JPS6133891A - 工業用ロボツト - Google Patents
工業用ロボツトInfo
- Publication number
- JPS6133891A JPS6133891A JP15585384A JP15585384A JPS6133891A JP S6133891 A JPS6133891 A JP S6133891A JP 15585384 A JP15585384 A JP 15585384A JP 15585384 A JP15585384 A JP 15585384A JP S6133891 A JPS6133891 A JP S6133891A
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- Japan
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- dust
- robot
- air
- industrial robot
- jacket cover
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
最近、半導体製造工場や光学部品組立工場等においては
、粒子径が０．５μ〜０．１μ、又はそれ以下の粒子径
の微粒子の存在が、製品の品質や歩留り２ペー。
、粒子径が０．５μ〜０．１μ、又はそれ以下の粒子径
の微粒子の存在が、製品の品質や歩留り２ペー。
を左右する要因になってきている。
その中で、人間の介在自体が無塵埃化の大きな障害とな
っており、省人化、ロボット化を今後進めていかなけれ
ばならなくなってきている。
っており、省人化、ロボット化を今後進めていかなけれ
ばならなくなってきている。
そこで本発明は、精密製品製造工場等、空気中の塵埃を
極度に嫌う場所で使用する、工業用ロボットの塵埃飛散
防止装置に関するものである。
極度に嫌う場所で使用する、工業用ロボットの塵埃飛散
防止装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
工業用ロボットには、関節部の軸受やサーボモータのブ
ラシ部、減速機等、多くの塵埃発生要因がある。このよ
うなロボットは半導体製品製造工場等、空気中の塵埃を
極度に嫌う場所では、このまま使用できず、塵埃の飛散
を防ぐ工夫が必要となる。
ラシ部、減速機等、多くの塵埃発生要因がある。このよ
うなロボットは半導体製品製造工場等、空気中の塵埃を
極度に嫌う場所では、このまま使用できず、塵埃の飛散
を防ぐ工夫が必要となる。
従来の塵埃飛散防止装置は、第１図にその具体構成を示
すように、工業用ロボット１において、特に塵埃飛散を
防止したい部分１ａ、１ｂ、１ｃに、蛇腹式のカバー２
ａ、２ｂ、２ｃをかぶせることに」：って、塵埃が外部
に飛散するのを防いでいた。
すように、工業用ロボット１において、特に塵埃飛散を
防止したい部分１ａ、１ｂ、１ｃに、蛇腹式のカバー２
ａ、２ｂ、２ｃをかぶせることに」：って、塵埃が外部
に飛散するのを防いでいた。
しかし、この方法では蛇腹式のカバー２ａ、 ２ｂ。
２Ｃのイ中縮によって、カバー２ａ、２ｂ、２ｃ自体が
ポンプの役目を果し、カバー２ａ、 ２ｂ、 ２ｃ
とロボット本体１ａ、１ｂ、１ｃとのすき寸から空気と
ともに塵埃が吹き出すという問題があった。
ポンプの役目を果し、カバー２ａ、 ２ｂ、 ２ｃ
とロボット本体１ａ、１ｂ、１ｃとのすき寸から空気と
ともに塵埃が吹き出すという問題があった。
捷だ、蛇腹式のカバーの他に、スライド式伸縮自在カバ
ーもあるが、カバーの摺動部が新たな塵埃発生源となり
、塵埃が飛散するという問題があった。
ーもあるが、カバーの摺動部が新たな塵埃発生源となり
、塵埃が飛散するという問題があった。
また、別の方法として、ロボットの構造上で、ロボット
内部を外気と完全に遮断する方法が考えられるが、ロボ
ットの回転部、摺動部等の可動部における完全な密閉は
事実上困難であり、壕だ可動部自体が塵埃の発生源にも
なるため、塵埃の飛散を防ぐことは難しい。
内部を外気と完全に遮断する方法が考えられるが、ロボ
ットの回転部、摺動部等の可動部における完全な密閉は
事実上困難であり、壕だ可動部自体が塵埃の発生源にも
なるため、塵埃の飛散を防ぐことは難しい。
発明の目的
本発明は、上記従来の欠点を解消するものであり、比較
的簡単で安価な手段により、ロボットから出る塵埃の飛
散を防止するものである。
的簡単で安価な手段により、ロボットから出る塵埃の飛
散を防止するものである。
発明の構成
本発明は、ロボット本体全体、又は一部分をおおうジャ
ケットカバーと、そのジャケットカバー内の塵埃を空気
とともに排気除去する排気装置とを備え、ジャケットカ
バーの存在自体から発生する塵埃の問題をも除去できる
工業用ロボットを提供するものである。
ケットカバーと、そのジャケットカバー内の塵埃を空気
とともに排気除去する排気装置とを備え、ジャケットカ
バーの存在自体から発生する塵埃の問題をも除去できる
