JP2001300832A - 送り装置 - Google Patents
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- JP2001300832A JP2001300832A JP2000118011A JP2000118011A JP2001300832A JP 2001300832 A JP2001300832 A JP 2001300832A JP 2000118011 A JP2000118011 A JP 2000118011A JP 2000118011 A JP2000118011 A JP 2000118011A JP 2001300832 A JP2001300832 A JP 2001300832A
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- ball screw
- nut
- base
- bellows
- feeder
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ボールネジを防塵カバーにより密閉状態に包囲
し、且つ防塵性能を低下させることなくテーブルを高速
移動させ得る送り装置を提供する。 【解決手段】案内面10aを備えた基台10と、案内面
10a上にこれに沿って移動自在に配設された移動台1
1と、移動台11に固設されたナット12と、ナット1
2に螺合し、軸中心回転自在に基台10に支持されたボ
ールネジ13と、ボールネジ13を回転させる駆動モー
タ21と、ボールネジ13の軸方向に伸縮自在に設けら
れ、ナット12の両側に露出されたボールネジ13をそ
れぞれ独立して密閉状態に包囲する防塵カバー14,1
5とを備える。ボールネジの軸方向に沿った貫通孔12
cをナット12に形成し、防塵カバー14,15によっ
て形成された両密閉空間を、貫通孔12cを介して連通
せしめる。
し、且つ防塵性能を低下させることなくテーブルを高速
移動させ得る送り装置を提供する。 【解決手段】案内面10aを備えた基台10と、案内面
10a上にこれに沿って移動自在に配設された移動台1
1と、移動台11に固設されたナット12と、ナット1
2に螺合し、軸中心回転自在に基台10に支持されたボ
ールネジ13と、ボールネジ13を回転させる駆動モー
タ21と、ボールネジ13の軸方向に伸縮自在に設けら
れ、ナット12の両側に露出されたボールネジ13をそ
れぞれ独立して密閉状態に包囲する防塵カバー14,1
5とを備える。ボールネジの軸方向に沿った貫通孔12
cをナット12に形成し、防塵カバー14,15によっ
て形成された両密閉空間を、貫通孔12cを介して連通
せしめる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ボールネジを密閉
状態で包囲することにより、ボールネジに粉塵が付着す
るのを防止することができるようになった送り装置に関
する。
状態で包囲することにより、ボールネジに粉塵が付着す
るのを防止することができるようになった送り装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】上述した送り装置として、従来、実開昭
58−160745号公報に開示されたものが知られて
いる。図5に示すように、この送り装置50は、案内面
10aを備えたベース(基台)10と、前記案内面10
a上にこれに沿って移動自在に配設されたテーブル(移
動台)11と、テーブル11に固設されたナット51
と、ナット51に螺合し、前記ベース10の案内面10
aに沿って配設されたボールネジ13と、このボールネ
ジ13をその軸中心に回転させる駆動モータ21と、ボ
ールネジ13の軸方向に伸縮自在に設けられ、ナット5
1の両側に露出されたボールネジ13をそれぞれ独立し
て密閉状態に包囲するジャバラ(防塵カバー)14,1
5などからなる。
58−160745号公報に開示されたものが知られて
いる。図5に示すように、この送り装置50は、案内面
10aを備えたベース(基台)10と、前記案内面10
a上にこれに沿って移動自在に配設されたテーブル(移
動台)11と、テーブル11に固設されたナット51
と、ナット51に螺合し、前記ベース10の案内面10
aに沿って配設されたボールネジ13と、このボールネ
ジ13をその軸中心に回転させる駆動モータ21と、ボ
ールネジ13の軸方向に伸縮自在に設けられ、ナット5
1の両側に露出されたボールネジ13をそれぞれ独立し
て密閉状態に包囲するジャバラ(防塵カバー)14,1
5などからなる。
【0003】前記ボールネジ13は、その両端部がサポ
ートベアリング18,19によって回転自在に支持され
ており、図示右端部がカップリング20を介して前記駆
動モータ21に連結されている。斯くして、この駆動モ
