JP3815856B2 - ロータリ・アクチュエータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ピストンの直線運動をラック及びピニオンを介して揺動運動に変換するロータリ・アクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
図3〜図5は従来の薄型ロータリ・アクチュエータを示す。
図3に示されているように、ロータリ・アクチュエータ1の本体2には、一対のシリンダ孔10a,10bが本体2の長手方向に向き、互いに平行に配設されている。シリンダ孔10a,10bにはピストン11a,11bがそれぞれ摺動自在に嵌合され、ピストン11a,11bの側部にラック15a,15bがそれぞれ形成され、ピストン11a,11bの一端(図3では左端)にはクッションスリーブ12a,12bがそれぞれ一体に連結されている。図3〜図5に明示されているように、平面視で本体2の中央にはシャフト13が回動自在に配設され、シャフト13と一体に形成されたピニオン14が、ピストン11a,11bのラック15a,15bと係合されている。
【0003】
各ピストン11a,11bの両端部の2つの環状溝には、ピストンパッキン16a,16b及びウエアリング17a,17bがそれぞれ装着され、ピストン11a,11bの長手方向中央部の側部(ラック15a,15bの反対側)の切欠には位置検出用のマグネット18a,18bがそれぞれ嵌合され固定されている。本体2の一側(図3では上側)の上部には長手方向に貫通した連通路22aが形成され、本体2の他側(図3では下側)の下部には長手方向に貫通した連通路22bが形成されている。カバー3の内側凹部(不図示)にパッキン23が嵌合され、次いでプレート21が当接され、2個の小ねじ27がプレート21の左右方向中央で上下端部の挿通孔に挿通され、カバー3の雌ねじに螺合されて連結されている。本体2の他端面には、Oリング付のガスケット20a,20b及びプレート21・パッキン23・カバー3の結合体が当接され、4個の六角穴付ボルト50をカバー3及びプレート21に挿通し、本体2のボルト孔に螺合して各部材を連結している。なお、プレート21の一対の筒状突起30a,30bは本体2のシリンダ孔10a,10bに嵌合されている。
【0004】
パッキン23には貫通された上側溝23a及び下側溝23bが形成され、プレート21には一対の通孔24a,24b及び25a,25bが形成され、カバー3には一対の給排ポート26a,26bが形成されている。連通路22aの他端はガスケット20aと一体のOリング、プレート21の通孔24aを介してパッキン23の上側溝23aに連通され、上側溝23aはカバー3の給排ポート26bに連通されるとともに、プレート21の通孔25bを介してシリンダ孔10b内の右シリンダ室29bに連通されている。同様に、連通路22bの他端はガスケット20bと一体のOリング、プレート21の通孔24bを介してパッキン23の下側溝23bに連通され、下側溝23bはカバー3の給排ポート26aに連通されるとともに、プレート21の通孔25aを介してシリンダ孔10a内の右シリンダ室29aに連通されている。
【0005】
一対のエンドカバー4a,4bには筒状突起31a,31bが一体に形成され、各筒状突起31a,31bがシリンダ孔10a,10bの一端(図3では左端)にそれぞれぴったりと嵌合されている。各2個の六角穴付ボルト50が、各エンドカバー4a,4bの挿通穴に挿通され、本体2の一端のボルト孔に螺合され、各エンドカバー4a,4bが本体2に連結されている。各エンドカバー4a,4b(筒状突起31a,31bを含む)には長手方向の中央孔が形成され、中央孔の内側(図3では右側)半分はクッション孔34a,34bとなり、中央孔の残り半分はボルト孔37a,37bとなっている。クッション孔34a,34bはピストン11a,11bのクッションスリーブ12a,12bが挿通可能に形成され、クッション孔34a,34bの内側端の環状凹部には、クッションパッキン35a,35bが圧入され固定されている。エンドカバー4aのクッション孔34aの軸心と本体2のシリンダ孔10aの軸心とを一致させ、かつエンドカバー4bのクッション孔34bの軸心と本体2のシリンダ孔10bの軸心とを一致させるため、エンドカバー4aとエンドカバー4bが別体に形成されている。なお、ガスケット33a,33bがエンドカバー4a,4bと本体2の一端面との間に配設され、左シリンダ室28a,28bと外部との間を密封している。
【0006】
