JPS62120993A - 産業用ロボットの防塵装置 - Google Patents
産業用ロボットの防塵装置Info
- Publication number
- JPS62120993A JPS62120993A JP60247270A JP24727085A JPS62120993A JP S62120993 A JPS62120993 A JP S62120993A JP 60247270 A JP60247270 A JP 60247270A JP 24727085 A JP24727085 A JP 24727085A JP S62120993 A JPS62120993 A JP S62120993A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- dustproof cover
- dustproof
- industrial robot
- linear motion
- Prior art date
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- Granted
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0025—Means for supplying energy to the end effector
- B25J19/0029—Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
- B25J19/0079—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa using an internal pressure system
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/21—Elements
- Y10T74/219—Guards
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は産業用ロボットの防塵構造に関し、更に詳しく
は、防塵カバーに設けられた開口を貫通して延びる直動
ユニットを備えた産業用ロボ・ノドの防塵構造に関する
。
は、防塵カバーに設けられた開口を貫通して延びる直動
ユニットを備えた産業用ロボ・ノドの防塵構造に関する
。
一般に、円筒座標形ロボット、直交座標形ロボット、ス
カラー形ロボット等のような産業用ロボットは上下方向
に直線運動する上下直動ユニット或いは水平方向に直線
運動する水平直動ユニット等を備えており、これらの直
動ユニットは防塵カバーの先端に設けられた開口を貫通
して防塵カバーの外部に延びている。
カラー形ロボット等のような産業用ロボットは上下方向
に直線運動する上下直動ユニット或いは水平方向に直線
運動する水平直動ユニット等を備えており、これらの直
動ユニットは防塵カバーの先端に設けられた開口を貫通
して防塵カバーの外部に延びている。
産業用ロボットをクリーンルーム内で使用する場合には
、ロボットから塵埃、潤滑材等の微粒子がルーム内に放
出されることを極力防止する必要がある。特に、防塵カ
バーの内部は直動ユニットの直線運動に伴って容積が変
化するので、防塵カバー内部の呼吸作用により、防塵カ
バーの内部の塵埃、潤滑材等の微粒子が防塵カバーの開
口と直動ユニットとの間の隙間からクリーンルーム内に
放出され易くなる。
、ロボットから塵埃、潤滑材等の微粒子がルーム内に放
出されることを極力防止する必要がある。特に、防塵カ
バーの内部は直動ユニットの直線運動に伴って容積が変
化するので、防塵カバー内部の呼吸作用により、防塵カ
バーの内部の塵埃、潤滑材等の微粒子が防塵カバーの開
口と直動ユニットとの間の隙間からクリーンルーム内に
放出され易くなる。
従来、防塵カバーの開口には、防塵カバーと直線運動ユ
ニットとの間を気密にシールするためのシールリングが
設けられていた。しかしながら、このような構成の場合
、シールリングと直線運動ユニットとの摩擦によって摩
耗微粒子が発生し、クリーンルームを汚す虞れがあった
。
ニットとの間を気密にシールするためのシールリングが
設けられていた。しかしながら、このような構成の場合
、シールリングと直線運動ユニットとの摩擦によって摩
耗微粒子が発生し、クリーンルームを汚す虞れがあった
。
〔問題点を解決するための手段、作用〕上記問題点を解
決するための手段として、本発明は、防塵カバーに設け
られた開口を貫通して延びる直動ユニットを備えた産業
用ロボットの防塵構造において、前記防塵カバーの内部
を吸引する吸引手段を備え、前記防塵カバーの開口には
前記IU動ユニ・/トの外周を隙間を介して包囲するリ
ングを備え、該リングの内面に環状の溝を備えているこ
とを特徴とする産業用ロボットの防塵構造を提供する。
決するための手段として、本発明は、防塵カバーに設け
られた開口を貫通して延びる直動ユニットを備えた産業
用ロボットの防塵構造において、前記防塵カバーの内部
を吸引する吸引手段を備え、前記防塵カバーの開口には
前記IU動ユニ・/トの外周を隙間を介して包囲するリ
