JP2533971Y2 - ファンフィルターユニット - Google Patents
ファンフィルターユニットInfo
- Publication number
- JP2533971Y2 JP2533971Y2 JP1990405960U JP40596090U JP2533971Y2 JP 2533971 Y2 JP2533971 Y2 JP 2533971Y2 JP 1990405960 U JP1990405960 U JP 1990405960U JP 40596090 U JP40596090 U JP 40596090U JP 2533971 Y2 JP2533971 Y2 JP 2533971Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fan
- air
- filter unit
- fan filter
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、クリーンルーム内部で
使用される機器に装着されるファンフィルターユニット
に関する。
使用される機器に装着されるファンフィルターユニット
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造、精密機械・部品組
立、バイオ関連技術などのクリーンルーム内部には、種
々の精密機器が配置されている。これら精密機器には、
機器内部で発生した塵をクリーンルーム内に拡散させず
に除去するためにファンフィルターが設けられている。
例えば、塵が多く発生しやすい駆動部(関節部)において
は、機器内部の空気圧を外より低く(負圧吸引)し、その
空気の出入口にファンフィルターが設けられている。ま
た、機器内部には発熱装置が組み込まれている場合もあ
り、この発熱装置を冷却するために送られる冷却空気の
循環路の出入口にもファンフィルターが設けられてい
る。さらには、ウエハストッカーのようにクリーンルー
ム内に比べて、より清浄度が要求される箇所にもファン
フィルターが設けられている。
立、バイオ関連技術などのクリーンルーム内部には、種
々の精密機器が配置されている。これら精密機器には、
機器内部で発生した塵をクリーンルーム内に拡散させず
に除去するためにファンフィルターが設けられている。
例えば、塵が多く発生しやすい駆動部(関節部)において
は、機器内部の空気圧を外より低く(負圧吸引)し、その
空気の出入口にファンフィルターが設けられている。ま
た、機器内部には発熱装置が組み込まれている場合もあ
り、この発熱装置を冷却するために送られる冷却空気の
循環路の出入口にもファンフィルターが設けられてい
る。さらには、ウエハストッカーのようにクリーンルー
ム内に比べて、より清浄度が要求される箇所にもファン
フィルターが設けられている。
【０００３】図５は、関節部で発生した塵をクリーンル
ーム内へ出さないように機器内部の空気を清浄化し、清
浄空気をクリーン内へ排出する従来の装置３０を示すも
のである。この装置は、クリーンルーム内において機器
３１とダクト３２等で連結された据え置き型のものであ
る。この装置３０は、機器３１内部からダクトを通じて
空気を吸引するファン装置(図示せず)と、機器３１内部
を通過する空気中の塵を除去するフイルター３３が設け
られたものである。
ーム内へ出さないように機器内部の空気を清浄化し、清
浄空気をクリーン内へ排出する従来の装置３０を示すも
のである。この装置は、クリーンルーム内において機器
３１とダクト３２等で連結された据え置き型のものであ
る。この装置３０は、機器３１内部からダクトを通じて
空気を吸引するファン装置(図示せず)と、機器３１内部
を通過する空気中の塵を除去するフイルター３３が設け
られたものである。
【０００４】そして、この装置３０を作動させることに
より、上述したようにクリーンルーム内部への塵の拡散
が防止されながら機器３１の塵の除去がなされるように
なっている。
より、上述したようにクリーンルーム内部への塵の拡散
が防止されながら機器３１の塵の除去がなされるように
なっている。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の機器内部の空気を清浄化させる装置は据え置き型で
あるため、装置が大型になりやすく、また取り扱いが不
便であるという問題がある。
来の機器内部の空気を清浄化させる装置は据え置き型で
あるため、装置が大型になりやすく、また取り扱いが不
便であるという問題がある。
【０００６】また、図５に示した据え置き型の装置３０
とは別の構造として、機器内部に予め空気循環手段が組
み込まれたもの、さらには機器を空気循環装置付きの密
閉ボックスに収納する方式等が考えられるが、これらの
場合には、機器自体が大型化してしまうとともに、空気
循環手段が組み込まれることにより機器の製作費が大幅
に増大してしまうという問題がある。
とは別の構造として、機器内部に予め空気循環手段が組
み込まれたもの、さらには機器を空気循環装置付きの密
閉ボックスに収納する方式等が考えられるが、これらの
場合には、機器自体が大型化してしまうとともに、空気
循環手段が組み込まれることにより機器の製作費が大幅
に増大してしまうという問題がある。
