CN103170964A - 线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人。所述线性运动机构包括:基部;引导构件,该引导构件附装到所述基部;以及滑动件,该滑动件设置成沿着所述引导构件的轴向方向滑动。所述引导构件由引导件紧固构件沿大致正交于所述轴向方向的指定紧固方向紧固到所述基部,并且由引导件按压构件沿大致正交于所述轴向方向和所述紧固方向两者的正交方向按压。
Description
技术领域
本文所讨论的实施方式涉及线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人。
背景技术
传统上,已知存在这样一种机器人,该机器人通过使用设置在臂的末端操作单元中的手来用于保持和搬运在液晶显示器中使用的诸如玻璃基板的基板。该机器人通常为所谓的多轴机器人,在该多轴机器人中,臂和手沿着线性运动轴移动或者绕旋转轴运动。
例如,日本专利申请公报No.JP11-77566公开了一种基板搬运机器人,该基板搬运机器人包括:第一臂,该第一臂相对于能够竖直移动的基座的线性运动轴以可旋转的方式被支承;第二臂,该第二臂相对于第一臂以可旋转的方式被支承;以及手,该手相对于第二臂以可旋转的方式被附装。
通常的是,将诸如导轨之类的引导构件用作线性运动轴。在下列说明中,为了便于说明,线性运动轴有时将被称作“导轨”。
近年来,液晶显示器的尺寸趋于变得更大并且基板的重量变得更重。因此,施加到包括在机器人中使用的导轨的线性运动机构上的负荷增大并且导轨可能失准。这带来的问题是有时不能获得期望的操作精度。
发明内容
鉴于前述,本文公开的实施方式提供一种能够以提高的精度操作的线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人。
根据本发明的一个方面,提供了一种线性运动机构,该线性运动机构包括:基部;引导构件,该引导构件附装到所述基部;以及滑动件,该滑动件设置成沿着所述引导构件的轴向方向滑动,其中,所述引导构件由引导件紧固构件沿大致正交于所述轴向方向的指定紧固方向紧固到所述基部,并且由引导件按压构件沿大致正交于所述轴向方向和所述紧固方向两者的正交方向按压。
通过本文所公开的实施方式的一个方面,可以提供一种能够以提高的精度操作的线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人。
附图说明
图1是示出根据第一实施方式的机器人的示意性立体图。
图2是示出安装在真空室内的机器人的示意性侧视图。
图3A是示出主体单元的示意性平面图。
图3B是沿着图3A中的线3B-3B剖取的剖视图。
图4A是沿着图3B中的线4A-4A剖取的剖视图。
图4B是示出传统的滑动接触单元的放大图。
图4C是由图4B中的G2示出的区域的放大图。
图4D是示出根据第一实施方式的滑动接触单元的放大图。
图5是示出根据第二实施方式的线性运动机构的主要部分的示意图。
图6是示出根据第三实施方式的线性运动机构的说明图。
具体实施方式
现在将参照构成本发明的一部分的附图来描述线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人的实施方式。本公开内容不局限于以下待描述的实施方式。
在下述说明中,诸如玻璃基板之类的薄板状基板将被称为“工件”。将以用于在真空室内搬运工件的机器人为例进行说明。
(第一实施方式)
首先,将参照图1描述根据第一实施方式的机器人的构造。图1是示出根据第一实施方式的机器人1的示意性立体图。
为了更容易理解该说明,在图1中示出了三维直角坐标系,该三维直角坐标系包括Z轴,该Z轴的竖直上侧为正向侧,该Z轴的竖直下侧为负向侧。沿着XY平面延伸的方向表示水平方向。在一些情况下,上述直角坐标系在用于下列说明的其它图中被示出。
在下列说明中,在一些情况下,多个部件中的仅一个部件被标以附图标记,而其余部件不赋予附图标记。在该情况下,标以附图标记的一个部件与其余部件具有相同的构造。
如图1所示,机器人1是包含两个可伸缩的臂单元的多轴机器人,所述两个可伸缩的臂单元能够沿水平方向伸展和收缩。更具体地,机器人1包括主体单元10和臂单元20。
主体单元10是设置在臂单元20下方的单元。主体单元10包括管状壳体11和布置在该壳体11内的线性运动机构。主体单元10利用线性运动机构使臂单元20上下移动。