ングを備え、該リングの内面に環状の溝を備えているこ
とを特徴とする産業用ロボットの防塵構造を提供する。
本発明による上記防塵構造によれば、リングの内面と直
動ユニットとの間に隙間が確保されているので、摩耗粉
等の生成が防止される。
動ユニットとの間に隙間が確保されているので、摩耗粉
等の生成が防止される。
吸引手段の作動中、防塵カバーの内部は常時負圧に保た
れるので、リングの内面と直動ユニットとの間の隙間に
は、防塵カバーの外部から内部に向かう空気流が生じる
。防塵カバーの内部の圧力は直動ユニットの直線運動に
より変動するが、リングの内面に設けられている環状溝
の箇所では空気の流速が急激に弱まり、空気溜ができる
ので、空気の逆流を抑えることができる。したがって、
防塵カバー内の塵埃、潤滑材等の微粒子がロボットの外
部に放出されることを防止することができる。
れるので、リングの内面と直動ユニットとの間の隙間に
は、防塵カバーの外部から内部に向かう空気流が生じる
。防塵カバーの内部の圧力は直動ユニットの直線運動に
より変動するが、リングの内面に設けられている環状溝
の箇所では空気の流速が急激に弱まり、空気溜ができる
ので、空気の逆流を抑えることができる。したがって、
防塵カバー内の塵埃、潤滑材等の微粒子がロボットの外
部に放出されることを防止することができる。
リングの環状溝の空気溜め機能を高めるために、環状溝
の軸線方向幅はその深さの数倍であることが好ましく、
更に好ましくは、少なくとも4倍以上であることが好ま
しい。
の軸線方向幅はその深さの数倍であることが好ましく、
更に好ましくは、少なくとも4倍以上であることが好ま
しい。
また、リングの内面には複数個の環状溝がリングの軸線
方向に間隔を陽でて設けられていることが望ましい。
方向に間隔を陽でて設けられていることが望ましい。
本発明の上記及び他の特徴及び利点は添付図面を参照し
た以下の詳細な説明により更に明らかになるであろう。
た以下の詳細な説明により更に明らかになるであろう。
第1図ないし第4図は本発明を円筒座標形ロボットに適
用した場合の一実施例を示すものである。
用した場合の一実施例を示すものである。
はじめに第2図を参照すると、ロボットはベース11を
備えており、ベース11には旋回ボデー12がクロスロ
ーラベアリング13を介して軸線θの周りに回転可能に
設けられている。ベース11には旋回ボデー12を回転
駆動するためのモータ14が取り付けられている。モー
タ14の出力軸は減速機15の入力軸に接続されており
、減速機15の出力軸にはギア16が固定されている。
備えており、ベース11には旋回ボデー12がクロスロ
ーラベアリング13を介して軸線θの周りに回転可能に
設けられている。ベース11には旋回ボデー12を回転
駆動するためのモータ14が取り付けられている。モー
タ14の出力軸は減速機15の入力軸に接続されており
、減速機15の出力軸にはギア16が固定されている。
ギア16は旋回ボデー12に固定されたギア17に噛み
合っている。
合っている。
第3図に示すように、旋回ボデー12には軸線θに平行
に延びる一対のガイドレール18が固定されており、ガ
イドレール18には上下直動ユニット19に固定された
一対のスライダ20がそれぞれ摺動可能に嵌合している
。
に延びる一対のガイドレール18が固定されており、ガ
イドレール18には上下直動ユニット19に固定された
一対のスライダ20がそれぞれ摺動可能に嵌合している
。
上下直動ユニット19は軸線θに沿って延びる上下円筒
管21と、該円筒管21に固定されたブラケット22と
を備えている。ブラケット22にはボールナツト23が
固定されて設けられており、ポールナツト23には軸線
θに平行に延びるボールねじ軸24が螺合している。ボ
ールねじ軸24は図示しないベアリングを介して旋回ボ
デー12に回転可能に支持されている。ボールねじ軸2
4の下端にはギア27が固定されている。旋回ボデー1
2の下端にはギア27に噛み合うギア28が軸線θの周
りに回転可能に取り付けられている。
管21と、該円筒管21に固定されたブラケット22と
を備えている。ブラケット22にはボールナツト23が
固定されて設けられており、ポールナツト23には軸線
θに平行に延びるボールねじ軸24が螺合している。ボ
ールねじ軸24は図示しないベアリングを介して旋回ボ
デー12に回転可能に支持されている。ボールねじ軸2
4の下端にはギア27が固定されている。旋回ボデー1
2の下端にはギア27に噛み合うギア28が軸線θの周
りに回転可能に取り付けられている。
ベース11にはボールねじ軸24を回転駆動するための
モータ29が取り付けられている。モータ29の出力軸
にはプーリ30が固定されており、プーリ30はギア2
8に固定されたブー1J31にベルト32を介して連結
されtいる。
モータ29が取り付けられている。モータ29の出力軸
にはプーリ30が固定されており、プーリ30はギア2
8に固定されたブー1J31にベルト32を介して連結
されtいる。
モータ29を作動さ、せるとボールねじ軸24が回転す
るので、上下直動ユニット19がボールナツト23と共
に軸線θに沿って直線運動を行なう。
