JPS6377687A - 送り機構の発塵防止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明は、送り機構内部からの発塵防止方法において、
蛇腹内部の気圧が外気圧より高くなることにより、塵が
外部に流出することを解決するため、軌道軸を中空にし
、それぞれの蛇腹内部で軌道軸に通気孔を設けると共に
、中空部を排気することにより外部への発塵を完全に防
止するものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は送り機構内部からの発塵防止装置に関する。

近年、半導体関連製品や精密製品の生産自動化にあたり
、ロボット等の自動化機械を構成する送り機構は、クリ
ーンルーム等の無塵環境で益々利用される傾向にある。

このため、送り機構内部からの発塵防止を、確実に、か
つ安価に実現できる送り機構の構造が必要とされる。

〔従来の技術〕

第３図は従来の送り機構の防塵機構図を示す。

図において、１は軌道軸であって、軌道軸１の両端はコ
の字形の固定ブロック２に支持されている。

３は移動ブロックで軌道軸ｌに沿った直線軸受４を備え
、固定ブロック２を貫通するシャフト５に設けられた送
りねじ６は移動ブロック３と噛み合い、シャフト５に連
結されたモータ７の回転方向により移動ブロック３を上
下に移動せしめる送り機構を構成している。

このような送り機構においては、送りねじ６、あるいは
直線軸受４等の摩擦により塵が発生するが、蛇１３［８
，９によって覆うことにより塵の外部への流出を防止し
ている。

第４図は従来例の改善型防塵機構図を示す０図示する機
構は特開昭６０．４６３４４４号に開示されたもので、
第３図の構成に対して図中１０に示す外付はバイブを固
定ブロック２の上下内側の端面に設け、両蛇腹内の空間
を連通ずることにより蛇腹内の圧力変化を防止している
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

第３図の方法は、移動ブロック３の移動に伴い蛇腹内部
の空気圧力が変化し、矢印ａ、ｂあるいはｃ、ｄに示す
ような気流が発生し、送り機構内部の塵がそれらの気流
に乗って外部に流出する欠点がある。

第４図の方法は、外付はバイブ１０を設けるため、送り
機構の構造の大型化、重量増加といった欠点がある。

本発明は上記従来の欠点に鑑みて創作されたもので、大
型化、重量増加を伴わない筒車な送り機構の発塵防止機
構の提供を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の送り機構の発塵防止装置は第１図の原理図に示
すように、両端を支持された軌道軸１に沿って直線軸受
４を備えた移動ブロック３が、一軸方向に拘束されてな
る送り機構において、前記送り機構の内部からの発塵を
防ぐため、発Ｂ源となる機構部分をすべて２本の蛇腹８
，９で覆った際に前記軌道軸１に中空部１１を設けると
共に、それぞれの蛇１１８．９内で前記軌道軸１の中空
部１１に通気孔１２．１３を設け、かつ前記中空部１１
に排気機構１４を設けたことを特徴とする。

〔作用〕

第２図に示すように移動ブロック３が上昇しても、蛇腹
８内部の空気は通気孔１２を通って中空部１１に抜け、
更に通気孔１３を通って蛇１ｔＩ９内部の空気圧変動を
補う、また、両蛇腹内部に発生する塵は排気機構１４を
介して送り機構外に排出されるから無！環境が確保され
る。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を図面によって詳述する。

なお、構成、動作の説明を理解し易（するために全図を
通じて同一部分には同一符号を付してそのｔ？Ｊ！説明
を省略する。

第２図は本発明の要部断面図を示す、この実施例は直交
座標型ロボットのＺ軸モジュールである。

図において、軌道軸１はその両端をコの字形の固定ブロ
ックに支持され、移動ブロック３は直線軸受４を介して
軌道軸１に案内され上下に移動できる。また固定ブロッ
ク２の上部を貫通するシャフト５はモータ７に連結され
、かつ送りねじ６を備え、この送りねじ６は移動ブロッ
ク３と噛み合い、モータ７の回転方向により移動ブロッ
ク３を上または下に移動させる送り機構を構成している
。

軌道軸１はその軸の内部に中空部Ｉｆを設け、その一端
は固定ブロック２を貫通して外部に連通している。

また、軌道軸ｌには両蛇腹８．９の内部空間に対応して
それぞれ通気孔１２．１３を穿設して前記中空部１１と
連通させている。

軌道軸１の一端にはその中空部１１に連結された排気機
構１４（例えばビニールチューブと排気ポンプの組み合
わせ）を設けている。この排気機構は第３図における矢
印ａ　％　ｄの気流、あるいはその逆方向の気流が発生
可能なギャップが蛇腹８．９の端部に存在することが前
提条件であることはいうまでもない。

排気機構１４は無くとも中空部１１と通気孔１２゜１３
との作用により空気圧の変動は避けられるが、塵が堆積
するため送り機能の低下を招く原因になる。

なお、排気機構１４は軌道軸１の一端の中空部１１がら
空気を吸引すると共に、図示しない軌道軸の他端の中空
部１１からも吸引する方式がより効果的である。

〔発明の効果〕

以上詳細に説明したように本発明の送り機構の発塵防止
装置によれば、送り機構の蛇腹内部の空気圧が外気圧に
対して高くならず、送り機構内部から外部への気流の発
生を防止でき、さらに内部で発生した塵は排気機構によ
り排出するので完全な無塵環境を維持可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理図、 第２図は本発明の要部断面図、 第３図は従来の送り機構の防塵機構図、第４図は従来例
の改善型防塵機構図を示す。 図において、１は軌道軸、３は移動ブロック、４は直線
軸受、８と９は蛇腹、１１は中空部、１２と１３は通気
孔、１４は排気機構をぞれぞれ示す。 序発帆め原ｒｒｍ 第１図 従束夕・］の１型Ｉ劇Ｖ 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　両端を支持された軌道軸（１）に沿って直線軸受（４
   ）を備えた移動ブロック（３）が、一軸方向に拘束され
   てなる送り機構において、 発塵源となる機構部分を蛇腹（８、９）で覆い、前記軌
   道軸（１）に中空部（１１）を設けると共に、蛇腹（８
   、９）内で前記軌道軸（１）の中空部（１１）に連通す
   る通気孔（１２、１３）を設け、かつ前記中空部（１１
   ）の排気機構（１４）を設けたことを特徴とする送り機
   構の発塵防止装置。