更具体地,线性运动机构沿着竖直方向线性地移动主体单元10的升降凸缘单元15,由此升起和降下固定到升降凸缘单元15的臂单元20。稍后将针对图3A描述线性运动机构的细节。
在壳体11的上部中形成有凸缘部12。机器人1借助将凸缘部12固定到真空室而被安装在真空室中。关于该点,稍后将针对图2进行说明。
臂单元20是借助升降凸缘单元15连接到主体单元10的单元。更具体地,臂单元20包括臂基座21、第一臂22、第二臂23、手基座24和辅助臂25。
臂基座21相对于升降凸缘单元15以可旋转的方式支承。臂基座21包括由马达和减速器构成的回转机构。臂基座21借助回转机构来回转。
更具体地,回转机构构造成使得将马达的旋转经由传送带输入到减速器,该减速器的输出轴固定到主体单元10。因此,臂基座21绕减速器的作为回转轴线的输出轴水平地自转。
臂基座21包括保持在大气压力下的盒形收纳部。马达、减速器以及传送带被收纳在该收纳部中。因此,如稍后所述,即使搬运机器人1被使用在真空室中,也可以防止诸如油脂之类的润滑油变干并且可以防止真空室的内部被污物污染。
第一臂22的基端部借助图中未示出的第一减速器以可旋转的方式连接到臂基座21的上部。第二臂23的基端部借助图中未示出的第二减速器以可旋转的方式连接到第一臂22的末端上部。
手基座24以可旋转的方式连接到第二臂23的末端部。手基座24在其上端设置有用于保持工件的末端执行器24a(即,所谓的手)。手基座24响应于第一臂22和第二臂23的旋转运动而线性地移动。
末端执行器24a的线性移动由借助机器人1同步操作的第一臂22和第二臂23来实现。
更具体地,机器人1通过使用单个马达来使第一减速器和第二减速器旋转,由此同步地操作第一臂22和第二臂23。此时,机器人1使第一臂22和第二臂23旋转,使得第二臂23相对于第一臂22的旋转量是第一臂22相对于臂基座21的旋转量的两倍。
例如,机器人1使第一臂22和第二臂23旋转,使得,如果第一臂22相对于臂基座21旋转α度,则第二臂23相对于第一臂22旋转2α度。结果,机器人1能够线性地移动末端执行器24a。
从防止真空室的内部被污染的观点出发,而将诸如第一减速器、第二减速器、马达和传送带之类的驱动装置布置在保持于大气压力下的第一臂22内。
辅助臂25是一连杆机构,该连杆机构限制与第一臂22和第二臂23的旋转运动连动的手基座24的旋转,从而末端执行器24a在其运动期间能够始终面向指定方向。
更具体地,辅助臂25包括第一连杆25a、中间连杆25b和第二连杆25c。
第一连杆25a的基端部以可旋转的方式连接到臂基座21。第一连杆25a的末端部以可旋转的方式连接到中间连杆25b的末端部。中间连杆25b的基端部以与使第一臂22和第二臂23互连的连接轴线同轴的关系枢转。中间连杆25b的末端部以可旋转的方式连接到第一连杆25a的末端部。
第二连杆25c的基端部以可旋转的方式连接到中间连杆25b。第二连杆25c的末端部以可旋转的方式连接到手基座24的基端部。手基座24的末端部以可旋转的方式连接到第二臂23的末端部。手基座24的基端部以可旋转的方式连接到第二连杆25c。
第一连杆25a、臂基座21、第一臂22和中间连杆25b构成第一平行连杆机构。换言之,如果第一臂22绕其基端部旋转,则第一连杆25a在与第一臂22保持平行的情况下旋转。当在平面图中观看时,中间连杆25b在与假想连接线保持平行的情况下旋转,所述假想连接线将臂基座21和第一臂22的连接轴线与臂基座21和第一连杆25a的连接轴线互连。
第二连杆25c、第二臂23、手基座24和中间连杆25b构成第二平行连杆机构。换言之,如果第二臂23绕其基端部旋转,则第二连杆25c和手基座24在分别与第二臂23和中间连杆25b保持平行的情况下旋转。
中间连杆25b在第一平行连杆机构的作用下在与上述连接线保持平行的情况下旋转。为此,第二平行连杆机构的手基座24在与上述连接线保持平行的情况下旋转。结果,安装到手基座24的上部上的末端执行器24a在与臂基座21保持平行的情况下线性地移动。
这样,机器人1利用两个平行连杆机构(即第一平行连杆机构和第二平行连杆机构)能够将末端执行器24a的定向保持为恒定。因此,与其中带轮和传送带设置在第二臂23内以利用该带轮和传送带保持末端执行器的定向为恒定的情况相比,可以减少因带轮和传送带而产生的污物。
