JPS5924292U - 腕状機構 - Google Patents

腕状機構

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Publication number
JPS5924292U
JPS5924292U JP11924982U JP11924982U JPS5924292U JP S5924292 U JPS5924292 U JP S5924292U JP 11924982 U JP11924982 U JP 11924982U JP 11924982 U JP11924982 U JP 11924982U JP S5924292 U JPS5924292 U JP S5924292U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm mechanism
covered
hollow
dustproof cloth
regarding
Prior art date
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Pending
Application number
JP11924982U
Other languages
English (en)
Inventor
増岡　昇
Original Assignee
東京エレクトロン株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 東京エレクトロン株式会社 filed Critical 東京エレクトロン株式会社
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Publication of JPS5924292U publication Critical patent/JPS5924292U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、中空材で構成されたリンク機構を有する腕状
機構であり、第２図は、防埃布で被った腕状機構である
。 １・・・低圧保持装置、２・・・中空材、３・・・リン
ク機構、４・・・中空材、５・・・リンク機構、ｄ・・
・中空材、７・・・連続した中空部、８・・・外部、９
・・・防埃布、１０・・・腕状機構。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 自動作業装置に於けるリンク機構、又は、スライド機構
    を有する作業用腕状機構に之いて、（１）該機構を中空
    材の連続で構成し、中空材内部の圧力は外部より低圧に
    保たれており、（２）該機構が防埃布て被われている事
    を特徴とする機構。
JP11924982U 1982-08-05 1982-08-05 腕状機構 Pending JPS5924292U (ja)

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JP11924982U JPS5924292U (ja) 1982-08-05 1982-08-05 腕状機構

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JP11924982U JPS5924292U (ja) 1982-08-05 1982-08-05 腕状機構

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5924292U true JPS5924292U (ja) 1984-02-15

Family

ID=30273763

Family Applications (1)

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JP (1) JPS5924292U (ja)

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