JP3787984B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体圧出入ポートから圧力流体を導入することにより、アクチュエータボデイの軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させることが可能なリニアアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、ワーク等の搬送手段としてリニアアクチュエータが用いられている。このリニアアクチュエータは、シリンダボデイに沿って移動テーブルを直線状に往復運動させることにより、前記移動テーブルに載置されたワークを搬送することができる。
【0003】
従来技術に係るリニアアクチュエータとしては、クリーンルームに設置された流体圧シリンダについて、発塵や流体漏れがあった場合にこれらを速やかに回収する技術的思想が開示されている(例えば、実開平6−69404号公報)。
【0004】
すなわち、図10に示されるように、この流体圧シリンダでは、シリンダ本体1に長孔2を設け、シリンダ本体1の内部に配置したピストン3a、3bと該シリンダ本体1の外部に配置したテーブル4とを長孔2内に配置したロッド5を介して接続し、前記長孔2をシリンダ本体1の設置面6側に開口させ真空吸引ポート7として機能させる構成が採用されている。
【0005】
この場合、前記真空吸引ポート7に連通する回収流路8が形成された配管ブロック9を介して流体圧シリンダを図示しない真空引き装置に接続し、前記流体圧シリンダの作動によって発生した粉塵や該流体圧シリンダから漏出した作動流体を前記真空引き装置によって回収するようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術に係るリニアアクチュエータでは、流体圧シリンダの真空吸引ポート7に連通する回収流路8が形成された配管ブロック9が必要となり、部品点数が多くなって製造コストが高騰するという不都合がある。
【0007】
また、従来技術に係るリニアアクチュエータでは、ロッド5が長孔2の内壁面に当接することによってテーブル4の移動終端位置を規制しているため、該ロッド5が長孔2の内壁面に当接した際に発生する衝撃によってピストン3a、3bおよびロッド5を含む可動部分の耐久性が劣化するという不都合がある。
【0008】
さらに、ロッド5が長孔2の内壁面に当接することにより、騒音が発生するという不都合がある。
【0009】
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたものであり、部品点数を削減して製造コストを低減するとともに、騒音の発生を抑制し、しかも、スライドテーブルの移動終端位置における衝撃を緩和して耐久性を向上させることが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するとともに、前記貫通孔に連通する開口部が側面部に形成されたアクチュエータボデイと、
前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿った両端部に連結され、流体圧出入ポートがそれぞれ形成された一組のエンドブロックと、
前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
それぞれの前記エンドブロックに前記貫通孔に沿って突出して設けられ、前記流体圧出入ポートに連通する孔部が形成された一組の筒状部と、
前記開口部を介して前記スライドテーブルの底面部に略直交して連結され、該スライドテーブルに伴って変位する連結部材と、
前記連結部材と接触するように設けられ、前記筒状部の外周面を囲繞することにより前記孔部に連通する圧力室を形成し、且つ前記連結部材の押圧作用下にスライドテーブルと一体的に変位する一組のカバー部材と、
前記連結部材に設けられ、前記開口部に当接することによりスライドテーブルの変位終端位置において付与される衝撃を緩和するダンパ部材と、
を備え、前記アクチュエータボデイの側面部には、前記貫通孔内の空気を吸引する吸引ポートが設けられることを特徴とする。
【0011】
本発明によれば、一方の流体圧出入ポートから導入された圧力流体が、筒状部の孔部を介してカバー部材によって閉塞された一方の圧力室に供給される。前記圧力室に供給された圧力流体は、カバー部材の内壁面を押圧する。この押圧力は、カバー部材に接触する連結部材を介してスライドテーブルをアクチュエータボデイの軸線方向に沿って変位させる。
【0012】
また、他方の流体圧出入ポートから圧力流体を導入し、カバー部材によって閉塞された他方の圧力室に圧力流体を供給することにより、前記とは逆方向にスライドテーブルが変位する。このようにして、スライドテーブルを往復動作させることができる。
【0013】
