JP2000329108A - 往復動テーブル付き流体圧アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体圧アクチュエータの厚み寸法を小さくし
て薄型化する。 【解決手段】 シリンダ本体１１は断面コの字形状とな
っており、幅方向中央部には一端から他端にまで延びる
テーブル収納溝１２が形成され、両側部にシリンダ室が
形成されている。それぞれの前記シリンダ室内を往復動
するピストンに取り付けられたピストンロッドの先端に
は、連結プレート１９が取り付けられている。連結プレ
ート１９に固定された往復動テーブル２８はテーブル収
納溝１２内に往復動自在に装着されている。この往復動
テーブル２８には、シリンダ本体１１に固定されたリニ
アガイドに沿って往復動するガイドレール３１が取り付
けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は流体圧によって往復
動テーブルを直線方向に往復動するようにした往復動テ
ーブル付き流体圧アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】被加工物つまりワークをある位置から他
の位置まで直線方向に移動したり、治具などの被搬送物
を直線方向に往復動するために空気圧などの流体圧によ
り往復動テーブルを直線方向に駆動するために往復動テ
ーブル付き流体圧アクチュエータが使用されている。

【０００３】このようなタイプの流体圧アクチュエータ
としては、全体的に断面がほぼ長方形となったシリンダ
本体と、シリンダ本体の表面に沿って往復動自在に装着
される往復動テーブルとを有するものがある（たとえ
ば、実開平5-92505 号公報や特開平10-61614号公報参
照）。このタイプの流体圧アクチュエータにあっては、
シリンダ本体内には往復動テーブルの駆動力を高めるた
めに２つのピストンが組み込まれており、それぞれのピ
ストンに取り付けられた２本のピストンロッドの先端に
取り付けられて往復動する往復動テーブルの幅はシリン
ダ本体の幅とほぼ同一の幅となっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の流体圧アクチュ
エータはシリンダ本体が全体的に直方体形状となってお
り、幅寸法の長い方の面に往復動テーブルを装着するよ
うにしているので、往復動テーブルの表面に垂直な方向
の流体圧アクチュエータ全体の厚み寸法は、これに直角
方向の幅寸法よりも小さくなっている。

【０００５】しかしながら、このタイプの流体圧アクチ
ュエータが使用される場合に、２つのピストンによって
得られるテーブルの駆動力つまり推力を低下させること
なく、流体圧アクチュエータの周囲に配置される他の部
材との干渉を避けるために、流体圧アクチュエータ全体
の厚み寸法をより小さくすることが望まれているが、従
来の流体圧アクチュエータでは所望の推力を得るには厚
み寸法を小さくすることが困難であった。

【０００６】本発明の目的は、流体圧アクチュエータの
厚み寸法を小さくして薄型化し得るようにすることにあ
る。

【０００７】本発明の他の目的は、流体圧アクチュエー
タの薄型化を達成しつつ、往復動テーブルの剛性を確保
することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の往復動テーブル
付き流体圧アクチュエータは、表面側の幅方向中央部に
一端から他端にまで延びるテーブル収納溝が形成され、
かつ両側部にシリンダ室が形成されたシリンダ本体と、
それぞれの前記シリンダ室内を往復動するピストンに取
り付けられ、前記シリンダ本体の一端から突出するピス
トンロッドと、それぞれの前記ピストンロッドの先端に
連結された連結プレートと、前記連結プレートに固定さ
れて前記テーブル収納溝内に往復動自在に装着される往
復動テーブルとを有することを特徴とする。

【０００９】本発明の往復動テーブル付き流体圧アクチ
ュエータは、前記テーブル収納溝の底面にリニアガイド
を取り付け、前記リニアガイドよりも長い寸法を有し、
前記リニアガイドに沿って移動するガイドレールを前記
往復動テーブルに取り付けたことを特徴とする。

【００１０】本発明の往復動テーブル付き流体圧アクチ
ュエータは、前記リニアガイドの両端面と前記シリンダ
本体の両端面との間の前記テーブル収納溝に、前記テー
ブル収納溝の側面に変位させて取付孔を形成し、ねじ部
材が貫通する貫通孔を前記往復動テーブルの側部に変位
させて形成したことを特徴とする。