るので、上下直動ユニット19がボールナツト23と共
に軸線θに沿って直線運動を行なう。
ベース11には旋回ボデー12やモータ14゜29等を
覆う防塵カバー33が取り付けられている。防塵カバー
33は上端に開口34を有しており、上下直動ユニット
19の円筒管21は防塵カバー33の開口34を貫通し
て上方に延びている。
覆う防塵カバー33が取り付けられている。防塵カバー
33は上端に開口34を有しており、上下直動ユニット
19の円筒管21は防塵カバー33の開口34を貫通し
て上方に延びている。
上下円筒管21の上端には水平アームベース35が固定
されている。第4図に示すように、水平アームベース3
5には軸線θに直交する軸線Rに平行な一対のガイドレ
ール36が固定されて設けられている。ガイドレール3
6には水平直動ユニット即ちアーム37に固定された一
対のスライダ3日がそれぞれ摺動可能に嵌合している。
されている。第4図に示すように、水平アームベース3
5には軸線θに直交する軸線Rに平行な一対のガイドレ
ール36が固定されて設けられている。ガイドレール3
6には水平直動ユニット即ちアーム37に固定された一
対のスライダ3日がそれぞれ摺動可能に嵌合している。
水平直動アーム37は軸線Rに沿って延びる円筒状の管
39と、該管39に固定されたブラケット40とを備え
ており、ブラケット40にはポールナツト41が同定さ
れて設けられている。ポールナツト41には軸線Rに平
行に延びるボールねし軸輪42が螺合しており、ボール
ねじ軸42はベアリング(図示せず)を介して水平アー
ムベース35に回転可能に支持されている。ボールねじ
軸42にはプーリ43が固定されている。水平アームベ
ース35にはボールねじ軸42を回転駆動するためのモ
ータ44が取り付けられている。モータ44の出力軸に
はプーリ45が固定されており、プーリ45はベルト4
6によってブーIJ43に連結されている。
39と、該管39に固定されたブラケット40とを備え
ており、ブラケット40にはポールナツト41が同定さ
れて設けられている。ポールナツト41には軸線Rに平
行に延びるボールねし軸輪42が螺合しており、ボール
ねじ軸42はベアリング(図示せず)を介して水平アー
ムベース35に回転可能に支持されている。ボールねじ
軸42にはプーリ43が固定されている。水平アームベ
ース35にはボールねじ軸42を回転駆動するためのモ
ータ44が取り付けられている。モータ44の出力軸に
はプーリ45が固定されており、プーリ45はベルト4
6によってブーIJ43に連結されている。
モータ44を作動させるとボールねじ軸42が回転する
ので、水平直動アーム37がポールナツト41と共に軸
線Rに沿って直線運動を行なう。
ので、水平直動アーム37がポールナツト41と共に軸
線Rに沿って直線運動を行なう。
水平アームベース35には防塵カバー47が取り付けら
れている。防塵カバー47の先端には開口48が設けら
れており、水平直動アーム37の39は開口48を貫通
して外部に延びている。管39の先端にはロボットハン
ドのような作業アタッチメント(図示せず)を取り付け
るための手首部49が設けられている。手首部49等に
向かう信号ケーブル、動カケープル等は第2図中太い破
線Cで概略的に示すようにロボット内部に配設される。
れている。防塵カバー47の先端には開口48が設けら
れており、水平直動アーム37の39は開口48を貫通
して外部に延びている。管39の先端にはロボットハン
ドのような作業アタッチメント(図示せず)を取り付け
るための手首部49が設けられている。手首部49等に
向かう信号ケーブル、動カケープル等は第2図中太い破
線Cで概略的に示すようにロボット内部に配設される。
防塵カバー47の内部は上下円筒管21の内部を介して
防塵カバー33の内部と連通している。
防塵カバー33の内部と連通している。
防塵カバー33の内部はベース11に設けられた吸引用
ブロワ−50の吸込側に接続されている。
ブロワ−50の吸込側に接続されている。
吸引用ブロワ−50の排気側はフィルタ51を介してベ
ース11の外部に開放されている。
ース11の外部に開放されている。
ブロワ−50を作動させると、ベース11及び防塵カバ
ー33.47の内部が吸引されるので、それらの内部は
負圧に保たれる。
ー33.47の内部が吸引されるので、それらの内部は
負圧に保たれる。
図示実施例では、ブロワ−5oはロボットに組み込まれ
ているが、ブロワ−50をロボットとは別個に、例えば
クリーンルームの外に設けてその吸込側を配管によりロ
ボットの内部に接続してもよい。
ているが、ブロワ−50をロボットとは別個に、例えば
クリーンルームの外に設けてその吸込側を配管によりロ
ボットの内部に接続してもよい。
防塵カバー33の開口34にはリング52が設けられて
いる。第1図に詳細に示すように、リング52と防塵カ
バー33との間はシールリング53によりシールされて
いる。リング52の内周面54と上下円筒管21の外周
面との間には微小な隙間が形成されている。リング52
の内周面54には複数個の環状溝55が軸線方向に互い
に間隔を隔てて形成されている。
