JPH058194A - 直交型ロボツトの集塵構造 - Google Patents

直交型ロボツトの集塵構造

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JPH058194A
JPH058194A JP18697691A JP18697691A JPH058194A JP H058194 A JPH058194 A JP H058194A JP 18697691 A JP18697691 A JP 18697691A JP 18697691 A JP18697691 A JP 18697691A JP H058194 A JPH058194 A JP H058194A
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JP
Japan
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small chamber
orthogonal robot
ball screw
housing
dust
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Application number
JP18697691A
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English (en)
Inventor
Hiroaki Morikawa
浩昭 森川
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Publication of JPH058194A publication Critical patent/JPH058194A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 直交型ロボットにおいて、筐体の成形時に機
械的強度の増強のために採用される中空構造を、集塵用
空間として利用して防塵構造の簡単化を図る。 【構成】 直交型ロボット1の筐体2は、ボールネジ6
やこれに螺合されるナット7を収納する小室3と、モー
ター11を収納する小室4と、筐体2の機械的強度を増
すためにアルミニウムの押出し材を使用して中空構造を
採用した結果として小室3の下方に形成される小室5と
を有する。小室3と小室5との隔壁13に複数の吸気孔
14、14・・・を形成するとともに、小室5の空気を
負圧発生用ポンプ16によって吸引することによって小
室5内を負圧に保つ。これによって、塵埃を含む小室3
内の空気を吸気孔14、14・・・を通して小室5内に
引き込んだ後外部に排出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、直交型ロボットの筐体
の形成にあたって、機械的強度の補強用に形成される中
空構造を、集塵用空間として積極的に利用することでロ
ボットの防塵対策を容易に講じることができる新規な直
交型ロボットの集塵構造を提供するものである。
【0002】
【従来の技術】近年における各種の電子関連機器にあっ
ては、その加工過程において塵埃に関する対策が要求さ
れ、所謂クリーンルーム内の生産設備に使用されるロボ
ットについても発塵を抑える必要性が生じている。
【0003】特に直交型ロボットにおいては、塵埃が発
生する部分の周辺を負圧に保つことにより、塵埃を含む
空気を吸引してクリーン度が低下しないように防止して
いる。
【0004】従来の防塵構造の一例としては、実開平2
−105639号公報に記載されたものを挙げることが
でき、その概要を図6に示す。
【0005】直交型ロボットaのスライド機構bは、移
動部材c内の図示しないナットがボールネジdに螺合さ
れており、ボールネジdの回転によって移動部材cが直
線的に移動され、該移動部材cの側面に設けられた被ガ
イド部e、eを各別に案内するための一対のガイドレー
ルf、fが外筐g内においてボールネジdに平行に配置
された構成とされている。
【0006】移動部材cのスライドに伴う発塵は、主に
移動部材cとボールネジdとの接触部分や、被ガイド部
e、eとガイドレールf、fとの接触部分において著し
いため、移動部材cの移動方向に向いた2つの側面に中
空の弾性部材h、h(図ではその一方のみを示す。)が
取り付けられ、その挿通孔にボールネジdが挿通され、
また、被ガイド部eの移動方向を向いた2つの側面に中
空の弾性部材i、iがガイドレールf、fに対してスラ
イド自在に取り付けられている。
【0007】そして、弾性部材h、h、i、iの中空部
分と移動部材cの筐体内部とを連結パイプj、jや通路
k、k(図ではj、kについてその一方のみを示す。)
によって連通させるとともに負圧とし、移動部材cのナ
ットとボールネジdとの摺接や被ガイド部eとガイドレ
ールfとの摺接によって発生した塵埃を、移動部材cの
筐体内部に引き込んだ後、図示しないワーク台の支持脚
l、lに形成された空気流路m、mを通して、排気する
ようになっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た構造のスライド機構bにあっては、移動部材cがその
移動範囲の末端に来たときに弾性部材h、iがメカニカ
ルストッパーの機能を果たすという効果はあるものの、
弾性部材h、iのもつ構造が複雑になるという問題や、
弾性部材hとボールネジdとの間や、弾性部材iとガイ
ドレールgとの間で接触が生じないように各部材を配置
しなければならないので、高い加工精度や位置決め精度
が要求されるといった問題がある。
【0009】また、塵埃を吸引するための連結パイプj
の取付や通路kの形成が必要となるため製造コストを引