【００１１】本発明の往復動テーブル付き流体圧アクチ
ュエータは、前記ガイドレールの前記リニアガイドに対
向する面の幅方向中央に、ねじ部材取付溝を前記ガイド
レールの一端から他端にまで形成し、前記ガイドレール
を前記往復動テーブルに固定するねじ部材の頭部を前記
ねじ部材取付溝に配置するようにしたことを特徴とす
る。

【００１２】本発明の往復動テーブル付き流体圧アクチ
ュエータは、前記シリンダ本体の一方の側面と、一方の
側部の表面とにそれぞれ２つずつセンサ溝を形成し、い
ずれかのセンサ溝を選択してセンサを取り付けるように
したことを特徴とする。

【００１３】本発明の往復動テーブル付き流体圧アクチ
ュエータは、前記シリンダ本体の他方の側面と、後端面
とにそれぞれの前記シリンダ室に対する流体の給排を行
う給排ポートを形成し、いずれかの給排ポートを選択し
てシリンダ室に対して流体の給排を行うようにしたこと
を特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１５】図１〜図８は本発明の一実施の形態である
往復動テーブル付き流体圧アクチュエータを示す。

【００１６】この流体圧アクチュエータは、図１に示す
ように、全体的に薄型の直方体形状となっており、シリ
ンダ本体１１は幅方向中央部の厚みが両側部の厚みより
も薄く形成され、表面１１ａと背面１１ｂと両側面１１
ｃ，１１ｄを有している。シリンダ本体１１の表面１１
ａ側の幅方向中央部には一端から他端にまで延びてテー
ブル収納溝１２が形成されており、断面コの字形状とな
っている。

【００１７】シリンダ本体１１の肉厚の両側部には、図
３および図４に示すように、貫通孔が形成されており、
シリンダ本体１１の後端部に取り付けられるヘッドカバ
ー１３ａ，１３ｂと、先端部に取り付けられるロッドカ
バー１４ａ，１４ｂとにより、それぞれの貫通孔によっ
てシリンダ室１５ａ，１５ｂが相互に平行となって形成
されている。

【００１８】それぞれのシリンダ室１５ａ，１５ｂ内に
はピストン１６ａ，１６ｂが往復動自在に装着されてお
り、それぞれのピストン１６ａ，１６ｂに取り付けられ
た２本のピストンロッド１７ａ，１７ｂはシリンダ本体
１１の先端から外方に突出している。それぞれのピスト
ンロッド１７ａ，１７ｂは、それぞれの先端にねじ部材
１８により固定される連結プレート１９によって連結さ
れている。

【００１９】図２および図４に示すように、シリンダ本
体１１の一方の側面１１ｃの前端部には給排ポート２１
ａが形成され、この給排ポート２１ａはそれぞれのシリ
ンダ室１５ａ，１５ｂのうちピストン１６ａ，１６ｂの
前方側のシリンダ室に流路２２ａを介して連通してい
る。側面１１ｃの後端部には給排ポート２１ｂが形成さ
れ、この給排ポート２１ｂはそれぞれのシリンダ室１５
ａ，１５ｂのうちピストン１６ａ，１６ｂの後方側のシ
リンダ室に流路２２ｂを介して連通している。

【００２０】図５に示すように、シリンダ本体１１の後
端には２つの給排ポート２３ａ，２３ｂが形成され、一
方の給排ポート２３ａは流路２４ａを介してそれぞれの
前方側のシリンダ室に連通し、他方の給排ポート２３ｂ
は流路２４ｂを介してそれぞれの後方側のシリンダ室に
連通している。

【００２１】したがって、シリンダ本体１１の側面に設
けられた給排ポート２１ａ，２１ｂと後端に形成された
給排ポート２３ａ，２３ｂの一方を使用してシリンダ室
に圧縮空気などの流体圧を給排することにより、ピスト
ン１６ａ，１６ｂを往復動することができ、使用されな
い方の給排ポートは閉塞される。