いる。第1図に詳細に示すように、リング52と防塵カ
バー33との間はシールリング53によりシールされて
いる。リング52の内周面54と上下円筒管21の外周
面との間には微小な隙間が形成されている。リング52
の内周面54には複数個の環状溝55が軸線方向に互い
に間隔を隔てて形成されている。
図示実施例では、リング52は2つ割り構造を有してい
るので、上下円筒間21及び防塵カバー33の組付は後
にリング52を防塵カバー33に取り付けることができ
ることとなり、組付は作業が容易になる。
るので、上下円筒間21及び防塵カバー33の組付は後
にリング52を防塵カバー33に取り付けることができ
ることとなり、組付は作業が容易になる。
防塵カバー47の開口48には内周面に環状溝57を有
するリング56が設けられている。リング56環状溝5
7は実質的にリング52の環状溝55と同様の構造を有
している。
するリング56が設けられている。リング56環状溝5
7は実質的にリング52の環状溝55と同様の構造を有
している。
上記産業用ロボットの防塵構造においては、リング52
の内周面54と上下直動ユニット19の円筒管21の外
周面との間に隙間が確保されているので、摺動による摩
耗粉等の生成を防止することができる。リング56と水
平直動ユニット37の管39との間にも隙間が確保され
ているので、摺動による摩耗粉等の生成を防止すること
ができる。
の内周面54と上下直動ユニット19の円筒管21の外
周面との間に隙間が確保されているので、摺動による摩
耗粉等の生成を防止することができる。リング56と水
平直動ユニット37の管39との間にも隙間が確保され
ているので、摺動による摩耗粉等の生成を防止すること
ができる。
ブロワ−50の作動中、防塵カバー33.47の内部は
常時負圧に保たれるので、リング52゜56の内周面と
円筒管21.39との間の隙間には、防塵カバー33.
47の外部から内部に向かう空気流が生じる。
常時負圧に保たれるので、リング52゜56の内周面と
円筒管21.39との間の隙間には、防塵カバー33.
47の外部から内部に向かう空気流が生じる。
防塵カバー33.47の内部の圧力は円筒管21.39
の直線運動により変動するが、リング52.56の内周
面に設けられている環状溝55゜57の箇所では空気の
流速が急激に弱まり、空気溜ができるので、空気の逆流
を抑えることができる。したがって、防塵カバー33.
47内の塵埃、潤滑材等の微粒子がロボットの外部に放
出されることを防止することができる。
の直線運動により変動するが、リング52.56の内周
面に設けられている環状溝55゜57の箇所では空気の
流速が急激に弱まり、空気溜ができるので、空気の逆流
を抑えることができる。したがって、防塵カバー33.
47内の塵埃、潤滑材等の微粒子がロボットの外部に放
出されることを防止することができる。
環状溝55,57の空気溜め機能を高めるために、環状
溝55.57の軸線方向幅はその深さの数倍であること
が好ましく、更に好ましくは、少なくとも4倍以上であ
ることが好ましい。
溝55.57の軸線方向幅はその深さの数倍であること
が好ましく、更に好ましくは、少なくとも4倍以上であ
ることが好ましい。
以上、図示実施例につき説明したが、本発明は上記実施
例の態様のみに限定されるものではなく特許請求の範囲
に記載した発明の範囲内において種々の変更を加えるこ
とができる。
例の態様のみに限定されるものではなく特許請求の範囲
に記載した発明の範囲内において種々の変更を加えるこ
とができる。
例えば、水平直動アーム37の管39は断面矩形の外周
輪郭を有していてもよく、この場合、リング56と矩形
管39の外周面との間に一定幅の隙間が確保されるよう
に、リング56の内面形状が矩形に形成される。
輪郭を有していてもよく、この場合、リング56と矩形
管39の外周面との間に一定幅の隙間が確保されるよう
に、リング56の内面形状が矩形に形成される。
本発明は直動ユニットないしアームを有する直交座標形
ロボット、極座標形ロボット、スカラー形ロボット等に
も同様に適用することができる。
ロボット、極座標形ロボット、スカラー形ロボット等に
も同様に適用することができる。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、リン
グの内面と直動ユニットとの間に隙間が確保されている
ので、摩耗粉等の生成が防止される。また、吸引手段の
作動中、防塵カバーの内部は常時負圧に保たれるので、
リングの内面と直動ユニットとの間の隙間には、防塵カ
バーの外部から内部に向かう空気流が生じる。防塵カバ
ーの内部の圧力は直動ユニットの直線運動により変動す
るが、リングの内面に設けられている環状溝の箇所では
空気の流速が急激に弱まり、空気溜ができるので、空気
の逆流を抑えることができる。したがって、防塵カバー
内の塵埃、潤滑材等の微粒子がロボットの外部に放出さ
れることを防止することができる。したがって、クリー
ンルーム内での使用に適した産業用ロボットの防塵構造
を提供することができる。
グの内面と直動ユニットとの間に隙間が確保されている
ので、摩耗粉等の生成が防止される。また、吸引手段の
