JPS61197184A - ロボツトの防塵装置 - Google Patents
ロボツトの防塵装置Info
- Publication number
- JPS61197184A JPS61197184A JP3441685A JP3441685A JPS61197184A JP S61197184 A JPS61197184 A JP S61197184A JP 3441685 A JP3441685 A JP 3441685A JP 3441685 A JP3441685 A JP 3441685A JP S61197184 A JPS61197184 A JP S61197184A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- robot
- dustproof device
- clean room
- air pool
- bellows
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本願発明はロボットの防塵装置に関し、更に詳しくは、
クリーンルーム用ロボットに適した簡易な防塵装置に関
する。
クリーンルーム用ロボットに適した簡易な防塵装置に関
する。
円筒座標ロボットや直交座標ロボットは一般にジャバラ
等で包囲された伸縮軸を有している。この種のロボット
をクリーンルーム内で使用する場合、ジャバラ等の内部
の汚れた空気がクリーンルーム内に放出されることを防
止してクリーンルーム内を清浄に保つ必要がある。しか
しながら、ジャバラ等の内部は伸縮軸の伸縮動作に伴っ
て容積変化を起こすので、ロボット内部の密閉が不完全
であるとジャバラ等の内部の呼吸作用によって汚れた空
気がクリーンルーム内に放出されてしまう。
等で包囲された伸縮軸を有している。この種のロボット
をクリーンルーム内で使用する場合、ジャバラ等の内部
の汚れた空気がクリーンルーム内に放出されることを防
止してクリーンルーム内を清浄に保つ必要がある。しか
しながら、ジャバラ等の内部は伸縮軸の伸縮動作に伴っ
て容積変化を起こすので、ロボット内部の密閉が不完全
であるとジャバラ等の内部の呼吸作用によって汚れた空
気がクリーンルーム内に放出されてしまう。
ロボットの内部を完全に密閉することは実際上非常に困
難である。このため、従来からクリーンルーム用ロボッ
トのための幾つかの防塵方法が考えられている。
難である。このため、従来からクリーンルーム用ロボッ
トのための幾つかの防塵方法が考えられている。
第２図及び第３図は従来のロボットの防塵方法を示すも
のである。第２図に示す方法によれば、ロボット内部が
配管１によってクリーンルームの外に設けた吸引装置（
図示せず）に接続され、吸引装置によってロボットの内
部の汚れた空気がクリーンルームの外に強制的に排出さ
れる。この方法の場合、ロボットの内部の気密が不完全
であっても、クリーンルーム内からロボット内へと空気
を強制的に流通させることができる。しかしながら、こ
の方法は高価な吸引装置を必要とする。 ゛第３図に示
す方法によれば、ロボット内部の汚れた空気はロボット
に取り付けたフィルタ２によって浄化されてクリーンル
ーム内に排出される。
のである。第２図に示す方法によれば、ロボット内部が
配管１によってクリーンルームの外に設けた吸引装置（
図示せず）に接続され、吸引装置によってロボットの内
部の汚れた空気がクリーンルームの外に強制的に排出さ
れる。この方法の場合、ロボットの内部の気密が不完全
であっても、クリーンルーム内からロボット内へと空気
を強制的に流通させることができる。しかしながら、こ
の方法は高価な吸引装置を必要とする。 ゛第３図に示
す方法によれば、ロボット内部の汚れた空気はロボット
に取り付けたフィルタ２によって浄化されてクリーンル
ーム内に排出される。
しかしながら、一般にこの種のフィルタは高価であり、
また、面倒な保守を必要とする。
また、面倒な保守を必要とする。
このため、クリーンルーム用ロボットに通した簡易なロ
ボットの防塵装置が要望されている。
ボットの防塵装置が要望されている。
Ｃ問題点を解決するための手段〕
上記問題点を解決するための手段として、本発明は、伸
縮部を有するロボットにおいて、前記伸縮部を内部密閉
構造とし、前記伸縮部内の容積変化分を吸収可能な伸縮
性エアプール容器をロボット内部若しくは外部に設けて
前記伸縮部内に接続したことを特徴とするロボットの防
塵装置を提供する。
縮部を有するロボットにおいて、前記伸縮部を内部密閉
構造とし、前記伸縮部内の容積変化分を吸収可能な伸縮
性エアプール容器をロボット内部若しくは外部に設けて
前記伸縮部内に接続したことを特徴とするロボットの防
塵装置を提供する。
上記手段によれば、ロボットの伸縮部の内部の容積変化
はエアプール容器に吸収されるので、ロボットの内部の
圧力変化が防止される。したがって、伸縮部が低い精度
の密閉構造であっても、ロボットの外部に対するロボッ
ト内部の呼吸作用を十分に防止することができる。した
がって、ロボットの内部の汚れた空気がクリーンルーム
内に放出されることを防止することができる。
はエアプール容器に吸収されるので、ロボットの内部の
圧力変化が防止される。したがって、伸縮部が低い精度
の密閉構造であっても、ロボットの外部に対するロボッ
ト内部の呼吸作用を十分に防止することができる。した
がって、ロボットの内部の汚れた空気がクリーンルーム
内に放出されることを防止することができる。
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明を円筒座標形ロボットに適用した場合の
一実施例を示すものである。この図を参照すると、ロボ
ットは２つの伸縮部１１．１２を有している。伸縮部１
１．１２はジャバラによって外部に対し密閉されている
。
一実施例を示すものである。この図を参照すると、ロボ
ットは２つの伸縮部１１．１２を有している。伸縮部１
１．１２はジャバラによって外部に対し密閉されている
。
ロボットの外部には伸縮部１１．１２のジャバラ内の容
積変化分を吸収することができる伸縮性エアプール容器
１３が設けられている。エアプール容器１３は伸縮部１
１．１２内に接続されている。エアプール容器１３は密
閉構造のジャバラ容器からなづている。
積変化分を吸収することができる伸縮性エアプール容器
１３が設けられている。エアプール容器１３は伸縮部１
１．１２内に接続されている。エアプール容器１３は密
閉構造のジャバラ容器からなづている。
上記構成を有するロボットの防塵装置によれば、ロボッ
トの伸縮部１１．１２のジャバラの内部の容積変化はエ
アプール容器１３に吸収されるので、ロボットの内部の
圧力変化が防止される。したがって、伸縮部１１．１２
が低い精度の密閉構造であっても、ロボットの外部に対
するロボット内部の呼吸作用を十分に防止することがで
きる。したがって、ロボットの内部の汚れた空気がクリ
ーンルーム内に放出されることを防止することができる
。
トの伸縮部１１．１２のジャバラの内部の容積変化はエ
アプール容器１３に吸収されるので、ロボットの内部の
圧力変化が防止される。したがって、伸縮部１１．１２
が低い精度の密閉構造であっても、ロボットの外部に対
するロボット内部の呼吸作用を十分に防止することがで
