JPH01240291A - ロボット - Google Patents
ロボットInfo
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- JPH01240291A JPH01240291A JP63067631A JP6763188A JPH01240291A JP H01240291 A JPH01240291 A JP H01240291A JP 63067631 A JP63067631 A JP 63067631A JP 6763188 A JP6763188 A JP 6763188A JP H01240291 A JPH01240291 A JP H01240291A
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- JP
- Japan
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- arm
- joint
- robot
- arm portions
- fan
- Prior art date
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- Pending
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
- B25J19/0079—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa using an internal pressure system
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J21/00—Chambers provided with manipulation devices
- B25J21/005—Clean rooms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/046—Revolute coordinate type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
- Y10T74/20317—Robotic arm including electric motor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明はロボットに関し、特にクリーンルーム用として
好適な例えば6軸の垂直多関節ロボットに関するもので
ある。
好適な例えば6軸の垂直多関節ロボットに関するもので
ある。
口、従来技術
半導体技術を駆使したIC(集積回路)が高性能化、高
集積化の要求に応えるためには、半導体装置を製造する
過程で特にゴミや塵埃等の不純物の混入を可能な限り防
止し、半導体を高純度に保持して処理しなければならな
い。 このために従来、クリーンルーム内で半導体の処
理を人間ではなくロボットに行わせることが注目され、
現に実現されている。
集積化の要求に応えるためには、半導体装置を製造する
過程で特にゴミや塵埃等の不純物の混入を可能な限り防
止し、半導体を高純度に保持して処理しなければならな
い。 このために従来、クリーンルーム内で半導体の処
理を人間ではなくロボットに行わせることが注目され、
現に実現されている。
このようなりリーンルーム用ロボットにおいて、そのア
ーム部内に微粒子が発生し易いが、これを排出するため
に工場内に設置されているバキューム管等を用い、アー
ム部内の微粒子をそのままアーム部外へ強制的に流出さ
せている。 しかしながら、そうした排出機構では、ロ
ボットの関節の周りの可動部においてアーム部の外側に
吸引用の配管をはわせる必要があるため、却ってロボッ
ト外で微粒子を発生させる原因になる。 しかも、上記
の如きバキューム等を使用したものは、ロボットアーム
部自体の伸縮性又は可動性を妨げることにもなる。
ーム部内に微粒子が発生し易いが、これを排出するため
に工場内に設置されているバキューム管等を用い、アー
ム部内の微粒子をそのままアーム部外へ強制的に流出さ
せている。 しかしながら、そうした排出機構では、ロ
ボットの関節の周りの可動部においてアーム部の外側に
吸引用の配管をはわせる必要があるため、却ってロボッ
ト外で微粒子を発生させる原因になる。 しかも、上記
