JPH01321180A - 産業用ロボット - Google Patents
産業用ロボットInfo
- Publication number
- JPH01321180A JPH01321180A JP15318188A JP15318188A JPH01321180A JP H01321180 A JPH01321180 A JP H01321180A JP 15318188 A JP15318188 A JP 15318188A JP 15318188 A JP15318188 A JP 15318188A JP H01321180 A JPH01321180 A JP H01321180A
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- Japan
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- shaft
- screw shaft
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- Granted
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 abstract 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、クリーンルーム内において清浄な雰囲気を保
って用いられる産業用ロボットに関するものである。
って用いられる産業用ロボットに関するものである。
従来の技術
従来のこの種の直交座標型クリーンルーム用ロボットの
全体図を第６図に、第１軸及び第２軸の断面の簡略図を
第４図及び第５図に示す。第６図に示すようにこの種の
直交座標型クリーンルーム用ロボットは、第１軸１に略
直交して第２軸２が取り付けられており、第１軸１の端
部に取付けられた配線配管用コネクタボックス３からは
、第２軸２ヘケーブルユニツト４が配設されている。第
４図において第１軸１の摺動機構、配線及び塵埃吸引の
ための配管方法を示す。摺動機構としては、ポールネジ
のネジ軸６を両端で支持し、ネジ軸６は、カップリング
６を介しモータ７より回転力を得て、ネジ軸６に螺合し
ているナツト９が取付けられたスライド部９をレー／Ｌ
’１０に沿って摺動させる方式をとっている。配管方法
としては、配線配管用コネクタボックス３には４箇所の
吸引掃気口１２，１３，１４．１５が設けられておシ、
各々第１軸のモータカバー１１の内部の塵埃を吸引掃気
するためのチューブ１６、第１軸１のモータ７側の摺動
下部周辺の塵埃を吸引口２０．２１よシ吸引掃気するた
めのチューブ１７、第２軸２のモータカバー内部の塵埃
を吸引掃気するためのチューブ１８、第２軸２のモータ
側の摺動下部周辺の塵埃を吸引掃気するためのチューブ
１９に接続されている。第４図（ハ）には前記ケーブル
ユニット４の断面図（Ａ−Ａ矢視図）が示されており、
第２軸２における塵埃吸引用のチューブ１８．１９及び
第２軸２のモータへ重力を供給する等のための電気ケー
ブル２２とから成っている。第５図に示されている第２
軸２において、摺動機構は前述の第１軸１と同一である
。配管方法としては、ケーブルユニット４からのチュー
ブ１８は、第２軸２のモータカバー１１へ、チューブ１
９は第２軸２のモータ７側の摺動下部の吸引口２０．２
１へ接続されている。
全体図を第６図に、第１軸及び第２軸の断面の簡略図を
第４図及び第５図に示す。第６図に示すようにこの種の
直交座標型クリーンルーム用ロボットは、第１軸１に略
直交して第２軸２が取り付けられており、第１軸１の端
部に取付けられた配線配管用コネクタボックス３からは
、第２軸２ヘケーブルユニツト４が配設されている。第
４図において第１軸１の摺動機構、配線及び塵埃吸引の
ための配管方法を示す。摺動機構としては、ポールネジ
のネジ軸６を両端で支持し、ネジ軸６は、カップリング
６を介しモータ７より回転力を得て、ネジ軸６に螺合し
ているナツト９が取付けられたスライド部９をレー／Ｌ
’１０に沿って摺動させる方式をとっている。配管方法
としては、配線配管用コネクタボックス３には４箇所の
吸引掃気口１２，１３，１４．１５が設けられておシ、
各々第１軸のモータカバー１１の内部の塵埃を吸引掃気
するためのチューブ１６、第１軸１のモータ７側の摺動
下部周辺の塵埃を吸引口２０．２１よシ吸引掃気するた
めのチューブ１７、第２軸２のモータカバー内部の塵埃
を吸引掃気するためのチューブ１８、第２軸２のモータ
側の摺動下部周辺の塵埃を吸引掃気するためのチューブ
１９に接続されている。第４図（ハ）には前記ケーブル