由于臂单元的刚性整体上能够由辅助臂25增大,因此,可以降低在末端执行器24a的操作期间产生的振动。为此,可以减少因在末端执行器24a的操作期间产生的振动而产生的污物。
如图1所示,机器人1是包括两个可伸缩臂单元的所谓双臂机器人,这两个可伸缩臂单元均包括第一臂22、第二臂23、手基座24和辅助臂25。因此,机器人1能同时执行两个任务,例如,利用其中一个可伸缩臂单元从指定搬运位置取出工件的任务和利用另一个可伸缩臂单元将新的工件运送到搬运位置的任务。
接下来,将参照图2描述安装在真空室内的机器人1。图2是示出安装在真空室内的机器人1的示意性侧视图。
如图2所示,形成在机器人1的主体单元10中的凸缘部12借助密封构件固定到形成于真空室30的底部中的开口部31的周缘。因此,真空室30被气密地封闭,并且真空室30的内部借助诸如真空泵之类的减压装置保持在减压状态。主体单元10的壳体11从真空室30的底部突出并且位于由用于支承真空室30的支承部35限定的空间内。
机器人1在真空室30内执行工件搬运任务。例如,机器人1通过使用第一臂22和第二臂23来线性地移动末端执行器24a,由此借助未示出的闸阀从连接到真空室30的另一个真空室取出工件。
接着,机器人1使末端执行器24a返回,然后使臂基座21绕回转轴线O水平旋转,由此使得臂单元20直接面向作为工件的搬运目的地的另一个真空室。然后,机器人1通过使用第一臂22和第二臂23来线性地移动末端执行器24a,由此将工件运送到作为工件的搬运目的地的另一个真空室中。
真空室30形成为与机器人1的形状一致。例如,如图2所示,在真空室30的底面部中形成凹部。机器人1的诸如臂基座21和升降凸缘单元15的那些部分布置在所述凹部中。通过以该方式形成与机器人1的形状一致的真空室30,可以减小真空室30的内部容积并且可以容易将真空室30保持在减压状态。
在真空室30内确保供呈现最小回转姿势的臂单元20能够在其内旋转的空间和待由升降装置上下移动的臂单元20所需的空间。这里所提及的最小回转姿势是指机器人1的以下姿势,其中,臂单元20绕回转轴线O的旋转半径变得最小。
接下来,将参照图3A和后续附图来描述根据第一实施方式的线性运动机构的细节。图3A是示出主体单元的示意性平面图。图3B是沿着图3A中的线3B-3B剖取的剖视图。
尽管与关于图1和图2进行的说明有部分重叠,但主体单元10包括凸缘部12和升降凸缘单元15,如图3A所示。
在主体单元10中设置有线性运动机构50,该线性运动机构用于沿着竖直方向上下移动升降凸缘单元15。线性运动机构50包括一对导轨基座51。导轨基座51布置在并固定到壳体11的内周面(参见图3B)从而彼此面对。也就是说,壳体11的内周面构成线性运动机构50的基部。
如图3B所示,线性运动机构50包括导轨51a(引导构件),这些导轨沿着彼此大致平行的轴线S1和S2竖直地延伸。导轨51a利用诸如螺钉等的紧固构件固定到导轨基座51(参见图3A)。
如图3B所示,线性运动机构50还包括相对于导轨51a以可滑动的方式布置的滑块52(滑动件)。导轨51a和滑块52构成所谓的“线性引导件”。在下列说明中,彼此形成为滑动接触的导轨51a和滑块52将被称为“滑动接触单元”。
滑块52连接到第一升降凸缘单元15的升降凸缘基座15a(即,基座框架),并且与升降凸缘单元15形成为一体。
线性运动机构50设置有滚珠丝杠单元53,该滚珠丝杠单元包括连接到升降凸缘基座15a的滚珠螺母。滚珠丝杠单元53还包括滚珠丝杠和马达。滚珠丝杠单元53将马达的旋转运动转换为沿着大致平行于竖直方向的轴线S3的线性运动。
上述的线性运动机构50使升降凸缘单元15能够沿着竖直方向上下移动。
如图3B所示,升降凸缘单元15具有中空结构。通过在升降凸缘单元15的中空部中设置管15b,而可以容易布置线缆等。
接下来,将参照图4A至图4D描述根据第一实施方式的构成线性运动机构50的各个构件的安装结构。图4A是沿着图3B中的线4A-4A剖取的剖视图。图4A中所示的轮廓线示意性地表示壳体11的内周面。
图4B是示出传统滑动接触单元G1’的放大图。图4C是由图4B中的G2示出的区域的放大图。图4D是示出根据第一实施方式的滑动接触单元G1的放大图。