の如きバキューム等を使用したものは、ロボットアーム
部自体の伸縮性又は可動性を妨げることにもなる。
ハ0発明の目的
本発明の目的は、ロボソ1〜のクリーン度を高め、かつ
ロボット機能も向上させることのできる構造のロボット
を提供することにある。
ロボット機能も向上させることのできる構造のロボット
を提供することにある。
ニ1発明の構成
即ち、本発明は、アーム部内を通して気体を導びくため
の穴がアーム部間のジヨイントに設けられ、こ冶〃の穴
を通じて前記アーム部内の微粒子を前記気体の流れと共
に外部へ排出する排出手段を有しているロボットに係る
ものである。
の穴がアーム部間のジヨイントに設けられ、こ冶〃の穴
を通じて前記アーム部内の微粒子を前記気体の流れと共
に外部へ排出する排出手段を有しているロボットに係る
ものである。
ポ、実施例
以下、本発明の詳細な説明する。
第1図〜第7図は、本発明を6軸の垂直多関節ロボソI
・に適用した実施例を示すものである。
・に適用した実施例を示すものである。
第1Mは本実施例によるロボットの平面図、第3図は同
ロポノl−の正面図であるが、まずこのロボソI・の各
アーム部に関連したジヨイントについて説明する。
ロポノl−の正面図であるが、まずこのロボソI・の各
アーム部に関連したジヨイントについて説明する。
第1のジヨイント、Jlにおいては、エンコーダE (
Jl)を有するモーターM(Jl)によって、ハーモニ
・7クドライブHD(Jl>を介して出力軸2 (Jl
)が水平回転駆動される。 このジョイン)Jl 自
体はほぼ垂直に固定され、出力軸2(Jl)とモーター
M (Jl )とはタイミングヘルドTB(Jl)を介
して連結されている。
Jl)を有するモーターM(Jl)によって、ハーモニ
・7クドライブHD(Jl>を介して出力軸2 (Jl
)が水平回転駆動される。 このジョイン)Jl 自
体はほぼ垂直に固定され、出力軸2(Jl)とモーター
M (Jl )とはタイミングヘルドTB(Jl)を介
して連結されている。
第2のジヨイントJ2は、エンコーダE(JZ)付きの
モーターM(JZ)の駆動力がブレーキB(JZ)付き
の回転軸10(JZ)、タイミングプーリーTPI(J
Z)、、タイミングベルトTB(JZ)、タイミングプ
ーリーTP、(JZ)、ハーモニックドライブHD (
JZ) を介して出力軸2(、JZ)に伝達される。
この出力軸2(JZ)は垂直面に沿って回転駆動せしめ
られる。 このジヨイントJ2では、後述する垂直面に
沿った回転を行う出力軸のあるジヨイントも同様である
が、アーム部1(JZ)側の出力軸2(、JZ)とは反
対側にハーモニックドライブHD(、JZ)の入力軸1
1 (JZ)が配され、この入力軸11(JZ)とモー
ターM (JZ)の回転軸10(JZ)とが駆動伝達手
段としてのプーリーTP+ (JZ ) 、へ7L/
)TB(JZ)及びプーリーTP2 (JZ )によ
って間接的に連結されている。 なお、図中の1(JZ
)はジヨイントJ2の出力軸2(JZ)で垂直回転され
るアーム部である。
モーターM(JZ)の駆動力がブレーキB(JZ)付き
の回転軸10(JZ)、タイミングプーリーTPI(J
Z)、、タイミングベルトTB(JZ)、タイミングプ
ーリーTP、(JZ)、ハーモニックドライブHD (
JZ) を介して出力軸2(、JZ)に伝達される。
この出力軸2(JZ)は垂直面に沿って回転駆動せしめ
られる。 このジヨイントJ2では、後述する垂直面に
沿った回転を行う出力軸のあるジヨイントも同様である
が、アーム部1(JZ)側の出力軸2(、JZ)とは反
対側にハーモニックドライブHD(、JZ)の入力軸1
1 (JZ)が配され、この入力軸11(JZ)とモー
ターM (JZ)の回転軸10(JZ)とが駆動伝達手
段としてのプーリーTP+ (JZ ) 、へ7L/
)TB(JZ)及びプーリーTP2 (JZ )によ
って間接的に連結されている。 なお、図中の1(JZ
)はジヨイントJ2の出力軸2(JZ)で垂直回転され
るアーム部である。
第3のジヨイント、J3においては、エンコーダE (
、Ll )付きのモーターM(、J:l)の回転軸10
(、J3)はタイミングブー’) TP+ (J:
+)、タイミングヘルドTBI (Jz ) 、タイ
ミングプーリーTPz (J:+ ) 、ブレーキB
(J3)付きの回転軸12(J、)、タイミングプーリ
ーTP3(J3 ) 、タイミングベルトTB2(J3