ータ21の駆動力によってボールネジ13がその軸中心
に回転すると、ナット51がテーブル11とともにボー
ルネジ13の軸方向に沿って移動する。
ートベアリング18,19によって回転自在に支持され
ており、図示右端部がカップリング20を介して前記駆
動モータ21に連結されている。斯くして、この駆動モ
ータ21の駆動力によってボールネジ13がその軸中心
に回転すると、ナット51がテーブル11とともにボー
ルネジ13の軸方向に沿って移動する。
【0004】また、前記ジャバラ14,15は円筒形状
を成しており、図示するように、一方のジャバラ14は
前記ナット51のフランジ51a及びベース10に、他
方のジャバラ15は前記テーブル11及びベース10に
それぞれ固設され、ナット51の移動に伴って伸縮する
ようになっている。
を成しており、図示するように、一方のジャバラ14は
前記ナット51のフランジ51a及びベース10に、他
方のジャバラ15は前記テーブル11及びベース10に
それぞれ固設され、ナット51の移動に伴って伸縮する
ようになっている。
【0005】また、前記ベース10には、ボールネジ1
3の両端部下方にそれぞれ通気孔16,17が形成され
ており、前記ジャバラ14,15によりそれぞれ形成さ
れた密閉空間が前記ナット51の移動に伴って伸縮する
際に、この通気孔16,17を介し、密閉空間の空気が
排気され、逆に密閉空間内に空気が吸気されるようにな
っている。更に、この通気孔16,17には、吸気され
る空気を清浄するためのミストセパレータ52及びフィ
ルタ53が配管31を介して接続されている。
3の両端部下方にそれぞれ通気孔16,17が形成され
ており、前記ジャバラ14,15によりそれぞれ形成さ
れた密閉空間が前記ナット51の移動に伴って伸縮する
際に、この通気孔16,17を介し、密閉空間の空気が
排気され、逆に密閉空間内に空気が吸気されるようにな
っている。更に、この通気孔16,17には、吸気され
る空気を清浄するためのミストセパレータ52及びフィ
ルタ53が配管31を介して接続されている。
【0006】以上の構成を備えた送り装置50による
と、駆動モータ21により駆動されてボールネジ13が
軸中心に回転し、ナット51及びテーブル11が案内面
10aに沿って、例えば図示左方向に移動すると、ジャ
バラ15が収縮される一方、ジャバラ14は伸長され
る。これにより、ジャバラ15内の空気は収縮に伴って
通気孔16から排気され、配管31及び通気孔17を介
してジャバラ14内に流入する。また、このときジャバ
ラ14の伸長によってその内部及び配管31が負圧にな
るため、ミストセパレータ52及びフィルタ53を通じ
て清浄された外部空気が配管31内に吸気され、これが
ジャバラ14内に流入する。逆に、ナット51及びテー
ブル11が図示右方向に移動すると、ジャバラ14が収
縮される一方、ジャバラ15は伸長され、ジャバラ14
内の空気が通気孔17から排気され、配管31及び通気
孔16を介してジャバラ15内に流入し、また、清浄さ
れた外部空気がジャバラ15内に流入する。尚、配管3
1内の気圧が外部よりも高い場合には、配管31内の空
気がミストセパレータ52及びフィルタ53を介して外
部に排気される。
と、駆動モータ21により駆動されてボールネジ13が
軸中心に回転し、ナット51及びテーブル11が案内面
10aに沿って、例えば図示左方向に移動すると、ジャ
バラ15が収縮される一方、ジャバラ14は伸長され
る。これにより、ジャバラ15内の空気は収縮に伴って
通気孔16から排気され、配管31及び通気孔17を介
してジャバラ14内に流入する。また、このときジャバ
ラ14の伸長によってその内部及び配管31が負圧にな
るため、ミストセパレータ52及びフィルタ53を通じ
て清浄された外部空気が配管31内に吸気され、これが
ジャバラ14内に流入する。逆に、ナット51及びテー
ブル11が図示右方向に移動すると、ジャバラ14が収
縮される一方、ジャバラ15は伸長され、ジャバラ14
内の空気が通気孔17から排気され、配管31及び通気
孔16を介してジャバラ15内に流入し、また、清浄さ
れた外部空気がジャバラ15内に流入する。尚、配管3
1内の気圧が外部よりも高い場合には、配管31内の空
気がミストセパレータ52及びフィルタ53を介して外
部に排気される。
【0007】斯くして、この送り装置50によると、ボ
ールネジ13がジャバラ14,15によって密閉状態に
包囲され、且つナット51及びテーブル11の移動に伴
ってジャバラ14,15が伸縮する際には、ミストセパ
レータ52及びフィルタ53を介して外部空気が吸気さ
れるので、例えば切削加工によって生じる切粉や粉塵な
どが、ボールネジ13に付着するのを防止することがで
き、ボールネジ13とナット51との間に切粉や粉塵な
どが噛み込んでこれらが損傷し、その送り精度が低下す
るといった問題が生じるのを未然に防止することができ