エンドカバー4a,4bのボルト孔37a,37bには、外側から六角穴付止めねじ38a,38bがそれぞれ螺合され、止めねじ38a,38bには環状のダイスレット39a,39bがそれぞれ係合され、次いでフランジ付六角ナット40a,40bがそれぞれ螺合され固定されている。また、エンドカバー4a,4bには、通孔42a,42b、43a,43b、44a,44bがそれぞれ形成されており、通孔42a,42bの他端(図5では右端)はそれぞれガスケット33a,33bと一体のOリングを介して連通路22a,22bの一端に連通されている。通孔43a、43bの他端は筒状突起31a,31bの先端(図3では右端)に開口され、通孔42a,42bの一端と通孔43a,43bの一端は絞り弁46a,46bの弁室に連通され、通孔42a,42bと通孔43a,43bとの間の連通量は絞り弁46a,46bによって調整されている。通孔42a,42bとクッション孔34a,34b内のクッション室54a,54bとの間は通孔44a,44bによってぞれぞれ連通されている。図4(a) に示す位置において、クッションパッキン35aはクッション室54aから左シリンダ室28aへの流体の流れを許し(クッションパッキン35aのリップがクッションスリーブ12aから離れて)、左シリンダ室28aからクッション室54aへの流れを阻止する。
【0007】
図4(b) 及び図5に示されているように、平面視で本体2の中央には挿通孔が形成され、挿通孔の下端部に環状凹部が形成され、挿通孔の上端部に環状凹部49が形成されている。下端部の環状凹部に下側のベアリング47bが嵌合され、ベアリング47bにシャフト13の下側軸が装着され、シャフト13の下側軸下端は本体の下側に突出している。上側のベアリング47aがカバー部材48の下側凹部に嵌合され、カバー部材48・ベアリング47aにシャフト13の上側軸51を挿通し、カバー部材48・ベアリング47aが本体2の環状凹部49に嵌合され、4個の小ねじ27によりカバー部材48が本体2に結合されている。シャフト13の上側軸51は本体2の上方に突出し、上側軸51の長溝にキー52が嵌合されており、キー52には必要に応じて不図示の作動アーム等の基端部が結合される。なお、本体2の側部にはピストン位置検出用のオートスイッチ19が配設されている。
【0008】
給排ポート26aを空気圧源に連通させ、給排ポート26bを大気に連通させたときの作動について説明する。圧縮空気は、給排ポート26aからパッキン23の下側溝23b、プレート21の通孔25aを通って右シリンダ室29aに供給されるとともに、下側溝23bからプレート21の通孔24b、本体2の連通路22b、エンドカバー4bの通孔42b・44b、クッション室54bを通って(通孔42bから絞り弁46b、通孔43bも通り)左シリンダ室28bに供給される。左シリンダ室28a内の空気は、クッション室54a・通孔44a又は通孔43a・絞り弁46aを通って通孔42aに流れ、更に本体2の連通路22a、プレート21の通孔24a、パッキン23の上側溝23a、給排ポート26bを通って大気に排出される。また、右シリンダ室29b内の空気はプレート21の通孔25b、パッキン23の上側溝23a、給排ポート26bを通って大気に排出される。従って、ピストン11aは一端側へ移動し、ピストン11bは他端側へ移動する。給排ポート26aを大気に連通させ、給排ポート26bを空気圧源に連通させたとき、ピストン11aは他端側へ移動し、ピストン11bは一端側へ移動する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
図3及び図4(a) に示すように、クッションパッキン35a,35bは環状凹部に圧入されて動けない状態になっており、もしクッションスリーブ12a,12bがどちらかへ偏心すると、クッションパッキン35a,35bの偏心側のリップ部分が押圧され、反対側のクッションパッキン35a,35bのリップ部分とクッションスリーブ12aとの間に隙間ができ、その隙間から流体が漏洩することとなる。こうした漏洩が生じないようにするには、クッションスリーブ12a,12b(シリンダ孔10a,10b)の中心軸線とクッションパッキン35a,35b(クッション孔34a,34b)の中心軸線とが常に一致することが必要である。そして、1つのエンドカバーに2つのクッション孔を形成し、2つのクッション孔の中心軸線と2つのシリンダ孔の中心軸線とを一致させるには、複雑で高級な機械加工が必要であり極めて高価な部品となる。そこで、従来は、エンドカバーを二つに分割し、各エンドカバー4a,4bの筒状突起31a,31bをシリンダ孔10a,10bのそれぞれにぴったりと嵌合させて、クッション孔とシリンダ孔の中心軸線の一致を実現させている。エンドカバーを二つに分割して使用する場合には、部品点数と組付工数が多くなり、相応のコスト高となっている。
【0010】
本発明は、複数のシリンダ孔を有するロータリ・アクチュエータにおいて、シリンダ孔の中心軸線とクッション孔の中心軸線とが一致しなくても、クッションスリーブとクッションパッキンとの間に隙間が発生しないようにし、使用するエンドカバーを1個にすることを課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を達成するために、本体内に複数の平行なシリンダ孔が形成され、各シリンダ孔にピストンが摺動可能に嵌合され、各ピストンのラックがピニオンに係合されており、各ピストンの両側のシリンダ室に導入された流体圧によって各ピストンが互いに反対方向に駆動され、各ピストンの往復運動がピニオンの回動運動に変換され、本体の一端に1個のエンドカバーが連結され、エンドカバーに形成された複数のクッション孔に、各ピストンのクッションスリーブがそれぞれ挿入可能に配置され、1個のエンドカバーに形成された複数のクッション孔の各環状溝にクッションパッキンが長手方向及び長手方向に垂直な方向に移動可能に挿入され、各クッションパッキンの反ピストン側の側部のシール面が各環状溝の反ピストン側の側面に当接可能に配設されたロータリ・アクチュエータにおいて、各クッションスリーブの先端に先細部が形成され、各クッションパッキンに対して各クッションスリーブが偏心しているときでも、各クッションパッキン内に各クッションスリーブの先細部が挿入され、各クッションパッキンが各クッションスリーブと同心軸線上に移動して、各クッションパッキンと各クッションスリーブとの間が密封され、各クッションパッキンの外周面に長手方向の縦溝が形成され、この縦溝によって各クッションパッキンと各環状溝の底部との間を長手方向に流体が流れるように構成され、各クッションスリーブが各クッションパッキン内に挿入されているとき、各シリンダ室から各クッション室への流体の流れは、各クッションパッキンが反ピストン側に移動し、各クッションパッキンのシール面と各環状溝の反ピストン側の側面とが接触して阻止され、各クッション室から各シリンダ室への流体の流れは、各クッションパッキンが各ピストン側に移動し、各クッションパッキンの縦溝及び各クッションパッキンの外周面と各環状溝の底面との間を通って許容されることを第1の構成とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1及び図2は本発明のロータリ・アクチュエータの実施の形態の要部を示し、実施の形態において図1及び図2に示さない部分の構成は従来例と同様である。図1及び図2の説明において、図3〜図5の従来例の部材と同一の部材には従来例と同一の符号を付し、その説明は省略する。
ロータリ・アクチュエータ1において、本体2内に複数(一対)の平行なシリンダ孔10a,10bが形成され、各シリンダ孔10a,10bにピストン11a,11bが摺動可能に嵌合されている。各ピストン11a,11bのラック15a,15bがピニオン14に係合されており、各ピストン11a,11bの両側のシリンダ室28a・28b,29a・29bに導入された流体圧によって各ピストン11a,11bが互いに反対方向に駆動され、各ピストン11a,11bの往復運動がピニオン14の回動運動に変換される。
【0013】
1個のエンドカバー6の内側(図1では右側)に2個の筒状突起31a,31bが一体に形成され、エンドカバー6の内側の平坦部が本体2の一端(図1では左端)に当接され、不図示のボルトによってエンドカバー6が本体2に連結されている。このとき、筒状突起31a,31bの外周面とシリンダ孔10a,10b内面との間には、図示のように相当大きな隙間が設けられており(シリンダ孔10a,10bに筒状突起31a,31bを嵌合させるのではない)、仮にエンドカバー6の加工精度が低くても、エンドカバー6と本体2との連結が可能である。エンドカバー6の内側には2個の環状溝が形成され、この環状溝に環状のガスケット33a,33bがそれぞれ装着され、ガスケット33a,33bによってエンドカバー6の内側面と本体2の一端面との間が密封され、左シリンダ室28a,28bと外部との間が遮断されている。
【0014】
エンドカバー6のクッション孔34a,34bの内端(図1では右端)近傍に環状溝8a,8bが形成され、環状溝8a,8bにクッションパッキン7a,7bが長手方向(クッション孔34a,34bの軸線方向)及び長手方向に垂直な方向に移動可能なフローティング状態で挿入されている。クッションパッキン7a,7bの反ピストン側(図1では左側)の側部にはシール面が形成され、環状溝8a,8bの反ピストン側の側面に当接して密封可能に配設されている。クッションパッキン7a,7bの外周面には長手方向の縦溝56(図2のクッションパッキン7a中の点線で示す溝であり、図2では符号 56 が脱落している)が形成され、この縦溝によってクッションパッキン7a,7bと環状溝8a,8bの底部との間を長手方向に流体が流れるように構成されている。クッションパッキン7a,7bのピストン側の側部にも例えば半径方向の凹溝が形成され、クッションパッキン7a,7bと環状溝8a,8bのピストン側の側面との間を半径方向に流体が流れるように構成されている。クッションパッキン7a,7bの外径は環状溝8a,8bの底部の直径よりも小さく、かつクッションパッキン7a,7bが偏心位置にあるときでも、反ピストン側のシール面の全体が環状溝8a,8bの反ピストン側の側面に当接可能とされている。