ユニット４の断面図（Ａ−Ａ矢視図）が示されており、
第２軸２における塵埃吸引用のチューブ１８．１９及び
第２軸２のモータへ重力を供給する等のための電気ケー
ブル２２とから成っている。第５図に示されている第２
軸２において、摺動機構は前述の第１軸１と同一である
。配管方法としては、ケーブルユニット４からのチュー
ブ１８は、第２軸２のモータカバー１１へ、チューブ１
９は第２軸２のモータ７側の摺動下部の吸引口２０．２
１へ接続されている。
発明が解決しようとする課題
しかし、この種の塵埃吸引の配管方法において、モータ
７側の吸引口２０．２１の配置方法では、ボールネジの
ネジ軸５の回転によるネジ軸の全長にわたって飛散する
オイルミヌト及びスライド部８の摺動によって撹拌され
るモータ７と反対側の摺動部周辺の塵埃は吸入されない
。また上記の現象は軸の全長が長くなるほど顕著となる
。
７側の吸引口２０．２１の配置方法では、ボールネジの
ネジ軸５の回転によるネジ軸の全長にわたって飛散する
オイルミヌト及びスライド部８の摺動によって撹拌され
るモータ７と反対側の摺動部周辺の塵埃は吸入されない
。また上記の現象は軸の全長が長くなるほど顕著となる
。
課題を解決するための手段
上記課題を解決する本発明は、回転もしくは直線運動を
行う可動案内装置において塵埃が発生可能な塵埃発生部
及びその周辺部にわたり、発生する塵埃を吸引除去する
ための排気孔が設けられた、環状もしくは直線状の中空
管を配設したものである。
行う可動案内装置において塵埃が発生可能な塵埃発生部
及びその周辺部にわたり、発生する塵埃を吸引除去する
ための排気孔が設けられた、環状もしくは直線状の中空
管を配設したものである。
作 用
この技術的手段による作用は次のようになる。
すなわち、断線的に排気孔の設けられた環状もしくは直
線状の中空管を塵埃発生部及びその周辺部配設すること
により、可動体案内装置の動作領域全域にわたって拡散
している塵埃を吸引することができ、ロボット内部から
の発塵量を低減することができる。
線状の中空管を塵埃発生部及びその周辺部配設すること
により、可動体案内装置の動作領域全域にわたって拡散
している塵埃を吸引することができ、ロボット内部から
の発塵量を低減することができる。
実施例
以下、本発明の実施例を図にもとづいて説明する。
第１図及び第３図は、第１軸の断面の簡略図、第２図は
第２軸の断面の簡略図を示す。第１軸及び第２軸の摺動
方式は、従来例と同様であるため、塵埃吸引のための配
管方法について以下に記す。
第２軸の断面の簡略図を示す。第１軸及び第２軸の摺動
方式は、従来例と同様であるため、塵埃吸引のための配
管方法について以下に記す。
第１図（６）において、２３．２４は断続的に排気孔２
５．２８の設けられた中空管であり、スライド部９の摺
動するレール１０の両側に平行して配置されている。し
たがって前記排気孔２５ 、２６により、ボールネジの
ネジ軸６０回転によるネジ軸の全長にわたって飛散する
オイルミヌト及びスライド部８の摺動によって撹拌され
る塵埃は、軸の全長にわたって吸引掃気される。
５．２８の設けられた中空管であり、スライド部９の摺
動するレール１０の両側に平行して配置されている。し
たがって前記排気孔２５ 、２６により、ボールネジの
ネジ軸６０回転によるネジ軸の全長にわたって飛散する
オイルミヌト及びスライド部８の摺動によって撹拌され
る塵埃は、軸の全長にわたって吸引掃気される。
第２図（ロ）において、第２軸２は第１軸１に略直交し
ておシ、従来例と同様にケーブルユニット４が第１軸１
と第２軸２の間に配設されている。第２軸２においても
、第１軸１と同様に、レー／ｌ／１０の両側に平行して
断続的に排気孔２５．２６の設けられた中空管２３．２
４が配置され、周辺に発生する塵埃を吸引する機構をと
っている。ただしこの時、バキュームポンプ等へつなぐ
吸引掃気口１２．１３，１４．１５は第１軸１の配線配
管用コネクタボックス３に設けられているため第２軸２
の中空管２３．２４に生じる負圧は、第１軸１の中空管
２３．２４に生じる負圧より小さくなるので、第２軸２
の排気孔２７．２８の開口面積は、第１軸１の排気孔２
５．２８の開口面積よりも大きくする方が良い。
ておシ、従来例と同様にケーブルユニット４が第１軸１
と第２軸２の間に配設されている。第２軸２においても
、第１軸１と同様に、レー／ｌ／１０の両側に平行して
断続的に排気孔２５．２６の設けられた中空管２３．２
４が配置され、周辺に発生する塵埃を吸引する機構をと
っている。ただしこの時、バキュームポンプ等へつなぐ
吸引掃気口１２．１３，１４．１５は第１軸１の配線配