スライドテーブルが往復動作する際、吸引ポートに接続された吸引手段を介してアクチュエータボデイの貫通孔内の空気を吸引することにより、カバー部材の摺動作用下に発生する塵埃やダンパ部材が開口部の内壁面に当接する際に発生する塵埃等を貫通孔内の空気と共に吸引することができる。
【0014】
この結果、例えば、クリーンルーム等の清浄性が要求される環境において好適に使用することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0016】
図1において参照符号10は、本実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。このリニアアクチュエータ10は、直方体状のアクチュエータボデイ12(図3参照)と、前記アクチュエータボデイ12の長手方向に沿った両端部にねじ部材14a、14bを介してそれぞれ連結固定された一組のエンドブロック16a、16bと、前記アクチュエータボデイ12の上面部に膨出して一体的に形成されたガイド部18に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル20とから構成される。
【0017】
アクチュエータボデイ12の上面部には略半長円状の切欠部(図示せず)が形成され、前記切欠部には底面部まで貫通する取付用孔部22(図6参照)が形成される。また、図3に示されるように、アクチュエータボデイ12の上面のガイド部18には、後述するジョイント部材24が自在に変位するための略長円状の第1開口部26が形成され、反対側の底面部には前記第1開口部26に対応する略長円状の第2開口部28が形成される。さらに、アクチュエータボデイ12の内部には、前記第1および第2開口部26、28にそれぞれ連通する断面略円形状の貫通孔30が軸線方向に沿って形成される。さらにまた、前記第1および第2開口部26、28に近接する部位には、一組の肉抜き用孔部32(図6参照)が形成される。
【0018】
アクチュエータボデイ12の軸線方向に直交する両側面部には、所定間隔離間する一組の図示しないねじ孔が形成され、前記ねじ孔に螺入されるねじ部材34a、34bを介して、長手方向に沿って略平行に延在する二条のセンサ取付用溝36a、36bが形成されたレール部材38を着脱自在に装着することができる(図1参照)。なお、前記レール部材38は、アクチュエータボデイ12の軸線方向に直交する両側面部のいずれに装着するのかを選択可能に設けられている。
【0019】
アクチュエータボデイ12の一方の側面部に設けられた一組の図示しないねじ孔の間には、図2に示されるように、例えば、真空ポンプ等の吸引手段40に接続される第1吸引ポート42が形成され、前記第1吸引ポート42は、アクチュエータボデイ12内の貫通孔30に連通するように形成される。また、レール部材38には、前記第1吸引ポート42に連通する第2吸引ポート44が形成される。
【0020】
なお、アクチュエータボデイ12にレール部材38を付設しない場合には、第1吸引ポート42に吸引手段40を直接接続し、あるいはレール部材38を付設した場合には、アクチュエータボデイ12の第1吸引ポート42に連通する第2吸引ポート44に吸引手段40を接続する。このように、作業者は、アクチュエータボデイ12にレール部材38を付設するか否かによって吸引手段40に接続される吸引ポート(42または44)を選択することができる。
【0021】
図2並びに図3に示されるように、一組のエンドブロック16a、16bには、それぞれ、貫通孔30に沿って突出する円筒部46が一体的に形成され、前記円筒部46には軸線方向に沿って貫通する孔部48が形成される。前記孔部48の一端部は螺入された栓部材50によって気密に閉塞され、該孔部48の中間部にはオリフィスとして機能する小孔が形成された円板部材52が介装される。
【0022】
また、エンドブロック16a、16bの側面部には、それぞれ、流体圧出入ポート54a、54b(図1参照)が形成され、前記流体圧出入ポート54a、54bは軸線方向と略直交する方向に延在する図示しない通路を介して前記孔部48と連通するように形成されている。
【0023】
さらに、前記円筒部46の外周面には環状溝を介してシール部材56が嵌合され、前記シール部材56は、後述するカバー部材58に摺接することにより前記カバー部材58によって閉塞される圧力室60を気密に保持する機能を営む。なお、前記流体圧出入ポート54a、54bに代替して、栓部材50が取り外された孔部を介してそれぞれの圧力室60に圧力流体を供給してもよい。
【0024】
図8に示されるように、スライドテーブル20には、その底面部に対して直交する方向に円柱状のボルト部材62が螺入され、前記ボルト部材62には、その外周面を囲繞する角筒状のジョイント部材24が外嵌される。なお、前記ボルト部材62およびジョイント部材24は、連結部材として機能するものである。