る。
ールネジ13がジャバラ14,15によって密閉状態に
包囲され、且つナット51及びテーブル11の移動に伴
ってジャバラ14,15が伸縮する際には、ミストセパ
レータ52及びフィルタ53を介して外部空気が吸気さ
れるので、例えば切削加工によって生じる切粉や粉塵な
どが、ボールネジ13に付着するのを防止することがで
き、ボールネジ13とナット51との間に切粉や粉塵な
どが噛み込んでこれらが損傷し、その送り精度が低下す
るといった問題が生じるのを未然に防止することができ
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
送り装置50を備えた工作機械の分野では、加工効率を
高めるべく、現在その高速化が進められており、送り装
置50についてもテーブル11をかなりの高速で移動さ
せるようになっている。また、被削材についても、鋼材
以外にカーボンを多く含んだものやセラミックなどが加
工素材となることも多く、かかる素材を加工することに
よって細かな粉塵が生じる機会が多くなっている。
送り装置50を備えた工作機械の分野では、加工効率を
高めるべく、現在その高速化が進められており、送り装
置50についてもテーブル11をかなりの高速で移動さ
せるようになっている。また、被削材についても、鋼材
以外にカーボンを多く含んだものやセラミックなどが加
工素材となることも多く、かかる素材を加工することに
よって細かな粉塵が生じる機会が多くなっている。
【0009】ところが、上述した送り装置50において
は、ジャバラ14,15の伸縮に伴う内部空気の移動が
その流路長の長い配管31を介して行われるので、テー
ブル11の高速移動に伴ってジャバラ14,15が高速
で伸縮する場合、配管31の管路抵抗から、前記内部空
気の移動がジャバラ14,15の伸縮に追随できなくな
り、また、ミストセパレータ52及びフィルタ53を介
して外部空気が吸気されるので、これが抵抗となり、例
えば、テーブル11が図示左側に移動する際には、ジャ
バラ14内がかなりの高圧となる一方、ジャバラ15内
はかなりの低圧となり、かかる圧力差によってテーブル
11の移動に伴うジャバラ14,15の伸縮動作が阻害
され、即ち、ジャバラ14は折り畳みに支障を生じてこ
れが変形する一方、ジャバラ15は伸長の際に潰れた状
態になって、ジャバラ14,15が所定の形状を維持で
きなくなり、伸縮の繰り返し動作によって最終的には破
損し、防塵作用が損なわれるといった問題を生じてい
た。
は、ジャバラ14,15の伸縮に伴う内部空気の移動が
その流路長の長い配管31を介して行われるので、テー
ブル11の高速移動に伴ってジャバラ14,15が高速
で伸縮する場合、配管31の管路抵抗から、前記内部空
気の移動がジャバラ14,15の伸縮に追随できなくな
り、また、ミストセパレータ52及びフィルタ53を介
して外部空気が吸気されるので、これが抵抗となり、例
えば、テーブル11が図示左側に移動する際には、ジャ
バラ14内がかなりの高圧となる一方、ジャバラ15内
はかなりの低圧となり、かかる圧力差によってテーブル
11の移動に伴うジャバラ14,15の伸縮動作が阻害
され、即ち、ジャバラ14は折り畳みに支障を生じてこ
れが変形する一方、ジャバラ15は伸長の際に潰れた状
態になって、ジャバラ14,15が所定の形状を維持で
きなくなり、伸縮の繰り返し動作によって最終的には破
損し、防塵作用が損なわれるといった問題を生じてい
た。
【0010】また、ジャバラ14,15内の空間を完全
な密閉空間にすることは困難であり、上記のようにテー
ブル11の高速移動によってジャバラ14,15内がか
なりの低圧になると、シール部分から粉塵などを含む外
気が流入するという問題もあった。
な密閉空間にすることは困難であり、上記のようにテー
ブル11の高速移動によってジャバラ14,15内がか
なりの低圧になると、シール部分から粉塵などを含む外
気が流入するという問題もあった。
【0011】本発明は、以上の実情に鑑みなされたもの
であり、ボールネジを防塵カバーにより密閉状態に包囲
した送り装置であって、その防塵性能を低下させること
なくテーブルを高速移動させることができる送り装置の
提供を目的とする。
であり、ボールネジを防塵カバーにより密閉状態に包囲
した送り装置であって、その防塵性能を低下させること
なくテーブルを高速移動させることができる送り装置の
提供を目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段及びその効果】上記課題を
解決するための本発明の請求項1に係る発明は、案内面
を備えた基台と、該基台の案内面上にこれに沿って移動
自在に配設された移動台と、該移動台に固設されたナッ
トと、該ナットに螺合し、前記案内面に沿って配設さ
れ、軸中心回転自在に前記基台に支持されたボールネジ