き下げることが困難であるという問題がある。
【0010】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明直交型ロ
ボットの集塵構造は上記した課題を解決するために、筐
体のうち、ボールネジと該ボールネジの回転によって直
線的に移動するナットとを収納する収納空間の下方に隣
接し、かつボールネジの軸に平行な方向の機械的補強の
ための中空部を集塵用空間として利用し、上記収納空間
と中空部との隔壁に空気流路を形成するとともに、中空
部を減圧手段に接続したもである。
【0011】
【作用】本発明直交型ロボットによれば、集塵用の弾性
部材を付設したり、これらと移動部材とを繋ぐ中空部材
を配して塵埃の通路を形成する必要がなくなるので、構
造が簡単となり、また、部材についての高い加工精度等
を要求さることがなく、しかも、筐体の機械的強度の補
強のために形成される中空部を負圧に保つことでこれを
集塵用空間として利用することができるので、著しいコ
ストの上昇を招くことがない。
【0012】
【実施例】以下に、本発明直交型ロボットを図示した実
施例に従って説明する。
【0013】図1は直交型ロボット1を側面から見たと
きの構成の概要を示すものであり、直方体状をした筐体
2の内部は3つの小室3、4、5に区画されている。
【0014】小室3は、ボールネジ6とその支持部材や
ナット7等を収納するために設けられている。
【0015】ボールネジ6は、その回転によってナット
7及び移動部材8を直線的に移動させるものであり、両
端寄りの部分がベアリング9、10によって支持されて
いる。
【0016】小室4は、ボールネジ6を回転させるため
のモーター11等を収納するために設けられている。つ
まり、小室4内に配置されたモーター11の回転軸はカ
ップリング12を介してボールネジ6の一端部に連結さ
れている。
【0017】小室5は、集塵のために負圧に保たれた小
室(以下、「負圧小室」という。)であり、この負圧小
室5と小室3との間の隔壁13には、複数の吸気孔1
4、14、・・・が形成されている。そして、この負圧
小室5内の空気は、吸気速度制御弁15を通して負圧発
生用ポンプ16によって吸引された後、外部に排出され
るようになっている。
【0018】尚、隔壁13は筐体2の成形時においてア
ルミニウムの押出し加工により強度補強のための中空構
造を作り出した結果として形成されるものである。
【0019】一般に直交型ロボットの筐体は、その機械
強度の向上を図るために、長手方向に亘る中空構造をも
つように形成されることが多い。
【0020】図2は直交型ロボット1の要部を示す縦断
面図であり、図3はボールネジ6の軸に垂直な面で切断
した横断面図である。
【0021】筐体2は、図3に示すように、ベース部1
7の主部とその長手方向に沿う側縁に立設された側壁1
8、18とが、例えば、アルミニウムの押出し成形によ
り一体に形成され、側壁18、18の上端部にフ−ド部
19、19が取り付けられている。
【0022】20、20、21、21は、ベース部17
を長手方向に貫通して形成された貫通孔であり、ベース
部17の中央寄りに位置した貫通孔20、20は、その
横断面形状が横長の長方形状をなしており、ベース部1
7の側壁18、18寄りに位置した貫通孔21、21
は、その横断面形状が縦長の長方形状をなしている。
【0023】図4はベース部17の要部を示すものであ
る。
【0024】22はベース部17の主部と側壁18、1
8とによって形成され上方に開口した凹部であり、この
凹部22と貫通孔20、20とを隔てる境界壁23に
は、吸気孔14、14、・・・が形成されており、凹部
22と貫通孔20、20とは吸気孔14、14、・・・
によって連通されている。
【0025】24は筐体2の一方の端部を覆う閉塞板で
あり、これによって図2に示すように貫通孔20、20
の一方の開口20a、20aが閉じられる。
【0026】貫通孔20、20の他方の開口20b、2
0bは、吸気ノズル部25、25(図ではその一方のみ
を示す)が嵌合されることによって封じられており、か
つ、この吸気ノズル部25、25は吸気速度制御弁1
5、15を介して図示しない負圧発生用の真空ポンプに
接続されている尚、直交型ロボット1における駆動機構
は従前と同様の構造とされている。
【0027】即ち、ナット7に連結された移動ブロック
26(図3に2点鎖線で示す)は、その支持部26a、
26aによって移動テーブル27を筐体2の外部で支持
しており、支持部26a、26aの摺動を妨げないよう
に、先端寄りの部分がコ字状に屈曲されたフード部1
9、19と筐体2の上部中央に橋架された天板28のと
の間に長手方向に延びるスリット29、29が形成され
ている。
【0028】しかして、直交型ロボット1における発塵
は、主にボールネジ6とナット7やベアリング9、10
との接触が原因となるが、直交型ロボット1ではベース
部17の成形時に機械的強度を増強する目的で形成され
る貫通孔20、20を利用して負圧小室5を画成すると
ともに、境界壁23のうち、なるべくボールネジ6に近
い位置に吸気孔14、14、・・・を形成して、負圧小
室5の空気を負圧発生用ポンプ16によって吸引してい
るため、小室3で発生した塵埃は、吸気孔14、14、
・・・を通って負圧小室5に導かれた後、最終的に外部
に排出されることになる。
【0029】ところで、上記した直交型ロボットの集塵
構造においては、単に境界壁23に吸気孔14、14、
・・・を空けるだけでもかなりの集塵効果が得られる
が、移動ブロック26がその摺動範囲において、特に頻
繁に位置する場所がある場合には、吸気孔14、14、
・・・を凹部22の長手方向に沿って一様に形成せず
に、例えば、図5に矢印Aで示すように、ナット7の存
