JPS62297086A - クリ−ンル−ム用ロボツト構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明はクリーンルーム内で作業を行なうロボットの蛇
腹を用いた密封構造に関し、特にロボットの腕の進退に
伴う蛇腹内部圧力の調整構造に関する。

〔従来の技術と問題点〕

近年、ＬＳＩ等の回路素子の製造現場やその他の精密製
品の製造、組立現場にロボットが導入されている。ＬＳ
Ｉ等の回路素子の製造現場においては、空中に浮遊する
微細な塵埃類の影響さえ受け、素子にこれらの塵埃が付
着すると不良品になる。このため回路素子の製造現場は
清浄雰囲気を保持したクリーンルームとする必要があり
、更にその中で１妨＜人も塵埃類を出さないように防塵
用の衣類等を着用して作業を行なう。従ってこうしたク
リーンルームで作動するロボットにも塵埃や油脂類が外
部に放出されないよう工夫、改良がなされなければなら
ない。

依って、本発明は斯る問題点の解決を図るべく、クリー
ンルーム用ロボットの腕の進退運動に際し、塵埃を含ん
だロボット内の空気、或いは油脂類を外部のクリーンル
ームに放出しないように蛇腹で覆うと共に、蛇腹内°部
の大きな空気圧変動による蛇腹の損傷を防止し、かつ腕
の滑らかな進退運動が可能となる構造のロボットを提供
せんとするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上述した発明目的に鑑みて、クリーンルームに
おいて使用される進退腕を有したロボットにおいて、前
記進退腕の前記クリーンルーム内に突出した摺動軸部分
を覆う蛇腹と、進退腕に前記ロボ７）の吸引口と導通し
て進退腕の進退運動に伴う前記蛇腹内部の大きな空気圧
変動を防止する空気通路とを形成具備したことを特徴と
するクリーンルーム用ロボット構造を提供する。

〔作　用〕

本発明による上記手段によれば、ロボットの進退腕が進
退運動する場合にロボット内部の塵埃や油脂類が放出さ
れることはなく、しかも進退腕を滑らかに駆動すること
が可能となる。

〔実施例〕

以下、本発明を添付図面に示す実施例に基づいて更に詳
細に説明する。第１図はクリーンルーム用ロボットの一
部破断の上面図、第２図は蛇腹の取付構造図、第３図は
第１図の矢印Ａ方向から見タクリーンルーム用ロボット
の側面図である。

第３図を参照して本実施例におけるクリーンルーム用ロ
ボットの概略構造を説明する。このロボットは長手方向
軸線回りに回転可能で、かつ上下方向に摺動可能となっ
ている。この上部には上部ケーシング２２が固定されて
おり、このケーシング２２の先端部に固定された筒状体
２４に保持され、水平方向Ｘに進退可能な進退腕８を有
している。この進退腕８が筒状体２４の外に突出した摺
動軸部分は蛇腹ＩＯに覆われている。またこのロボット
はロボット内の空気を外部へ吸引するための吸引口３８
を具備している。

以上の構成によりこのクリーンルーム用ロボットは上部
ケーシング２２を軸４０の軸線回りに回転すると共に上
下方向に上昇、下降が可能である。

更に進退腕８が水平方向Ｘに進退可能な構成となってい
る。

本発明によるロボット構造を詳細に説明するために第１
図を参照すると、該クリーンルーム用ロボットはその前
後方向Ｘに進退運動可能な進退腕８を有している。この
進退腕８はロボットの上部ケーシング２２の先端部に固
定された筒状体２４に保持されたボールスプラインナツ
ト１４と係合するスプライン軸１２を具備している。こ
のスプライン軸１２のスプラインナツト１４を経由して
クリーンルームに突出した部分は蛇ｌ！１０により囲繞
されている。蛇腹１０の両端は夫々ボールスプラインナ
ツト１４の端面とスプライン軸１２の端面カバ一部材２
６とに固定されており、後述の取り付は構造により蛇腹
内の空気を外部（クリーンルーム）に放出しない構造に
なっている。スプライン軸１２とボールスプラインナツ
ト１４との摺動部にはグリースが塗られており、蛇［１
０はこのグリースがクリーンルーム内に蒸発することを
防止すると共にロボットの上部ケーシング２２内の塵埃
を含んだ空気がクリーンルームに放出されることも防止
している。更には、この蛇腹１０はスプライン軸１２を
保護する役目も果たしている。