作動中、防塵カバーの内部は常時負圧に保たれるので、
リングの内面と直動ユニットとの間の隙間には、防塵カ
バーの外部から内部に向かう空気流が生じる。防塵カバ
ーの内部の圧力は直動ユニットの直線運動により変動す
るが、リングの内面に設けられている環状溝の箇所では
空気の流速が急激に弱まり、空気溜ができるので、空気
の逆流を抑えることができる。したがって、防塵カバー
内の塵埃、潤滑材等の微粒子がロボットの外部に放出さ
れることを防止することができる。したがって、クリー
ンルーム内での使用に適した産業用ロボットの防塵構造
を提供することができる。
第1図は本発明の一実施例に係る防塵構造を備えた産業
用ロボットの概略縦断面図、 第2図は第1図に示すロボットの上下直動機構を示す横
断面図、 第3図は第1図に示すロボットの水平直動機構を示す縦
断面図、 第4図は上下直動ユニットと防塵カバーとの間のリング
の構造を示す断面図である。 19・・・上下直動ユニット、 21・・・円筒管、 33・・・防塵カバー、 34・・・開口、 37・・・水平直動ユニット、 39・・・円筒管、 47・・・防塵カバー、 48・・・開口、 50・・・吸引プロワ−1 52,56・・・リング、 55.57・・・環状溝。
用ロボットの概略縦断面図、 第2図は第1図に示すロボットの上下直動機構を示す横
断面図、 第3図は第1図に示すロボットの水平直動機構を示す縦
断面図、 第4図は上下直動ユニットと防塵カバーとの間のリング
の構造を示す断面図である。 19・・・上下直動ユニット、 21・・・円筒管、 33・・・防塵カバー、 34・・・開口、 37・・・水平直動ユニット、 39・・・円筒管、 47・・・防塵カバー、 48・・・開口、 50・・・吸引プロワ−1 52,56・・・リング、 55.57・・・環状溝。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、防塵カバーに設けられた開口を貫通して延びる直動
ユニットを備えた産業用ロボットの防塵構造において、
前記防塵カバーの内部を吸引する吸引手段を備え、前記
防塵カバーの開口には前記直動ユニットの外周を隙間を
介して包囲するリングを備え、該リングの内面に環状の
溝を備えていることを特徴とする産業用ロボットの防塵
構造。 2、前記環状溝の軸線方向幅はその深さの数倍であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の産業用ロ
ボットの防塵構造。 3、前記リングの内面には複数個の前記環状溝が軸線方
向に間隔を隔てて設けられていることを特徴とする特許
請求の範囲第1項に記載の産業用ロボットの防塵構造。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60247270A JPS62120993A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 産業用ロボットの防塵装置 |
EP86906460A EP0243508B1 (en) | 1985-11-06 | 1986-11-06 | Industrial robot having dust-proof structure |
PCT/JP1986/000562 WO1987002927A1 (en) | 1985-11-06 | 1986-11-06 | Industrial robot having dust-proof structure |
US07/080,509 US4836048A (en) | 1985-11-06 | 1986-11-06 | Industrial robot having dust-proof structure |
KR1019870700589A KR900003642B1 (ko) | 1985-11-06 | 1986-11-06 | 방진 구조물을 구비한 산업용 로보트 |
DE8686906460T DE3683766D1 (de) | 1985-11-06 | 1986-11-06 | Industrieller roboter mit staubsicherer struktur. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60247270A JPS62120993A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 産業用ロボットの防塵装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62120993A true JPS62120993A (ja) | 1987-06-02 |
JPH0358873B2 JPH0358873B2 (ja) | 1991-09-06 |
Family
ID=17160972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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