JP5763966B2 - クリーン環境用アクチュエータ - Google Patents
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Description
前記筐体は,前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット,前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット,前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー,前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート,及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており,
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するTスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え,前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており,前記パッキンは,前記取付溝内に配設された本体部,前記Tスロットを形成するフランジ部に係止する前記本体部から突出した係止部,前記Tスロットの底部に当接する前記本体部から突出した基底リップ,及び前記Tスロットを形成する開口部から突出して前記サイドカバーに密接する前記本体部から突出した封止リップから構成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータに関する。
2 スライダ
3 サイドカバー
4 シールプレート
5 ベッド
6 テーブル
7 テーブルカバー
8 モータ
9 エンドブラケット
10 モータブラケット
14 取付面
15,25 吸引口
20 センサ取付け用溝
27 通気孔
29 Tスロット
30 パッキン
33 側壁
34 底壁
35 ボールねじナット
36 ボールねじ軸
42 上面
49 肩部
50 パッキン本体部
51 基底リップ
52 係止部
53 封止リップ
55 側板部
56 上板
59 首部
60 ケーシング
Claims (4)
- 底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面U字形状に形成された長尺状のベッド,前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ,前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置,少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体,及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて,
前記筐体は,前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット,前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット,前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー,前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート,及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており,
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するTスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え,前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており,
前記パッキンは,前記取付溝内に配設された本体部,前記Tスロットを形成するフランジ部に係止する前記本体部から突出した係止部,前記Tスロットの底部に当接する前記本体部から突出した基底リップ,及び前記Tスロットを形成する開口部から突出して前記サイドカバーに密接する前記本体部から突出した封止リップから構成されていることを特徴とすることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。 - 底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面U字形状に形成された長尺状のベッド,前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ,前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置,少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体,及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて,
前記筐体は,前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット,前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット,前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー,前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート,及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており,
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するTスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え,前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており,
前記サイドカバーは,前記ベッドの前記側面に密接する側板部と前記側板部から延びて前記側板部に直交して前記ベッドの前記上面に掛けて延びる上板部とで断面L字形状に形成されており,前記サイドカバーの前記L字形状の角部には,前記側板部から前記ベッドの前記側壁上を内方へと入り込んだ形状に形成されたTスロットで成るセンサ取付溝が設けられ,前記センサ取付溝を形成する下面部分は前記ベッドの前記側壁の上面に設置される肩部に形成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。 - 底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面U字形状に形成された長尺状のベッド,前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ,前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置,少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体,及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて,
前記筐体は,前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット,前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット,前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー,前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート,及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており,
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するTスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え,前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており,
密閉された前記筐体内の内部空間を前記スライダが前記ベッド上を移動する際に生じるポンピング現象を防止するため,前記スライダには,前記テーブル寄りの前記スライダの上部の端面間を貫通する通気孔が形成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。 - 底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面U字形状に形成された長尺状のベッド,前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ,前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置,少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体,及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて,
前記筐体は,前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット,前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット,前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー,前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート,及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており,
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するTスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え,前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており,
前記駆動装置は,モータ,及び前記モータで回転駆動され且つ前記ベッド内で前記エンドブラケットと前記モータブラケットとで軸受を介して回転自在に軸端がそれぞれ支持されたボールねじ軸と前記ボールねじ軸に螺合して前記スライダに取り付けられたボールねじナットとから成るボールねじから構成されており,前記エンドブラケットと前記モータブラケットには,塵埃が発生し易い場所である前記ボールねじ軸の前記軸端の近辺に,前記筐体の内部の空気を吸引するための吸引口が一対ずつ形成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。
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