JP3787985B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体圧出入ポートから圧力流体を導入することにより、アクチュエータボデイの軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させることが可能なリニアアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、ワーク等の搬送手段としてリニアアクチュエータが用いられている。このリニアアクチュエータは、シリンダボデイに沿って移動テーブルを直線状に往復運動させることにより、前記移動テーブルに載置されたワークを搬送することができる。
【0003】
従来技術に係るリニアアクチュエータとしては、クリーンルームに設置された流体圧シリンダについて、発塵や流体漏れがあった場合にこれらを速やかに回収する技術的思想が開示されている(例えば、実開平6−69404号公報参照)。
【0004】
すなわち、図9に示されるように、この流体圧シリンダでは、シリンダ本体1に長孔2を設け、シリンダ本体1の内部に配置したピストン3a、3bと該シリンダ本体1の外部に配置したテーブル4とを長孔2内に配置したロッド5を介して接続し、前記長孔2をシリンダ本体1の設置面6側に開口させ真空吸引ポート7として機能させる構成が採用されている。
【0005】
この場合、前記真空吸引ポート7に連通する回収流路が形成された配管ブロック8を介して流体圧シリンダを図示しない真空引き装置に接続し、前記流体圧シリンダの作動によって発生した粉塵や該流体圧シリンダから漏出した作動流体を前記真空引き装置によって回収するようにしている。
【0006】
また、シリンダ本体1の内部には、ピストン3a、3bとの間で閉塞された圧力室9を形成する一組のエンドカバー9a、9bが装着され、前記一組のエンドカバー9a、9bは、止め輪9cによってそれぞれ係止されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術に係るリニアアクチュエータでは、流体圧シリンダの真空吸引ポート7に連通する回収流路が形成された配管ブロック8が必要となり、部品点数が多くなって製造コストが高騰するという不都合がある。
【0008】
また、従来技術に係るリニアアクチュエータでは、変位終端位置においてピストン3a、3bがエンドカバー9a、9bに当接して該エンドカバー9a、9bが止め輪9c側に押圧されることにより、前記エンドカバー9a、9bと止め輪9cとの間で発生する塵埃が外部に流出してしまうという不都合がある。
【0009】
さらに、従来技術に係るリニアアクチュエータでは、テーブル4が変位終端位置に到達する際に騒音が発生するという不都合がある。
【0010】
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたものであり、部品点数を削減して製造コストを低減するとともに、騒音の発生を抑制し、しかも、エンドキャップの装着部位から外部に塵埃等が流出することを防止することが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体圧出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであって、
軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するとともに、側面部に開口部が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記開口部を介して前記スライドテーブルの底面部に略直交して連結され、該スライドテーブルと一体的に変位するジョイント部材と、
前記流体圧出入ポートから供給される圧力流体の作用下に前記ジョイント部材を貫通孔に沿って押圧する一組のピストンと、
前記貫通孔に装着され、前記一組のピストンとの間でシリンダ室を形成する一組のキャップ部材と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿った貫通孔の両端部に装着され、前記貫通孔から外部に塵埃等が流出することを阻止する一組の閉塞部材と、
を備え、前記アクチュエータボデイの側面部には、前記貫通孔内の空気を吸引する吸引ポートが設けられることを特徴とする。
【0012】
この場合、前記閉塞部材は、塵埃流出防止用キャップからなり、前記塵埃流出防止用キャップは、貫通孔に対応して形成され該貫通孔を閉塞する円板部と、キャップ部材の凹部内に圧入されて抜け止め防止機能を営むテーパ状の突起部とが一体的に形成される。
【0013】
本発明によれば、一方の流体圧出入ポートから導入された圧力流体が、キャップ部材とピストンとによって閉塞された一方のシリンダ室に供給される。前記シリンダ室に供給された圧力流体は、ピストンを押圧する。この押圧力は、前記ピストンに接触するジョイント部材を介してスライドテーブルをシリンダ本体の軸線方向に沿って変位させる。
【0014】