工業用ロボットを提供するものである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例を第２〜第３図にもとづいて説明
する。
する。
第２図は本発明の実施例における工業用ロボットの全体
外観図、第３図はその構成図である。
外観図、第３図はその構成図である。
図において、３は旋回関節部、４は下駆動部、５ａ、５
ｂは前後駆動部、６は３自由度手首関節部、７はハンド
取付用フランジである。本実施例では、被作業物体付近
の局所空間内の空気の無塵埃化を図るために、被作業物
体に近づく手首関節５／。
ｂは前後駆動部、６は３自由度手首関節部、７はハンド
取付用フランジである。本実施例では、被作業物体付近
の局所空間内の空気の無塵埃化を図るために、被作業物
体に近づく手首関節５／。
部６と前後駆動部５に対して塵埃飛散防止装置を備えて
いる。即ち、ｓａ、ｓｂは前後駆動部５ａ。
いる。即ち、ｓａ、ｓｂは前後駆動部５ａ。
６ｂをおおうように取りつけられた通気性材料でできた
ジャケットカバー、９は手首関節部６をおおう通気性ジ
ャケットカバー、１０，１１．１２はそれぞれジャケッ
トカバー８ａ、ｓｂ、９内の空気を給排気する給排気パ
イプ、１３は給排気パイプ１０，１１．１２の方向と流
量を調整する流量調整部、１４は排気管、１５は排気用
ポンプ、１６は給気管である。
ジャケットカバー、９は手首関節部６をおおう通気性ジ
ャケットカバー、１０，１１．１２はそれぞれジャケッ
トカバー８ａ、ｓｂ、９内の空気を給排気する給排気パ
イプ、１３は給排気パイプ１０，１１．１２の方向と流
量を調整する流量調整部、１４は排気管、１５は排気用
ポンプ、１６は給気管である。
以上のように構成された工業用ロボットの塵埃飛散防止
装置について、以下その動作を説明する。
装置について、以下その動作を説明する。
捷ず、ロボットにおける塵埃は通常、歯車のかみ合い部
、軸受、モータのブラシ部、オイルシール部等の可動部
から発生する。前後駆動部５２手首関節部６も当然上記
のような塵埃発生部を有している。それら塵埃発生部を
ジャケットカバー８ａ、ｓｂ、９でお訃い密閉化すると
ともに、例えば前後駆動部５が前方へ速度２００謳きで
移動する場合は、縮小する側のカバーシャケ、） ）５
ａ６ベー 。
、軸受、モータのブラシ部、オイルシール部等の可動部
から発生する。前後駆動部５２手首関節部６も当然上記
のような塵埃発生部を有している。それら塵埃発生部を
ジャケットカバー８ａ、ｓｂ、９でお訃い密閉化すると
ともに、例えば前後駆動部５が前方へ速度２００謳きで
移動する場合は、縮小する側のカバーシャケ、） ）５
ａ６ベー 。
には、単位時間あたり縮小するカバージャケット内容積
見合い分だけ、流量調整部によって流量を気パイプ１１
を通じて、ジャケット内容積増加見合い分だけ、清浄な
空気を給気する。この際、排気側も給気側も、ジャケッ
トカバー内部が、外気に対して正圧に々らない様に流量
、流速を制御する。
見合い分だけ、流量調整部によって流量を気パイプ１１
を通じて、ジャケット内容積増加見合い分だけ、清浄な
空気を給気する。この際、排気側も給気側も、ジャケッ
トカバー内部が、外気に対して正圧に々らない様に流量
、流速を制御する。
このようにすることにより、通気性のカバージャケット
は、常に内側に少しづつ空気が通過することになり、ジ
ャケットカバー内部の塵埃が外へ飛散することは防止さ
れる。
は、常に内側に少しづつ空気が通過することになり、ジ
ャケットカバー内部の塵埃が外へ飛散することは防止さ
れる。
本実施例では円筒型ロボットを例にあげたが、直交型ロ
ボットや多関節型ロボットでも同様である。
ボットや多関節型ロボットでも同様である。
発明の効果
このように本発明は、ロボット本体内部を通気性材料か
ら々るジャケットカバーで密閉化し、ジャケットカバー
内の空気を、ロボットの駆動方向及び、駆動速度に応じ
て、常にジャケットカバー内が夕４気に対しである一定
範囲の負圧をたもつように給排気することにより、ロボ
ノｉ・が発生する塵埃を外に飛散することなく、無塵埃
雰囲気で使用可能々ロボットを比較的簡単な構成で提供
できるもので、その効果は犬なるものがある。
ら々るジャケットカバーで密閉化し、ジャケットカバー
内の空気を、ロボットの駆動方向及び、駆動速度に応じ
て、常にジャケットカバー内が夕４気に対しである一定
範囲の負圧をたもつように給排気することにより、ロボ
ノｉ・が発生する塵埃を外に飛散することなく、無塵埃
雰囲気で使用可能々ロボットを比較的簡単な構成で提供
できるもので、その効果は犬なるものがある。
第１図は従来の塵埃飛散防止装置を備えた工業用ロボッ
トの外観図、第２図は本発明の一実施例における塵埃飛
散防止装置を採用した工業用ロボットの外観図、第３図
は第２図に示すロボットの機構説明図である。 ５ ａ、 ５ ｂ、 ６−駆動部、８ａ、 ｓｂ、
９・・・・・・ジャケットカバー、１０，１１，１
２，１４゜１６・・・・・排気装置、１３・・・・流量
調整部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