管用コネクタボックス３に設けられているため第２軸２
の中空管２３．２４に生じる負圧は、第１軸１の中空管
２３．２４に生じる負圧より小さくなるので、第２軸２
の排気孔２７．２８の開口面積は、第１軸１の排気孔２
５．２８の開口面積よりも大きくする方が良い。
第３図は、中空管における排気孔の設は方のその他の実
施例を示す。断続的に設けられた排気孔２９．３０の開
口面積は吸引掃気孔１２．１３からの距離が長くなるほ
ど、大きく形成するようにする。これは開口面積が同一
であれば排気孔の負圧は、吸引掃気口から離れるほど小
さくなるため、排気口ごとに吸引流量に咬着ができると
いう現象を防ぐためである。
施例を示す。断続的に設けられた排気孔２９．３０の開
口面積は吸引掃気孔１２．１３からの距離が長くなるほ
ど、大きく形成するようにする。これは開口面積が同一
であれば排気孔の負圧は、吸引掃気口から離れるほど小
さくなるため、排気口ごとに吸引流量に咬着ができると
いう現象を防ぐためである。
発明の効果
以上、本発明は回転もしくは直線運動を行う可動体案内
装置において、塵埃発生部及びその周辺部にわたり、排
気孔を設けた中空管を配置させることにより、発生する
塵埃を吸引し、ロボット外部へ塵埃が拡散してゆくこと
を低減できる。したがって、これはクリーンルーム内で
作業を行うロボットに適している。
装置において、塵埃発生部及びその周辺部にわたり、排
気孔を設けた中空管を配置させることにより、発生する
塵埃を吸引し、ロボット外部へ塵埃が拡散してゆくこと
を低減できる。したがって、これはクリーンルーム内で
作業を行うロボットに適している。
第１図（（イ）、（ロ）は本発明の一実施例における直
交座標型クリーンルーム用ロボットの第１軸の平面図及
び正面図、第２図（イ）、（ロ）は第２軸の平面図及び
正面図、第３図（イ）、（ロ）はその他の実施例におけ
る第１軸の平面図及び正面図、第４図（イ）、（ロ）は
従来例における直交座標型クリーンルーム用ロボットの
第１軸の平面図及び正面図、第４図（ハ）は第４図（ロ
）のＡ−Ａ断面図、第６図（イ）、（ロ）は第２軸の平
面図及び正面図、第６図は直交座標型クリーンルーム用
ロボットの斜視図である。 １・・・・・・第１軸１．２・・・・・・第２軸、３・
・・・・・配線配管用コネクタポックヌ、４・・・・・
・ケーブルユニット、５・・・・・・ポールネジのネジ
軸、８・・・・・・スライド部、１０・・・・・・レー
ル、１２〜１６・・・・・・１ｌｆｆｌ引！気口、１６
〜１９・・・・・・チューブ、２０．２１・・・・・・
吸引口、２３゜２４・・・・・・中空管、２６〜３０・
・・・・・吸気口。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名２３
、２４−一中を管 ２５、お−狽ト気孔 第１図 ２Ｐ１２Ｂ−−−−？井気ヱ Ｗ＆２図 ２９、 ３０−ＪプＦ−気コし 第３図 ５−−−ボール竿ジネジ釉 ｎ−°−モータカバー６
−大ツブリング １２〜１５−吠ｊ１掃気口７−モ
ーグ １６〜１９−チューブ８− ホ゛−ル序
シ゛アット ２６，２ｆ・−ロ及引ロ９−−−スライ
ド師 ２２−″電気ケーブンレＩＯ−−−レー
ンレ 第４図 第５図 ／ −第１軸 ２− 第２１１１ ３−−一西己線西乙管用コネクタボックス４− グーゲ
ルユニット 第６図
交座標型クリーンルーム用ロボットの第１軸の平面図及
び正面図、第２図（イ）、（ロ）は第２軸の平面図及び
正面図、第３図（イ）、（ロ）はその他の実施例におけ
る第１軸の平面図及び正面図、第４図（イ）、（ロ）は
従来例における直交座標型クリーンルーム用ロボットの
第１軸の平面図及び正面図、第４図（ハ）は第４図（ロ
）のＡ−Ａ断面図、第６図（イ）、（ロ）は第２軸の平
面図及び正面図、第６図は直交座標型クリーンルーム用
ロボットの斜視図である。 １・・・・・・第１軸１．２・・・・・・第２軸、３・
・・・・・配線配管用コネクタポックヌ、４・・・・・
・ケーブルユニット、５・・・・・・ポールネジのネジ
軸、８・・・・・・スライド部、１０・・・・・・レー
ル、１２〜１６・・・・・・１ｌｆｆｌ引！気口、１６
〜１９・・・・・・チューブ、２０．２１・・・・・・
吸引口、２３゜２４・・・・・・中空管、２６〜３０・
・・・・・吸気口。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名２３
、２４−一中を管 ２５、お−狽ト気孔 第１図 ２Ｐ１２Ｂ−−−−？井気ヱ Ｗ＆２図 ２９、 ３０−ＪプＦ−気コし 第３図 ５−−−ボール竿ジネジ釉 ｎ−°−モータカバー６
−大ツブリング １２〜１５−吠ｊ１掃気口７−モ
