CN105549334B - 曝光机 - Google Patents

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    • G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask

Abstract

本发明提供一种曝光机，其包括数个搬运模块，所述搬运模块包括导轨、连接于所述导轨侧面的滑动载台、及设于所述导轨与滑动载台下方的灰尘收集室；所述滑动载台可在所述导轨中往复滑动；所述灰尘收集室的边缘设有伸出于导轨侧面的灰尘收集口；所述灰尘收集口的开口向上并朝向所述导轨与滑动载台的连接处，从而使所述滑动载台在导轨中滑动的过程中所产生的灰尘落入灰尘收集口而被收集至所述灰尘收集室中；所述灰尘收集室可与真空负压装置相连接，从而通过真空负压装置吸取滑动载台在导轨中往复滑动的过程中所产生的灰尘；有效改善曝光制程的操作环境，提升曝光制程的良率。

Description

曝光机
技术领域
本发明涉及显示装置的制造领域，尤其涉及一种曝光机。
背景技术
液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如：移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。
现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置，其包括壳体、设于壳体内的液晶显示面板及设于壳体内的背光模组(Backlight module)。液晶显示面板的结构是由一彩色滤光片基板(Color Filter Substrate)、一薄膜晶体管阵列基板(Thin FilmTransistor Array Substrate，TFT Array Substrate)以及一配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成，其中在阵列基板上排布有许多竖直的数据线(DataLine)和水平的栅极扫描线(Gate Line)。液晶显示面板的工作原理是通过在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。
在液晶显示面板的制造过程中，会多次利用构图工艺。具体为，在涂有光刻胶的基板上方放置光罩，然后利用曝光机对基板进行曝光。基于光罩上的图案，光刻胶会有被曝光的部分和未被曝光的部分。再利用显影液对光刻胶进行显影，即可去除光刻胶被曝光的部分，保留光刻胶未被曝光的部分(正性光刻胶)，或者去除光刻胶未被曝光的部分，保留光刻胶被曝光的部分(负性光刻胶)，从而使光刻胶形成所需的图形。
目前的曝光机在曝光制程中一般通过可滑动的载台进行自动装载或卸载光罩，在装载或卸载光罩时，通过载台在导轨中作往复滑动以搬运光罩，此时载台与导轨之间会产生摩擦，因而不可避免地会产生灰尘等异物，这些灰尘等异物会影响曝光制程的环境，导致产品良率的下降。
因此，有必要提供一种曝光机，以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种曝光机，导轨与滑动载台的连接处下方设有灰尘收集室，可对滑动载台在导轨中滑动的过程中所产生的灰尘进行收集，有效改善曝光制程的操作环境，提升曝光制程的良率。
为实现上述目的，本发明提供一种曝光机，包括数个搬运模块，所述搬运模块包括导轨、连接于所述导轨侧面的滑动载台、及设于所述导轨与滑动载台下方的灰尘收集室；所述滑动载台可在所述导轨中往复滑动；
所述灰尘收集室的边缘设有伸出于导轨侧面的灰尘收集口；所述灰尘收集口的开口向上并朝向所述导轨与滑动载台的连接处，从而使所述滑动载台在导轨中往复滑动的过程中所产生的灰尘落入所述灰尘收集口而被收集至所述灰尘收集室中。
所述数个搬运模块包括第一搬运模块与第二搬运模块；
所述第一搬运模块包括第一导轨、连接于所述第一导轨侧面的第一滑动载台、及设于所述第一导轨与所述第一滑动载台下方的第一灰尘收集室；所述第一滑动载台可在所述第一导轨中往复滑动；
所述第一灰尘收集室的边缘设有伸出于所述第一导轨侧面的第一灰尘收集口；所述第一灰尘收集口的开口向上并朝向所述第一导轨与第一滑动载台的连接处，从而使所述第一滑动载台在第一导轨中滑动的过程中所产生的灰尘落入所述第一灰尘收集口而被收集至所述第一灰尘收集室中；
所述第二搬运模块包括第二导轨、连接于所述第二导轨侧面的第二滑动载台、及设于所述第二导轨与所述第二滑动载台下方的第二灰尘收集室；所述第二滑动载台可在所述第二导轨中往复滑动；
所述第二灰尘收集室的边缘设有伸出于所述第二导轨侧面的第二灰尘收集口；所述第二灰尘收集口的开口向上并朝向所述第二导轨与第二滑动载台的连接处，从而使所述第二滑动载台在第二导轨中滑动的过程中所产生的灰尘落入所述第二灰尘收集口而被收集至所述第二灰尘收集室中。
所述第一、第二灰尘收集室与真空负压装置相连接，通过所述真空负压装置吸取所述第一、第二滑动载台在所述第一、第二导轨中往复滑动的过程中所产生的灰尘而使其落入第一、第二灰尘收集口。