【００２２】図６および図７に示すように、テーブル収
納溝１２には長手方向に延びてガイド部材つまりリニア
ガイド２５がねじ部材２６により取り付けられ、このリ
ニアガイド２５は断面がコの字形状となり、幅方向中央
部分には長手方向に延びるレール溝２７が形成されてい
る。テーブル収納溝１２内に収納される往復動テーブル
２８は、連結プレート１９に図７に示すねじ部材２９に
より取り付けられており、往復動テーブル２８にはリニ
アガイド２５に沿って摺動自在となったガイドレール３
１がねじ部材３２により取り付けられている。

【００２３】リニアガイド２５にはガイドレール３１の
側面に形成されたＶ字形状の溝に接触する多数のボール
が循環移動するように組み込まれているので、ガイドレ
ール３１が取り付けられた往復動テーブル２８の摺動抵
抗を小さくして円滑に往復動テーブル２８を移動するこ
とができる。

【００２４】往復動テーブル２８の表面は、シリンダ本
体１１の表面１１ａよりも僅かに突出しており、往復動
テーブル２８の表面に取り付けられる治具などがシリン
ダ本体１１の表面１１ａに接触しないようになってい
る。

【００２５】往復動テーブル２８はテーブル収納溝１２
の幅寸法よりも狭い寸法となっているが、リニアガイド
２５よりも長い寸法のガイドレール３１が往復動テーブ
ル２８の背面に固定されていることから、幅の狭い往復
動テーブル２８はガイドレール３１によって補強される
ことになる。したがって、ガイドレール３１よりも長さ
の短いリニアガイド２５を往復動テーブル２８に取り付
けるようにした場合と比較すると、往復動テーブル２８
はガイドレール３１によって補強されるので、これに加
わる外力に起因したそりや変形が往復動テーブルに発生
することを防止できる。

【００２６】往復動テーブル２８はテーブル収納溝１２
内に配置されているので、図６に示すように、往復動テ
ーブル２８の底面は、これの両側に位置することになる
シリンダ室１５ａ，１５ｂに対してシリンダ本体１１の
厚み方向に寸法Ｈだけオーバーラップつまり重なった状
態となり、流体圧アクチュエータの厚み寸法を小さくし
て薄型とすることができる。

【００２７】薄型とすることができるので、図７に示す
ように、ピストンロッド１７ａ，１７ｂの中心と、往復
動テーブル２８の中心との間の距離Ｌを短くすることが
でき、ピストン１６ａ，１６ｂによって連結プレート１
９を介して往復動テーブル２８を駆動する際に連結プレ
ート１９および往復動テーブル２８に加わる曲げモーメ
ントを小さくすることができ、連結プレート１９および
往復動テーブル２８の厚みを薄くしても、ピストン推力
を確実に往復動テーブルに伝達することきができる。

【００２８】シリンダ本体１１の表面には２本の断面Ｕ
字形状のセンサ取付溝３３ａ，３３ｂが形成され、シリ
ンダ本体１１の側面にも同様の断面形状のセンサ取付溝
３４ａ，３４ｂが形成されている。それぞれのセンサ取
付溝にはピストン１６ａ，１６ｂに設けられた永久磁石
の磁力に感応してピストンの位置を検出するためのセン
サが取り付けられるようになっており、たとえば、ピス
トンの前進限位置と後退限位置とを検出するための２つ
のセンサが流体圧アクチュエータの使用状況に応じて合
計４つのセンサ溝のうちからいずれか１つないし２つを
選択して取り付けることができる。なお、センサを１つ
あるいは３つ以上として、ピストンが前進限位置と後退
限位置に加えてこれらの中間位置となったことを検出す
るようにしても良く、１つのセンサ溝に複数のセンサを
取り付けるようにしても良い。

【００２９】シリンダ本体１１はねじ部材などの取付部
材によって種々の装置や機械などの被装着部材に取り付
けられるようになっており、シリンダ本体１１のテーブ
ル収納溝１２には、図４および図８に示すように、リニ
アガイド２５の両端面とシリンダ本体１１の両端面との
間であって、テーブル収納溝１２の側面に変位した位置
に取付孔３５が合計４つ形成されている。