【0025】
また、ジョイント部材24の一端部の外周面には断面矩形状のダンパ部材64が装着され、このダンパ部材64は、スライドテーブル20、ジョイント部材24およびボルト部材62と一体的に変位し、第1開口部26の内壁面に当接することにより緩衝機能を営む。
【0026】
図3に示されるように、前記ジョイント部材24の側壁面には、貫通孔30の軸線方向に沿って延在し有底円筒状の一対のカバー部材58が相互に対向して配設される。この場合、ジョイント部材24は、一組のカバー部材58に対し非接着状態で面接触して挟持されている。
【0027】
前記カバー部材58と円筒部46とによって圧力室60が形成され、前記圧力室60は、円筒部46を貫通する孔部48に連通している。前記圧力室60に孔部48を介して圧力流体が導入されることにより、前記圧力流体は、カバー部材58の内壁面を押圧する。従って、カバー部材58は、アクチュエータボデイ12の貫通孔30と円筒部46の外周面とによって形成された環状間隙66に沿って摺動変位する。前記カバー部材58が円筒部46の外周面に沿って進退変位することにより、該カバー部材58に面接触した状態で挟持されたジョイント部材24を介してスライドテーブル20が矢印AまたはB方向に往復動作する。
【0028】
スライドテーブル20は、図7に示されるように、断面略コ字状に形成されたテーブルブロック68と、前記テーブルブロック68の移動方向に沿った両端部にねじ部材70を介して装着される一対のエンドカバー72a、72bおよび閉塞部材74a、74bとを有する。
【0029】
この閉塞部材74a、74bは、例えば、ステンレス鋼板等の金属製材料または樹脂製材料からなり、該閉塞部材74a、74bの中央部には、ガイド部18の上面と所定のクリアランスを有するように折曲して形成された折曲部76が設けられる。
【0030】
前記テーブルブロック68には移動方向に沿って貫通する一対の循環孔78が形成され、複数のボールベアリング80は、該テーブルブロック68の内壁面に形成された断面円弧状の軌道溝82に沿って転動するとともに、該循環孔78を介して循環するように設けられる。前記テーブルブロック68の端面には、複数のボールベアリング80が転動する際に前記軌道溝82と循環孔78とを媒介する一対のリターンガイド84が設けられる。
【0031】
なお、図9に示されるように、使用目的、使用環境、作業者の用途等に応じて、スライドテーブル20の端部に形成された円形状の孔部に装着される緩衝部材86と、それぞれのエンドブロック16a、16bのねじ孔に螺入されるねじ部材88とを設けてもよい。
【0032】
この場合、ねじ部材88の一端部にスライドテーブル20と一体的に変位する前記緩衝部材86を当接させることにより、該スライドテーブル20の移動終端位置において発生する衝撃が緩和される。
【0033】
また、エンドブロック16a、16bのねじ孔90(図1参照)に螺入されナット部材92によって保持されるねじ部材88のねじ込み量を増減させ、緩衝部材86側に突出する前記ねじ部材88の一端部の長さを調整することにより、スライドテーブル20の移動量を調整することができる。このように、エンドブロック16a、16bのねじ孔90(図1参照)に螺入されナット部材92によって保持されるねじ部材88は、変位量調整手段として機能するものである。
【0034】
また、スライドテーブル20の上面に直交する一側面部には、図4並びに図5に示されるように、ブラケット94の爪片によって略円柱状の磁石96が保持され、この磁石96の磁界をセンサ取付用溝36a、36bに装着された図示しないセンサによって検知することにより、スライドテーブル20の移動位置等を検出することができる。
【0035】
本実施の形態に係るリニアアクチュエータ10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0036】
先ず、図示しない流体圧供給源を流体圧出入ポート54a、54bに接続するとともに、図示しないチューブ等を介して吸引手段40をレール部材38の第2吸引ポート44に接続しておく。なお、作業者の選択によりレール部材38が不要の場合には、吸引手段40をアクチュエータボデイ12の第1吸引ポート42に接続する。
【0037】
このような準備作業を経た後、図示しない流体圧供給源から圧力流体を一方の流体圧出入ポート54b(54a)に導入する。この場合、他方の流体圧出入ポート54a(54b)は、図示しない切換弁の作用下に大気開放状態にしておく。
【0038】
前記圧力流体は、流体圧出入ポート54bに連通する図示しない通路および円板部材52の小孔を介して円筒部46の孔部48内に導入され、さらに、圧力流体は、カバー部材58によって閉塞された一方の圧力室60に供給され、カバー部材58の内壁面を押圧する。従って、圧力流体に押圧される一方のカバー部材58は、シール部材56によって圧力室60が気密に保持された状態を維持しながら、円筒部46から離間する方向(矢印A方向)に摺動変位する。
