JPS61159193U - - Google Patents

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JPS61159193U
JPS61159193U JP4004985U JP4004985U JPS61159193U JP S61159193 U JPS61159193 U JP S61159193U JP 4004985 U JP4004985 U JP 4004985U JP 4004985 U JP4004985 U JP 4004985U JP S61159193 U JPS61159193 U JP S61159193U
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Japan
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rail
exhaust
dust
guide bearing
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JP4004985U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の1実施例に係る概要示骨格構
造図、第2図乃至第4図は同じく直線運動軸構造
の正面図、断面平面図、右側明面図である。第5
図は第3図におけるスライドベースの拡大部分図
、第6図は第5図におけるA―A矢視断面図、第
7図は第5図におけるB―B矢視側面図、第8図
は第3図におけるスライドベースの拡大左側面図
である。 1……レール、2……ガイド軸受、3……スラ
イドベース、4……ねじ棒、4a……ナツト、5
……アクチユエータ、6……カバー、7……排気
チヤンバー、8……排気ポンプ、9……排気管、
10……排気装置、11……空気通路、12……
接続口。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レール1、該レール1に摺動可能に係合したガ
    イド軸受2の上部に固定せしめたスライドベース
    3、前記レール1に平行させて回転可能に設け、
    かつ前記スライドベース3に固定されたナツト4
    aに螺挿したねじ棒4からなる直線運動軸構造を
    有して、前記スライドベース3に治具等アクチユ
    エータ5を搭載すると共に、無塵室内に配設せし
    める作業ロボツトにおいて、前記ガイド軸受2、
    前記スライドベース3の側周面及び下面に沿わせ
    て前記レール1及び前記ねじ棒4の表面との間の
    間隙が可及的に小さく保持されるようにカバー6
    を被着せしめて、ガイド軸受2、スライドベース
    3及びカバー6に囲繞される空間部を排気チヤン
    バー7に形成する一方、排気チヤンバー7に面す
    るスライドベース3各面部に端部を開口し、かつ
    、該スライドベース3内に延長した空気通路11
    ,11を夫々設けると共に、スライドベース3の
    露出面に開口させた接続口12に前記空気通路1
    1,11を連通せしめて、排気ポンプ8及び排気
    管9からなる排気装置10を前記接続口12に接
    続し、排気チヤンバー7の空気を排気装置10を
    介し、無塵室外に強制排出し得る如くしたことを
    特徴とする無塵室用作業ロボツト。
JP1985040049U 1985-03-20 1985-03-20 Expired JPH0411033Y2 (ja)

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JP1985040049U JPH0411033Y2 (ja) 1985-03-20 1985-03-20

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JP1985040049U JPH0411033Y2 (ja) 1985-03-20 1985-03-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61159193U true JPS61159193U (ja) 1986-10-02
JPH0411033Y2 JPH0411033Y2 (ja) 1992-03-18

Family

ID=30548570

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Country Status (1)

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JP (1) JPH0411033Y2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01146684A (ja) * 1987-12-02 1989-06-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 産業用ロボット
JPH01321180A (ja) * 1988-06-21 1989-12-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 産業用ロボット
JPH0344586U (ja) * 1989-09-06 1991-04-25

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61134880U (ja) * 1985-02-08 1986-08-22

Patent Citations (1)

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JPS61134880U (ja) * 1985-02-08 1986-08-22

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JPH0344586U (ja) * 1989-09-06 1991-04-25

Also Published As

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JPH0411033Y2 (ja) 1992-03-18

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