所述第一、第二灰尘收集室的内部相连通，并且具有一共同的灰尘排放口。
所述灰尘排放口连接至外部排放管道。
所述灰尘排放口处设有过滤器。
所述第一搬运模块位于所述第二搬运模块的上方；所述第一、第二滑动载台分别连接于所述第一、第二导轨的同一侧；所述第一搬运模块中的第一滑动载台用于光罩的装载；所述第二搬运模块中的第二滑动载台用于光罩的卸载。
所述第一、第二灰尘收集室的第一、第二灰尘收集口在所述第一、第二滑动载台的滑动方向上的长度大于所述第一、第二滑动载台的单向滑动轨迹的最大长度。
所述第一、第二滑动载台的滑动轨迹相互平行。
所述第一、第二滑动载台的结构相同，均包括连接于所述第一、第二导轨侧面的滑动部、连接于所述滑动部的连接部、及连接于所述连接部的承载部。
本发明的有益效果：本发明的曝光机包括数个搬运模块，所述搬运模块包括导轨、连接于所述导轨侧面的滑动载台、及设于所述导轨与滑动载台下方的灰尘收集室；所述滑动载台可在所述导轨中往复滑动；所述灰尘收集室的边缘设有伸出于导轨侧面的灰尘收集口；所述灰尘收集口的开口向上并朝向所述导轨与滑动载台的连接处，从而使所述滑动载台在导轨中滑动的过程中所产生的灰尘落入灰尘收集口而被收集至所述灰尘收集室中；所述灰尘收集室可与真空负压装置相连接，从而通过真空负压装置吸取滑动载台在导轨中往复滑动的过程中所产生的灰尘；有效改善曝光制程的操作环境，提升曝光制程的良率。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为本发明的曝光机的立体结构示意图；
图2为本发明的曝光机的侧视示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
本发明提供一种曝光机，包括数个搬运模块，所述搬运模块包括导轨、连接于所述导轨侧面的滑动载台、及设于所述导轨与滑动载台下方的灰尘收集室；所述滑动载台可在所述导轨中往复滑动；
所述灰尘收集室的边缘设有伸出于导轨侧面的灰尘收集口；所述灰尘收集口的开口向上并朝向所述导轨与滑动载台的连接处，从而使所述滑动载台在导轨中滑动的过程中所产生的灰尘落入灰尘收集口而被收集至所述灰尘收集室中，以有效改善曝光制程的操作环境，提升曝光制程的良率。
请参阅图1至图2，为本发明的曝光机的一具体实施例，包括第一搬运模块与第二搬运模块；
所述第一搬运模块包括第一导轨11、连接于所述第一导轨11侧面的第一滑动载台12、及设于所述第一导轨11与第一滑动载台12下方的第一灰尘收集室13；所述第一滑动载台12可在所述第一导轨11中往复滑动；
所述第一灰尘收集室13的边缘设有伸出于所述第一导轨11侧面的第一灰尘收集口131；所述第一灰尘收集口131的开口向上并朝向所述第一导轨11与第一滑动载台12的连接处，从而使所述第一滑动载台12在第一导轨11中滑动的过程中所产生的灰尘落入所述第一灰尘收集口131而被收集至所述第一灰尘收集室13中。
所述第二搬运模块包括第二导轨21、连接于所述第二导轨21侧面的第二滑动载台22、及设于所述第二导轨21与第二滑动载台22下方的第二灰尘收集室23；所述第二滑动载台22可在所述第二导轨21中往复滑动；
所述第二灰尘收集室23的边缘设有伸出于所述第二导轨21侧面的第二灰尘收集口231；所述第二灰尘收集口231的开口向上并朝向所述第二导轨21与第二滑动载台22的连接处，从而使所述第二滑动载台22在第二导轨21中滑动的过程中所产生的灰尘落入所述第二灰尘收集口231而被收集至所述第二灰尘收集室23中。
进一步的，所述第一、第二灰尘收集室13、23可与真空负压装置相连接，通过所述真空负压装置吸取所述第一、第二滑动载台12、22在所述第一、第二导轨11、21中往复滑动的过程中所产生的灰尘，在吸力作用下使灰尘落入第一、第二灰尘收集口131、231，从而显著提升收集灰尘的效果。
具体地，所述第一、第二灰尘收集室13、23的内部相连通，并且具有一共同的灰尘排放口33；所述灰尘排放口33可连接至外部排放管道，用于将所述第一、第二灰尘收集室13、23中收集的灰尘排放至预定地点进行处理。
具体地，所述灰尘排放口33处设有过滤器30，以防止管道内积累过多灰尘而发生堵塞，所述过滤器30安装于曝光机的外部以便定期进行更换。
具体地，第一搬运模块位于所述第二搬运模块的上方；所述第一、第二滑动载台12、22分别连接于所述第一、第二导轨11、21的同一侧；所述第一搬运模块中的第一滑动载台12用于光罩的装载；所述第二搬运模块中的第二滑动载台22用于光罩的卸载。
具体地，所述第一、第二灰尘收集室13、23的第一、第二灰尘收集口131、231在所述第一、第二滑动载台12、22的滑动方向上的长度大于所述第一、第二滑动载台12、22的单向滑动轨迹的最大长度，以尽可能地使所述第一、第二滑动载台12、22在往复滑动的过程中所产生的灰尘收集至所述第一、第二灰尘收集室13、23中。
具体地，所述第一、第二滑动载台12、22的滑动轨迹相互平行。