ーグ １６〜１９−チューブ８− ホ゛−ル序
シ゛アット ２６，２ｆ・−ロ及引ロ９−−−スライ
ド師 ２２−″電気ケーブンレＩＯ−−−レー
ンレ 第４図 第５図 ／ −第１軸 ２− 第２１１１ ３−−一西己線西乙管用コネクタボックス４− グーゲ
ルユニット 第６図
Claims (2)
- （１）回転もしくは直線運動を行う可動体案内装置にお
いて、塵埃が発生可能な塵埃発生部及びその周辺部にわ
たり、発生する塵埃を吸引除去するための排気孔が設け
られた、環状もしくは直線状の中空管を配設したことを
特徴とする産業用ロボット。 - （２）塵埃を除去するための排気孔が、中空管の排気用
吸引口からの距離が長いほど、排気孔面積を大きく形成
している特許請求の範囲第１項記載の産業用ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63153181A JP2629843B2 (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 産業用ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63153181A JP2629843B2 (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 産業用ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01321180A true JPH01321180A (ja) | 1989-12-27 |
| JP2629843B2 JP2629843B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=15556819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63153181A Expired - Fee Related JP2629843B2 (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 産業用ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2629843B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08216071A (ja) * | 1995-02-20 | 1996-08-27 | Seiko Seiki Co Ltd | ロボット |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6133889A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツト |
| JPS61159193U (ja) * | 1985-03-20 | 1986-10-02 | ||
| JPS6377687A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-07 | 富士通株式会社 | 送り機構の発塵防止装置 |
-
1988
- 1988-06-21 JP JP63153181A patent/JP2629843B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6133889A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツト |
| JPS61159193U (ja) * | 1985-03-20 | 1986-10-02 | ||
| JPS6377687A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-07 | 富士通株式会社 | 送り機構の発塵防止装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08216071A (ja) * | 1995-02-20 | 1996-08-27 | Seiko Seiki Co Ltd | ロボット |
| JP2700621B2 (ja) * | 1995-02-20 | 1998-01-21 | セイコー精機株式会社 | ロボット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2629843B2 (ja) | 1997-07-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |