KR200145210Y1

KR200145210Y1 - 방진용 로봇 핸드

Info

Publication number: KR200145210Y1
Application number: KR2019960013112U
Authority: KR
Inventors: 한길룡
Original assignee: 윤종용; 삼성전자주식회사
Priority date: 1996-05-23
Filing date: 1996-05-23
Publication date: 1999-06-15
Also published as: KR970061013U

Abstract

본 고안은 방진용 로봇 핸드에 관하여 개시한 것으로서, 본 고안에 의한 방진용 로봇 핸드의 특징에 의하면 밀폐형 방진 커버에 진공 흡입구와 에어 필터가 마련된 공기 인입구를 동시에 구비토록하여 방진 커버의 내부에 적절한 공기 흐름을 유도함으로써 일정한 분진 밀도를 유지하거나 제거하여 방진 효과를 보다 높일 수 있도록 한 것이다.

Description

방진용 로봇 핸드

제1도는 종래의 방진용 로봇 핸드를 나타내 보인 개략적인 구성도이다.

제2도는 본 고안에 의한 방진용 로봇 핸드를 나타내 보인 개략적인 구성도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

21 : 그립퍼(gripper) 22 : 직선구동부

23 : 실린더 24 : LM가이드

25 : 커버 250 : 출입구

251 : 시일(seal)부재 252 : 진공 흡입구

254 : 에어 필터 255 : 공기 인입구

본 고안은 산업용 로봇 핸드에 관한 것으로서, 특히 방진이 요구되는 청정실(Clean room)에서 가동시 핸드부에서 발생되는 분진을 작업영역으로부터 차단시킬 수 있는 방진구조를 가지는 로봇 핸드에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체와 같은 정밀부품 등은 일정한 청정상태를 유지하고 있는 소위 클린룸에 생산라인이 구축되고 있다. 이러한 클린품 생산라인에서는 주로 로봇 등에 의한 자동화 작업이 이루어지고 있으며, 통상적으로 클린 환경에서의 로봇은 가동시 핸드부에서 발생되는 분진을 작업영역으로부터 차단시킬 수 있는 방진구조를 가진다.

제1도를 참조해 보면, 종래의 방진용 로봇 핸드는 도시된 바와 같이 작업대상물을 파지할 수 있도록 된 그립퍼(gripper;11)와, 이 그립퍼(11)를 승강 가능하도록 지지하는 직선구동부(12) 및 직선구동부(12)를 감싸는 박스형 방진 커버(15)를 포함하고 있다. 이와 같은 구조에서, 상기 직선구동부(12)는 도시된 바와 같이 실린더(13)와 LM(Linear motor)가이드(14)에 의해 연결되어 상기 그립퍼(11)를 승강운동시킬 수 있도록 되어 있다. 그리고, 상기 그립퍼(11)측 방향의 상기 방진 커버(15)에는 상기 직선구동부(12)의 출입을 허용하는 출입구(150)가 구비되어 있는 동시에, 그 반대측에는 진공흡입구(152)가 구비되어 있다. 또한, 상기 출입구(150)에는 상기 직선구동부(12)의 출입시 분진이 유출되는 것을 방지하기 위하여 시일(seal)부재(151)가 마련되어 있는 구조를 가진다.

상기와 같은 구조를 가지는 종래의 방진용 로봇 핸드는, 상기 방진 커버(15)의 내부를 완전밀폐한 상태에서 진공을 형성하여 상기 직선구동부(12)의 가동시 기구적 마찰에 의해 발생되는 분진이 외부로 유출되는 것을 방지하도록 되어 있다.

그러나, 상기 종래의 방진 구조는 직선구동부(12)의 가동시간이 누적됨에 따라 발생되는 분진이 방진 커버(15)의 내부 진공 상태로 인하여 점증적으로 충전되어 분진 밀도가 증가함으로써, 상기 직선구동부(12)가 방진 커버(15)의 내외부로 이동할때에 시일 부재(151)가 마련되어 있음에 불구하고 분진이 유출되어 청정도를 저하시키는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기한 종래의 방진용 로봇 핸드가 가지는 문제점을 감안하여 이를 개선코자 안출된 것으로서, 본 고안은 방진 커버 내에 충전되는 분진의 밀도를 일정한 상태로 유지하여 방진 효과를 보다 높인 방진용 로봇 핸드를 제공함에 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 의해 방진용 로봇 핸드는, 파지부와, 파지부를 구동시키는 구동부와, 구동부를 감싸는 방진 커버부재를 포함하는 방진용 로봇 핸드에 있어서, 상기 방진 커버부재는 그 일측에 진공 흡입구를 구비하고 있는 동시에 타측에는 공기 인입구를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