【0039】
この場合、前記カバー部材58がジョイント部材24を押圧することにより、前記ジョイント部材24に内嵌されたボルト部材62を介してスライドテーブル20が矢印A方向に変位する。
【0040】
なお、他方のカバー部材58によって閉塞された他方の圧力室60は大気開放された状態にあり、ジョイント部材24は、一方のカバー部材58と他方のカバー部材58との間に挟持された状態を維持しながらスライドテーブル20と一体的に矢印A方向に沿って変位する。前記矢印A方向に向かって移動するスライドテーブル20は、ジョイント部材24の上部側に装着されたダンパ部材64が第1開口部26の内壁面に当接することによりその移動終端位置が規制される。
【0041】
前記とは逆方向(矢印B方向)にスライドテーブル20を移動させる場合には、他方の流体圧出入ポート54a(54b)に圧力流体を供給する。前記供給された圧力流体は、円筒部46の孔部48を介して他方の圧力室60に導入され、カバー部材58の内壁面を押圧することにより該カバー部材58を矢印B方向に移動させる。この結果、一対のカバー部材58の間に挟持されたジョイント部材24およびボルト部材62を介してスライドテーブル20が矢印B方向に移動する。なお、その他の動作は、前記と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
【0042】
本実施の形態では、スライドテーブル20が矢印A並びにB方向に沿って往復動作する際、第2吸引ポート44に接続された吸引手段40の付勢作用下にアクチュエータボデイ12の貫通孔30内の空気が吸引される。従って、環状間隙66に沿って変位するカバー部材58の摺動作用下に発生する塵埃、圧力室60から漏出した作動流体、並びにダンパ部材64が第1開口部26の内壁面に当接する際に発生する塵埃等が貫通孔30内の空気と共に吸引される。この結果、本実施の形態に係るリニアアクチュエータ10を、クリーンルーム内を汚染することなく清浄性を保持した状態で、好適に使用することができる。
【0043】
また、本実施の形態では、従来技術と比較して、吸引ポート42、44に連通する回収流路8が形成された配管ブロック9(図10参照)が不要となるため、部品点数を削減して製造コストを低減することができる。
【0044】
さらに、本実施の形態では、スライドテーブル20の軸線方向に沿った両端部に閉塞部材74a、74bを設け、前記閉塞部材74a、74bに形成された折曲部76とガイド部18の上面との間のクリアランスを狭小に設定することにより、第1または第2吸引ポート42、44を介して接続される吸引手段40の吸引能力を最大限に向上させることが可能となる。
【0045】
なお、本実施の形態では、前記閉塞部材74a、74bに折曲部76を形成することにより、従来技術と比較して、ガイド部18を囲繞する弾性体からなるゴムライニングを設ける必要がなく、部品点数を削減して製造コストを低減することができる。
【0046】
さらにまた、本実施の形態では、ジョイント部材24の一端部に装着されたダンパ部材64によって、スライドテーブル20の移動終端位置において発生する衝撃を吸収することができる。従って、カバー部材58、ジョイント部材24およびボルト部材62等を含む可動部分に衝撃が伝達されることを防止することができ、前記可動部分を含むリニアアクチュエータ10の耐久性を向上させることができる。
【0047】
さらにまた、本実施の形態では、ジョイント部材24の一端部に装着されたダンパ部材64の作用下に、スライドテーブル20の移動終端位置において発生する騒音を極力抑制することができる。
【0048】
なお、前記ダンパ部材64が第1開口部26の内壁面に当接する際に発生する塵埃等は、吸引手段40によって貫通孔30内の空気とともに吸引されるため、クリーンルーム内の清浄性を保持することができる。
【0049】
さらにまた、本実施の形態では、アクチュエータボデイ12の軸線と直交する両側面にそれぞれ第1吸引ポート42を形成し、相互に対向するいずれか一方の第1吸引ポート42を選択的に使用するようにしてもよい。この場合、使用しない他方の第1吸引ポート42は、予め、図示しない栓部材等によって気密に閉塞しておく。このように、第1吸引ポート42を複数個設けて選択的に使用することにより、該第1吸引ポート42に接続されるチューブ等の配管方向の自由度を増大させることができる。
【0050】
加えて、本実施の形態に係るリニアアクチュエータ10では、図9に示されるように、ナット部材92によって保持されるねじ部材88をエンドブロック16a、16bのねじ孔90に螺入し、スライドテーブル20の端部に設けられた緩衝部材86が前記ねじ部材88に当接することにより、該スライドテーブル20の移動量を調整することができるという利点がある。
【0051】
【発明の効果】
本発明では、従来技術に示される配管ブロックが不要となり、部品点数を削減して製造コストを低減することができる。
【0052】
また、連結部材にダンパ部材を設けることにより、スライドテーブルの変位終端位置における衝撃を緩和して耐久性を向上させ、しかも騒音の発生を抑制することができる。
【0053】
さらに、前記ダンパ部材が緩衝機能を営む際に発生する塵埃等を貫通孔内の空気と共に吸引することにより、使用環境の清浄性を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図2】図1に示すリニアアクチュエータの一部切欠斜視図である。
【図3】図1のIII−III線に沿った縦断面図である。
【図4】図3のIV−IV線に沿った縦断面図である。
【図5】図1に示すリニアアクチュエータの側面図である。
【図6】図1に示すリニアアクチュエータの底面図である。
【図7】図1に示すリニアアクチュエータを構成するスライドテーブルの部分分解斜視図である。
【図8】図1に示すリニアアクチュエータにおいて、スライドテーブルと一体的に変位するジョイント部材等の分解斜視図である。
【図9】図1に示すリニアアクチュエータにスライドテーブルの移動量を調整するねじ部材を付設した斜視図である。
【図10】従来技術に係るリニアアクチュエータの縦断面図である。
【符号の説明】
10…リニアアクチュエータ 12…アクチュエータボデイ
16a、16b…エンドブロック 18…ガイド部
20…スライドテーブル 24…ジョイント部材
26、28…開口部 30…貫通孔
36a、36b…センサ取付用溝 38…レール部材
40…吸引手段 42、44…吸引ポート
46…円筒部 48…孔部
54a、54b…流体圧出入ポート 58…カバー部材
60…圧力室 62…ボルト部材
64…ダンパ部材 66…環状間隙
74a、74b…閉塞部材 76…折曲部
80…ボールベアリング 86…緩衝部材
88…ねじ部材 96…磁石
Claims (5)
- 軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するとともに、前記貫通孔に連通する開口部が側面部に形成されたアクチュエータボデイと、
前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿った両端部に連結され、流体圧出入ポートがそれぞれ形成された一組のエンドブロックと、
前記アクチュエータボデイの軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
それぞれの前記エンドブロックに前記貫通孔に沿って突出して設けられ、前記流体圧出入ポートに連通する孔部が形成された一組の筒状部と、
前記開口部を介して前記スライドテーブルの底面部に略直交して連結され、該スライドテーブルに伴って変位する連結部材と、
前記連結部材と接触するように設けられ、前記筒状部の外周面を囲繞することにより前記孔部に連通する圧力室を形成し、且つ前記連結部材の押圧作用下にスライドテーブルと一体的に変位する一組のカバー部材と、
前記連結部材に設けられ、前記開口部に当接することによりスライドテーブルの変位終端位置において付与される衝撃を緩和するダンパ部材と、
を備え、前記アクチュエータボデイの側面部には、前記貫通孔内の空気を吸引する吸引ポートが設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、スライドテーブルには、アクチュエータボデイの軸線方向に沿って形成された貫通孔を閉塞する閉塞部材が設けられ、前記閉塞部材には、前記ガイド部と所定のクリアランスを有する折曲部が形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項1または2記載のリニアアクチュエータにおいて、アクチュエータボデイの側面部には、センサ取付用の長溝が形成されたレール部材が着脱自在に設けられ、前記レール部材には、アクチュエータボデイに形成された第1吸引ポートに連通する第2吸引ポートが形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のリニアアクチュエータにおいて、アクチュエータボデイには、貫通孔に連通する複数の吸引ポートが配管方向に対応して選択的に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のリニアアクチュエータにおいて、エンドブロックには、スライドテーブルの変位量を調整する変位量調整手段が設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
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