JP4253850B2 - 走行装置およびロボット - Google Patents
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Description
図7において、71はロボット、72はロボット71を移動させる走行装置、73は制御装置、77は排気用ファンである。
ロボットが走行装置によって移動すると、これに伴い発塵する。しかし、筐体74の内部は、排気用ファン77によって負圧に保たれているので、移動用の隙間穴76から排気用ファン77へとエアが流れ、発塵した塵がクリーンルーム内に飛散するのを防止することができる。
一方で、何らかの防塵機構を設けることで防塵を図ることも行なわれるが、一般的に防塵機構を設けると、その分装置本体の高さが高くなる。その結果、ガラスを搬送する場合には、その搬送高さが上がりクリーンルーム全体の容積が大きくなり、空調等の維持費が増大するという問題もあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、発塵部近傍に局部的な空気の流れを横方向に作り出し、フィルタを介して外部に排出することによって高い防塵機能を維持するとともに、消費電力と騒音を抑えることのできる走行装置を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、水平方向に走行する走行ベースと、前記走行ベースを案内する案内手段と、前記走行ベースに動力を伝達する動力伝達手段と、発生する気流が水平方向になるように前記走行ベースに設けられた送風手段と、前記案内手段、前記動力伝達手段および前記送風手段を覆うカバー部と、前記カバー部に設けられた複数のフィルタ付きの第1排気手段と、を備え、前記送風手段と前記フィルタ付きの第1排気手段が水平方向に配置されたことを特徴とするものである。
請求項2に記載の発明は、水平方向に走行する走行ベースと、前記走行ベースを案内する案内手段と、前記走行ベースに動力を伝達する動力伝達手段と、発生する気流が水平方向になるように前記走行ベースに設けられた送風手段と、前記案内手段、前記動力伝達手段および前記送風手段を覆うカバー部と、前記カバー部に接続された排気ダクトと、前記カバー部内部で発生した塵を前記排気ダクトに排出する複数の第1排気手段と、前記排気ダクトに設けられたフィルタと、を備え、前記送風手段と前記第1排気手段が水平方向に配置されたことを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明は、走行ベースにケーブルを渡すためのケーブル保護手段を備え、前記ケーブル保護手段は前記カバー部に覆われたことを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明は、前記案内手段は前記動力伝達手段の内側に設けられ、前記動力伝達手段は前記ケーブル保護手段の内側に設けられたことを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4いずれかに記載の走行装置を備えたことを特徴とするものである。
請求項7、11乃至15に記載の発明によると、消費電力と騒音を抑えた走行装置を提供することが出来る。
6はケーブルベア(ケーブル保護手段)で固定側の筐体1と移動側の走行ベース4に各々固定され相対運動することによって走行ベースに渡るケーブルを保護している。
7,8,9,10は発塵源である相対運動部を覆っている防塵用カバーである。防塵用カバーは、ボールネジ、ベルト、ラックギヤ5、ピニオンギヤ等の駆動系(動力伝達手段)、ブロック3、レール2ローラ等の支持系およびケーブルベア(ケーブル保護手段)を覆っている。
100は気流の向きを表す矢印であり、11は送風ファン(送風手段)で気流の向きが水平方向になるように移動側である走行ベース4に設置してあり、12はフィルタ付きの排気用ファンで気流の向きが水平方向になるように固定側である防塵カバー7に取り付けてあり、排気口には排気の向きを変更するための排気用カバー13が取り付けてある。
さらに、走行ベース4の位置を図示しない駆動モータの回転角度から把握し走行ベース4近傍のフィルタ付き排気ファン12を作動させる。
また、送風ファン11、フィルタ付き排出ファン12を水平方向に取り付けることで、走行装置全体の高さを抑えることが出来る。
さらに、走行装置全体ではなくダストが発生する部位に局部的に気流を発生させることが出来るため、消費電力を抑えることが出来る。
なお、必要であれば排気フィルタ103の前方あるいは後方に排気ファン(第2排気手段)を設置し走行装置内の気流の強さを調整することも出来る。
図5は、本実施例の液晶搬送ロボットを示す図である。図において、51は第1のアーム、52は第2のアームであり、支持部材56で連結されている。また、先端にはそれぞれハンド53が取り付けられている。第1のアーム、第2のアームは、それぞれ水平多関節形であり、第1と第2のアームを伸縮させて、ハンドに載置した液晶ガラス基板を搬送する。55は、上下軸コラム(走行装置)であり、支持部材56を上下に駆動することで、第1と第2のアームを上下方向に移動させるものである。すなわち、実施例1記載の走行装置に、第1および第2のアームが設けられた構成となっている。
図において、62は上下軸コラム55内を室A(第1の室)とB(第2の室)に仕切る隔壁である。
65は、隔壁62に複数並んで設けられた小型排気ファン(第1排気ファン)であり、室AからBの方向へとエアを排気する。66は、室B下部に設けられたフィルタ付き大型排気ファン(第2排気ファン)であり、小型排気ファン65によって排気されたエアを室Bから上下軸コラム55外部へと排気する。
アーム(支持部材56)が上下軸に沿って動作すると、駆動機構等から塵が発生する。上下軸の駆動機構は、全て室A内に収められているために、室Aのカバーやシールベルトの隙間から上下軸コラム55外に流出しようとする。ここで、小型排気ファン65が動作していると、室A内は負圧となり、ここから塵が上下軸コラム55外に流出することなく、室Bへ排出される。室Bに排出された塵は、さらに上下軸コラム55下部に設けられた大型排気ファン66によって排出されるが、フィルタで濾過されるため、外部に塵が流出することは無くなる。
さらに、アームを上下動作すると、アーム位置検出手段(不図示)が検出した位置に応じて、支持部材56の近傍にある小型排気ファンのみを通常の回転数で動作させ、それ以外は回転数を落として動作させる。
なお、支持部材56の近傍にある小型排気ファンのみを通常の回転数で動作させるだけでなく、支持部材56が通過した直後は、通常の回転数で動作させ、一定時間経過後に回転数を落としても良い。さらに、回転数を落とすのではなく、動作を完全に停止させても良い。さらに、アームの駆動機構の通過速度が速いときは、長い時間経過した後に、遅い時は、短い時間経過した後に回転数を落としても良い。
2 レール
3 ブロック
4 走行ベース
5 ラックギヤ
6 ケーブルベア
7、8、9、10 防塵カバー
11 送風ファン
12 フィルタ付き排気ファン
13 排気用カバー
100 気流の向きを示す矢印
101 排気ダクト
102 フィルタ無し排気ファン
103 排気フィルタ
104 排気ファン
105 開閉弁
Claims (5)
- 水平方向に走行する走行ベースと、前記走行ベースを案内する案内手段と、前記走行ベースに動力を伝達する動力伝達手段と、発生する気流が水平方向になるように前記走行ベースに設けられた送風手段と、前記案内手段、前記動力伝達手段および前記送風手段を覆うカバー部と、前記カバー部に設けられた複数のフィルタ付きの第1排気手段と、を備え、