具体地，所述第一、第二滑动载台12、22的结构相同，均包括连接于所述第一、第二导轨11、21侧面的滑动部41、连接于所述滑动部41的连接部42、及连接于所述连接部42的承载部43。所述滑动部41与导轨相配合，使得所述第一、第二滑动载台12、22可实现往复滑动；所述承载部43用于承载曝光制程中的光罩。
综上所述，本发明的曝光机包括数个搬运模块，所述搬运模块包括导轨、连接于所述导轨侧面的滑动载台、及设于所述导轨与滑动载台下方的灰尘收集室；所述滑动载台可在所述导轨中往复滑动；所述灰尘收集室的边缘设有伸出于导轨侧面的灰尘收集口；所述灰尘收集口的开口向上并朝向所述导轨与滑动载台的连接处，从而使所述滑动载台在导轨中滑动的过程中所产生的灰尘落入灰尘收集口而被收集至所述灰尘收集室中；所述灰尘收集室可与真空负压装置相连接，从而通过真空负压装置吸取滑动载台在导轨中往复滑动的过程中所产生的灰尘；有效改善曝光制程的操作环境，提升曝光制程的良率。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种曝光机，其特征在于，包括数个搬运模块，所述搬运模块包括导轨、连接于所述导轨侧面的滑动载台、及设于所述导轨与滑动载台下方的灰尘收集室；所述滑动载台能在所述导轨中往复滑动；
所述灰尘收集室的边缘设有伸出于导轨侧面的灰尘收集口；所述灰尘收集口的开口向上并朝向所述导轨与滑动载台的连接处，从而使所述滑动载台在导轨中滑动的过程中所产生的灰尘落入所述灰尘收集口而被收集至所述灰尘收集室中。
2.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述数个搬运模块包括第一搬运模块与第二搬运模块；
所述第一搬运模块包括第一导轨(11)、连接于所述第一导轨(11)侧面的第一滑动载台(12)、及设于所述第一导轨(11)与第一滑动载台(12)下方的第一灰尘收集室(13)；所述第一滑动载台(12)可在所述第一导轨(11)中往复滑动；
所述第一灰尘收集室(13)的边缘设有伸出于所述第一导轨(11)侧面的第一灰尘收集口(131)；所述第一灰尘收集口(131)的开口向上并朝向所述第一导轨(11)与第一滑动载台(12)的连接处，从而使所述第一滑动载台(12)在第一导轨(11)中滑动的过程中所产生的灰尘落入所述第一灰尘收集口(131)而被收集至所述第一灰尘收集室(13)中；
所述第二搬运模块包括第二导轨(21)、连接于所述第二导轨(21)侧面的第二滑动载台(22)、及设于所述第二导轨(21)与第二滑动载台(22)下方的第二灰尘收集室(23)；所述第二滑动载台(22)可在所述第二导轨(21)中往复滑动；
所述第二灰尘收集室(23)的边缘设有伸出于所述第二导轨(21)侧面的第二灰尘收集口(231)；所述第二灰尘收集口(231)的开口向上并朝向所述第二导轨(21)与第二滑动载台(22)的连接处，从而使所述第二滑动载台(22)在第二导轨(21)中滑动的过程中所产生的灰尘落入所述第二灰尘收集口(231)而被收集至所述第二灰尘收集室(23)中。
3.如权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述第一、第二灰尘收集室(13、23)与真空负压装置相连接，通过所述真空负压装置吸取所述第一、第二滑动载台(12、22)在所述第一、第二导轨(11、21)中滑动的过程中所产生的灰尘而使其落入第一、第二灰尘收集口(131、231)。
4.如权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述第一、第二灰尘收集室(13、23)的内部相连通，并且具有一共同的灰尘排放口(33)。
5.如权利要求4所述的曝光机，其特征在于，所述灰尘排放口(33)连接至外部排放管道。
6.如权利要求4所述的曝光机，其特征在于，所述灰尘排放口(33)处设有过滤器(30)。
7.如权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述第一搬运模块位于所述第二搬运模块的上方；所述第一、第二滑动载台(12、22)分别连接于所述第一、第二导轨(11、21)的同一侧；所述第一搬运模块中的第一滑动载台(12)用于光罩的装载；所述第二搬运模块中的第二滑动载台(22)用于光罩的卸载。
8.如权利要求7所述的曝光机，其特征在于，所述第一、第二灰尘收集室(13、23)的第一、第二灰尘收集口(131、231)在所述第一、第二滑动载台(12、22)的滑动方向上的长度大于所述第一、第二滑动载台(12、22)的单向滑动轨迹的最大长度。
9.如权利要求8所述的曝光机，其特征在于，所述第一、第二滑动载台(12、22)的滑动轨迹相互平行。
10.如权利要求8所述的曝光机，其特征在于，所述第一、第二滑动载台(12、22)的结构相同，均包括连接于所述第一、第二导轨(11、21)侧面的滑动部(41)、连接于所述滑动部(41)的连接部(42)、及连接于所述连接部(42)的承载部(43)。
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