如图4A所示,线性运动机构50包括滑动接触单元G1。在下列说明中,为了便于说明,传统滑动接触单元将被标以附图标记“G1”’。
参照图4A,邻近滚珠丝杠单元53形成有供管15b穿过的开口15c。
现在将对于传统滑动接触单元G1’进行说明。在图4B所示的该传统滑动接触单元G1’中,构成线性运动机构50的相应构件借助诸如螺钉之类的紧固构件仅沿指定紧固方向被紧固。在下列说明中,紧固构件是“螺钉”。为了便于说明,在图中未示出螺纹槽的“外螺纹”和“内螺纹”。从区分紧固构件与作为按压构件的“紧定螺钉”的观点来看,作为紧固构件的“螺钉”将被称为“紧固螺钉”。
例如,如图4B所示,导轨51a借助位于X轴的正向侧的紧固螺钉C1紧固到导轨基座51。滑块52的第一块体52a、第二块体52b和第三块体52c借助位于X轴的正向侧和负向侧的紧固螺钉C2和C3被紧固。
沿着X轴的指定紧固方向被选择为使滑块52能够在可靠地按压固有地易于弯曲的导轨51a的情况下平滑地滑动。
当将相应的构件彼此紧固时,在一些情况下,由于相应构件的尺寸误差或偏差而在被紧固的构件之间产生间隙。例如如图4B所示,在导轨51a和导轨基座51之间、在第一块体52a和第二块体52b之间、以及在第二块体52b和第三块体52c之间可能产生间隙i。如图4C所示,在导轨51a和紧固螺钉C1之间可能产生间隙i。
现在假定,关于图1被描述的可伸缩臂单元执行伸展操作。此时,负荷(诸如,沿双头箭头101所示的方向作用的力矩负荷)借助设置在凸缘部12的中心部中的升降凸缘单元15(见图3A)而被施加到图4C中的区域G2。当可伸缩臂单元伸展时,这样施加的所述负荷变得更大。
例如,如果产生如图4C所示的间隙i,则导轨51a由于沿双头箭头101的方向施加的负荷而很可能在间隙I的范围内滑动。因此,导轨51a可能失准(参见由图4C中的虚线所示的导轨51a’)。换言之,导轨51a和导轨基座51相对于彼此移位,由此产生松动。这可能会降低线性运动机构50的操作精度。
在根据第一实施方式的线性运动机构50中,如图4D所示,借助紧固构件沿大致正交于引导构件的轴向方向的指定紧固方向紧固的滑动接触单元G1的组成构件由按压构件沿大致正交于轴向方向和紧固方向两者的正交方向按压。
更具体地,如图4D所示,滑动接触单元G1的组成构件由诸如紧定螺钉等的按压构件沿大致正交于导轨51a的轴向方向(Z轴方向)和指定紧固方向(X轴方向)两者的方向(Y轴方向)按压,所述指定紧固方向大致正交于轴向方向。
例如,导轨51a由紧定螺钉P1从Y轴方向的负向侧朝向Y轴方向的正向侧按压(参见图4D中的箭头201)。此时,导轨51a的端面被紧定螺钉P1压靠在导轨基座51的凹部的侧壁51b上。也就是说,侧壁51b成为用于定位导轨51a的基准面(按压表面)。
第一块体52a由紧定螺钉P2从Y轴方向的负向侧朝向Y轴方向的正向侧按压(参见图4D中的箭头202)。此时,第一块体52a的端面被紧定螺钉P2压靠在第二块体52b的凹部的侧壁52ba上。也就是说,侧臂52ba成为用于定位第一块体52a的基准面。
第二块体52b由紧定螺钉P3从Y轴方向的负向侧朝向Y轴方向的正向侧按压(参见图4D中的箭头203)。此时,第二块体52b的端面被紧定螺钉P3压靠在第三块体52c的凹部的侧壁52ca上。也就是说,侧臂52ca成为用于定位第一块体52b的基准面。
结果,用于紧固滑动接触单元G1的组成构件的紧固构件能够防止组成构件借助例如由图4D中的双头箭头101表示的力矩的负荷而滑动。这使得可以精确地执行定位滑动接触单元G1的组成构件的任务。换言之,可以精确地操作线性运动机构50和设置有该线性运动机构50的机器人1。
尽管在图4D中所示的紧定螺钉P1、P2和P3具有螺钉头部,但紧定螺钉P1、P2和P3的形状不局限于此。可以使用无螺钉头部的全螺纹螺钉,例如,所谓的“凹头紧定螺钉”。
如上所述,根据第一实施方式的线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人包括附装到基部的引导构件和布置成沿着引导构件的轴向方向滑动的滑动件。引导构件由紧固构件沿大致正交于轴向方向的指定紧固方向紧固到基部。引导构件由按压构件沿大致正交于轴向方向和紧固方向两者的正交方向按压。
因而,根据第一实施方式的线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人能够以提高的精度操作。