【０００７】本考案は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、クリーンルーム内への塵
の拡散を防止するとともに、コンパクトなユニット構造
であり、かつ機器への脱着作業が容易なファンフィルタ
ーユニットを提供することを目的とするものである。
で、その目的とするところは、クリーンルーム内への塵
の拡散を防止するとともに、コンパクトなユニット構造
であり、かつ機器への脱着作業が容易なファンフィルタ
ーユニットを提供することを目的とするものである。
【０００８】本考案に係るファンフィルターユニット
は、クリーンルーム内に配されるロボット等の機器に外
部から着脱自在に装着されるファンフィルターユニット
であって、前記機器の本体に形成された空気出入口に着
脱自在に装着されるケース本体と、このケース本体の内
部に配設され、かつ機器内部の空気を吸引するか若しく
は機器内部へ空気を送り込むファン装置と、前記ケース
本体の内部の空気通路に配設され、かつファン装置を作
動させることにより機器出入空気の集塵を行うフィルタ
ーとが具備されていることを特徴とする。
は、クリーンルーム内に配されるロボット等の機器に外
部から着脱自在に装着されるファンフィルターユニット
であって、前記機器の本体に形成された空気出入口に着
脱自在に装着されるケース本体と、このケース本体の内
部に配設され、かつ機器内部の空気を吸引するか若しく
は機器内部へ空気を送り込むファン装置と、前記ケース
本体の内部の空気通路に配設され、かつファン装置を作
動させることにより機器出入空気の集塵を行うフィルタ
ーとが具備されていることを特徴とする。
【０００９】
【作用】本考案に係るファンフィルターユニットによれ
ば、機器への取り付け、交換をワンタッチで行うことが
可能であり、かつケース本体の内部にファン装置及びフ
ィルターが一体に設けられたコンパクトなユニット構造
となっているため、取り扱いが簡単であるとともに、ユ
ニット全体を機器から取り外してクリーンルームの外で
保守及び点検作業を行うことが可能になる。
ば、機器への取り付け、交換をワンタッチで行うことが
可能であり、かつケース本体の内部にファン装置及びフ
ィルターが一体に設けられたコンパクトなユニット構造
となっているため、取り扱いが簡単であるとともに、ユ
ニット全体を機器から取り外してクリーンルームの外で
保守及び点検作業を行うことが可能になる。
【００１０】
【実施例】本考案のファンフィルターユニットの実施例
について、図１ないし図４を参照して説明する。
について、図１ないし図４を参照して説明する。
【００１１】図１及び図２は、機器内部の空気を常に吸
引する方式のファンフィルターユニット１の一実施例を
示すものであり、このファンフィルターユニット１は、
略円筒形状のケース本体２と、このケース本体の内部に
配設されているファン装置３と、フィルター４とから概
略構成されている。
引する方式のファンフィルターユニット１の一実施例を
示すものであり、このファンフィルターユニット１は、
略円筒形状のケース本体２と、このケース本体の内部に
配設されているファン装置３と、フィルター４とから概
略構成されている。
【００１２】ケース本体２は、内周面及び外周面にニッ
ケル、クロムメッキ等を焼付塗装して防錆処理が施され
たものであり、一端側５が開口しているとともに、他端
側６が絞り込まれて外周におねじ７が形成された取付部
８が形成されている。
ケル、クロムメッキ等を焼付塗装して防錆処理が施され
たものであり、一端側５が開口しているとともに、他端
側６が絞り込まれて外周におねじ７が形成された取付部
８が形成されている。
【００１３】また、ケース本体２の内部に配設されてい
るファン装置３は、ＡＣブラシレスファン、またはＤＣ
ブラシレスファン等からなるものであり、このファン装
置３のファン９を回転させるモータ１０は、外部電源１
１と接続されている。この外部電源１１との接続コード
１２は、ケース本体２に穿設された穴１３を通過してケ
ース本体２の内部に入り込んでおり、接続コード１２を
通過させた穴の周囲にはシール材１４が埋め込まれてい
る。
るファン装置３は、ＡＣブラシレスファン、またはＤＣ
ブラシレスファン等からなるものであり、このファン装
置３のファン９を回転させるモータ１０は、外部電源１
１と接続されている。この外部電源１１との接続コード
１２は、ケース本体２に穿設された穴１３を通過してケ
ース本体２の内部に入り込んでおり、接続コード１２を
通過させた穴の周囲にはシール材１４が埋め込まれてい
る。
【００１４】さらに、ケース本体２の一端側５には、Ｈ
ＥＰＡ、ＵＬＰＡ等からなるフィルター４が設けられて
いる。これにより、ケース本体２の内部を通過する空気
がフィルター４の内部を通過することにより、塵が集め
られるようになっている。
ＥＰＡ、ＵＬＰＡ等からなるフィルター４が設けられて
いる。これにより、ケース本体２の内部を通過する空気
がフィルター４の内部を通過することにより、塵が集め
られるようになっている。
【００１５】一方、図２に示すように、機器１５には空
気取入口１６が形成されている。この空気取入口１６に
は、ケース本体２の取付部８のおねじ７とねじ嵌合する