と、該ボールネジを軸中心に回転させる駆動モータと、
前記ボールネジの軸方向に伸縮自在に設けられ、前記ナ
ットの両側に露出された前記ボールネジをそれぞれ独立
して密閉状態に包囲する防塵カバーとを備えた送り装置
において、前記ボールネジの軸方向に沿った貫通孔を前
記ナットに形成し、前記防塵カバーによって形成された
両密閉空間を、前記貫通孔を介して連通せしめたことを
特徴とする。
解決するための本発明の請求項1に係る発明は、案内面
を備えた基台と、該基台の案内面上にこれに沿って移動
自在に配設された移動台と、該移動台に固設されたナッ
トと、該ナットに螺合し、前記案内面に沿って配設さ
れ、軸中心回転自在に前記基台に支持されたボールネジ
と、該ボールネジを軸中心に回転させる駆動モータと、
前記ボールネジの軸方向に伸縮自在に設けられ、前記ナ
ットの両側に露出された前記ボールネジをそれぞれ独立
して密閉状態に包囲する防塵カバーとを備えた送り装置
において、前記ボールネジの軸方向に沿った貫通孔を前
記ナットに形成し、前記防塵カバーによって形成された
両密閉空間を、前記貫通孔を介して連通せしめたことを
特徴とする。
【0013】この発明に係る送り装置によると、駆動モ
ータにより駆動されてボールネジが軸中心に回転する
と、ナット及び移動台が基台の案内面に沿って移動し、
ナットの両側においてそれぞれボールネジを包囲する防
塵カバーがナットの移動に伴って伸縮する。即ち、ナッ
トの移動方向の防塵カバーは収縮し、反対側の防塵カバ
ーは伸長する。その際、収縮する側の防塵カバー内の空
気は、ナットに形成された流路長の短い貫通孔を通り、
伸長する側の防塵カバー内に流入する。
ータにより駆動されてボールネジが軸中心に回転する
と、ナット及び移動台が基台の案内面に沿って移動し、
ナットの両側においてそれぞれボールネジを包囲する防
塵カバーがナットの移動に伴って伸縮する。即ち、ナッ
トの移動方向の防塵カバーは収縮し、反対側の防塵カバ
ーは伸長する。その際、収縮する側の防塵カバー内の空
気は、ナットに形成された流路長の短い貫通孔を通り、
伸長する側の防塵カバー内に流入する。
【0014】このように、この発明によれば、防塵カバ
ーの伸縮に伴う空気の移動が、ナットに形成された流路
長の短い、即ち管路抵抗の小さい貫通孔を介して行われ
るので、例え、移動台が高速で移動し、これに伴って防
塵カバーが高速で伸縮したとしても、かかる防塵カバー
の伸縮に対応してその内部空気の移動が極めてスムーズ
に行われる。このため、上述した従来例のように、防塵
カバー間の空気の移動が配管の管路抵抗によって阻害さ
れ、防塵カバーが円滑に動作することができなくなっ
て、最終的に破損し、その防塵作用が損なわれるといっ
た問題を生じることがない。したがって、防塵カバーの
形状を所定形状に保つことができるといった効果が奏さ
れる。
ーの伸縮に伴う空気の移動が、ナットに形成された流路
長の短い、即ち管路抵抗の小さい貫通孔を介して行われ
るので、例え、移動台が高速で移動し、これに伴って防
塵カバーが高速で伸縮したとしても、かかる防塵カバー
の伸縮に対応してその内部空気の移動が極めてスムーズ
に行われる。このため、上述した従来例のように、防塵
カバー間の空気の移動が配管の管路抵抗によって阻害さ
れ、防塵カバーが円滑に動作することができなくなっ
て、最終的に破損し、その防塵作用が損なわれるといっ
た問題を生じることがない。したがって、防塵カバーの
形状を所定形状に保つことができるといった効果が奏さ
れる。
【0015】また、請求項2に係る発明のように、案内
面を備えた基台と、該基台の案内面上にこれに沿って移
動自在に配設された移動台と、該移動台に回転自在に支
持されたボールネジと、前記基台に固設され、且つ前記
ボールネジに螺合したナットと、前記ボールネジを軸中
心に回転させる駆動モータと、前記ボールネジの軸方向
に伸縮自在に設けられ、前記ナットの両側に露出された
前記ボールネジをそれぞれ独立して密閉状態に包囲する
防塵カバーとを備えた送り装置においても同様に、前記
ボールネジの軸方向に沿った貫通孔を前記ナットに形成
し、前記防塵カバーによって形成された両密閉空間を、
前記貫通孔を介して連通せしめることで、上述した請求
項1の発明におけると同様の効果が奏される。
面を備えた基台と、該基台の案内面上にこれに沿って移
動自在に配設された移動台と、該移動台に回転自在に支
持されたボールネジと、前記基台に固設され、且つ前記
ボールネジに螺合したナットと、前記ボールネジを軸中
心に回転させる駆動モータと、前記ボールネジの軸方向
に伸縮自在に設けられ、前記ナットの両側に露出された
前記ボールネジをそれぞれ独立して密閉状態に包囲する
防塵カバーとを備えた送り装置においても同様に、前記
ボールネジの軸方向に沿った貫通孔を前記ナットに形成
し、前記防塵カバーによって形成された両密閉空間を、