尽管在上述的第一实施方式中采用以相对关系布置的一对引导构件,但可以采用两对引导构件。现在,将参照图5描述采用两对引导构件的第二实施方式。
(第二实施方式)
图5是示出根据第二实施方式的线性运动机构50a的主要部分的示意图。图5对应于图4A,并且除了引导构件以两对设置之外大致与图4A保持大致相同。不再对图5和图4A共同点进行说明。
尽管在图5中未示出紧固螺钉,但紧固螺钉的指定紧固方向沿着X轴延伸。图4B和图4D中所示的间隙i在图5中未示出。根据第二实施方式的线性运动机构50a设置在与根据第一实施方式的机器人1具有相同构造的机器人中。
如图5所示,根据第二实施方式的线性运动机构50a包括两对引导构件(包括引导构件的两对滑动接触单元G1),这两对引导构件沿着X轴方向以相互对置的关系布置。
在沿着大致平行于X轴的轴线AX1以相互对置的关系布置的一对滑动接触单元G1中,由箭头201、202和203表示的部分由紧定螺钉从Y轴的负向侧朝向Y轴的正向侧按压。
在沿着大致平行于X轴的轴线AX2以相互对置的关系布置的一对滑动接触单元G1中,由箭头204和205表示的部分由紧定螺钉从Y轴的正向侧朝向Y轴的负向侧按压。
紧定螺钉的按压方向不被具体地限制,只要按压方向是大致正交于引导构件的轴向方向(Z轴方向)和指定紧固方向(X轴方向)两者的方向(Y轴方向)即可。
尽管两对滑动接触单元G1在图5中沿着X轴并排布置,但本公开内容不局限于此。
例如,一对滑动接触单元G1如图5所示可以沿着X轴线以相互对置的关系布置,而另一对滑动接触单元G1可以沿着Y轴以相互对置的关系布置。在该情况下,沿着Y轴以相互对置的关系布置的滑动接触单元G1由紧定紧钉沿X轴方向按压。
如上所述,根据第二实施方式的线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人包括两对对置地布置在基部上的引导构件和两对布置成沿着引导构件的轴向方向滑动的滑动件。引导构件由紧固构件沿大致正交于轴向方向的指定紧固方向紧固到基部。引导构件由按压构件沿大致正交于轴向方向和紧固方向两者的正交方向按压。
因而,根据第二实施方式的线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人能够以提高的稳定性和精度操作。
尽管以相互对置的关系布置的至少一对引导构件在上述的相应实施方式中形成为一组,但引导构件可以不是成对的组合。例如,如果主体单元的壳体的水平截面大致为圆形的,则三个引导构件可以形成为一组并且可以以120的间隔布置在壳体的内周面上。
尽管在上述的相应实施方式中线性运动机构的引导构件沿着竖直方向延伸,但本公开内容不局限于此。例如,引导构件可以沿水平方向延伸。现在,将参照图4D和图6描述线性运动机构的引导构件沿水平方向延伸的第三实施方式。
(第三实施方式)
图6是示出根据第三实施方式的线性运动机构50b的说明图。为了便于说明,图6示出了其中设置有线性运动机构50b的机器人1a由三轴机器人形成的示例。然而,轴数和关节的旋转方向不被具体地限制,只要机器人1a设置有线性运动机构50b即可。在图6中,机器人1a以简化方式示出。
如图6所示,根据第三实施方式的机器人1a包括线性运动机构50b、第一关节部1aa、第二关节部1ab和末端执行器1ac。在图6中,臂由将线性运动机构50b、第一关节部1aa、第二关节部1ab和末端执行器1ac互连的实线表示。
线性运动机构50b包括:水平引导件S4,该水平引导件水平地布置在作为基部的壁面501上;以及滑动接触单元G1,该滑动接触单元具有与上述的相应实施方式相同的构造。线性运动机构50b使所有臂在由双头箭头401表示的方向上沿着水平引导件S4线性地移动。第一关节部1aa是沿由双头箭头402表示的方向旋转的关节部。第二关节部1ab是沿由双头箭头403表示的方向回转的关节部。
例如,如果第一关节部1aa旋转以由此使所有臂伸缩或者如果滑动接触单元G1到达水平引导件S4的端部,则诸如由双头箭头101表示的力矩之类的负荷被施加到线性运动机构50b。
此外,由箭头301表示的重力作用在包括线性运动机构50b的机器人1a上。
为了便于说明,图4D被当作在图6中的Y轴的正向侧所看到的滑动接触单元G1的放大图。因此,不参照图4D中所示的直角坐标轴XYZ。在图4D中沿着图面的下侧被认为是竖直下侧。