)、タイミングブーリーTP4 (J3 ) 、タイ
ミングプーリーTP5 (J、J)、タイミングブーl
−T B 、。
、Ll )付きのモーターM(、J:l)の回転軸10
(、J3)はタイミングブー’) TP+ (J:
+)、タイミングヘルドTBI (Jz ) 、タイ
ミングプーリーTPz (J:+ ) 、ブレーキB
(J3)付きの回転軸12(J、)、タイミングプーリ
ーTP3(J3 ) 、タイミングベルトTB2(J3
)、タイミングブーリーTP4 (J3 ) 、タイ
ミングプーリーTP5 (J、J)、タイミングブーl
−T B 、。
(J3 ) 、タイミングプーリーTP6(J:l)、
タイミングブーリ−TPT (J:l ) 、タイミ
ングベルトTB4 (、Ji ’) 、タイミングプ
ーリーT P a(J、)を介してハーモニックドライ
ブHD(J3)の入力軸11 (J3)に連結されてい
る。 そして、ハーモニックドライブHD(J3)によ
ってアーム部1(J3)側の出力軸2(J、l)は垂直
面に沿って回転せしめられ、これに伴ってアーム部1(
J3)が回転せしめられる。
タイミングブーリ−TPT (J:l ) 、タイミ
ングベルトTB4 (、Ji ’) 、タイミングプ
ーリーT P a(J、)を介してハーモニックドライ
ブHD(J3)の入力軸11 (J3)に連結されてい
る。 そして、ハーモニックドライブHD(J3)によ
ってアーム部1(J3)側の出力軸2(J、l)は垂直
面に沿って回転せしめられ、これに伴ってアーム部1(
J3)が回転せしめられる。
第4のジヨイントJ4においては、エンコーダE(、J
4)付きのモーターM(J4)の回転軸10(J4)は
タイミングプーリーTPI(J4)、タイミングヘルド
TB1 (J4)、タイミングプーリーTP2(J4)
、ブレーキB(J4)付きの回転軸12(J、)、タイ
ミングプーリーTP3(J、) 、タイミングベルトT
B2 (J4 ) 、タイミングプーリーTP、 (
J4)、タイミングプーリーTP、(J4)、タイミン
グヘルドTB。
4)付きのモーターM(J4)の回転軸10(J4)は
タイミングプーリーTPI(J4)、タイミングヘルド
TB1 (J4)、タイミングプーリーTP2(J4)
、ブレーキB(J4)付きの回転軸12(J、)、タイ
ミングプーリーTP3(J、) 、タイミングベルトT
B2 (J4 ) 、タイミングプーリーTP、 (
J4)、タイミングプーリーTP、(J4)、タイミン
グヘルドTB。
(J4 ) 、タイミングプーリーTPb CJa
)、タイミングプーリーTP?(J4)、タイミングヘ
ルドTB4 (J4)、タイミングプーリーTP。
)、タイミングプーリーTP?(J4)、タイミングヘ
ルドTB4 (J4)、タイミングプーリーTP。
(J4 ) 、ヘヘルギャBG(J4)を介して、ハー
モニックドライブHD (J4’)の入力軸11(J4
)に連結されている。 ハーモニックドライブHD(J
、)を介し、出力軸2(J4)が垂直面に沿って回転せ
しめられる。
モニックドライブHD (J4’)の入力軸11(J4
)に連結されている。 ハーモニックドライブHD(J
、)を介し、出力軸2(J4)が垂直面に沿って回転せ
しめられる。
第5のジヨイントJ、によれば、エンコーダE(J5)
付きのモーターM(JS)の回転軸10(J5)は一方
では、タイミングプーリーTP。
付きのモーターM(JS)の回転軸10(J5)は一方
では、タイミングプーリーTP。
(Js’) 、タイミングヘルドTI3+ (Js
) 、タイミングプーリーTP2 (J5)を介して
プレーギB(JS)に連結されている。 また他方では
、回転軸10(J、、)はタイミングプーリーTP。
) 、タイミングプーリーTP2 (J5)を介して
プレーギB(JS)に連結されている。 また他方では
、回転軸10(J、、)はタイミングプーリーTP。
(Js’)、タイミングヘル+−TB2 (JS >
、タイミングプーリーTP4 (JS )を介して、
ノ\−モニソクドライブHD(JS)の入力軸11(J
s)に連結されている。 ハーモニックドライブHD(
J、)の出力軸2(JS)によって、アーム部1(、J
S)は垂直面に沿って回転せしめられる。
、タイミングプーリーTP4 (JS )を介して、
ノ\−モニソクドライブHD(JS)の入力軸11(J
s)に連結されている。 ハーモニックドライブHD(
J、)の出力軸2(JS)によって、アーム部1(、J
S)は垂直面に沿って回転せしめられる。
第6のジヨイントJ6では、エンコーダE(J6)付き
のモーターM (Jl、 )の回転軸10(J6)はタ
イミングプーリーTP1 (J6)、タイミングヘルド
TB、 (J6) 、タイミングプーリーTP2(J
l、 ) 、ヘベルギヤBG (J6 )を介して、ノ
\−モニノクドライブHD(J6)の出力軸11(J6
)に連結されている。 そして、出力軸2(J6)は垂
直面に沿って回転せしめられ、最終出力軸として機能す
る。
のモーターM (Jl、 )の回転軸10(J6)はタ
イミングプーリーTP1 (J6)、タイミングヘルド
TB、 (J6) 、タイミングプーリーTP2(J
l、 ) 、ヘベルギヤBG (J6 )を介して、ノ
\−モニノクドライブHD(J6)の出力軸11(J6
)に連結されている。 そして、出力軸2(J6)は垂
直面に沿って回転せしめられ、最終出力軸として機能す
る。
本実施例においては、上記した6つの各ジヨイントJ+
〜J6を具体的には、第1図及び第3図に示す如くに
組合わせて、例えばクリーンルーム用の垂直多関節ロホ
ソ1へを構成している。 第7図には、その組合わせの
概略を示している。 ここで図中、各ジョイン1へに関
連した出力軸側の各アーム部を1 (Jl )、1
(J2)、1 (J3)、1 (J4)、1
(JS)として表している。 また、第3ジヨイントJ
3と第4ジヨイントJ4とは一ヒ下方向に一部分が重な
り合っている。 また、このロボットのM面左端位置に
は、全体のバランスをとるためのカウンターウェイトC
Wが設置されている。 なお、各モーターM (Jl
)〜M(J6)は夫々、独立して作動させて〆よいし、
或いはタイミングをとって連動させてもよい。
〜J6を具体的には、第1図及び第3図に示す如くに
組合わせて、例えばクリーンルーム用の垂直多関節ロホ
ソ1へを構成している。 第7図には、その組合わせの
概略を示している。 ここで図中、各ジョイン1へに関
連した出力軸側の各アーム部を1 (Jl )、1
(J2)、1 (J3)、1 (J4)、1
(JS)として表している。 また、第3ジヨイントJ
3と第4ジヨイントJ4とは一ヒ下方向に一部分が重な
り合っている。 また、このロボットのM面左端位置に
は、全体のバランスをとるためのカウンターウェイトC
Wが設置されている。 なお、各モーターM (Jl
)〜M(J6)は夫々、独立して作動させて〆よいし、
或いはタイミングをとって連動させてもよい。
以上に説明した本実施例によるクリーンルーム用多関節
ロボットにおいて、注目すべき構成は、各アーム部間の
ジヨイントに■、■、■、■で示すエア通過穴が夫々形
成され、これらの穴を通してロボットアーム部内を通し
たエアの流れAFを一点鎖線のように生ぜしめ、このエ
ア流に乗せてアーム部内の微粒子を外部へ排出している
ことである。
ロボットにおいて、注目すべき構成は、各アーム部間の
ジヨイントに■、■、■、■で示すエア通過穴が夫々形
成され、これらの穴を通してロボットアーム部内を通し
たエアの流れAFを一点鎖線のように生ぜしめ、このエ
ア流に乗せてアーム部内の微粒子を外部へ排出している
ことである。
第2図には、ジョイン1−JSにおけるエア通過穴のを
拡大して示したが、アーム部1(JS)−1(J、)間
のジヨイントJ5において、アーム部1(JS)外から
取り込まれたエアAFはヘベルギヤBG(J6)のシャ
フトの周囲を通って、ジヨイントJsの出力軸2(Js
)貫通した通過穴■に至り、ここからアーム部1(J4
’)内へ入る。 第1図中の■、■、第3図中の■も上
記の■と同様のエア通過穴として形成されているので、
エア流AFはアーム部1(J4)から1(J3)−1(
J2)−1(J、’)へと順次送り込まれ、最終的には
モータM (Jl )の周囲からヘ−スBのファン■に
達し、このファンによって外部へ排出される。
拡大して示したが、アーム部1(JS)−1(J、)間
のジヨイントJ5において、アーム部1(JS)外から
取り込まれたエアAFはヘベルギヤBG(J6)のシャ
フトの周囲を通って、ジヨイントJsの出力軸2(Js
)貫通した通過穴■に至り、ここからアーム部1(J4
’)内へ入る。 第1図中の■、■、第3図中の■も上
記の■と同様のエア通過穴として形成されているので、
エア流AFはアーム部1(J4)から1(J3)−1(
J2)−1(J、’)へと順次送り込まれ、最終的には
モータM (Jl )の周囲からヘ−スBのファン■に
達し、このファンによって外部へ排出される。
従って、ファン■の作動によって、ロボットアーム部内
の全体が負圧となり、これに伴なって上記のエア流AF
が各ジヨイントの通過穴を通して生じるので、アーム部
内でジヨイント部及びベルト等により生じた微粒子はす
べてアーム部内から外部ダクトへと効果的に排出するこ
とができ、口ポットのクリーン度を高めることができる
。 これに対し従来の方法では、アーム部外へ微粒子
を吸引した直後に落下環によりアーム部上及び半導体製
品上に蓄積したり、−或いはクリーンルーム内にまき散
らず恐れがあるが、本実施例ではそのようなことは防止
できる。 なお、本実施例による上記排出機構では、フ
ァン■以tLの吸引経路は既存のバキューム設備を用い
てよいし、或いは既存のダウンフローに乗せてもよいが
、いずれにしてもファン■による微粒子排出時に粒子か
まい上ることはない。
の全体が負圧となり、これに伴なって上記のエア流AF
が各ジヨイントの通過穴を通して生じるので、アーム部
内でジヨイント部及びベルト等により生じた微粒子はす
べてアーム部内から外部ダクトへと効果的に排出するこ
とができ、口ポットのクリーン度を高めることができる
。 これに対し従来の方法では、アーム部外へ微粒子
を吸引した直後に落下環によりアーム部上及び半導体製
品上に蓄積したり、−或いはクリーンルーム内にまき散
らず恐れがあるが、本実施例ではそのようなことは防止
できる。 なお、本実施例による上記排出機構では、フ
ァン■以tLの吸引経路は既存のバキューム設備を用い
てよいし、或いは既存のダウンフローに乗せてもよいが
、いずれにしてもファン■による微粒子排出時に粒子か
まい上ることはない。
本実施例のロボットは、アーム部内の微粒子を効果的に
排出できるようにしたので、特にジヨイントJ1..J
2に関する配線ケーブルをアーム部内に通しても差し支
えない。 即ち、第5図及び第6図には、ジヨイントJ
+ と、J2の出力軸2(Jl )、2 (J2 )
の周りには配線ケーブル■を配置しているが、各ケー
ブル間の摩擦等で生した微粒子も上記したエア流AFに
乗ってファン■側へと導びくことができる。 しかも
この場合、各ケーブル■は図示の如きカール特性(Aの
部分)をもたせ、下端はジヨイントJ1のフレーム部F
に固定し、上端は出力軸2 (Jl )の穴Cを通し
て出力軸2(Jz)に固定金具りによって固定をしてい
る。 カール部Aは、隣接するケーブル間では上下に位
置を交互にずらせるようにしている。
排出できるようにしたので、特にジヨイントJ1..J
2に関する配線ケーブルをアーム部内に通しても差し支
えない。 即ち、第5図及び第6図には、ジヨイントJ
+ と、J2の出力軸2(Jl )、2 (J2 )
の周りには配線ケーブル■を配置しているが、各ケー
ブル間の摩擦等で生した微粒子も上記したエア流AFに
乗ってファン■側へと導びくことができる。 しかも
この場合、各ケーブル■は図示の如きカール特性(Aの
部分)をもたせ、下端はジヨイントJ1のフレーム部F
に固定し、上端は出力軸2 (Jl )の穴Cを通し
て出力軸2(Jz)に固定金具りによって固定をしてい
る。 カール部Aは、隣接するケーブル間では上下に位
置を交互にずらせるようにしている。
このようにすれば、アーム部作動時にケーブル■がアー
ム部内で互いに擦れ合うことが少なくなり、カール部へ
により常にケーブルが緊張せしめられていて軸2 (
Jl )に対しても干渉することも少なくなるから、ケ
ーブル■に原因する微粒子の発生を非常に僅かに抑える
ことができる。 これは、出力軸2 (Jl )やフ
レームFの表面にフッ素系樹脂をコーティングしておけ
ば、更に減少させることができる。 また、ケーブル■
がアーム部内に通されていることから、外部での引き回
しは不要となり、かつそれによる悪影響を防くこともで
きる。
ム部内で互いに擦れ合うことが少なくなり、カール部へ
により常にケーブルが緊張せしめられていて軸2 (
Jl )に対しても干渉することも少なくなるから、ケ
ーブル■に原因する微粒子の発生を非常に僅かに抑える
ことができる。 これは、出力軸2 (Jl )やフ
レームFの表面にフッ素系樹脂をコーティングしておけ
ば、更に減少させることができる。 また、ケーブル■