【００３０】それぞれの取付孔３５に対応させて、往復
動テーブル２８には図１に示すように、４つの貫通孔３
６が形成されている。往復動テーブル２８が図１に示す
ように後退限位置となった状態とすると、図８に示すよ
うに、４つの貫通孔３６はそれぞれ取付孔３５の位置と
合致し、この状態のもとで、ねじ部材３７を貫通孔３６
から取付孔３５に取り付けることができる。それぞれの
取付孔３５に雄ねじを形成するようにしても良く、その
場合にはねじ部材３７の頭部をテーブル収納溝１２内に
位置させることなく、シリンダ本体１１が取り付けられ
る部材側にねじ部材３７の頭部を位置させることができ
る。

【００３１】この流体圧アクチュエータは往復動テーブ
ル２８にガイドレール３１が取り付けられるようになっ
ており、ガイドレール３１よりも短い寸法のリニアガイ
ド２５がシリンダ本体１１に取り付けられているので、
ガイドレール３１にねじ部材３７を貫通させる貫通孔を
形成することなく、リニアガイド２５の両端面の外方の
部分を利用してシリンダ本体１１を被装着部材に取り付
けることができる。これにより、ガイドレール３１に貫
通孔を形成する必要がなくなり、これの加工コストを低
減することができる。しかも、シリンダ本体１１には合
計４つの取付孔３５が形成されているので、シリンダ本
体１１を被装着部材に対して長手方向に離れた位置と幅
方向に離れた位置とで取り付けることができ、取付強度
を高めることができる。さらに、被装着部材の取付位置
に応じて、少なくともこれらの４つの取付孔３５のうち
２つを使用して、シリンダ本体１１を被装着部材に取り
付けることもできる。

【００３２】このような構成の流体圧アクチュエータに
あっては、これが設置される個所に応じて給排ポート２
１ａと２３ａの一方と、給排ポート２１ｂと２３ｂの一
方のいずれか２つを選択してそこに空気圧配管を接続す
ることができ、接続された一方の給排ポートから圧縮空
気を供給し、他方から排出することにより、２つのピス
トン１６ａ，１６ｂを往復動させる。これにより、往復
動テーブル２８は直線方向に往復動され、この往復動テ
ーブル２８に治具を介して配置されるワークや工具ある
いは他のアクチュエータなどの被搬送部材を搬送するこ
とができる。

【００３３】この搬送時には、往復動テーブル２８の底
面にガイドレール３１が取り付けられ、これを案内する
リニアガイド２５がシリンダ本体１１のテーブル収納溝
１２に取り付けられているので、往復動テーブル２８は
リニアガイド２５よりも長い寸法のガイドレール３１に
よって補強されることになり、往復動テーブル２８のそ
りや変形を防止することができる。

【００３４】往復動テーブル２８はテーブル収納溝１２
内に設けられており、そのテーブル収納溝１２は２つの
シリンダ室１５ａ，１５ｂの間に形成され、シリンダ本
体１１の厚み方向には、往復動テーブル２８とシリンダ
室１５ａ，１５ｂとがオーバーラップしているので、シ
リンダ室の内径つまりボア径により設定される推力を確
保しつつ、厚み寸法が薄くなった薄型の流体圧アクチュ
エータが得られる。これにより、流体圧アクチュエータ
が設置される個所に他の部材が配置される場合に、その
部材との干渉を避けることができる。

【００３５】しかも、薄型とすることにより、中心間の
距離Ｌを短くすることができ、ピストンロッド１７ａ，
１７ｂから往復動テーブル２８に動力を伝達するための
連結プレート１９および往復動テーブル２８には大きな
曲げモーメントが加わることを防止できる。

【００３６】往復動テーブル２８が所定の前進限位置、
後退限位置あるいは中間位置まで移動したことを検出す
るために、１つ以上のセンサがシリンダ本体１１に取り
付けられることになるが、４つのセンサ取付溝３３ａ，
３３ｂ，３４ａ，３４ｂがシリンダ本体１１に形成され
ているので、流体圧アクチュエータが設置される個所に
応じて、４つのセンサ溝のうちいずれかを選択したり、
全てを利用してそのセンサ溝にセンサを取り付けること
ができる。

【００３７】シリンダ本体１１は被装着部材に対して、
４つの取付孔３５にねじ部材３７を貫通させて被装着部
材にねじ止めされることになるが、取付孔３５はテーブ
ル収納溝１２の幅方向中心部からその側面側に変位して
形成されているので、ねじ部材３７はシリンダ本体の長
手方向と幅方向とに相互に離れ、平面上に分散してねじ
部材３７が取り付けられることになり、外径の小さなね
じ部材３７としても、シリンダ本体１１の締結を確実に
行うことができる。