如图4D所示,根据第三实施方式的线性运动机构50b的滑动接触单元G1能够由按压构件沿大致正交于导轨51a的轴向方向和滑动接触单元G1的指定紧固方向两者的正交方向按压。
此时,如图6所示,重力作用在滑动接触单元G1上。如果由重力施加的按压力被结合利用,则仅必需的是滑动接触单元G1由紧定螺钉P1、P2和P3从竖直上侧朝向竖直下侧(在图4D中从图面的上侧朝向下侧)按压。这不排除沿相反方向(即,从竖直下侧朝向竖直上侧)执行按压的可能。
毋庸置疑,在图6中所示的水平引导件S4布置在作为基部的地面502上而不是壁面501上的情况下,也能够使用上述的安装方法。
如上所述,根据第三实施方式的线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人包括水平地布置在基部上的引导构件和布置成沿着引导构件的轴向方向滑动的滑动件。引导构件由紧固构件沿大致正交于轴向方向的指定紧固方向紧固到基部。引导构件由按压构件沿大致正交于轴向方向和紧固方向两者的正交方向按压。
因而,即使引导构件布置在壁面等上,根据第三实施方式的线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人也能够以提高的精度操作。
尽管紧固构件和按压构件在上述的各个实施方式中为螺钉,但本公开内容不局限于此。例如,紧固构件和按压构件可以是铆钉或者螺钉和铆钉的组合。
尽管在上述的各个实施方式中引导构件和滑动件的端面由按压构件按压,但本公开内容不局限于此。例如,紧固构件可以由按压构件沿大致正交于紧固方向的正交方向直接按压。
用于使滑动件与引导构件滑动接触的结构不被具体限制。例如,可以使用液压或者诸如轴承等的滚动体。
尽管在上述各个实施方式中机器人是基板搬运机器人,但只要机器人沿着作为线性运动引导件的引导构件操作,那么机器人的用途就是无关紧要的。
本领域技术人员能够容易想到其它效果和其它修改例。为此,本公开内容的宽泛方面不局限于所示的和上述的具体公开内容和代表性实施方式。因而,在不脱离由所附的权利要求和其等同物限定的范围的情况下,本公开内容能够以不同的形式修改。
Claims (10)
1.一种线性运动机构,该线性运动机构包括:
基部;
引导构件,该引导构件附装到所述基部;以及
滑动件,该滑动件设置成沿着所述引导构件的轴向方向滑动,
其中,所述引导构件由引导件紧固构件沿大致正交于所述轴向方向的指定紧固方向紧固到所述基部,并且由引导件按压构件沿大致正交于所述轴向方向和所述紧固方向两者的正交方向按压。
2.根据权利要求1所述的线性运动机构,其中,所述滑动件包括由滑动件紧固构件沿所述紧固方向紧固在一起的多个构件,所述滑动件由滑动件按压构件沿所述正交方向按压。
3.根据权利要求1所述的线性运动机构,其中,所述引导构件包括由所述引导件紧固构件沿所述紧固方向紧固在一起的多个构件,所述引导构件由所述引导件按压构件沿所述正交方向按压。
4.根据权利要求2所述的线性运动机构,其中,所述引导件按压构件和所述滑动件按压构件构造成朝向形成于由所述引导件紧固构件和所述滑动件紧固构件紧固在一起的所述构件中的一方的按压表面,按压由所述引导件紧固构件和所述滑动件紧固构件紧固在一起的所述构件中的另一方。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的线性运动机构,其中,所述引导构件设置成沿着竖直方向延伸。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的线性运动机构,其中,所述引导构件设置成沿着水平方向延伸。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的线性运动机构,其中,所述基部是壁面。
8.一种机器人,所述机器人包括根据权利要求1至3中任一项所述的线性运动机构。
9.根据权利要求8所述的机器人,所述机器人还包括形成为大致管状形状的壳体,所述引导构件包括布置在所述壳体的用作所述基部的内周面上的至少一对引导构件。
10.根据权利要求9所述的机器人,其中,所述引导构件包括两对对置地布置在所述壳体的所述内周面上的引导构件。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011-278839 | 2011-12-20 | ||