【0015】
エンドカバー6に形成された複数(ここでは2個)のクッション孔34a,34bに、各ピストン11a,11bのクッションスリーブ12a,12bがそれぞれ挿入可能に配置されている。各クッションスリーブ12a,12bの先端に先細部58が形成され、クッション孔34a,34b・クッションパッキン7a,7bに対してクッションスリーブ12a,12b・シリンダ孔10a,10bが偏心しているときでも、クッションパッキン7a,7b内にクッションスリーブ12a,12bの先細部58が挿入可能である。そして、クッションスリーブ12a,12bの先細部58の挿入時に、クッションパッキン7a,7bが先細部58の傾斜面に沿って移動し、クッションパッキン7a,7bはクッションスリーブ12a,12bと同心軸線上に達する。そして、クッション孔34a,34bの中心軸線とシリンダ孔10a,10bの中心軸線とが一致していない(偏心している)場合でも、クッションパッキン7a,7bの中心軸線はクッションスリーブ12a,12bの中心軸線と一致し、クッションパッキン7a,7bとクッションスリーブ12a,12bとの間に漏洩は生じない。クッションパッキン7a,7bのリップの内径はクッションスリーブ12a,12bの外径よりも少々小さく形成されており、クッションパッキン7a,7bにクッションスリーブ12a,12bが挿入されているとき、クッションパッキン7a,7bのリップの内面とクッションスリーブ12a,12bの外面との間は十分密封されている。
【0016】
クッションスリーブ12a,12bがクッションパッキン7a,7b内に挿入されているとき、左シリンダ室28a,28bからクッション室54a,54bへの流体の流れは、クッションパッキン7a,7bが反ピストン側(図1では左側)に移動し、クッションパッキン7a,7bのシール面と環状溝8a,8bの反ピストン側の側面とが接触して阻止される。従って、ピストン11a,11bの一端方向へのストローク端において、クッションスリーブ12a,12bがクッションパッキン7a,7b内に挿入されると、左シリンダ室28a,28b内の流体は通孔43a,43b、絞り弁46a,46bのみを通って流出するので、ピストン11a,11bが減速し、衝撃が吸収される。そして、クッション室54a,54bから左シリンダ室28a,28bへの流体の流れは、クッションパッキン7a,7bがピストン側(図1では右側)に移動し、クッションパッキン7a,7bの外周面と環状溝8a,8bの底面との間を通り、更にクッションパッキン7a,7bのピストン側の側部と環状溝8a,8bのピストン側の側面との間を通るので許容される。本発明の実施の形態のその他のことは、従来例と同様である。
【0017】
【発明の効果】
本発明においては、複数のシリンダ孔を有するロータリ・アクチュエータにおいて、シリンダ孔の中心軸線とクッション孔の中心軸線とが一致しなくても、クッションパッキンの中心軸線とクッションスリーブの中心軸線とを一致させることができる。従って、クッションスリーブとクッションパッキンとの間に隙間が発生することがなく、使用するエンドカバーを1個にすることができる。エンドカバーの数の減少にともない、組立工数が減少し、コストが低減化する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態のロータリ・アクチュエータの一部破断平面図である。
【図2】図1のA部の拡大図である。
【図3】従来のロータリ・アクチュエータの一部破断平面図である。
【図4】図4(a) は図3のB部の拡大図であり、図4(b) は図3のC−C線断面図である。
【図5】従来のロータリ・アクチュエータの分解斜視図である。
【符号の説明】
1:ロータリ・アクチュエータ
2:本体
6:エンドカバー
7a,b:クッションパッキン
8a,b:環状溝
10a,b:シリンダ孔
11a,b:ピストン
12a,b:クッションスリーブ
14:ピニオン
15a,b:ラック
28a,b:左シリンダ室
29a,b:右シリンダ室
34a,b:クッション孔
Claims (1)