上記の如く構成された進退腕８が駆動モータ（図示せず
）により駆動され、Ｘ方向に進退運動を行なうと、蛇腹
１０とスプライン軸１２外周とにより囲繞された空間内
の空気が膨張、或いは圧縮される。この膨張率、或いは
圧縮率は大きく、蛇腹のｔ負傷の原因となると共に駆動
モータに過大な負荷が作用し、また進退腕８の滑らかな
作動が阻害される。以上の問題点を解決すべくスプライ
ン軸１２にはクリーンルームの外部からロボット内の空
気を吸引するためのロボットの吸引口３８（第３図）と
導通した空気通路を形成している。

スプライン軸１２の先端近くにスプライン軸１２の径方
向に設けた径方向孔１６と、・スプライン軸１２の軸方
向全長に亘って穿たれた軸方向孔１７と、上部ケーシン
グ内空間と、前記吸引口３８と導通したロボット本体孔
２０とによって空気通路を形成している。従って、進退
腕８の進退運動に際してロボット内の塵埃、或いは油脂
類を含んだ空気がクリーンルームに放出されることはな
く、しかも圧縮空気は吸引口３８を介して外部に吸引さ
れ、また進退腕８の前進運動に伴う負圧空気がロボット
本体内の大容量の空気により緩和されることにより進退
腕８の滑らかな作動が可能となる。

一方、第２図を参照して蛇腹１０の取り付は構造を簡単
に説明する。蛇腹１０の端部は環状の鉄板３０に接着さ
れており、この蛇腹付き鉄板３０は環状のガスケット３
２を介してボルト３４により前述の端面カバ一部材２６
（及びボールスプラインナツト１４の端面）に同定され
ている。蛇腹１０はこうした取り付は構造となっている
ためその内部空間は外部（クリーンルーム）とは完全に
遮断されている。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、蛇腹
を装備しているのでロボットが腕を進退させることによ
ってクリーンルームにそのロボット内部の空気を放出す
ることはなく、しかも進退腕の進退運動に際して蛇腹内
部の空間が大きな圧力変動を生ずることのないよう空気
の逃げ通路を有しているため蛇腹が…傷することがなく
、更には駆動モータに過大な負荷を作用させることもな
く、進退腕を滑らかに駆動することの可能なりリーンル
ーム用ロボット構造を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はクリーンルーム用ロボットの一部破断の上面図
、第２図は一部破断の蛇腹の取付構造図、第３図は第１
図の矢印Ａ方向から見たクリーンルーム用ロボットの側
面図。 ８・・・進退腕、　　　　　　　１０・・・蛇腹、１２
・・・スプライン軸、 １４・・・ボールスプラインナンド、 １６・・・径方向孔、　　　　　　１７・・・軸方向孔
、２０・・・ロボット本体孔、　　３ｏ・・・鉄板、３
２・・・ガスケット、　　　　　３８・・・吸引口。 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、クリーンルームにおいて使用される進退腕を有した
   ロボットにおいて、前記進退腕の前記クリーンルーム内
   に突出した摺動軸部分を覆う蛇腹と、進退腕に前記ロボ
   ットの吸引口と導通して進退腕の進退運動に伴う前記蛇
   腹内部の大きな空気圧変動を防止する空気通路とを形成
   具備したことを特徴とするクリーンルーム用ロボット構
   造。