前記貫通孔を介して連通せしめることで、上述した請求
項1の発明におけると同様の効果が奏される。
【0016】また、本発明の請求項3に係る発明は、上
記請求項1又は2の発明において、前記防塵カバーによ
って包囲された両密閉空間内に、圧縮空気を供給する圧
縮空気供給手段を設けたことを特徴とする。
記請求項1又は2の発明において、前記防塵カバーによ
って包囲された両密閉空間内に、圧縮空気を供給する圧
縮空気供給手段を設けたことを特徴とする。
【0017】上述したように、防塵カバー内の空間を完
全な密閉空間にすることは困難であり、このままで移動
台を高速で移動させると防塵カバー内が低圧になること
から、シール部分から防塵カバー内に粉塵などを含む外
気が流入するという問題がある。
全な密閉空間にすることは困難であり、このままで移動
台を高速で移動させると防塵カバー内が低圧になること
から、シール部分から防塵カバー内に粉塵などを含む外
気が流入するという問題がある。
【0018】本発明によれば、圧縮空気供給手段によっ
て供給される圧縮空気により、防塵カバー内を常に大気
圧以上に保つことができるので、前記シール部分からは
防塵カバー内の空気が流出される状態となる。したがっ
て、防塵カバー内への粉塵の侵入を確実に防止すること
ができる。また、供給される圧縮空気の気圧を適度に調
整することにより、防塵カバーの形状を更に良好に所定
形状に保つことができる。
て供給される圧縮空気により、防塵カバー内を常に大気
圧以上に保つことができるので、前記シール部分からは
防塵カバー内の空気が流出される状態となる。したがっ
て、防塵カバー内への粉塵の侵入を確実に防止すること
ができる。また、供給される圧縮空気の気圧を適度に調
整することにより、防塵カバーの形状を更に良好に所定
形状に保つことができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態
について添付図面に基づき説明する。尚、図1は本実施
形態に係る送り装置1を示している。同図に示すよう
に、この送り装置1は、そのナット12の構成が従来の
送り装置50におけるナット51のそれと異なり、ま
た、従来の送り装置50におけるミストセパレータ52
及びフィルタ53に代えて圧縮空気供給手段30を設け
た点が従来の送り装置50の構成と異なる。したがっ
て、従来の送り装置50における構成と同じ構成部分に
ついては同一の符号を付して、その詳しい説明を省略す
る。
について添付図面に基づき説明する。尚、図1は本実施
形態に係る送り装置1を示している。同図に示すよう
に、この送り装置1は、そのナット12の構成が従来の
送り装置50におけるナット51のそれと異なり、ま
た、従来の送り装置50におけるミストセパレータ52
及びフィルタ53に代えて圧縮空気供給手段30を設け
た点が従来の送り装置50の構成と異なる。したがっ
て、従来の送り装置50における構成と同じ構成部分に
ついては同一の符号を付して、その詳しい説明を省略す
る。
【0020】図2は、図1における図示左方向から視た
ナット12を示す側面図であり、図3は、図2における
矢視X−X方向の断面図であるが、これらの図に示すよ
うに、ナット12には、その基部12b側の端面とフラ
ンジ部12a側の端面に貫通する複数の貫通孔12cが
形成されており、ジャバラ14,15によってそれぞれ
形成された密閉空間がこの貫通孔12cを介して相互に
連通した状態となっている。
ナット12を示す側面図であり、図3は、図2における
矢視X−X方向の断面図であるが、これらの図に示すよ
うに、ナット12には、その基部12b側の端面とフラ
ンジ部12a側の端面に貫通する複数の貫通孔12cが
形成されており、ジャバラ14,15によってそれぞれ
形成された密閉空間がこの貫通孔12cを介して相互に
連通した状態となっている。
【0021】また、図1に示すように、前記圧縮空気供
給手段30は配管31を介して通気孔16,17に接続
されており、所定の圧力に昇圧した圧縮空気をこれら配
管31及び通気孔16,17を介してジャバラ14,1
5内に供給するようになっている。
給手段30は配管31を介して通気孔16,17に接続
されており、所定の圧力に昇圧した圧縮空気をこれら配
管31及び通気孔16,17を介してジャバラ14,1
5内に供給するようになっている。
【0022】以上の構成を備えた本例の送り装置1によ
ると、駆動モータ21によりボールネジ13が駆動され
その軸中心に回転すると、ナット12及びテーブル11
がベース10の案内面10aに沿って移動し、ナット1
2の両側においてそれぞれボールネジ13を包囲するジ
ャバラ14,15がナット12の移動に伴って伸縮す
る。即ち、ナット12及びテーブル11の移動方向のジ
ャバラ14,15は収縮し、反対側のジャバラ14,1
5は伸長する。その際、例えば、ジャバラ14が収縮