がアーム部内に通されていることから、外部での引き回
しは不要となり、かつそれによる悪影響を防くこともで
きる。
また、本実施例では、例えば第4図に示すように、ベル
トやプーリー等の側面を覆うカバー12を固定するに際
し、その気密性を保持すべくウレタンゴム等のパツキン
13を介してカバー12を固定している(図中の14は
ビス孔である。)。 従って、アーム部(ここでは1(
J2))内で発生した微粒子はロボット外へは漏出する
ことなく上述のエア流AFのみによって排出することが
できる。
トやプーリー等の側面を覆うカバー12を固定するに際
し、その気密性を保持すべくウレタンゴム等のパツキン
13を介してカバー12を固定している(図中の14は
ビス孔である。)。 従って、アーム部(ここでは1(
J2))内で発生した微粒子はロボット外へは漏出する
ことなく上述のエア流AFのみによって排出することが
できる。
こうした気密シール構造は他の箇所にも同様に適用でき
、例えば上記のモータM (Jl )やM (J5 )
等の周辺域にあるカバーも同様に構成してよい。
、例えば上記のモータM (Jl )やM (J5 )
等の周辺域にあるカバーも同様に構成してよい。
なお、上記したへヘルギャ、モーター、ヘルド等から発
生ずる微粒子の処理の方法として、上記の内部に設けた
穴のかわりに〜チューブを外部へ設ける等によって工場
内に設置されているバキューム及びファン等によって内
部で発生した微粒子を排出することも考えられる。 但
し、この場合、チューブが曲げられ、又はひっばられる
等によって、かえって微粒子を増すような環境になりか
ねない。
生ずる微粒子の処理の方法として、上記の内部に設けた
穴のかわりに〜チューブを外部へ設ける等によって工場
内に設置されているバキューム及びファン等によって内
部で発生した微粒子を排出することも考えられる。 但
し、この場合、チューブが曲げられ、又はひっばられる
等によって、かえって微粒子を増すような環境になりか
ねない。
また、本実施例のロボットによれば、各出力軸のすべて
にハーモニックドライブを用いているため、パンクラッ
シュをなくし、位置決め精度を向上させることができる
。 但し、一部にへヘルギャBG (J4) 、BG
(J6)を使用しているが、これは各ハーモニックドラ
イブHD (J4 )、HD CJb )の入力端で用
いているので、精度が良好に保持され、問題は生じない
。 ハーモニックドライブを夫々用いていることは、減
速比を大きくとることができ、従って、同しペイロード
(可搬重量)に対してモーターのパワーを小さくでき、
この分ロボットの重量自体を軽減可能となる。
にハーモニックドライブを用いているため、パンクラッ
シュをなくし、位置決め精度を向上させることができる
。 但し、一部にへヘルギャBG (J4) 、BG
(J6)を使用しているが、これは各ハーモニックドラ
イブHD (J4 )、HD CJb )の入力端で用
いているので、精度が良好に保持され、問題は生じない
。 ハーモニックドライブを夫々用いていることは、減
速比を大きくとることができ、従って、同しペイロード
(可搬重量)に対してモーターのパワーを小さくでき、
この分ロボットの重量自体を軽減可能となる。
また、これまで考えられたロボットではモーター自体の
重量も負荷トルクとして計算に入れていたが、本実施例
ではそれが不要となることである。
重量も負荷トルクとして計算に入れていたが、本実施例
ではそれが不要となることである。
即ち、出力軸とは反対側にハーモニックドライブの入力
軸を配し、これに対し別位置のモーターの駆動力をタイ
ミングヘルドを介して伝達しているので、ハーモニック
ドライブと千〜ターとを引き離すことができ、モーター
の重量を考慮することなくモーターのトルクの計算が可
能となる。 しく13) かも、駆動に使用するモーターやブレーキ等の重量物を
駆動されるアーム部よりロボット支柱側(即ち、アーム
部の回転軸の反対側)へ寄せること、従って重量を両側
へ分配することができるから、モーターのトルクを小さ
くできるだけでなく、カウンターウェイトCW(第1図
、第3図参照)を軽量化若しくは省略することができ、
これによってロボット全体の総重量も軽減し、移動ロボ
ットとしても好適である。 また、慣性力が減少し、ブ
レーキをかけた場合にすくにアーム部の作動を停止する
ことができ、動作の迅速化、正確化に有利である。 加