- 本体内に複数の平行なシリンダ孔が形成され、各シリンダ孔にピストンが摺動可能に嵌合され、各ピストンのラックがピニオンに係合されており、各ピストンの両側のシリンダ室に導入された流体圧によって各ピストンが互いに反対方向に駆動され、各ピストンの往復運動がピニオンの回動運動に変換され、本体の一端に1個のエンドカバーが連結され、エンドカバーに形成された複数のクッション孔に、各ピストンのクッションスリーブがそれぞれ挿入可能に配置され、1個のエンドカバーに形成された複数のクッション孔の各環状溝にクッションパッキンが長手方向及び長手方向に垂直な方向に移動可能に挿入され、各クッションパッキンの反ピストン側の側部のシール面が各環状溝の反ピストン側の側面に当接可能に配設されたロータリ・アクチュエータにおいて、各クッションスリーブの先端に先細部が形成され、各クッションパッキンに対して各クッションスリーブが偏心しているときでも、各クッションパッキン内に各クッションスリーブの先細部が挿入され、各クッションパッキンが各クッションスリーブと同心軸線上に移動して、各クッションパッキンと各クッションスリーブとの間が密封され、各クッションパッキンの外周面に長手方向の縦溝が形成され、この縦溝によって各クッションパッキンと各環状溝の底部との間を長手方向に流体が流れるように構成され、各クッションスリーブが各クッションパッキン内に挿入されているとき、各シリンダ室から各クッション室への流体の流れは、各クッションパッキンが反ピストン側に移動し、各クッションパッキンのシール面と各環状溝の反ピストン側の側面とが接触して阻止され、各クッション室から各シリンダ室への流体の流れは、各クッションパッキンが各ピストン側に移動し、各クッションパッキンの縦溝及び各クッションパッキンの外周面と各環状溝の底面との間を通って許容されることを特徴とするロータリ・アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19336397A JP3815856B2 (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | ロータリ・アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19336397A JP3815856B2 (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | ロータリ・アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1122703A JPH1122703A (ja) | 1999-01-26 |
JP3815856B2 true JP3815856B2 (ja) | 2006-08-30 |
Family
ID=16306674
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19336397A Expired - Fee Related JP3815856B2 (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | ロータリ・アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3815856B2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
US20160061231A1 (en) * | 2014-09-02 | 2016-03-03 | Smc Corporation | Rotary actuator |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5338218B2 (ja) | 2008-09-18 | 2013-11-13 | Smc株式会社 | ダブルラック・ピニオン式揺動装置 |
CN108591161B (zh) * | 2018-04-28 | 2020-09-22 | 四川长江液压天成机械有限公司 | 一种可调节齿轮齿条摆动液压缸 |
-
1997
- 1997-07-04 JP JP19336397A patent/JP3815856B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1122703A (ja) | 1999-01-26 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060414 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110616 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130616 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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