JP5893072B2 - 基板搬送ロボット - Google Patents
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Description
10 基板搬送ロボット
11 第1ハンド(第1基板保持部)
12 第2ハンド(第2基板保持部)
13 第1アーム機構
14 第2アーム機構
15 昇降駆動機構(パラレルリンク機構)
16 ベース部材
17 主旋回軸
18 垂直平面(対称面)
19 第1アーム
19A 第1アームの基端部
19B 第1アームの先端部
20 第2アーム
20A 第2アームの基端部
20B 第2アームの先端部
21 アーム支持部材
22 アーム駆動モータ
23 第1アームの基端側アーム部分
24 第1アームの先端側アーム部分
25 第2アームの基端側アーム部分
26 第2アームの先端側アーム部分
27 第1ハンド基部
28 第2ハンド基部
29 第2アームの旋回範囲
30 基板の旋回範囲
31 リンクユニット
32 昇降駆動モータ
33 ボックス部材
34 リンクユニットの基端側リンク部分
35 リンクユニットの先端側リンク部分
36 昇降台
37 中空リンク機構
38 中空リンク機構の基端側リンク部分
39 中空リンク機構の先端側リンク部分
Claims (3)
- 基板を保持するための基板保持部と、
前記基板保持部が装着されたアーム機構と、
前記アーム機構を昇降駆動するためのパラレルリンク機構と、
を備えた基板搬送ロボットであって、
前記パラレルリンク機構は、同一の構造を備えた複数のリンクユニットから構成されており、
前記基板搬送ロボットは、前記アーム機構の昇降動作に伴って上下方向に伸縮可能な中空リンク機構をさらに有し、
前記中空リンク機構は、前記アーム機構を昇降駆動するための機構の一部を構成するものではなく、基板重量やロボット重量を支えるための構造部材としては機能せず、前記パラレルリンク機構による前記アーム機構の昇降動作に連動して上下方向に伸縮するように構成されると共に、前記基板搬送ロボットの主旋回軸に対応する位置に配置されており、
前記アーム機構に接続されるケーブル類が前記中空リンク機構の内部に収納されている、基板搬送ロボット。 - 前記複数のリンクユニットは、基板搬送のために必要となる台数よりも多い台数が設置されている、請求項1記載の基板搬送ロボット。
- 真空下での使用を可能にするために所要箇所に真空シールが設けられている、請求項1または2に記載の基板搬送ロボット。
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