し、ジャバラ15が伸長するとすると、ジャバラ14内
の空気はナット12に形成された貫通孔12cを通って
ジャバラ15内に流入する。このように、この送り装置
1によると、ジャバラ14,15の伸縮に伴う空気の移
動が、ナット12に形成された貫通孔12cを介して行
われる。
ると、駆動モータ21によりボールネジ13が駆動され
その軸中心に回転すると、ナット12及びテーブル11
がベース10の案内面10aに沿って移動し、ナット1
2の両側においてそれぞれボールネジ13を包囲するジ
ャバラ14,15がナット12の移動に伴って伸縮す
る。即ち、ナット12及びテーブル11の移動方向のジ
ャバラ14,15は収縮し、反対側のジャバラ14,1
5は伸長する。その際、例えば、ジャバラ14が収縮
し、ジャバラ15が伸長するとすると、ジャバラ14内
の空気はナット12に形成された貫通孔12cを通って
ジャバラ15内に流入する。このように、この送り装置
1によると、ジャバラ14,15の伸縮に伴う空気の移
動が、ナット12に形成された貫通孔12cを介して行
われる。
【0023】この貫通孔12cは、上述した従来例に係
る送り装置50の配管31に比べて流路長が極めて短
く、その管路抵抗は極めて小さい。このため、例え、テ
ーブル11及びナット12が高速で移動し、これに伴っ
てジャバラ14,15が高速で伸縮したとしても、かか
るジャバラ14,15の伸縮に対応してその内部空気の
移動が極めてスムーズに行われる。このため、上述した
従来例に係る送り装置50のように、ジャバラ14,1
5間の空気の移動が配管31の管路抵抗によって阻害さ
れ、ジャバラ14,15が円滑に動作することができな
くなって、最終的に破損し、その防塵作用が損なわれる
といった問題を生じることがない。したがって、防塵カ
バー14,15の形状を所定形状に保つことができると
いった効果が奏される。
る送り装置50の配管31に比べて流路長が極めて短
く、その管路抵抗は極めて小さい。このため、例え、テ
ーブル11及びナット12が高速で移動し、これに伴っ
てジャバラ14,15が高速で伸縮したとしても、かか
るジャバラ14,15の伸縮に対応してその内部空気の
移動が極めてスムーズに行われる。このため、上述した
従来例に係る送り装置50のように、ジャバラ14,1
5間の空気の移動が配管31の管路抵抗によって阻害さ
れ、ジャバラ14,15が円滑に動作することができな
くなって、最終的に破損し、その防塵作用が損なわれる
といった問題を生じることがない。したがって、防塵カ
バー14,15の形状を所定形状に保つことができると
いった効果が奏される。
【0024】また、本例では、圧縮空気供給手段30に
よってジャバラ14,15内に圧縮空気を供給するよう
にしているので、ジャバラ14,15内を常に大気圧以
上に保つことができ、ジャバラ14,15によって形成
される密閉空間内の空気が当該密閉空間を形成するシー
ル部分から常に流出するようにすることができる。ジャ
バラ14,15内の空間を完全な密閉空間にすることは
困難であるが、このようにすることで、ジャバラ14,
15内に粉塵が侵入するのを確実に防止することができ
る。また、ジャバラ14,15内に供給される圧縮空気
の圧力を適度に調整することにより、ジャバラ14,1
5の形状を更に良好に所定形状に保つことが可能とな
る。
よってジャバラ14,15内に圧縮空気を供給するよう
にしているので、ジャバラ14,15内を常に大気圧以
上に保つことができ、ジャバラ14,15によって形成
される密閉空間内の空気が当該密閉空間を形成するシー
ル部分から常に流出するようにすることができる。ジャ
バラ14,15内の空間を完全な密閉空間にすることは
困難であるが、このようにすることで、ジャバラ14,
15内に粉塵が侵入するのを確実に防止することができ
る。また、ジャバラ14,15内に供給される圧縮空気
の圧力を適度に調整することにより、ジャバラ14,1
5の形状を更に良好に所定形状に保つことが可能とな
る。
【0025】尚、上記貫通孔12cの大きさやこれを設
ける個数は、図示のものに限られず、テーブル11の移
動速度、即ち、ジャバラ14,15の伸縮速度に応じた
内部空気の移動速度を考慮し、テーブル11の移動に支
障を来さないように適宜設定すればよい。
ける個数は、図示のものに限られず、テーブル11の移
動速度、即ち、ジャバラ14,15の伸縮速度に応じた
内部空気の移動速度を考慮し、テーブル11の移動に支
障を来さないように適宜設定すればよい。
【0026】以上、本発明の一実施形態について詳述し
たが、本発明の具体的な態様がこれに限られるものでな
いことは言うまでもない。例えば、上記実施形態におい
ては、テーブル11と共にナット12が移動する構成の
送り装置1を例示したが、テーブルと共にボールネジが
移動する構成の送り装置であっても良い。具体的には、