【００３８】往復動テーブル２８には、流路３８ａ，３
８ｂが形成されており、それぞれの流路は図１に示すよ
うに、往復動テーブル２８の後端面に開口し、連結プレ
ート１９に形成された給排ポート（図示省略）に連通し
ている。したがって、連結プレート１９に開閉式のハン
ドやパッドなどの流体圧作動機器を取り付けた場合に
は、その流体圧作動機器に対して圧縮空気を供給するこ
とができる。なお、往復動テーブル２８の表面にそれぞ
れの流路３８ａ，３８ｂに連通させて給排ポートを形成
するようにし、往復動テーブル２８に流体圧作動機器を
取り付けるようにしても良い。

【００３９】図９は流体圧アクチュエータに使用される
リニアガイド２５とガイドレール３１の変形例を示す図
であり、これらが取り付けられた流体圧アクチュエータ
における図３に対応した部分の断面を示すと図１０の通
りである。

【００４０】このガイドレール３１にはリニアガイド２
５に対応する面の幅方向中央部にはねじ部材取付溝４１
が一端から他端にまで形成されており、ガイドレール３
１は断面がコの字形状となっている。ガイドレール３１
を往復動テーブル２８にねじ部材３２を用いて取り付け
る際には、ねじ部材３２はその頭部３２ａをねじ部材取
付溝４１内に入り込ませてねじ結合される。このような
断面形状のガイドレール３１を使用することにより、ガ
イドレール３１の幅寸法を大きくしても、その全体の重
量が大きくなることを防止できるとともに、ガイドレー
ル３１の軽量化を達成しつつ、幅の大きなガイドレール
３１とリニアガイド２５とにより往復動テーブル２８の
横方向の振れを防止して往復動精度を高めることができ
る。

【００４１】図１１は流体圧アクチュエータの変形例に
おける図３に対応した部分を示す断面図であり、シリン
ダ１１の表面１１ａのうちセンサ溝３３ａ，３３ｂが形
成されていない部分に開口させて、Ｔ字形状の取付溝３
９がシリンダ本体１１に形成されている。この取付溝３
９を利用してバルブなどの他の部材を取り付けることが
できる。

【００４２】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。

【００４３】たとえば、連結プレート１９の部分に往復
動テーブルが前進限位置および後退限位置となったとき
に、衝撃を緩和する緩衝機構を組み込むようにしても良
く、停止位置を調整するためのストッパを設けるように
しても良い。また、作動流体としては、空気圧以外に油
圧を使用することも可能である。

【００４４】

【発明の効果】本発明によれば、往復動テーブルをシリ
ンダ本体に形成されたテーブル収納溝内に配置するよう
にしたので、流体圧シリンダの厚み寸法を薄くすること
ができ、流体圧シリンダを薄型化することが可能とな
る。往復動テーブルを幅狭くしても、往復動テーブルに
はカイドレールが取り付けられていることから、往復動
テーブルを補強してその変形やそりの発生を防止するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施の形態である往復動テー
ブル付き流体圧アクチュエータを示す斜視図である。

