JPS6133889A

JPS6133889A - 工業用ロボツト

Info

Publication number: JPS6133889A
Application number: JP15585184A
Authority: JP
Inventors: 夛田　治夫; 明良中田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1984-07-26
Filing date: 1984-07-26
Publication date: 1986-02-17

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は精密製品製造工場等、空気中の塵埃を極度に嫌
う場所で使用する塵埃無発生ロボットに関するものであ
る。

従来例の構成とその問題点最近、半導体製造工場や光学部品組立工場等においては
、粒子径が０２６μ〜０．１μ、又はそれ以下の粒子径
の微粒子の存在が、製品の品質や歩留りを左右する要因
になってきている。その中で、人間の存在自体が無塵埃
化の大きな障害となっており、省人化、ロボット化を今
後進めていかなければならなくなってｂる。

工業用ロボットには、関節部のサーボモータのブラシ部
や軸受部、オイルシール等多ぐの塵埃発生要因がある。

このようなロボットは半導体製品製造工場や光学部品組
立工場等、空気中の塵埃が製品の品質を左右するような
場所では、このままでは使用できず、塵埃の飛散を防ぐ
工夫が必要となる。

従来の塵埃飛散防止対策について、直交型のロボットを
例にあげてその内容と問題点を説明する。

第１図に示した直交型ロボットは、現在多方面で多く１
更用されている３自由度のロボットで１は横方向駆動部
、２は上下方向駆動部、３は前後方向駆動部である。各
駆動部は、第２図に示すような形状をしており、サーボ
モータとボールネジ又はラックとピニオン（いずれも図
示せず）等によって駆動される。サーボモータやボール
ネジ等の塵埃発生部をおおうカバー４には、フランジ５
が直線移動をするために、開口部６が出来てし甘う。

その開口部６を通って、多量の塵埃が発散することは、
周知のとおりである。

その開口部６からの塵埃を防ぐために、従来は第３図、
第４図のように、カバー７と２ランジ８と伸縮可能なカ
バー９で、サーボモータ１０、ポールネジ１１、ポール
ネジナツト１２、軸受１３゜１４等塵埃発生部をおおい
、略密閉化していた。

しかし、この方法では、伸縮自在のカバー９まわりでの
密閉性に問題があシ、さらに、伸ｍ自在カバー９の摺動
部から新たに塵埃を飛散させるという問題があった。ま
だ、伸縮自在カバー９を蛇腹式カバー（図示せず）にし
た例もあるが、蛇腹の伸縮により、肩部的にポンプの役
目を果たし、内部の塵埃を外へ吹き出す問題があった。

すなわち、ロボットの回転部、摺動部等の可動部におけ
る完全な密閉は事実上困難であり、丑だ可動部を餉うカ
バー自体が塵埃の発生源にもなるため、塵埃の飛散を防
ぐことは難しい。

発明の目的本発明は上記従来の欠点を解消するものであり、コンパ
クトにロボットから出る塵埃の飛散を防止するものであ
る。

発明の構成本発明は塵埃発生部と外気とを結ぶ通路の途中から、通
路内の塵埃を空気とともに吸入し、他所へ排出する排気
流路とを備えたロボットであり、高性能にロボットから
発生する塵埃の飛散を防止することができるものである
。

実施例の説明以下本発明の一実施例を第５〜７図にもとづいて説明す
る。

第５図は本発明の実施例における塵埃無発生ロボットの
１自由度直進駆動ユニットの外観図である。第６図は第
５図の前進駆動ユニットの断面図である。図において、
１５はサーボモータをおおう防塵カバー、１６はボール
ネジ（図示せず）部をおおうカバー、１７は可動フラン
ジ、１８は防塵カバー１５．カバー１６で形成された空
気通路、１８ａはこの空気通路１８と外気とを結ぶ空気
通路開口部、１９Ｉ″ｉ前記空気通路開口部１８ａ中に
設けられた複数の排気孔、２０は排気コネクタ、２１は
排気パイプである。

２２はボールネジ２３．２４はその両端にて・カバー１
６に固定されたガイドシャフト、２５　、２６はリニア
スライド軸受、２７はポールネジナツトである。寸だ、
２８は前記排気孔１９と排気コネクタ２０とを結ぶ排気
路であり、前記排気孔１９、排気コネクタ２０．排気パ
イプ２１、排気路２８で排気流路を構成する。

第７図は前記１自由度直進駆動ユニットで構成された、
３自由度直交型ロボットの外観図である。

２９は横方向駆動ユニット、３ｏｒｌ′ｉ上下方向駆動
ユニツト３１は前後方向駆動ユニットである。また３２
．３３は配線ケーブル、３４，３５．３６は排気パイプ
である。