図4に示すように、テーブル42の下部に設けたサポー
トベアリング18,19によってボールネジ13を回転
自在に支持せしめると共に、カップリング20を介して
ボールネジ13とテーブル42に固設された駆動モータ
21とを連結し、ボールネジ13に螺合するナット12
をベース41上に固着した構成の送り装置40とするこ
とができる。
たが、本発明の具体的な態様がこれに限られるものでな
いことは言うまでもない。例えば、上記実施形態におい
ては、テーブル11と共にナット12が移動する構成の
送り装置1を例示したが、テーブルと共にボールネジが
移動する構成の送り装置であっても良い。具体的には、
図4に示すように、テーブル42の下部に設けたサポー
トベアリング18,19によってボールネジ13を回転
自在に支持せしめると共に、カップリング20を介して
ボールネジ13とテーブル42に固設された駆動モータ
21とを連結し、ボールネジ13に螺合するナット12
をベース41上に固着した構成の送り装置40とするこ
とができる。
【0027】尚、この場合、テーブル42の下部に、ジ
ャバラ14,15内とそれぞれ連通する通気孔44,4
3が形成され、この通気孔43,44には、前記圧縮空
気供給手段30に接続されたフレキシブルチューブから
なる配管45がそれぞれ接続される。
ャバラ14,15内とそれぞれ連通する通気孔44,4
3が形成され、この通気孔43,44には、前記圧縮空
気供給手段30に接続されたフレキシブルチューブから
なる配管45がそれぞれ接続される。
【0028】この送り装置40によれば、駆動モータ2
1によりボールネジ13が駆動されその軸中心に回転す
ると、当該ボールネジ13及びテーブル42がベース4
1の案内面41aに沿って移動し、ナット12の両側に
おいてそれぞれボールネジ13を包囲するジャバラ1
4,15がテーブル42の移動に伴って伸縮し、ジャバ
ラ14,15の伸縮に伴う空気の移動が、ナット12に
形成された貫通孔12cを介して行われる。そして、ジ
ャバラ14,15内には、圧縮空気供給手段30から所
定圧の圧縮空気が供給される。斯くして、この送り装置
40においても上述した送り装置1におけると同様の効
果が奏される。
1によりボールネジ13が駆動されその軸中心に回転す
ると、当該ボールネジ13及びテーブル42がベース4
1の案内面41aに沿って移動し、ナット12の両側に
おいてそれぞれボールネジ13を包囲するジャバラ1
4,15がテーブル42の移動に伴って伸縮し、ジャバ
ラ14,15の伸縮に伴う空気の移動が、ナット12に
形成された貫通孔12cを介して行われる。そして、ジ
ャバラ14,15内には、圧縮空気供給手段30から所
定圧の圧縮空気が供給される。斯くして、この送り装置
40においても上述した送り装置1におけると同様の効
果が奏される。
【図1】本発明の一実施形態に係る送り装置を示す断面
図である。
図である。
【図2】図1における図示左方向から視たナットを示す
側面図である。
側面図である。
【図3】図2における矢視X―X方向の断面図である。
【図4】本発明の他の実施形態に係る送り装置を示す断
面図である。
面図である。
【図5】従来の送り装置を示す断面図である。
1,40 送り装置 10,41 ベース 11,42 テーブル 12 ナット 12a フランジ部 12b 基部 12c 貫通孔 13 ボールネジ 14,15 ジャバラ(防塵カバー) 16,17,43,44 通気孔 30 圧縮空気供給手段 31,45 配管
Claims (3)
- 【請求項1】 案内面を備えた基台と、該基台の案内面
上にこれに沿って移動自在に配設された移動台と、該移
動台に固設されたナットと、該ナットに螺合し、前記案
内面に沿って配設され、軸中心回転自在に前記基台に支
持されたボールネジと、該ボールネジを軸中心に回転さ
せる駆動モータと、前記ボールネジの軸方向に伸縮自在
に設けられ、前記ナットの両側に露出された前記ボール
ネジをそれぞれ独立して密閉状態に包囲する防塵カバー
とを備えた送り装置において、 前記ボールネジの軸方向に沿った貫通孔を前記ナットに
形成し、前記防塵カバーによって形成された両密閉空間
を、前記貫通孔を介して連通せしめたことを特徴とする
送り装置。 - 【請求項2】 案内面を備えた基台と、該基台の案内面
上にこれに沿って移動自在に配設された移動台と、該移
動台に回転自在に支持されたボールネジと、前記基台に
固設され、且つ前記ボールネジに螺合したナットと、前
記ボールネジを軸中心に回転させる駆動モータと、前記
ボールネジの軸方向に伸縮自在に設けられ、前記ナット
の両側に露出された前記ボールネジをそれぞれ独立して
密閉状態に包囲する防塵カバーとを備えた送り装置にお
いて、 前記ボールネジの軸方向に沿った貫通孔を前記ナットに
形成し、前記防塵カバーによって形成された両密閉空間