また、他方の流体圧出入ポートから圧力流体を導入し、キャップ部材とピストンとによって閉塞された他方のシリンダ室に圧力流体を供給することにより、前記とは逆方向にスライドテーブルが変位する。このようにして、スライドテーブルを往復動作させることができる。
【0015】
スライドテーブルが往復動作する際、吸引ポートに接続された吸引手段を介してアクチュエータボデイの貫通孔内の空気を吸引することにより、ピストンの摺動作用下に発生する塵埃等を貫通孔内の空気と共に吸引することができる。また、エンドキャップの装着部位から外部に向かって流出する塵埃等は、該貫通孔の両端部を閉塞する閉塞部材によってその流出が阻止される。
【0016】
この結果、例えば、クリーンルーム等の清浄性が要求される環境において好適に使用することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0018】
図1において参照符号10は、本実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。このリニアアクチュエータ10は、基本的に、シリンダ本体12と、前記シリンダ本体12の軸線方向に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル14と、前記スライドテーブル14をシリンダ本体12の軸線方向に沿って円滑に往復動作させるための摺動機構16(図7参照)とから構成される。
【0019】
図4に示されるように、前記シリンダ本体12の上面部には、軸線方向と直交する方向において対向する一対のガイドブロック18a、18bが該シリンダ本体12と一体的に膨出形成され、前記一対のガイドブロック18a、18bには、後述するボール循環孔20およびボール転動溝22が形成される。前記シリンダ本体12の上面部および下面部の略中央部には、図3に示されるように、略円柱状のジョイント部材24が自在に変位するための略楕円状の開口部26がそれぞれ形成される。
【0020】
また、図1に示されるように、前記シリンダ本体12の対角線状の一組の角部には、段部を介して一対の取付用孔部28a、28bが貫通して形成され、前記取付用孔部28a、28bに図示しないねじ部材を嵌合させることにより、該シリンダ本体12を他の部材等に固定することができる。
【0021】
さらに、図3に示されるように、前記シリンダ本体12の内部には、前記開口部26に連通し軸線方向に沿って貫通する貫通孔30が形成され、前記貫通孔30の中間部には、ジョイント部材24を間にして一組のピストン32a、32bが摺動自在に配設される。
【0022】
なお、それぞれのピストン32a(32b)には、環状溝を介してシールリング34が装着され、さらにその一端部には、変位終端位置においてエンドキャップ36a(36b)に当接する際に付与される衝撃を緩和する緩衝部材37が設けられる。
【0023】
前記貫通孔30の両端側には、キャップ部材として機能する一組のエンドキャップ36a(36b)が装着され、前記一組のピストン32a(32b)とエンドキャップ36a(36b)との間で閉塞されたシリンダ室38a、38bがそれぞれ形成される。この場合、前記一組のシリンダ室38a、38bは、図示しない通路を介して、シリンダ本体12の側面部に形成された一組の流体圧出入ポート40a、40b(図1参照)とそれぞれ連通するように形成される。
【0024】
なお、シリンダ本体12の軸線方向に沿った両端部には、図示しない通路を介して前記シリンダ室38a、38bにそれぞれ連通する一組の他の流体圧出入ポート(図示せず)が形成され、作業者は、設置環境並びに配管スペース等により所望の流体圧出入ポート40a、40bを選択することが可能に設けられている。この場合、図1に示されるように、使用しない流体圧出入ポートを栓部材42によって閉塞しておく。
【0025】
シリンダ本体12の軸線方向に沿った両端部には、前記貫通孔30を閉塞する一組の塵埃流出防止用キャップ(閉塞部材)44a、44bが装着される。この塵埃流出防止用キャップ44a、44bは、図8に示されるように、ゴム製材料または樹脂製材料等からなる可撓性材料によって一体的に形成された円板部46と突起部48とからなり、前記突起部48は、エンドキャップ36a、36bの凹部50に圧入されて抜け止め防止機能を営む。
【0026】
すなわち、図3に示されるように、エンドキャップ36a、36bの凹部50は、その奥側に向かって直径が徐々に大なる断面テーパ状に形成され、塵埃流出防止用キャップ44a、44bの突起部48は、前記断面テーパ状の凹部50に対応するように形成されている。従って、前記塵埃流出防止用キャップ44a、44bの突起部48を前記エンドキャップ36a、36bの凹部50に圧入することにより、該塵埃流出防止用キャップ44a、44bの抜け止めがなされる。この場合、前記エンドキャップ36a、36bは、シリンダ本体12内の環状溝に装着された止め輪51によって係止される。
【0027】
前記一組のピストン32a、32bの間には、スライドテーブル14と直交する方向にジョイント部材24が連結され、前記ジョイント部材24の一端部は、スライドテーブル14の底面部に形成されたねじ孔に螺入される(図3参照)。
【0028】