トの外観図、第２図は本発明の一実施例における塵埃飛
散防止装置を採用した工業用ロボットの外観図、第３図
は第２図に示すロボットの機構説明図である。 ５ ａ、 ５ ｂ、 ６−駆動部、８ａ、 ｓｂ、
９・・・・・・ジャケットカバー、１０，１１，１
２，１４゜１６・・・・・排気装置、１３・・・・流量
調整部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
Claims (3)
- （１）ロボット本体全体または塵埃発生部を含む駆動部
をおおうジャケットカバーと、このジャケットカバー内
の塵埃を空気とともに排気除去する排気装置とを備えた
工業用ロボット。 - （２）ジャケットカバーを通気性材料で構成し、ジャケ
ットカバー内の塵埃を空気とともに排気除去する特許請
求の範囲第１項記載の工業用ロボット。 - （３）各部におけるジャケットカバー内圧力を、ロボッ
トの駆動方向や速度に合わせて調整可能な給排気流量調
整部を有する特許請求の範囲第１項記載の工業用ロボッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15585384A JPS6133891A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 工業用ロボツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15585384A JPS6133891A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 工業用ロボツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6133891A true JPS6133891A (ja) | 1986-02-17 |
Family
ID=15614925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15585384A Pending JPS6133891A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 工業用ロボツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6133891A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62297086A (ja) * | 1986-06-17 | 1987-12-24 | フアナツク株式会社 | クリ−ンル−ム用ロボツト構造 |
| JPS6367088U (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-06 | ||
| JP2004313908A (ja) * | 2003-04-15 | 2004-11-11 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置の塵埃排気装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
| JP2011101907A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Seiko Epson Corp | スカラーロボット |
-
1984
- 1984-07-26 JP JP15585384A patent/JPS6133891A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62297086A (ja) * | 1986-06-17 | 1987-12-24 | フアナツク株式会社 | クリ−ンル−ム用ロボツト構造 |
| JPH0443757B2 (ja) * | 1986-06-17 | 1992-07-17 | Fanuc Ltd | |
| JPS6367088U (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-06 | ||
| JPH0437742Y2 (ja) * | 1986-10-22 | 1992-09-04 | ||
| JP2004313908A (ja) * | 2003-04-15 | 2004-11-11 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置の塵埃排気装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
| JP2011101907A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Seiko Epson Corp | スカラーロボット |
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