めねじ１８が形成されており、この空気取入口１６にケ
ース本体２の取付部８がねじ込まれることにより、図３
に示すように、ファンフィルターユニット１は機器１５
に一体化されて装着されるようになっている。
気取入口１６が形成されている。この空気取入口１６に
は、ケース本体２の取付部８のおねじ７とねじ嵌合する
めねじ１８が形成されており、この空気取入口１６にケ
ース本体２の取付部８がねじ込まれることにより、図３
に示すように、ファンフィルターユニット１は機器１５
に一体化されて装着されるようになっている。
【００１６】上記構成からなるファンフィルターユニッ
ト１を機器１５に装着するには、ファンフィルターユニ
ット１の取付部８を機器１５の空気取入部１６にねじ込
むだけの単純動作で容易に装着することができる。
ト１を機器１５に装着するには、ファンフィルターユニ
ット１の取付部８を機器１５の空気取入部１６にねじ込
むだけの単純動作で容易に装着することができる。
【００１７】また、ファンフィルターユニット１を作動
させるには、外部電源１１を供給することによりモータ
ー１０が駆動してファン９が回転し、このファン９の吸
引力により機器１５内の空気が吸引されていく。そし
て、空気清浄装置１に入り込んだ空気(矢印Ａ方向)がフ
ィルター４を通過することにより空気中の塵が集められ
る。
させるには、外部電源１１を供給することによりモータ
ー１０が駆動してファン９が回転し、このファン９の吸
引力により機器１５内の空気が吸引されていく。そし
て、空気清浄装置１に入り込んだ空気(矢印Ａ方向)がフ
ィルター４を通過することにより空気中の塵が集められ
る。
【００１８】以上、述べたことから容易に理解できるよ
うに、本実施例のファンフィルターユニットによれば、
クリーンルーム内への塵の拡散を防止することができる
とともに、機器１５の空気取入口１６にケース本体２の
取付部８をねじ込むことにより機器１５への取り付け、
交換がワンタッチで行われ、かつケース本体２の内部に
ファン装置３及びフィルター４が一体に設けられたユニ
ット構造になっているので、コンパクトで取り扱いが簡
単な構造とすることができる。
うに、本実施例のファンフィルターユニットによれば、
クリーンルーム内への塵の拡散を防止することができる
とともに、機器１５の空気取入口１６にケース本体２の
取付部８をねじ込むことにより機器１５への取り付け、
交換がワンタッチで行われ、かつケース本体２の内部に
ファン装置３及びフィルター４が一体に設けられたユニ
ット構造になっているので、コンパクトで取り扱いが簡
単な構造とすることができる。
【００１９】また、図４に示すものは、機器内に空気を
常に送り込む方式である第２の実施例のファンフィルタ
ーユニット２０を示すものである。この実施例は、ケー
ス本体２の一端側５にファン装置３が設けられていると
ともに、ファン装置３より取付部８側にフィルター４が
設けられており、ファン装置３の駆動によりクリーンル
ーム内の空気をケース本体の内部に吸引し、この空気を
フィルター４に通過させて(図において矢印Ｂ方向)塵を
集めた後、機器１５内部にクリーンな空気が送り込まれ
るようになっている。
常に送り込む方式である第２の実施例のファンフィルタ
ーユニット２０を示すものである。この実施例は、ケー
ス本体２の一端側５にファン装置３が設けられていると
ともに、ファン装置３より取付部８側にフィルター４が
設けられており、ファン装置３の駆動によりクリーンル
ーム内の空気をケース本体の内部に吸引し、この空気を
フィルター４に通過させて(図において矢印Ｂ方向)塵を
集めた後、機器１５内部にクリーンな空気が送り込まれ
るようになっている。
【００２０】なお、図１ないし図４においては、機器の
空気取入口にケース本体の取付部をねじ込む構造として
いるが、バヨネット構造等のようにワンタッチ方式で空
気清浄装置を機器に装着する構造にしてもよい。
空気取入口にケース本体の取付部をねじ込む構造として
いるが、バヨネット構造等のようにワンタッチ方式で空
気清浄装置を機器に装着する構造にしてもよい。
【００２１】
【考案の効果】以上説明したように、本考案のファンフ
ィルターユニットによれば、機器の本体に形成された空
気出入口に着脱自在に装着されるケース本体と、このケ
ース本体の内部に配設され、かつ機器内部の空気を吸引
するか若しくは機器内部へ空気を送り込むファン装置
と、前記ケース本体の内部の空気通路に配設され、かつ
ファン装置を作動させることにより機器出入空気の集塵
を行うフィルターとが具備された構造となっているた
め、機器への取付、交換をワンタッチで行うことがで
き、しかも、交換の時にクリーンルーム内に塵埃が落下
するおそれがなく、かつケース本体の内部にファン装置
及びフィルターが一体に設けられたコンパクトで取り扱
いが簡単なものとすることができる。
ィルターユニットによれば、機器の本体に形成された空
気出入口に着脱自在に装着されるケース本体と、このケ
ース本体の内部に配設され、かつ機器内部の空気を吸引
するか若しくは機器内部へ空気を送り込むファン装置
と、前記ケース本体の内部の空気通路に配設され、かつ
ファン装置を作動させることにより機器出入空気の集塵
を行うフィルターとが具備された構造となっているた