この場合、流体圧出入ポート40a(40b)を介して一方のシリンダ室38a(38b)に圧力流体を導入し、ピストン32a(32b)の変位作用下に、該ピストン32a(32b)の端部がジョイント部材24に当接して押圧することにより、前記ジョイント部材24を介してスライドテーブル14を矢印B方向(または矢印A方向)に変位させることができる。
【0029】
シリンダ本体12の側面部には、図1に示されるように、例えば、真空ポンプ等の吸引手段52に接続される吸引ポート54が形成され、前記吸引ポート54は、シリンダ本体12内の貫通孔30に連通するように形成される。
【0030】
この場合、吸引ポート54が形成されたシリンダ本体12の側面部に対向する他の側面部に他の吸引ポート(図示せず)を形成し、相互に対向する一組の吸引ポート54の中、いずれか一方の吸引ポート54を選択的に使用するようにしてもよい。その際、使用しない他方の吸引ポート54は、予め、図示しない栓部材等によって気密に閉塞しておく。このように、吸引ポート54を複数個設けて選択的に使用することにより、該吸引ポート54に接続されるチューブ等の配管方向の自由度を増大させることができる。
【0031】
図1に示されるように、スライドテーブル14の四隅角部に近接する部位には取付用孔部56が形成され、一方、スライドテーブル14の底面部には、長手方向に沿って延在するガイド部58が一体的に膨出形成される。前記ガイド部58の相互に対向する側壁面には、長手方向に沿ってボール転動溝60が形成される。
【0032】
図7に示されるように、摺動機構16は、シリンダ本体12と一体的に膨出形成された一対のガイドブロック18a、18bと、ねじ部材62を介して前記ガイドブロック18a、18bの両端部にそれぞれ装着されるカバー64およびプレート66とを含む。
【0033】
前記プレート66は、例えば、樹脂製材料または金属製材料によって平板状に形成され、また、前記ガイドブロック18a、18bには軸線方向に沿って貫通するボール循環孔20が形成され、該ガイドブロック18a、18bの対向する内壁面には軸線方向に沿って延在するボール転動溝22が形成される。
【0034】
また、前記摺動機構16は、前記ガイドブロック18a、18bの両端部にそれぞれ装着され、前記ボール循環孔20とボール転動溝22とを媒介するリターンガイド68と、前記ボール循環孔20およびボール転動溝22に沿って転動する複数のボールベアリング70とを有する。
【0035】
なお、前記カバー64には、ボール循環孔20とボール転動溝22とを連結し、ボールベアリング70の循環軌道としての機能を営む凹部72が形成される。
【0036】
本実施の形態に係るリニアアクチュエータ10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0037】
先ず、図示しない流体圧供給源を流体圧出入ポート40a、40bに接続するとともに、図示しないチューブ等を介して吸引手段52をシリンダ本体12の吸引ポート54に接続しておく。なお、作業者の選択により複数の吸引ポート54の中、所望の吸引ポート54を選択し、他の吸引ポート54を図示しない栓部材によって閉塞しておく。
【0038】
このような準備作業を経た後、図示しない流体圧供給源から圧力流体を一方の流体圧出入ポート40bに導入する。この場合、他方の流体圧出入ポート40aは、図示しない切換弁の作用下に大気開放状態にしておく。
【0039】
流体圧出入ポート40bに導入された圧力流体は、該流体圧出入ポート40bに連通する図示しない通路を介して一方のシリンダ室38bに供給され、ピストン32bを矢印A方向に押圧する。前記ピストン32bが押圧されて変位することにより該ピストン32bの端部がジョイント部材24に当接し、前記ジョイント部材24は開口部26に沿って矢印A方向に変位する。
【0040】
従って、前記ジョイント部材24に連結されたスライドテーブル14が該ジョイント部材24と一体的に矢印A方向に向かって変位し、ピストン32bに設けられた緩衝部材37がエンドキャップ36aに当接することにより変位終端位置に至る。
【0041】
この場合、緩衝部材37を介してピストン32bがエンドキャップ36aに当接することにより、該エンドキャップ36bが矢印A方向に押圧され、前記エンドキャップ36bと止め輪51との間で発生する塵埃等は、前記貫通孔30を閉塞する塵埃流出防止用キャップ44aによって外部に対する流出が阻止される。
【0042】
また、スライドテーブル14が変位終端位置に到達する際、ピストン32bに設けられた緩衝部材37がエンドキャップ36aと当接する際の衝撃を吸収し、騒音の発生を抑制することができる。
【0043】
前記とは逆方向(矢印B方向)にスライドテーブル14を変位させる場合には、他方の流体圧出入ポート40aに圧力流体を供給する。前記供給された圧力流体は、図示しない通路を介して他方のシリンダ室38aに導入され、ピストン32aを矢印B方向に向かって押圧する。前記ピストン32aの押圧作用下にジョイント部材24が矢印B方向に向かって変位し、前記ジョイント部材24を介してスライドテーブル14が矢印B方向に変位する。なお、その他の動作は前記と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