【図２】図１における矢印Ａ方向から見た図１の側面図
である。

【図３】図２におけるＢ−Ｂ線に沿う方向の断面図であ
る。

【図４】図３におけるＣ−Ｃ線に沿う断面図である。

【図５】図３におけるＤ−Ｄ線に沿う断面図である。

【図６】図５におけるＥ−Ｅ線に沿う断面図である。

【図７】図５におけるＦ−Ｆ線に沿う断面図である。

【図８】図５におけるＧ−Ｇ線に沿う断面図である。

【図９】リニアガイドとガイドレールの変形例を示す斜
視図である。

【図１０】図９に示したリニアガイドとガイドレールと
を有する往復動テーブル付き流体圧シリンダにおける図
３と同様の部分を示す断面図である。

【図１１】流体圧アクチュエータの変形例における図３
に対応した部分を示す断面図である。

【符号の説明】

１１ シリンダ本体 １２ テーブル収納溝 １３ａ，１３ｂ ヘッドカバー １４ａ，１４ｂ ロッドカバー １５ａ，１５ｂ シリンダ室 １６ａ，１６ｂ ピストン １７ａ，１７ｂ ピストンロッド １８ ねじ部材 １９ 連結プレート ２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂ 給排ポート ２２ａ，２２ｂ、２４ａ，２４ｂ 流路 ２５ リニアガイド ２６ ねじ部材 ２７ レール溝 ２８ 往復動テーブル ２９ ねじ部材 ３１ ガイドレール ３２ ねじ部材 ３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ センサ取付溝 ３５ 取付孔 ３６ 貫通孔 ３７ ねじ部材 ３８ａ，３８ｂ 流路 ３９ 取付溝

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面側の幅方向中央部に一端から他端に
   まで延びるテーブル収納溝が形成され、かつ両側部にシ
   リンダ室が形成されたシリンダ本体と、 それぞれの前記シリンダ室内を往復動するピストンに取
   り付けられ、前記シリンダ本体の一端から突出するピス
   トンロッドと、 それぞれの前記ピストンロッドの先端に連結された連結
   プレートと、 前記連結プレートに固定されて前記テーブル収納溝内に
   往復動自在に装着される往復動テーブルとを有すること
   を特徴とする往復動テーブル付き流体圧アクチュエー
   タ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の往復動テーブル付き流体
   圧アクチュエータにおいて、前記テーブル収納溝の底面
   にリニアガイドを取り付け、前記リニアガイドよりも長
   い寸法を有し、前記リニアガイドに沿って移動するガイ
   ドレールを前記往復動テーブルに取り付けたことを特徴
   とする往復動テーブル付き流体圧アクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の往復動テーブル
   付き流体圧アクチュエータにおいて、前記リニアガイド
   の両端面と前記シリンダ本体の両端面との間の前記テー
   ブル収納溝に、前記テーブル収納溝の側面に変位させて
   取付孔を形成し、ねじ部材が貫通する貫通孔を前記往復
   動テーブルの側部に変位させて形成したことを特徴とす
   る往復動テーブル付き流体圧アクチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項２または３記載の往復動テーブル
   付き流体圧アクチュエータにおいて、前記ガイドレール
   の前記リニアガイドに対向する面の幅方向中央に、ねじ
   部材取付溝を前記ガイドレールの一端から他端にまで形
   成し、前記ガイドレールを前記往復動テーブルに固定す
   るねじ部材の頭部を前記ねじ部材取付溝に配置するよう
   にしたことを特徴とする往復動テーブル付き流体圧アク
   チュエータ。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか１項に記載の往
   復動テーブル付き流体圧アチクュエータにおいて、前記
   シリンダ本体の一方の側面と、一方の側部の表面とにそ
   れぞれ２つずつセンサ溝を形成し、いずれかのセンサ溝
   を選択してセンサを取り付けるようにしたことを特徴と
   する往復動テーブル付き流体圧アクチュエータ。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか１項に記載の往
   復動テーブル付き流体圧アクチュエータにおいて、前記
   シリンダ本体の他方の側面と、後端面とにそれぞれの前
   記シリンダ室に対する流体の給排を行う給排ポートを形
   成し、いずれかの給排ポートを選択してシリンダ室に対
   して流体の給排を行うようにしたことを特徴とする往復
   動テーブル付き流体圧アクチュエータ。
7. 【請求項７】 請求項１〜６のいずれか１項に記載の往
   復動テーブル付き流体圧アクチュエータにおいて、シリ
   ンダ本体にその表面に開口する取付溝を往復動テーブル
   の移動方向に形成し、前記取付溝に部材を取り付けるこ
   とができるようにしたことを特徴とする往復動テーブル
   付き流体圧アクチュエータ。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれか１項に記載の往
   復動テーブル付き流体圧アクチュエータにおいて、前記
   往復動テーブルの後端面に開口する流路を前記往復動テ
   ーブルに形成し、前記流路に連通する流体圧作動機器を
   前記往復動テーブルないし連結プレートに取り付けるよ
   うにしたことを特徴とする往復動テーブル付き流体圧ア
   クチュエータ。