eingepasst sind, welche in dem Hauptzylinderkörper (222) bzw. dem Führungsblock (284) ausgebildet sind, wobei die Stiftelemente (226a, 226b) von der axialen Linie, auf der die Bolzenelemente (306) angeordnet sind, seitlich versetzt sind, und
dass in dem Führungsblock (284) ein Durchgang (298) zum Zirkulieren der Wälzelemente (292) entsprechend einer Wälzwirkung ausgebildet ist.

11. Linearstellglied nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch ein Paar von Vorsprüngen (300a, 300b), die entlang der Axialrichtung vorstehen, wobei einer an jedem Ende des Führungsblockes (284) ausgebildet ist.

12. Linearstellglied nach Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, dass der Hauptzylinderkörper (222) ein Verschie­ bungsweg-Einstellelement zum Einstellen eines Verschiebungs­ weges des Gleittisches (224) aufweist.

13. Linearstellglied nach Anspruch 1 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Hauptzylinderkörper (322) Nuten (369a, 369b) aufweist, die an Seitenflächen so ausgebildet sind, dass sie sich in einer Axialrichtung erstrecken, und dass ein Blockelement (326) vorgesehen ist, das mindestens eine längliche Nut (398a, 398b) zum Anbringen eines Sensors an einer festgelegten Position und einen Verriegelungs­ abschnitt (402a, 402b) zum Einsetzen und Einpassen entlang einer der Nuten (369a, 369b) des Hauptzylinderkörpers (322) aufweist und durch eine der Nuten (369a, 369b) gehalten wird.

14. Linearstellglied nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, dass das Blockelement (326) ein Befestigungselement zum Befestigen des Blockelements (326) an einer festgelegten Position an der Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers (322) aufweist.

15. Linearstellglied nach Anspruch 14, dadurch gekenn­ zeichnet, dass das Befestigungselement Stellschrauben (406, 408) aufweist, die in das Blockelement (326) durchdringende Schraubenlöcher (404) eingeschraubt werden, oder Befestigungs­ blöcke (460), die mittels Bolzen 464 befestigt werden.

16. Linearstellglied nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, dass der Verriegelungsabschnitt (402a, 402b) einstückig mit dem Blockelement (326) ausgebildet ist, oder dass der Verriegelungsabschnitt (402a, 402b) an einem Befestigungsblock (460) ausgebildet ist, der seperat von dem Blockelement (326) vorgesehen ist.

17. Linearstellglied nach Anspruch 15, dadurch gekenn­ zeichnet, dass Durchgänge (410) für die Verbindung mit den Fluideinlaß-/Auslaßöffnungen (364a, 364b, 365a, 365b) durch die Stellschrauben (406) hindurch ausgebildet sind.

18. Linearstellglied nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Nuten (369a, 369b) an dem Paar einander gegenüberliegender Seitenflächen des Hauptzylinderkörpers (322) ausgebildet sind, dass das Blockelement (326) an der Nut (369a, 369b) an einer Seitenfläche des Hauptzylinderkörpers (322) mittels eines Befestigungselements befestigt ist, dass eine Verschlußplatte (327) zum Verschließen der Fluideinlaß- /Auslaßöffnungen (364a, 364b, 365a, 365b) an der Nut (369b, 369a) an der anderen der Seitenflächen befestigt ist, und dass das Blockelement (326) und die Verschlußplatte (327) gegenein­ ander auswechselbar sind.

19. Linearstellglied nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, dass eine Seitenfläche des Blockelements (326) einen Ausschnitt aufweist, so dass ein magnetisches Element (422), das an dem Gleittisch (324) befestigt ist, dem Ausschnitt gegenüber liegt.

20. Linearstellglied nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, dass ein Führungsmechanismus zum Führen des Gleittisches (324) entlang der Axialrichtung des Haupt­ zylinderkörpers (322) zwischen dem Hauptzylinderkörper (322) und dem Gleittisch (324) vorgesehen ist.

21. Linearstellglied nach Anspruch 13, außerdem mit einem Verschiebeweg-Einstellelement (390) zum Einstellen eines Verschiebungsweges des Gleittisches (324), das an einer zentralen Position an einem Ende des Gleittisches (324) vorgesehen ist.

22. Linearstellglied nach Anspruch 13, außerdem mit einem Befestigungselement (340) zum wahlweisen Befestigen des Hauptzylinderkörpers (322) an einem anderen Element in einer beliebigen Befestigungsrichtung von einer Seite des Gleitti­ sches (324) oder einer Seite des Hauptzylinderkörpers (322).