【0044】
本実施の形態では、スライドテーブル14が矢印A並びにB方向に沿って往復動作する際、吸引ポート54に接続された吸引手段52の付勢作用下にシリンダ本体12の貫通孔30内の空気が吸引される。従って、貫通孔30に沿って摺動変位するピストン32a、32bおよびジョイント部材24等の可動部材によって発生する塵埃等が貫通孔30内の空気と共に吸引される。この結果、本実施の形態に係るリニアアクチュエータ10を、クリーンルーム内を汚染することなく清浄性を保持した状態で、好適に使用することができる。
【0045】
また、本実施の形態では、従来技術と比較して、吸引ポートに連通する回収流路が形成された配管ブロック8(図9参照)が不要となるため、部品点数を削減して製造コストを低減することができる。
【0046】
さらに、本実施の形態では、シリンダ本体12の両端部に貫通孔30を閉塞するための塵埃流出防止用キャップ44a、44bを装着することにより、エンドキャップ36a、36bと止め輪51との間で発生する塵埃等が外部に流出することを阻止することができる。従って、本実施の形態では、より一層クリーンルーム内の清浄性を保持することができる。
【0047】
さらにまた、本実施の形態では、従来技術と比較して、プレート66に弾性体からなるゴムライニングを設ける必要がなく、例えば、樹脂製材料または金属製材料によって平板状に形成することにより、部品点数を削減して製造コストを低減することができるという利点がある。
【0048】
【発明の効果】
本発明では、従来技術に示される配管ブロックが不要となり、部品点数を削減して製造コストを低減することができる。
【0049】
また、貫通孔を閉塞する閉塞部材を設けることにより、キャップ部材の装着部位において発生する塵埃等が外部に流出することを阻止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図2】図1に示すリニアアクチュエータの一部切欠斜視図である。
【図3】図1のIII−III線に沿った縦断面図である。
【図4】図3のIV−IV線に沿った縦断面図である。
【図5】図1に示すリニアアクチュエータの底面図である。
【図6】図1に示すリニアアクチュエータの側面図である。
【図7】図1に示すリニアアクチュエータを構成する摺動機構の部分分解斜視図である。
【図8】図1に示すリニアアクチュエータの貫通孔に装着された塵埃流出防止用キャップおよびエンドキャップの斜視図である。
【図9】従来技術に係るリニアアクチュエータの縦断面図である。
【符号の説明】
10…リニアアクチュエータ 12…シリンダ本体
14…スライドテーブル 16…摺動機構
18a、18b…ガイドブロック 24…ジョイント部材
26…開口部 30…貫通孔
32a、32b…ピストン 36a、36b…エンドキャップ
38a、38b…シリンダ室 40a、40b…流体圧出入ポート
44a、44b…塵埃流出防止用キャップ
46…円板部 48…突起部
50…凹部 52…吸引手段
54…吸引ポート 66…プレート
Claims (3)
- 流体圧出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータであって、
軸線方向に沿って貫通する貫通孔を有するとともに、側面部に開口部が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記開口部を介して前記スライドテーブルの底面部に略直交して連結され、該スライドテーブルと一体的に変位するジョイント部材と、
前記流体圧出入ポートから供給される圧力流体の作用下に前記ジョイント部材を貫通孔に沿って押圧する一組のピストンと、
前記貫通孔に装着され、前記一組のピストンとの間でシリンダ室を形成する一組のキャップ部材と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿った貫通孔の両端部に装着され、前記貫通孔から外部に塵埃等が流出することを阻止する一組の閉塞部材と、
を備え、前記アクチュエータボデイの側面部には、前記貫通孔内の空気を吸引する吸引ポートが設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、閉塞部材は、塵埃流出防止用キャップからなり、前記塵埃流出防止用キャップは、貫通孔に対応して形成され該貫通孔を閉塞する円板部と、キャップ部材の凹部内に圧入されて抜け止め防止機能を営むテーパ状の突起部とが一体的に形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
- 請求項1または2記載のリニアアクチュエータにおいて、アクチュエータボデイには、貫通孔に連通する複数の吸引ポートが配管方向に対応して選択的に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
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