在頻度の高い場所に対しては吸気孔14、14、・・・
を他の場所より多めに形成し、分布に偏りをもたせるこ
とによって、単位時間当たりの吸引空気量を増やすよう
にすると良い。
【0030】このとき、吸気孔14、14、・・・の数
を予め必要数より多めに空けておき、不要な孔を目隠し
用のピン等によって閉塞するようにしても構わない。
【0031】尚、図5の上段に示すグラフ図は、ナット
7の位置(横軸)とその存在の頻度(縦軸)との関係の
一例を概念的に示したものである。
【0032】また、場所に応じて吸気孔の径に変える方
法を適宜に併用しても良い。
【0033】
【発明の効果】以上に記載したところから明らかなよう
に、本発明によれば、筐体の機械的な補強のための中空
構造を集塵用空間として利用することによって簡易な集
塵構造にすることができる。
【0034】また、ボールネジやナットを含む収納空間
と中空部との隔壁に形成される空気流路の位置や数を適
切に選定し、特に、ナットの動作範囲のうち頻繁に往来
する場所程、空気流路を密に配置して集塵効果を高めた
り、あるいは、全吸気量を制限することにより、減圧手
段にかかる負担を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る直交型ロボットの概要を示す図で
ある。
【図2】本発明に係る直交型ロボットの要部を示す縦断
面図である。
【図3】本発明に係る直交型ロボットの要部を示す拡大
横断面図である。
【図4】本発明に係る直交型ロボットの筐体を構成する
ベース部を部分的に切り欠いて示す斜視図である。
【図5】本発明に係る吸気孔の配置について示す概略図
である。
【図6】従来例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 直交型ロボット 2 筐体 5 集塵用空間 6 ボールネジ 7 ナット 13 隔壁 14 空気流路 16 減圧手段 20 中空部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ボールネジと該ボールネジの回転によっ
    て直線的に移動するナットとを収納する収納空間の下方
    に隣接し、かつボールネジの軸に平行な方向に関する機
    械的補強のための中空部を集塵用空間として兼用するこ
    とができる筐体を有する直交型ロボットの集塵構造であ
    って、上記収納空間と中空部との隔壁に空気流路を形成
    するとともに、中空部を減圧手段に接続したことを特徴
    とする直交型ロボットの集塵構造。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載した直交型ロボットの集
    塵構造において、隔壁に形成される空気流路を、ナット
    の移動範囲のうち存在の頻度が高い範囲に対して密にな
    るように配置したことを特徴とする直交型ロボットの集
    塵構造。
JP18697691A 1991-07-02 1991-07-02 直交型ロボツトの集塵構造 Pending JPH058194A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6267022B1 (en) 1998-11-06 2001-07-31 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Articulated robot
EP2281304A2 (en) * 2008-04-15 2011-02-09 Dynamic Micro Systems Clean transfer robot
JP2013093597A (ja) * 2004-12-22 2013-05-16 Applied Materials Inc 基板を処理するクラスタツールアーキテクチャ
CN103206500A (zh) * 2012-01-11 2013-07-17 Smc株式会社 电动执行机构

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6267022B1 (en) 1998-11-06 2001-07-31 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Articulated robot
JP2013093597A (ja) * 2004-12-22 2013-05-16 Applied Materials Inc 基板を処理するクラスタツールアーキテクチャ
EP2281304A2 (en) * 2008-04-15 2011-02-09 Dynamic Micro Systems Clean transfer robot
JP2011517134A (ja) * 2008-04-15 2011-05-26 ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー クリーン移送ロボット
US9943969B2 (en) 2008-04-15 2018-04-17 Brooks Automation (Germany) Gmbh Clean transfer robot
CN103206500A (zh) * 2012-01-11 2013-07-17 Smc株式会社 电动执行机构
KR20130082434A (ko) * 2012-01-11 2013-07-19 에스엠씨 가부시키 가이샤 전동 액추에이터
JP2013143824A (ja) * 2012-01-11 2013-07-22 Smc Corp 電動アクチュエータ

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