えて、バランスが良く軽量であることから、電源をオフ
してもアーム部が倒れにくい。
軸を配し、これに対し別位置のモーターの駆動力をタイ
ミングヘルドを介して伝達しているので、ハーモニック
ドライブと千〜ターとを引き離すことができ、モーター
の重量を考慮することなくモーターのトルクの計算が可
能となる。 しく13) かも、駆動に使用するモーターやブレーキ等の重量物を
駆動されるアーム部よりロボット支柱側(即ち、アーム
部の回転軸の反対側)へ寄せること、従って重量を両側
へ分配することができるから、モーターのトルクを小さ
くできるだけでなく、カウンターウェイトCW(第1図
、第3図参照)を軽量化若しくは省略することができ、
これによってロボット全体の総重量も軽減し、移動ロボ
ットとしても好適である。 また、慣性力が減少し、ブ
レーキをかけた場合にすくにアーム部の作動を停止する
ことができ、動作の迅速化、正確化に有利である。 加
えて、バランスが良く軽量であることから、電源をオフ
してもアーム部が倒れにくい。
以上、本発明を例示したが、上述の実施例は本発明の技
術的思想に基づいて更に変形が可能である。
術的思想に基づいて更に変形が可能である。
例えば、上述したエア通過穴の位置、個数、更には排出
手段(ファン等)も種々変更してよいし、上述した各ア
ーム部又はジヨイントの構造をはしく14) め、動力伝達手段、各部材の種類、配置等は種々変更し
てよい。 また、ロボットは上述の垂直多関節タイプだ
けでなく、水平多関節ロボットとして構成しても、本発
明を適用することができる。
手段(ファン等)も種々変更してよいし、上述した各ア
ーム部又はジヨイントの構造をはしく14) め、動力伝達手段、各部材の種類、配置等は種々変更し
てよい。 また、ロボットは上述の垂直多関節タイプだ
けでなく、水平多関節ロボットとして構成しても、本発
明を適用することができる。
へ3発明の作用効果
本発明は上述した如く、アーム部内の微粒子をジヨイン
トの穴を通して外部へ排出しているので、アーム部内の
微粒子をまき散らす等なしに効果的に排出し、クリーン
度を高めることができる。
トの穴を通して外部へ排出しているので、アーム部内の
微粒子をまき散らす等なしに効果的に排出し、クリーン
度を高めることができる。
また、ロボ・7ト外部での配線、配管等の引き回しも減
らせ、ロボットの機能も良好にできる。
らせ、ロボットの機能も良好にできる。
第1図〜第7図は本発明を6軸の垂直多関節ロボットに
適用した実施例を示すものであって、第1図はロボット
の平面図、 第2図は同ロボットの一部拡大平面図、第3図は同ロボ
ットの正面図、 第4図は第3図の一部分にカバーを設けるときの拡大図
、 第5図は出力軸にケーブルを配した断面図、第6図は第
5図の■−V+線断面図、 第7図は各ジヨイントの組合わせを概略図示した図 である。 なお、図面に示す符号において、 ]、(Jl )、1 (Jz)、1 (J3)、1
(J4 ) 、I (Js ) −−−−−−−
−アーム部2 (J、>、2 (Jl)、2 (J3)
、2 (J4)、2 (JS)、2(J6)、−一−−
−−−−−−−出力軸 10 (Jl)、10 (J3)、10 (J4)、1
0 (JS)、10 (Jl、−−−〜−−−−−−−
回転軸11 (Jl)、11 (J3)、11
(J、)、11 (JS )、I L (J6 )
、−−−−−−−−−−一人力軸HD (Jl ) 、
HD (Jl ) 、HD (J3)、HD CJa
) 、HD (JS)、HD (J6)、−一−−−−
−−−−−ハーモニックドライブM(、JI)、M(J
l)、M(J3)、M (J4) 、M (Js )
、M (J6 )、−−−−−−−−−一−モーター TP、 (Jl)、TP2 (Jl) 、TPI
(Ji ) 、TP2 (J3 ) 、T
P:+ (J’+ ) 、TP4 (J3
) 、TP5 (J3 ) 、TP6 (J3
)、TP7 CJ3 ) 、TPII (J3
) 、TP + (J4 ) 、TP2
(Jイ )、TPI(J4)、TP、(J4)、 Tp、 (J4 ) 、TP6 (J4 )、TP
7 (J4 )、Tpa (J4 ’) 、TP
I (Js ) 、’TP、z (Js )
、TPz (Js ) 、TP4 (JS
) 、TP + CJb ) 、TP2
(J6 ) 、−−−−−・−−−−一タイミング
プーリ−TB (Jl > 、TBI (J:!