상기 본 고안에 따른 방진용 로봇 핸드에 있어서, 상기 공기 인입구에는 에어 필터가 마련되어 있는 것이 바람직하며, 상기 방진 커버부재의 내부에서는 공기 유동이 가능하도록 된 것이 바람직하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 따른 본 고안의 방진용 로봇 핸드를 상세히 설명한다.

제2도는 본 고안에 의한 방진용 로봇 핸드를 나타내 보인 개략적 구성도이다.

제2도는 참조하면, 본 고안에 의해 방진용 로봇 핸드는 도시된 바와 같이 작업대상물을 파지할 수 있도록 된 그립퍼(gripper;21)와, 이 그립퍼(21)를 승강 가능하도록 지지하는 직선구동부(22) 및 직선구동부(22)를 감싸는 박스형 방진 커버(25)를 포함하고 있다. 이와 같은 구조에서, 상기 직선구동부(22)는 도시된 바와 같이 실린더(23)와 LM(Linear motor)가이드(24)에 의해 연결되어 상기 그립퍼(21)를 승강운동시킬 수 있도록 되어 있다. 그리고, 상기 그립퍼(21)측 방향의 상기 방진 커버(25)에는 상기 직선구동부(22)의 출입을 허용하는 출입구(250)와 진공흡입구(252)가 구비되어 있는 동시에, 그 반대측에는 에어 필터(254)가 마련된 공기 인입구(255)가 구비되어 있다. 또한, 상기 출입구(250)에는 상기 직선구동부(22)의 출입시 분진이 유출되는 것을 방지하기 위하여 시일(seal)부재(251)가 마련되어 있는 구조를 가진다.

상기와 같은 구조를 가지는 본 고안에 따른 방진용 로봇 핸드는, 상기 방진 커버(25)의 내부를 완전밀폐한 상태에서 진공을 형성하여 상기 직선구동부(22)의 가동시 기구적 마찰에 의해 발생되는 분진이 외부로 유출되는 것을 방지한다. 이와 동시에, 상기 공기 인입구(255)의 에어 필터(254)를 통하여 클린 에어를 상기 커버(25)의 내부로 인입시켜 상기 방진 커버(25)의 내부에 적절한 공기 흐름을 유도함으로써, 상기 직선구동부(22)의 가동시간이 누적됨에 따라 발생되는 분진이 상기 방진 커버(25)의 내부에 점증적으로 충전되지 않고 상기 진공 흡입구(252)를 통하여 일정하게 배출된다. 이로써, 상기 방진 커버(25)의 내부에 충전되는 분진의 밀도는 일정하게 유지되거나 또는 제거되어 방진 효과를 보다 높일 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의해 방진용 로봇 핸드는 밀폐형 방진 커버에 진공 흡입구와 에어 필터가 마련된 공기 인입구를 동시에 구비한 구조적 특징에 의해 방진 커버의 내부에 적절한 공기 흐름을 유도함으로써 일정한 분진 밀도를 유지하거나 제거하여 방진 효과를 보다 높일 수 있도록 한 것이다.

Claims

부품 픽업을 위한 파지부와, 그 파지부를 구동시키는 구동부 및 주위와 차단되도록 상기 구동부를 에워싸는 방진 커버를 포함하는 방진용 로봇 핸드에 있어서, 상기 방진 커버에는 그 내부로 청정 공기를 유입하기 위한 에어 필터가 구비된 공기 인입구가 마련되어 있는 동시에 상기 공기 인입구와 대응되는 위치에 진공 흡입구가 마련되어 있고, 상기 공기 인입구로 유입된 공기를 상기 진공 흡입구로 흡입하여 내부의 공기 흐름을 유도함으로써 분진을 배출할 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 방진용 로봇 핸드.