JP2011278839A JP5668678B2 (ja) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | ロボット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103170964A true CN103170964A (zh) | 2013-06-26 |
Family
ID=48610304
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2012104323845A Pending CN103170964A (zh) | 2011-12-20 | 2012-11-02 | 线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130156535A1 (zh) |
JP (1) | JP5668678B2 (zh) |
KR (1) | KR20130071351A (zh) |
CN (1) | CN103170964A (zh) |
TW (1) | TW201345678A (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6285120B2 (ja) * | 2013-07-31 | 2018-02-28 | 株式会社ダイヘン | 相対動部材間の構造、およびこれを備えたワーク搬送装置 |
TWI614114B (zh) * | 2015-08-21 | 2018-02-11 | 寧波弘訊科技股份有限公司 | 移取裝置及移取方法 |
KR101941768B1 (ko) * | 2017-04-19 | 2019-01-23 | 에스케이실트론 주식회사 | 웨이퍼의 양면 연마장치 |
JP6873881B2 (ja) * | 2017-10-13 | 2021-05-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
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-
2011
- 2011-12-20 JP JP2011278839A patent/JP5668678B2/ja active Active
-
2012
- 2012-10-25 TW TW101139516A patent/TW201345678A/zh unknown
- 2012-11-02 CN CN2012104323845A patent/CN103170964A/zh active Pending
- 2012-11-07 US US13/670,555 patent/US20130156535A1/en not_active Abandoned
- 2012-11-09 KR KR20120126423A patent/KR20130071351A/ko not_active Application Discontinuation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5668678B2 (ja) | 2015-02-12 |
TW201345678A (zh) | 2013-11-16 |
US20130156535A1 (en) | 2013-06-20 |
JP2013130219A (ja) | 2013-07-04 |
KR20130071351A (ko) | 2013-06-28 |
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---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C05 | Deemed withdrawal (patent law before 1993) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130626 |