きる。したがって、ロボットの内部の汚れた空気がクリ
ーンルーム内に放出されることを防止することができる
。
以上一実施例につき説明したが、本発明は上記実施例の
態様のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲に
記載した発明の範囲内においてその構成要素に種々の変
更を加えることができる。
態様のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲に
記載した発明の範囲内においてその構成要素に種々の変
更を加えることができる。
例えば、エアプール容器はロボットの内部に配置しても
よい。また、本発明は伸縮部を有するロボットであれば
他のいかなる形式のロボットにも適用できる。
よい。また、本発明は伸縮部を有するロボットであれば
他のいかなる形式のロボットにも適用できる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ロボ
ットの伸縮部が低い精度の密閉構造であっても、ロボッ
トの外部に対するロボット内部の呼吸作用をエアプール
容器による容積変化吸収作用によって十分に防止するこ
とができるので、ロボットの内部の汚れた空気がクリー
ンルーム内等に放出されることを防止することができる
節易なロボットの防塵装置を安価に提供することができ
る。
ットの伸縮部が低い精度の密閉構造であっても、ロボッ
トの外部に対するロボット内部の呼吸作用をエアプール
容器による容積変化吸収作用によって十分に防止するこ
とができるので、ロボットの内部の汚れた空気がクリー
ンルーム内等に放出されることを防止することができる
節易なロボットの防塵装置を安価に提供することができ
る。
第１図は本発明の一実施例を概略的に示すロボットの防
塵装置の部分断面側面図、 第２図及び第３図はそれぞれ従来のロボ・７トの防塵方
法を示すロボットの概略側面図である。 １１．１２・・・伸縮部、１３・・・エアプール容器。
塵装置の部分断面側面図、 第２図及び第３図はそれぞれ従来のロボ・７トの防塵方
法を示すロボットの概略側面図である。 １１．１２・・・伸縮部、１３・・・エアプール容器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、伸縮部を有するロボットにおいて、前記伸縮部を内
部密閉構造とし、前記伸縮部内の容積変化分を吸収可能
な伸縮性エアプール容器をロボット内部若しくは外部に
設けて前記伸縮部内に接続したことを特徴とするロボッ
トの防塵装置。 ２、前記エアプール容器は密閉構造のジャバラ容器であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のロボ
ットの防塵装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3441685A JPS61197184A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | ロボツトの防塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3441685A JPS61197184A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | ロボツトの防塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61197184A true JPS61197184A (ja) | 1986-09-01 |
Family
ID=12413592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3441685A Pending JPS61197184A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | ロボツトの防塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61197184A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62152692A (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-07 | 三菱電機株式会社 | ダスト発生防止上下動軸機構 |
| US4836048A (en) * | 1985-11-06 | 1989-06-06 | Fanuc Ltd. | Industrial robot having dust-proof structure |
| JPH0223986U (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-16 | ||
| EP0934805A2 (en) * | 1998-02-06 | 1999-08-11 | Fanuc Ltd | Sealed structure of outer wall for industrial robot |
| JP2011101907A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Seiko Epson Corp | スカラーロボット |
-
1985
- 1985-02-25 JP JP3441685A patent/JPS61197184A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4836048A (en) * | 1985-11-06 | 1989-06-06 | Fanuc Ltd. | Industrial robot having dust-proof structure |
| JPS62152692A (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-07 | 三菱電機株式会社 | ダスト発生防止上下動軸機構 |
| JPH0513799B2 (ja) * | 1985-12-26 | 1993-02-23 | Mitsubishi Electric Corp | |
| JPH0223986U (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-16 | ||
| EP0934805A2 (en) * | 1998-02-06 | 1999-08-11 | Fanuc Ltd | Sealed structure of outer wall for industrial robot |
| EP0934805A3 (en) * | 1998-02-06 | 2000-11-15 | Fanuc Ltd | Sealed structure of outer wall for industrial robot |
| JP2011101907A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Seiko Epson Corp | スカラーロボット |
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