め、機器への取付、交換をワンタッチで行うことがで
き、しかも、交換の時にクリーンルーム内に塵埃が落下
するおそれがなく、かつケース本体の内部にファン装置
及びフィルターが一体に設けられたコンパクトで取り扱
いが簡単なものとすることができる。
【図１】本考案のファンフィルターユニットの第１の実
施例を示す斜視図である。
施例を示す斜視図である。
【図２】機器の空気取入口と第１の実施例のファンフィ
ルターユニットとを示す断面図である。
ルターユニットとを示す断面図である。
【図３】機器にファンフィルターユニットを装着した状
態を示す斜視図である。
態を示す斜視図である。
【図４】ファンフィルターユニットの第２の実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図５】従来のファン装置を示す斜視図である。
１ ファンフィルターユニット ２ ケース本体 ３ ファン装置 ４ フィルター ８ ケース本体の取付口 １５ 機器 １６ 機器の空気取入口。
Claims (1)
- 【請求項１】 クリーンルーム内に配されるロボット等
の機器に外部から着脱自在に装着されるファンフィルタ
ーユニットであって、 前記機器の本体に形成された空気出入口に着脱自在に装
着されるケース本体と、 このケース本体の内部に配設され、かつ機器内部の空気
を吸引するか若しくは機器内部へ空気を送り込むファン
装置と、前記ケース本体の内部の空気通路に配設され、
かつファン装置を作動させることにより機器出入空気の
集塵を行うフィルターとが具備されていることを特徴と
するファンフィルターユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990405960U JP2533971Y2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | ファンフィルターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990405960U JP2533971Y2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | ファンフィルターユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0491715U JPH0491715U (ja) | 1992-08-10 |
| JP2533971Y2 true JP2533971Y2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=31883288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990405960U Expired - Lifetime JP2533971Y2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | ファンフィルターユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2533971Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010056051A1 (de) * | 2010-12-23 | 2012-06-28 | Paragon Ag | Ionisatorvorrichtung zur Beaufschlagung von Raumluft, z.B. der Innenraumluft von Kraftfahrzeugen, mit negativen Ionen |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5147639Y2 (ja) * | 1971-12-21 | 1976-11-17 | ||
| JPS6071830A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-23 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 組替式局所環境制御室 |
| JPS61158199U (ja) * | 1985-03-22 | 1986-10-01 | ||
| JPH048974Y2 (ja) * | 1987-06-25 | 1992-03-06 | ||
| JPH02126912A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-15 | Shimizu Corp | 空気清浄装置及びこれを用いたクリーンルーム |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP1990405960U patent/JP2533971Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0491715U (ja) | 1992-08-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19961203 |