を、前記貫通孔を介して連通せしめたことを特徴とする
送り装置。 - 【請求項3】 前記防塵カバーによって包囲された両密
閉空間内に、圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段を備
えたことを特徴とする請求項1又は2記載の送り装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000118011A JP2001300832A (ja) | 2000-04-19 | 2000-04-19 | 送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000118011A JP2001300832A (ja) | 2000-04-19 | 2000-04-19 | 送り装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001300832A true JP2001300832A (ja) | 2001-10-30 |
Family
ID=18629226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000118011A Withdrawn JP2001300832A (ja) | 2000-04-19 | 2000-04-19 | 送り装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001300832A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002126970A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-08 | Nagase Integrex Co Ltd | 工作機械 |
JP2007253310A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-04 | Tdk Corp | ガイド装置及び研削装置並びにそれを用いた希土類金属磁石の加工方法 |
JP2008149384A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Toshiba Mach Co Ltd | 伸縮式防塵カバー付き移動台装置 |
JP2011104716A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Mitsubishi Electric Corp | 送り装置 |
CN102233621A (zh) * | 2010-04-20 | 2011-11-09 | 株式会社迪思科 | 滚珠丝杠保护折皱机构 |
CN102248431A (zh) * | 2010-05-19 | 2011-11-23 | 发那科株式会社 | 机床的进给装置 |
US9124151B2 (en) | 2012-04-16 | 2015-09-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus, exposure apparatus, and method of manufacturing article |
-
2000
- 2000-04-19 JP JP2000118011A patent/JP2001300832A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102248431A (zh) * | 2010-05-19 | 2011-11-23 | 发那科株式会社 | 机床的进给装置 |
DE102011000888A1 (de) | 2010-05-19 | 2011-11-24 | Fanuc Corporation | Ladevorrichtung für eine Werkzeugmaschine |
JP2011240447A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Fanuc Ltd | 工作機械の送り装置 |
US8429997B2 (en) | 2010-05-19 | 2013-04-30 | Fanuc Corporation | Feeder for machine tool |
US9124151B2 (en) | 2012-04-16 | 2015-09-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus, exposure apparatus, and method of manufacturing article |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070703 |