前記送風手段と前記フィルタ付きの第1排気手段が水平方向に配置されたことを特徴とする走行装置。 - 水平方向に走行する走行ベースと、前記走行ベースを案内する案内手段と、前記走行ベースに動力を伝達する動力伝達手段と、
発生する気流が水平方向になるように前記走行ベースに設けられた送風手段と、
前記案内手段、前記動力伝達手段および前記送風手段を覆うカバー部と、
前記カバー部に接続された排気ダクトと、
前記カバー部内部で発生した塵を前記排気ダクトに排出する複数の第1排気手段と、
前記排気ダクトに設けられたフィルタと、を備え、
前記送風手段と前記第1排気手段が水平方向に配置されたことを特徴とする走行装置。 - 走行ベースにケーブルを渡すためのケーブル保護手段を備え、前記ケーブル保護手段は前記カバー部に覆われたことを特徴とする請求項1または2に記載の走行装置。
- 前記案内手段は前記動力伝達手段の内側に設けられ、
前記動力伝達手段は前記ケーブル保護手段の内側に設けられたことを特徴とする請求項3に記載の走行装置。 - 請求項1乃至4いずれかに記載の走行装置を備えたことを特徴とするロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006192555A JP4253850B2 (ja) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | 走行装置およびロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006192555A JP4253850B2 (ja) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | 走行装置およびロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008018497A JP2008018497A (ja) | 2008-01-31 |
JP4253850B2 true JP4253850B2 (ja) | 2009-04-15 |
Family
ID=39074855
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006192555A Expired - Fee Related JP4253850B2 (ja) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | 走行装置およびロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4253850B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010023195A (ja) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
WO2014082229A1 (en) | 2012-11-28 | 2014-06-05 | Eaton Corporation | Equipment enclosure fan control systems and methods |
US10076064B2 (en) | 2012-11-28 | 2018-09-11 | Eaton Intelligent Power Limited | Housing having configurable airflow exhaust |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62241693A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-22 | 三菱電機株式会社 | 産業用ロボツト |
JPS6399140U (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-27 | ||
JP2507583B2 (ja) * | 1989-03-01 | 1996-06-12 | 三菱電機株式会社 | クリ―ンロボット |
JPH0340094U (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-17 | ||
JPH03131492A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-06-05 | Toshiba Corp | 走行体の発塵防止装置 |
JPH0413595A (ja) * | 1990-05-01 | 1992-01-17 | Mitsubishi Electric Corp | クリーンロボット |
JPH08114342A (ja) * | 1994-10-14 | 1996-05-07 | Sony Corp | クリーンルーム装置 |
JPH09323285A (ja) * | 1996-06-03 | 1997-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | クリーンルーム用産業ロボット |
JPH11216689A (ja) * | 1998-02-02 | 1999-08-10 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 搬送台車 |
JP2000046390A (ja) * | 1998-07-28 | 2000-02-18 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンルーム設備の空調制御方法及びグレーチングユニット |
JP4422449B2 (ja) * | 2003-08-06 | 2010-02-24 | 富士工業株式会社 | レンジフード |
JP2005083599A (ja) * | 2003-09-04 | 2005-03-31 | Trecenti Technologies Inc | クリーンルームおよびその制御方法 |
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-
2006
- 2006-07-13 JP JP2006192555A patent/JP4253850B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008018497A (ja) | 2008-01-31 |
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Date | Code | Title | Description |
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20080507 |
|
A621 | Written request for application examination |
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|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20080801 |
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A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090118 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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