)、TB2 (J3 ) 、TB3 (J3)、TB
4 (J3 ) 、TB、 (J4 )、TB2
(J4 ) 、TB3 (J4 )、TB4 CJ
a ) 、TBI (J、)、TB2 (JS )
、TBI (J6 )、−−−−−−−−−〜−タ
イミングヘルドBG (J4 ) 、BG (
J6 )−−−−−−−−−−−ベヘルギャ Jl、J2 、J:l 、J4 、JS 、J
6−−−−−−−−−−ジヨイント A F−−−−−−−−−−−−−エア流■、■、■、
■、−一一−−−=−−−−−−−エア通過穴■−−−
一−−−−−−−−−−−ファン■−−−〜−−−−−
−−−−ケーブルである。 代理人 弁理士 逢 坂 宏 第7図
適用した実施例を示すものであって、第1図はロボット
の平面図、 第2図は同ロボットの一部拡大平面図、第3図は同ロボ
ットの正面図、 第4図は第3図の一部分にカバーを設けるときの拡大図
、 第5図は出力軸にケーブルを配した断面図、第6図は第
5図の■−V+線断面図、 第7図は各ジヨイントの組合わせを概略図示した図 である。 なお、図面に示す符号において、 ]、(Jl )、1 (Jz)、1 (J3)、1
(J4 ) 、I (Js ) −−−−−−−
−アーム部2 (J、>、2 (Jl)、2 (J3)
、2 (J4)、2 (JS)、2(J6)、−一−−
−−−−−−−出力軸 10 (Jl)、10 (J3)、10 (J4)、1
0 (JS)、10 (Jl、−−−〜−−−−−−−
回転軸11 (Jl)、11 (J3)、11
(J、)、11 (JS )、I L (J6 )
、−−−−−−−−−−一人力軸HD (Jl ) 、
HD (Jl ) 、HD (J3)、HD CJa
) 、HD (JS)、HD (J6)、−一−−−−
−−−−−ハーモニックドライブM(、JI)、M(J
l)、M(J3)、M (J4) 、M (Js )
、M (J6 )、−−−−−−−−−一−モーター TP、 (Jl)、TP2 (Jl) 、TPI
(Ji ) 、TP2 (J3 ) 、T
P:+ (J’+ ) 、TP4 (J3
) 、TP5 (J3 ) 、TP6 (J3
)、TP7 CJ3 ) 、TPII (J3
) 、TP + (J4 ) 、TP2
(Jイ )、TPI(J4)、TP、(J4)、 Tp、 (J4 ) 、TP6 (J4 )、TP
7 (J4 )、Tpa (J4 ’) 、TP
I (Js ) 、’TP、z (Js )
、TPz (Js ) 、TP4 (JS
) 、TP + CJb ) 、TP2
(J6 ) 、−−−−−・−−−−一タイミング
プーリ−TB (Jl > 、TBI (J:!
)、TB2 (J3 ) 、TB3 (J3)、TB
4 (J3 ) 、TB、 (J4 )、TB2
(J4 ) 、TB3 (J4 )、TB4 CJ
a ) 、TBI (J、)、TB2 (JS )
、TBI (J6 )、−−−−−−−−−〜−タ
イミングヘルドBG (J4 ) 、BG (
J6 )−−−−−−−−−−−ベヘルギャ Jl、J2 、J:l 、J4 、JS 、J
6−−−−−−−−−−ジヨイント A F−−−−−−−−−−−−−エア流■、■、■、
■、−一一−−−=−−−−−−−エア通過穴■−−−
一−−−−−−−−−−−ファン■−−−〜−−−−−
−−−−ケーブルである。 代理人 弁理士 逢 坂 宏 第7図
Claims (1)
- 1、アーム部内を通して気体を導びくための穴がアーム
部間のジョイントに設けられ、この穴を通じて前記アー
ム部内の微粒子を前記気体の流れと共に外部へ排出する
排出手段を有しているロボット。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63067631A JPH01240291A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | ロボット |
US07/326,340 US4972731A (en) | 1988-03-22 | 1989-03-21 | Robot for clean room use having contaminant particle-removal system incorporated therein |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63067631A JPH01240291A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | ロボット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01240291A true JPH01240291A (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=13350528
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63067631A Pending JPH01240291A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | ロボット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4972731A (ja) |
JP (1) | JPH01240291A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002011687A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-15 | Shinko Electric Co Ltd | 産業用ロボット |
JP2005246532A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Yaskawa Electric Corp | ロボットのケーブル処理機構 |
JP2010269400A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ロボットの関節構造、及びそれを備えるロボット |
JP2018047526A (ja) * | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社Ihiエアロスペース | ロボット関節のケーブル保持装置 |
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-
1988
- 1988-03-22 JP JP63067631A patent/JPH01240291A/ja active Pending
-
1989
- 1989-03-21 US US07/326,340 patent/US4972731A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4972731A (en) | 1990-11-27 |
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