JPH0340094U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0340094U JPH0340094U JP10221689U JP10221689U JPH0340094U JP H0340094 U JPH0340094 U JP H0340094U JP 10221689 U JP10221689 U JP 10221689U JP 10221689 U JP10221689 U JP 10221689U JP H0340094 U JPH0340094 U JP H0340094U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- slider device
- clean
- linear motion
- air hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例によるクリーン形
スライダー装置の部分断面図、第２図は第１図に
よる内部を説明するための、カバーを取り除いた
平面図、第３図は従来の通常環境で用いられるス
ライダー装置の部分断面図、第４図は第３図によ
るカバーを取り除いた平面図である。１……ベー
ス、２……サーボモータ、８……ボールネジ、１
０……直線運動軸受、１２……スライド部品、１
５……風穴ベース、１６……軸流フアンである。
矢印Ａは、軸流フアンにより発生させた風の流れ
を示す。なお、図中、同一符号は同一、または相
当部分を示す。
スライダー装置の部分断面図、第２図は第１図に
よる内部を説明するための、カバーを取り除いた
平面図、第３図は従来の通常環境で用いられるス
ライダー装置の部分断面図、第４図は第３図によ
るカバーを取り除いた平面図である。１……ベー
ス、２……サーボモータ、８……ボールネジ、１
０……直線運動軸受、１２……スライド部品、１
５……風穴ベース、１６……軸流フアンである。
矢印Ａは、軸流フアンにより発生させた風の流れ
を示す。なお、図中、同一符号は同一、または相
当部分を示す。
Claims (1)
- クリーンルーム等の清浄環境内にて使用される
スライダー装置において、駆動機器及び、直線運
動用軸受等の必要機器を、風穴を設けたベースに
取付け、その下部に軸流フアンを有したことを特
徴とするクリーン形スライダー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10221689U JPH0340094U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10221689U JPH0340094U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0340094U true JPH0340094U (ja) | 1991-04-17 |
Family
ID=31651127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10221689U Pending JPH0340094U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0340094U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002153409A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-28 | Tekishi Kitada | 手袋型タワシ |
| JP2008018497A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Yaskawa Electric Corp | 走行装置およびロボット |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP10221689U patent/JPH0340094U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002153409A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-28 | Tekishi Kitada | 手袋型タワシ |
| JP2008018497A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Yaskawa Electric Corp | 走行装置およびロボット |
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