以上のように構成された塵埃無発生ロボットについて、
以下その動作を説明する。

まず、ロボットにおける塵埃は、歯車のかみ合６．７い部、軸受、モータのブラシ部、オイルシール部等の可
動部から多く発生するが、本実施例では、ボールネジ２
２．ガイドシャフト２３．２４、リニアスライド軸受２
５．２６、ポールネジナツト２７等が主な塵埃発生部と
なる。この塵埃発生部はカバー１５．１６でおおわれて
おり、塵埃は空気通路１８を通って外へ飛散していく。

そこで、排気孔１９より空気通路１８内の塵埃を空気と
ともに吸入し、排気路２８、排気パイプ２１を通じて他
所へ排気すれば、塵埃のロボット外部への飛散を防止す
ることができる。

本発明の第２の実施例を第８〜９図に示す。第８図は水
平多関節型ロボットの外観図である。３７゜３８は曲げ
関節部、３９１ｄ：姿勢制御機能付上下駆動ユニットで
ある。第９図は上下駆動ユニット３９の内部機構説明図
である。

４０はエンコーダ内蔵サーボモーター、４１はボールネ
ジ、４２はブレーキ、４３は出力スプライン軸、４４は
姿勢制御用タイミングベルト、４６は姿勢制御用プーリ
ーである。また４６はこの上下駆動ユニット全体をおお
うカバー、４７はこの上下駆動ユニット内部と外気とを
結ぶ空気通路、４７ａは空気通路開口部、４８は空気通
路の途中にあって、空気通路内の塵埃を空気とともに吸
入する排気孔、４９は排気コネクタ、６０は排気ノ（イ
ブ、５１は排気孔４８と排気コネクタ４９とを結ぶ排気
路であり、排気孔４８．排気コネクタ４９゜排気パイプ
５０．排気路５１で排気流路を構成する。

以」二のように構成された塵埃無発生上下駆動ユニット
をもったロボットについて、以下その動作を説明する３
、水平多関節型ロボットの場合、被作業物に近い先端上下
駆動ユニットの塵埃飛散防止対策が、特に必要とされる
。従ってこの」１下駆動ユニットをカバーで完全密封し
、唯一塵埃が外部に飛散する場所としての出力スプライ
ン軸４３まわりの空気通路開口部４７ａ内の塵埃を排気
孔４８、排気路６１、排気バイブロ０等の排気流路を通
じて吸入し他所へ排気することにより、ロボットの特に
重要な先端部からの塵埃の飛散を防止することができる
。

なお、塵埃発生部を覆うカバーはロボットを構成する構
造物そのものであっても良いし、また別部材であっても
良いことは言うまでもないが、別部材の場合は完全密封
のためにパツキン等のシール材を使用して固定すること
は言うまでもない。

発明の効果以上、本発明は塵埃発生部と外気とを結ぶ通路の途中か
ら、通路内の塵埃を空気とともに吸入し、他所へ排出す
る排気流路とを備えることにより、ロボット内部で発生
した塵埃の飛散を防ぐことが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は直交型ロボットの斜視図、第２図は１自由度直
線駆動部の斜視図、第３図は塵埃飛散の防止を行なった
従来の工業用ロボットの斜視図、第４図は同断面図、第
６図は本発明の一実施例における工業用ロボットの斜視
図、第６図は同断面図、第７図は３自由度直交ロボット
の斜視図、第８図は他の実施例の工業用ロボットの正面
図、第９図は同要部拡大断面図である。１５．１６・・・・・・カバー、１７・・・・・・可動
フランジ１８・・・・・・空気通路、１９・・・・・・
排気孔、２ｏ・・・・・・排気コネクタ、２１・・・・
・・排気・くイブ、２８・・・・・・排気路、４３・・
・・・・出力スプライン軸、４６・・・・・・カッく−
、４７・・・・・空気通路、４８・・・・・排気孔、４
９・・・・・・排気コネクタ、５０・・・・・・排気）
（イブ、５１・・・・・・排気路。代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名＠３
図第５図第６図第７図第８図

Claims

【特許請求の範囲】

回転もしくは直進運動可能な工業用ロボットであって、
塵埃が発生可能な塵埃発生部をおおい、かつこの塵埃発
生部が外気と一部を残して隔壁可能なようカバーを設け
、塵埃発生部と外気との通路の途中から、通路内の塵埃
を空気とともに吸入し、他所へ排出する排気流路とを備
えた工業用ロボット。